右田真司 Migita Shinji

研究者番号	00358079
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, キャリアリサーチャー
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 総括研究主幹
審査区分/研究分野	研究代表者以外小区分26020:無機材料および物性関連 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
キーワード	研究代表者以外強誘電体 / 光学特性 / ドメインエンジニアリング / バンドエンジニアリング / 第二高調波 / 薄膜 / リラクサー / HfO2 / 急峻スイッチトランジスタ / 負性容量 / 急峻スロープトランジスタ / 分極ダイナミクス

強誘電体分極ダイナミクスを利用した急峻スイッチトランジスタの基盤技術構築
- 研究代表者
  
  徳光永輔
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
HfO2系強誘電体の分極揺らぎの制御による新奇物性の探索
- 研究代表者
  
  浅沼周太郎
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Perspective of ferroeletric-HfO2 materials for electron device applications2022
- 著者名/発表者名
  S. Migita
- 雑誌名
  
  2022 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
  
  巻: 2022 ページ: 22093154-22093154
- DOI
  10.1109/snw56633.2022.9889014
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[雑誌論文] Anomalous change of carrier transport property of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films in the first poling treatment2022
- 著者名/発表者名
  Morita Yukinori、Ota Hiroyuki、Migita Shinji
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SC ページ: SC1070-SC1070
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac48ce
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240, KAKENHI-PROJECT-20H02445
[雑誌論文] Enhancement of ferroelectricity in sputtered HZO thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment2022
- 著者名/発表者名
  Mohit、Wen Yuli、Hara Yuki、Migita Shinji、Ota Hiroyuki、Morita Yukinori、Ohdaira Keisuke、Tokumitsu Eisuke
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SH ページ: SH1004-SH1004
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac5a95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[雑誌論文] Thermal stability of ferroelectricity in hafnium?zirconium dioxide films deposited by sputtering and chemical solution deposition for oxide-channel ferroelectric-gate transistor applications2021
- 著者名/発表者名
  Mohit、Migita Shinji、Ota Hiroyuki、Morita Yukinori、Tokumitsu Eisuke
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 14 号: 4 ページ: 041006-041006
- DOI
  10.35848/1882-0786/abebf4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[雑誌論文] Accelerated ferroelectric phase transformation in HfO2/ZrO2 nanolaminates2021
- 著者名/発表者名
  Migita Shinji、Ota Hiroyuki、Asanuma Shutaro、Morita Yukinori、Toriumi Akira
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 14 号: 5 ページ: 051006-051006
- DOI
  10.35848/1882-0786/abfa75
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[雑誌論文] Impact of reduced pressure crystallization on ferroelectric properties in hafnium-zirconium dioxide films deposited by sputtering2021
- 著者名/発表者名
  Hara Yuki、Mohit、Murakami Tatsuya、Migita Shinji、Ota Hiroyuki、Morita Yukinori、Tokumitsu Eisuke
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 60 号: SF ページ: SFFB05-SFFB05
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac1250
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[雑誌論文] Investigation of the wake-up process and time-dependent imprint of Hf0.5Zr0.5O2 film through the direct piezoelectric response2021
- 著者名/発表者名
  Takada Kenshi、Murase Mikio、Migita Shinji、Morita Yukinori、Ota Hiroyuki、Fujimura Norifumi、Yoshimura Takeshi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 119 号: 3 ページ: 032902-032902
- DOI
  10.1063/5.0047104
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H05618, KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] 製膜後の最初の電界印加によって誘起されるHf0.5Zr0.5O2薄膜の伝導特性の変化および強誘電化2023
- 著者名/発表者名
  森田行則、女屋崇、浅沼周太郎、太田裕之、右田真司
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2023
- 著者名/発表者名
  右田真司、太田裕之、浅沼周太郎、森田行則、鳥海明
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Perspective of ferroelectric-HfO2 materials for electron device applications2022
- 著者名/発表者名
  S. Migita
- 学会等名
  2022 Silicon Nanoelectronics Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[学会発表] Transition of Ferroelectric and Antiferroelectric Properties in Atomic-Scale-Engineered HfO2 and ZrO2 Superlattice Films2022
- 著者名/発表者名
  Shinji Migita, Shutaro Asanuma, Yuta Saito, Yukinori Morita, and Hiroyuki Ota
- 学会等名
  International Microprocesses and Nanotechnology Conferences
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2022
- 著者名/発表者名
  右田真司
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[学会発表] Transition of Ferroelectric and Antiferroelectric Properties in Atomic-Scale-Engineered HfO2 and ZrO2 Superlattice Films2022
- 著者名/発表者名
  S. Migita
- 学会等名
  International Microprocesses and Nanotechnology Conferences
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[学会発表] ポーリング処理前後における強誘電性Hf0.5Zr0.5O2薄膜の不可逆的な伝導特性変化2022
- 著者名/発表者名
  森田行則、太田裕之、右田真司
- 学会等名
  第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT27)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] 正圧電応答顕微鏡法によるHfO2薄膜の分極ドメイン構造の観察2022
- 著者名/発表者名
  萩原拓永, 森田行則, 太田裕之, 右田真司, 藤村紀文, 吉村武
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] HfO2-ZrO2 Laminate構造が強誘電相生成をアシストするメカニズム2022
- 著者名/発表者名
  右田真司
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02445
[学会発表] HfO2-ZrO2 Laminate構造か強誘電相生成をアシストするメカニズム2022
- 著者名/発表者名
  右田真司、森田行則、浅沼周太郎、太田裕之、齊藤雄太
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Perspective of ferroelectric-HfO2 materials for electron device applications2022
- 著者名/発表者名
  Shinji Migita
- 学会等名
  2022 Silicon Nanoelectronics Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] 原子状水素処理を用いたスパッタHf-Zr-O膜の強誘電特性改善2022
- 著者名/発表者名
  徳光永輔、モヒート、文昱力、原佑樹、右田真司、太田裕之、森田行則、大平圭介
- 学会等名
  第19回Cat-CVD研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] スパッタHf-Zr-O膜における強誘電性の安定性向上2021
- 著者名/発表者名
  原　佑樹,　モヒート,　右田　真司 ,　太田裕之,　森田裕史,　徳光永輔
- 学会等名
  第38回強誘電体会議
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Enhancement of ferroelectricity in sputtered hafnium-zirconium oxide thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment2021
- 著者名/発表者名
  Mohit, Yuli Wen, Yuki Hara, Shinji Migita, Hiroyuki Ota, Yukinori Morita, Keisuke Ohdaira and Eisuke Tokumitsu
- 学会等名
  2021 International Wiorkshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Comparison of electrical properties of indium-tin-oxide channel ferroelectric-gate thin film transistors using solution processed and sputtered Hf-Zr-O2021
- 著者名/発表者名
  Mohit, Shinji Migita, Hiroyuki Ota, Yukinori Morita and Eisuke Tokumitsu
- 学会等名
  2021 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Carrier Transport properties of Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films in Poling Treatment2021
- 著者名/発表者名
  Yukinori Morita, Hiroyuki Ota, Shinji Migita
- 学会等名
  2021 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Fabrication of ferroelectric gate thin film transistors using CSD Y-HZO and sputtered HZO with sputtered ITO channel2021
- 著者名/発表者名
  Mohit, Shinji Migita, Hiroyuki Ota, Yukinori Morita, Eisuke Tokumitsu
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] 強誘電体薄膜Hf0.5Zr0.5O2およびHfO2の強誘電特性の比較2020
- 著者名/発表者名
  森田行則、太田裕之、右田真司
- 学会等名
  2020年日本表面真空学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240
[学会発表] Robustness of Ferroelectricity in Hafnium- Zirconium Dioxide Films Deposited By Sputtering and Chemical Solution Deposition for Ferroelectric Transistor Applications2020
- 著者名/発表者名
  Mohit, S. Migita, H. Ota, Y. Morita, and E. Tokumitsu
- 学会等名
  PRiME (Pacific Rim Meeting on Electrochemical & Solid State Science) 2020
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00240

1. 森田行則 (60358190)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 19件
2. 太田裕之 (70356640)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 8件
3. 徳光永輔 (10197882)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
4. 浅沼周太郎 (30409635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
5. 藤村紀文 (50199361)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
6. 武貞正樹 (30311434)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 齊藤雄太 (50738052)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 吉村武

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

右田 真司 Migita Shinji

研究課題

研究成果

共同研究者

強誘電体分極ダイナミクスを利用した急峻スイッチトランジスタの基盤技術構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

HfO2系強誘電体の分極揺らぎの制御による新奇物性の探索

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Perspective of ferroeletric-HfO2 materials for electron device applications2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Anomalous change of carrier transport property of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films in the first poling treatment2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Enhancement of ferroelectricity in sputtered HZO thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Thermal stability of ferroelectricity in hafnium?zirconium dioxide films deposited by sputtering and chemical solution deposition for oxide-channel ferroelectric-gate transistor applications2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Accelerated ferroelectric phase transformation in HfO2/ZrO2 nanolaminates2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Impact of reduced pressure crystallization on ferroelectric properties in hafnium-zirconium dioxide films deposited by sputtering2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Investigation of the wake-up process and time-dependent imprint of Hf0.5Zr0.5O2 film through the direct piezoelectric response2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] 製膜後の最初の電界印加によって誘起されるHf0.5Zr0.5O2薄膜の伝導特性の変化および強誘電化2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Perspective of ferroelectric-HfO2 materials for electron device applications2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Transition of Ferroelectric and Antiferroelectric Properties in Atomic-Scale-Engineered HfO2 and ZrO2 Superlattice Films2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Transition of Ferroelectric and Antiferroelectric Properties in Atomic-Scale-Engineered HfO2 and ZrO2 Superlattice Films2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] ポーリング処理前後における強誘電性Hf0.5Zr0.5O2薄膜の不可逆的な伝導特性変化2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 正圧電応答顕微鏡法によるHfO2薄膜の分極ドメイン構造の観察2022

右田真司 Migita Shinji