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右田 真司  ミギタ シンジ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00358079
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 総括研究主幹
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 総括研究主幹
審査区分/研究分野
研究代表者以外
小区分26020:無機材料および物性関連 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
キーワード
研究代表者以外
強誘電体 / 光学特性 / ドメインエンジニアリング / バンドエンジニアリング / 第二高調波 / 薄膜 / リラクサー / HfO2 / 急峻スイッチトランジスタ / 負性容量 / 急峻スロープトランジスタ / 分極ダイナミクス
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (10件)
  • 共同研究者

    (7人)
  •  強誘電体分極ダイナミクスを利用した急峻スイッチトランジスタの基盤技術構築

    • 研究代表者
      徳光 永輔
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  HfO2系強誘電体の分極揺らぎの制御による新奇物性の探索

    • 研究代表者
      浅沼 周太郎
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分26020:無機材料および物性関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて 学会発表

  • [学会発表] 製膜後の最初の電界印加によって誘起されるHf0.5Zr0.5O2薄膜の伝導特性の変化および強誘電化2023

    • 著者名/発表者名
      森田行則、女屋崇、浅沼周太郎、太田裕之、右田真司
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2023

    • 著者名/発表者名
      右田真司、太田裕之、浅沼周太郎、森田行則、鳥海明
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] 正圧電応答顕微鏡法によるHfO2薄膜の分極ドメイン構造の観察2022

    • 著者名/発表者名
      萩原 拓永, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 藤村 紀文, 吉村 武
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] HfO2-ZrO2 Laminate構造が強誘電相生成をアシストするメカニズム2022

    • 著者名/発表者名
      右田真司
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02445
  • [学会発表] HfO2-ZrO2 Laminate構造か強誘電相生成をアシストするメカニズム2022

    • 著者名/発表者名
      右田真司、森田行則、浅沼周太郎、太田裕之、齊藤雄太
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] HfO2-ZrO2 Nanolaminate構造における強誘電相の生成促進2022

    • 著者名/発表者名
      右田真司
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02445
  • [学会発表] ポーリング処理前後における強誘電性Hf0.5Zr0.5O2薄膜の不可逆的な伝導特性変化2022

    • 著者名/発表者名
      森田行則、太田裕之、右田真司
    • 学会等名
      第27回 電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT27)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] 原子状水素処理を用いたスパッタHf-Zr-O膜の強誘電特性改善2022

    • 著者名/発表者名
      徳光永輔、モヒート、文 昱力、原 佑樹、右田真司、太田裕之、森田行則、大平圭介
    • 学会等名
      第19回Cat-CVD研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] スパッタHf-Zr-O膜における強誘電性の安定性向上2021

    • 著者名/発表者名
      原 佑樹, モヒート, 右田 真司 , 太田 裕之, 森田 裕史, 徳光 永輔
    • 学会等名
      第38回強誘電体会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • [学会発表] 強誘電体薄膜Hf0.5Zr0.5O2およびHfO2の強誘電特性の比較2020

    • 著者名/発表者名
      森田行則、太田裕之、右田真司
    • 学会等名
      2020年日本表面真空学会 学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00240
  • 1.  森田 行則 (60358190)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 8件
  • 2.  太田 裕之 (70356640)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 8件
  • 3.  徳光 永輔 (10197882)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 4.  浅沼 周太郎 (30409635)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  藤村 紀文 (50199361)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 6.  武貞 正樹 (30311434)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  齊藤 雄太 (50738052)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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