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栃谷 元  TOCHITANI Gen

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00264143
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1994年度 – 1996年度: 佐賀大学, 理工学部, 講師
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ理工学
研究代表者以外
プラズマ理工学
キーワード
研究代表者
発光空間構造 / 発光分光分析 / 光ファイバー / マグネトロンプラズマ
研究代表者以外
negative ion / annular slot antenna / ring-shaped permanent magnet / uniform plasma / high density plasma / large diameter plasma … もっと見る / 負イオン / リング状永久磁石 / 円環スロットアンテナ / 均一密度プラズマ / 高密度プラズマ / 大面積プラズマ 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 共同研究者

    (3人)
  •  光プローブを用いたプラズマ中ラジカル粒子の空間分布の観察研究代表者

    • 研究代表者
      栃谷 元
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  光ファイバーを用いたプラズマ発光空間構造解析システムの構築研究代表者

    • 研究代表者
      栃谷 元
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  大直径ウエハエッチング用円環スロットアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学
  • 1.  藤田 寛治 (10038086)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  大津 康徳 (50233169)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  生島 貴之
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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