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田頭 博昭  TAGASHIRA Hiroaki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10001174
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2001年度: 室蘭工業大学, 学長
1999年度 – 2001年度: 室蘭工業大学, 工学部, 学長
1985年度 – 1995年度: 北海道大学, 工学部, 教授
1985年度: 北海道大学, 工, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電力工学 / 電力工学・電気機器工学 / 応用物理学一般
研究代表者以外
電力工学 / 電子・電気材料工学 / 電子材料工学 / 応用物理学一般 / プラズマ理工学 / 応用物性
キーワード
研究代表者
GIS / Gas Insulation / 混合ガス / ベーパーミスト誘電体 / モンテカルロ法 / 衝突断面積 / プラズマモデリング / プラズマプロセス / <SF_6> / Gas Insulated Cubicle … もっと見る / 絶縁破壊特性 / 実効電離係数 / 相乗効果 / 【SF_6】 / SF_6 / 交流破壊電圧 / ダングリングボンド / シリル / モノシラン / 絶縁破壊 / ファインパウダ / 電子スオーム / プラズマ診断 / 反応性RFプラズマ / fine particle measurement / dielectric liquids / dielectric strength / vapor-mist dielectric / 微粒径計測 / パルス波高分布分析 / 微粒子計測 / 誘電液体 / 電気絶縁耐力 / Synergism / Vapor-Mist Dielectrics / Gas Mixtures / 電子付着係数 / c-GIS / フロロカーボン / ガス絶縁キュービクル / ガス絶縁 / Breakdown Voltage / <SF_6> and Air Gas Mixtures / Air / Gas Insulated Switchgear / GIC / 空気 / Electron Energy Distribution / ICP Plasma / Plasma Display / Dissociation / Collision Crosssection / Ion swarm / Electron Swarm / Swarm / 緩和特性 / 過渡特性 / 電子-電子衝突 / 運動量移行断面積 / 原子衝突 / 電子衝突 / 電子衝突断面積 / rf非平衡プラズマ / 緩和現象 / クーロン相互作用 / イオンスオーム / 気体エレクトロニクス / プラズマディスプレイ / 誘導結合プラズマ / 電子エネルギー分布 / 解離 / イオンスゥオーム / 電子スゥオーム / スゥオーム / Fine Powder Dielectrics / Uniform Electric Field / AC Breakdown Voltage / Electrical Insulation / Gaseous Dielectrics / Vapor-mist Dielectrics / 衝突電離 / 計算機シミュレーション / 液体誘電体 / 気体誘電体 / ガス絶縁材料 / 平等電界 / 絶縁ガス / ファインパウダー / 絶縁材料 / 反応性rfプラズマ / Si_3N_4 / SiO_2 / 雷インパルス / 50Hz交流 / フロン / 高電圧絶縁 / 地球環境問題 / TEOS / 電離係数 / 制御 / rfプラズマ / イオン速度分布 / ベーパーミスト絶縁 / ベ-パ-ミスト絶縁 / 微粉体絶縁 / インパルス破壊電圧 / 電気的絶縁破壊 / 膜密度 / スピン密度 / 水素含有量 / 堆積率 / ダイヤモンド構造 / 破壊電圧 / 散布 / ファン / 粒径 / Si_3N_4パウダ / SiO_2パウダ / 電子スオ-ム / プラズマシミュレ-ション / プラズマシミュレーション … もっと見る
研究代表者以外
プラズマCVD / プラズマの制御 / 反応性プラズマ / プラズマプロセシング / 低周波プラズマ / ドライプロセス / 薄膜堆積 / 表面保護膜 / FTIR / Thin film deposition / 層間絶縁膜 / 非平衡プラズマ / 低温プロセス / TEOS / LID / Low temperature process / Low frequency plasma / Plasma CVD / プラズマプロセス / 薄膜生成 / 集積回路ドライプロセス / シリコン酸化膜 / 電子付着係数 / 電離係数 / 放電分解 / 二酸化窒素 / Device surface passivation / Interiayer insulation / Low temterature process / Low frequency(50Hz) / Silicon nitride / 最終保護膜 / シラン窒素混合ガス / 絶縁薄膜 / 室温プロセス / シリコン窒化膜 / デポジション / 低周波 / SiC Films / Thin Film Deposition / Plasma Reactor / Organic Silane / Mass Spectrometry / Optical Emission Spectroscopy / Plasma / RF プラズマ / SiC膜 / RFプラズマ / プラズマリアクタ / 有機シリコン / FT-IR / 質量分析 / 発光分光 / 高密度プラズマ / non-equilibrium plasma / laser-spectroscopy / modeling / vacuum-ultra-violet-light / lamp / excimer / レーザ分光診断 / モデリング / 真空紫外光 / ランプ / エキシマ / Unequilibrium plasma / Integrated circuit process / Silicon oxide film / Plasma (CVD) / TEOS+O_2 / 50HzプラズマCVD法 / Decomposition by UV / Electron attachment coefficient / Glow discharge / lonization coefficient / Decomposition by discharge / Nitrogen-dioxide / コロナ放電 / 紫外線分解 / グロー放電 / Passivation film / H_2+CH_4 mixture / Diamond thin film / Chemical vapor deposition / Amorphous carbon / アモルファスカ-ボン薄膜 / SiH_4+N_2混合ガス / プラズマ解離 / 13.56MHzRFプラズマCVD法 / RFプラズマCVD法 / 半導体低温プロセス / ダイヤモンド薄膜 / アモルファスカ-ボン膜 / CH_4+H_2混合ガス / 低周波プラズマCVD法 / radiation physics / environmental problem / electrical discharge / plasma coating / integrated circuit / gaseous electronics / 放射線科学 / 地球環境問題 / 放電 / プラズマコ-ティング / 大気環境問題 / 画像ディスプレイ / 気体レ-ザ- / 太陽電池 / 半導体IC / 気体エレクトロニクス / Dielectric Constant / Dielectric Material / Hydrophilic Gell / Water / Supercooling / Condenser For Energy Compression / Pulse Power / 電場・磁場効果 / スペ-サ効果 / 凍結温度 / 過冷却水 / 水コンデンサ- / 誘電率 / 誘電体 / 親水性ゲル / 水 / 過冷却 / エネルギ-圧縮用コンデンサ- / パルスパワ- / アルゴンフッ素混合液体 / 電子注入 / 希ガス液体 / レーザ光励起 / 液体エキシマレーザ / プロセシングプラズマ / 微細加工 / 拡散バリア材 / 集積回路 / TiN / GaAs / SiH_4 / SiOx膜 / ポリマー / 代替ガラス / 表面硬質 / 非加熱薄膜堆積 / 50HzプラズマCVD / SiH_4+N_2O / プラズマ、表面相互作用 / プラズマ、固体相互作用 / シ-ス / プラズマ・表面相互作用 / プラズマ・固体相互作用 / シース 隠す
  • 研究課題

    (32件)
  • 共同研究者

    (39人)
  •  高密度VHFプラズマによる薄膜堆積と質量分析、発光時空分光、赤外分光、同時診断

    • 研究代表者
      伊藤 秀範
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      室蘭工業大学
  •  地球環境問題を考慮した高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマCVD法による微細トレンチ内壁へのTiN膜低温形成基礎研究

    • 研究代表者
      下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  50HzプラズマCVDによるSiOx膜のGaAs表面保護膜低温形成基礎研究

    • 研究代表者
      下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  微粉体誘電体による気体(SF_6、空気)の絶縁耐力上昇機構に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低周波プラズマCVD法によるポリマー上へのSi0x膜低温堆積に関する基礎研究

    • 研究代表者
      下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  電子およびイオンスウオームの機構とその応用研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      北海道大学
  •  窒素酸化物のLID濃縮と放電分解に関する基礎研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低周波プラズマCVD(TEOS+O_2)によるシリコン酸化膜の低温形成プロセス開発

    • 研究代表者
      伊達 広行, 下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性プラズマの制御(とりまとめ)

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  プロセス用プラズマのシース

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      新居浜工業高等専門学校
      京都大学
  •  コロナ放電による窒素酸化物の分解に関する基礎研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衡プラズマのモデリング研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性プラズマの制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  気体エレクトロニクスー基礎過程とその応用ー

    • 研究代表者
      林 眞
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  低周波50HzプラズマCVD法によるカ-ボン薄膜の低温形成プロセスの開発

    • 研究代表者
      下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衝プラズマのモデリング研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性プラズマの制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  べーパーミストによる気体誘電体の絶縁耐力上昇機構に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  エネルギ-圧縮用水コンデンサ-の過冷却状態の生成と電気的特性に関する研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衡プラズマのモデリング研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性プラズマの制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  反応性プラズマの制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      総合研究(B)
    • 研究機関
      京都大学
  •  小型・高出力希ガス液体エキシマレーザの基礎研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  ベーパーミスト誘電体による電力機器絶縁に関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低周波プラズマCVDによるシリコン窒化膜の室温形成プロセスの開発

    • 研究代表者
      下妻 光夫
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  SF6-フロロカーボン混合ガス絶縁キュービクル(C-GIS)の絶縁条件の研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  SF6ガス絶縁キュビクル(GIC)の絶縁条件に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1983 – 1985
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  • 1.  酒井 洋輔 (20002199)
    共同の研究課題数: 14件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  下妻 光夫 (70041960)
    共同の研究課題数: 14件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  籏野 嘉彦 (90016121)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  菅原 広剛 (90241356)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  佐藤 信安 (20001290)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  金子 良松 (90001271)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  板谷 良平 (90025833)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  後藤 俊夫 (50023255)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  伊達 広行 (10197600)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  真壁 利明 (60095651)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  広瀬 全孝 (10034406)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  生田 信皓 (30035802)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  ピーター ヴェンツェック (80261329)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  大野 英男 (00152215)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  中村 義春 (90051763)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  北守 一隆 (40153134)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  菅野 卓雄 (50010707)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  佐藤 孝 (90048025)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  林 眞 (40024179)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  橘 邦英 (40027925)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  藤本 孝 (90026203)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  横澤 亜由美
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  武部 雅汎 (30005392)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  田畑 昌祥 (50091476)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  伊藤 秀範 (70136282)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  佐藤 孝紀 (50235339)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  堀池 靖浩 (20209274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  佐藤 徳芳 (40005252)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  山本 徹 (80261361)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  諸隈 之彦 (60051611)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  土手 敏彦 (20087422)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  近藤 敬一 (10043978)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  沢田 孝幸 (40113568)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  五十嵐 龍志
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  大森 義行
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  中神 芳武
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  中村 聡
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  鈴木 敬三
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  小川 岩雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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