神谷 庄司  KAMIYA Shoji

Journal of Material Science

巻: 57 号: 18 ページ: 8557-8566

10.1007/s10853-022-07055-5

Journal of Materials Science

巻: 57 ページ: 8557-8566

Sensors and Actuators A

巻: still unknown

Materials Letters

巻: 142 ページ: 130132-130132

Materials Letters

巻: 120 ページ: 236238-236238

Sensors and Actuators A

巻: 208 ページ: 30-36

Sensors and Actuators A

巻: 208 ページ: 3036-3036

Journal of Micromechanics and Microengineering

巻: 23

Journal of Micromechanics and Microengineering

巻: 23 ページ: 45008-45008

Proceedings　of　the　ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems

ページ: 73324-73324

ASME InterPACK 2013

Physica B

巻: 407 ページ: 3034-4037

Sensors and Actuators A

巻: 179 ページ: 251-262

10.1016/j.sna.2012.03.011

Sensors and Actuators A

巻: 179 ページ: 251-262

Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering

巻: 6 ページ: 10131029-10131029

130003323429

Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering

巻: 6 ページ: 1013-1029

130003323429

Physica B

巻: 407

Technical digest of the 24th IEEE conference on micro electro mechanical systems

ページ: 404-407

Technical digest of the 24th IEEE conference on micro electro mechanical systems

ページ: 432-435

Sensors and Actuators A

巻: 170 ページ: 187-195

Mater.Res.Soc.Symp.Proc.

巻: Vol.1245

Mater. Res. Soc. Symp. Proc

巻: Vol.1245 ページ: 17-2

Journal of Micromechanics and Microengineering 18

ページ: 95023-95023

日本機械学会東海支部第55期総会講演会講演論文集 063-1

ページ: 217-218

日本機械学会東海支部第55期総会講演会講演論文集 063-1

ページ: 217-218

日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 Vol.6

ページ: 263-264

日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 Vol.6

ページ: 261-262

日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 Vol.6

ページ: 263-264

日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 Vol.6

ページ: 261-262

Physica B

巻: (in press)