伊東聡 Ito So

研究者番号	00624818
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 富山県立大学, 情報工学部, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2020年度 – 2023年度: 富山県立大学, 工学部, 准教授 2019年度: 東北大学, 工学研究科, 助教 2017年度 – 2018年度: 富山県立大学, 工学部, 准教授 2015年度 – 2016年度: 東北大学, 工学研究科, 助教 2012年度 – 2015年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2014年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 2012年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード	研究代表者マイクロプローブ / 計測工学 / 超精密計測 / マイクロスリット / マイクロノズル / 寸法計測 / ナノメトロロジー / 自動化 / 光応用計測 / 三次元計測 … もっと見る / きさげ / 斜入射干渉計 / micro-CMM / CMM / 三次元測定 / 校正 / 回転基準球 / 機械工作・生産工学 / メトロロジー / スロットダイ / 実時空間校正 / 精密位置決め / 寸法測定 / マイクロCMM / 表面・界面物性 / 全方位検出 / 接触検出 / 形状計測 / 微小球 / ナノピペット / スタイラス / プロービング / シェアフォース … もっと見る研究代表者以外超精密計測 / 加工学 / 生産工学 / 角度センサ / 超解像技術 / 折り返し雑音 / 超解像度 / サンプリング / ナイキスト周波数 / 同時サンプリング / 超解像度技術 / サンプリング定理 / 折返し雑音 / エイリアシング / フェムト秒レーザ / 加工計測 / 精密位置決め / 分解能 / 反射格子 / 感度 / フォトダイオード / レーザ / アッべ誤差 / アッベ誤差 / センサ / 光 / 超高感度 / ステージ / 誤差 / 角度 / 計測 / 超精密位置決め / 回折格子 / 多軸角度計測 / 3軸レーザオートコリメータ隠す

近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測研究代表者
- 研究代表者
  
  伊東聡
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  富山県立大学
回転基準球を用いたマイクロプローブ三次元形状のナノ精度その場校正に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  伊東聡
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  富山県立大学
多チャンネル同期サンプリングによる超解像度技術に関する研究
- 研究代表者
  
  神谷和秀
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  富山県立大学
ツインマイクロプローブの非接触高速走査と実時空間校正による長尺微小溝幅の絶対計測研究代表者
- 研究代表者
  
  伊東聡
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  富山県立大学
   東北大学
超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
２軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
マイクロ液柱の自律形成を利用した高感度検出プローブよる3次元形状計測に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  伊東聡
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
次世代超精密移動ステージ角度誤差計測用高精度３軸レーザオートコリメータの研究
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
全方位高感度検出型ナノピペットプローブの開発と微小開口の内部形状測定に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  伊東聡
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学

[図書] Bilingual edition 精密計測学 Precision Metrology2024
- 著者名/発表者名
  高偉．清水裕樹，水谷康弘，道畑正岐，河野大輔，吉田一朗，伊東聡，清水浩貴
- 総ページ数
  192
- 出版者
  朝倉書店
- ISBN
  9784254201789
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[図書] Precision Manufacturing. Metrology2019
- 著者名/発表者名
  So Ito
- 総ページ数
  39
- 出版者
  Springer
- ISBN
  9789811049125
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[図書] (Book chapter) Handbook of Manufacturing, "Chapter 10"2019
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, and Wei Gao
- 総ページ数
  28
- 出版者
  World Scientific
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[図書] (Book chapter) 機械設計「精密位置決めにおける多軸センサの活用」2016
- 著者名/発表者名
  伊東聡，清水裕樹，高偉
- 総ページ数
  6
- 出版者
  日刊工業新聞社
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[図書] (Book chapter) 機械技術「高機能高速工具サーボによる3次元微細形状加工技術のイノベーション」2016
- 著者名/発表者名
  清水裕樹, 陳遠流, 盧泳辰, 伊東聡, 高偉
- 総ページ数
  5
- 出版者
  日刊工業新聞社
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[図書] (Book chapter) 機械の研究「長ストロークステージ向けの精密姿勢角センサの開発」2016
- 著者名/発表者名
  清水裕樹, 石川龍弥, 片岡智史, 陳遠流, 伊東聡, 高偉
- 総ページ数
  7
- 出版者
  養賢堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[図書] (Book chapter) 自動化推進「光学式超精密多軸位置決めセンサ」2015
- 著者名/発表者名
  高偉, 清水裕樹, 伊東聡, 陳遠流
- 総ページ数
  24
- 出版者
  JAAA自動化推進協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[図書] (Chapter) 精密位置決めセンサの基礎と最新技術2015
- 著者名/発表者名
  伊東聡，高偉
- 総ページ数
  6
- 出版者
  Interlab
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[図書] (Chapter) 精密位置決めのための角度センサ活用2014
- 著者名/発表者名
  清水裕樹，伊東聡，高偉
- 総ページ数
  7
- 出版者
  日刊工業新聞
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Investigation of probing repeatability inside a micro-hole by changing probe approach direction for a local surface interaction force detection type microprobe2023
- 著者名/発表者名
  Aruga Masakazu、Ito So、Kato Daichi、Matsumoto Kimihisa、Kamiya Kazuhide
- 雑誌名
  
  Frontiers in Manufacturing Technology
  
  巻: 3 ページ: 01-10
- DOI
  10.3389/fmtec.2023.1104742
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[雑誌論文] Expansion of measurement area of hand-scraped surface using stitching method for oblique-incident interferometer2023
- 著者名/発表者名
  ARUGA Masakazu、ITO So、TSUGAWA Fuma、MATSUMOTO Kimihisa、KAMIYA Kazuhide
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 17 号: 1 ページ: JAMDSM0010-JAMDSM0010
- DOI
  10.1299/jamdsm.2023jamdsm0010
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[雑誌論文] Preparation of undecanoic acid-terminated Si particles from rice husks2022
- 著者名/発表者名
  Matsumoto Kimihisa、Kamiya Kazuhide、Ito So、Yasuda Hidehiro
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SB ページ: SB1009-SB1009
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac2e7c
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[雑誌論文] Design and Development of Oblique-Incident Interferometer for Form Measurement of Hand-Scraped Surfaces2021
- 著者名/発表者名
  Ito So、Kameoka Daiki、Matsumoto Kimihisa、Kamiya Kazuhide
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 69-76
- DOI
  10.1007/s41871-020-00089-w
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[雑誌論文] An ultra-precision tool nanoindentation instrument for replication of single point diamond tool cutting edges2018
- 著者名/発表者名
  Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 29 号: 5 ページ: 054004-054004
- DOI
  10.1088/1361-6501/aaa913
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] An edge reversal method for precision measurement of cutting edge radius of single point diamond tools2017
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 50 ページ: 380-387
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2017.06.012
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Surface Profile Measurement of Micro-Optics by Using a Long Stroke Atomic Force Microscope2017
- 著者名/発表者名
  So Ito, Min-Lei Li, Zhi-Gang Jia, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 870 ページ: 102-107
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[雑誌論文] Optical frequency domain angle measurement in a femtosecond laser autocollimator2017
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Jun Tamada, Yukitoshi Kudo, Shuhei Madokoro, Kazuki Nakamura and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 25 号: 14 ページ: 16725-16738
- DOI
  10.1364/oe.25.016725
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Precision Measurement of Z -Slide Vertical Error Motion of an Ultra-Precision Lathe by Using Three-probe Method2017
- 著者名/発表者名
  Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Daiki Matsuura, Jung Chul Lee, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Jeong Seok Oh and Chun Hong Park
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 18 号: 5 ページ: 651-660
- DOI
  10.1007/s12541-017-0078-4
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement2017
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Precision Engieering
  
  巻: 47 ページ: 72-80
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2016.07.006
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Auto-tracking single point diamond cutting on non-planar brittlematerial substrates by a high-rigidity force controlled fast tool servo2017
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: In press ページ: 253-261
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2017.02.014
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
[雑誌論文] Influences of misalignment errors of optical components in an orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer2016
- 著者名/発表者名
  YUKI SHIMIZU, RYO AIHARA, ZONGWEI REN, YUAN-LIU CHEN, SO ITO, AND WEI GAO
- 雑誌名
  
  Optics EXPRESS
  
  巻: 24 号: 24 ページ: 27521-27535
- DOI
  10.1364/oe.24.027521
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Determination of the zero-position for an optical angle sensor2016
- 著者名/発表者名
  Jun TAMADA, Yukitoshi KUDO, Yuan-Liu CHEN, Yuki SHIMIZU and Wei GAO
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0072-JAMDSM0072
- DOI
  10.1299/jamdsm.2016jamdsm0072
- NAID
  130005266534
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-24226004
[雑誌論文] Ductile cutting of silicon microstructures with surface inclination measurement and　compensation by using a force sensor integrated single point diamond tool2016
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Bing-Feng Ju
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  巻: 26 号: 2 ページ: 025002-025002
- DOI
  10.1088/0960-1317/26/2/025002
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
[雑誌論文] On-machine measurement of microtool wear and cutting edge chipping by using a diamond edge artifact2016
- 著者名/発表者名
  Y. L. Chen, Y. Cai, Y. Shimizu, S. Ito, W. Gao, B. F. Ju
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 43 ページ: 462-467
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.09.011
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
[雑誌論文] A highly stable noncontact SPM for surface profile measurement and its application to insulating samples2016
- 著者名/発表者名
  Shigeaki GOTO, Minglei LI, So ITO, Yuki SHIMIZU and Wei GAO
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0081-JAMDSM0081
- DOI
  10.1299/jamdsm.2016jamdsm0081
- NAID
  130005266667
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Molecular dynamics simulation of subnanometric tool-workpiece contact on a force sensor-integrated fast tool servo for ultra-precision microcutting2016
- 著者名/発表者名
  Y. Cai, Y. L. Chen, Y. Shimizu, S. Ito, W. Gao
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science
  
  巻: 369 ページ: 354-365
- DOI
  10.1016/j.apsusc.2016.02.046
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
[雑誌論文] A Micro-Coordinate Measurement Machine (CMM) for Large-Scale Dimensional Measurement of Micro-Slits2016
- 著者名/発表者名
  So Ito, Hirotaka Kikuchi, Yuanliu Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi
- 雑誌名
  
  Applied Sciences
  
  巻: 6 号: 5 ページ: 156-156
- DOI
  10.3390/app6050156
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[雑誌論文] Mode-locked laser autocollimator with an expanded measurement range2016
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, So Ito and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Optics EXPRESS
  
  巻: 24 号: 14 ページ: 15554-15569
- DOI
  10.1364/oe.24.015554
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Molecular dynamics simulation of elastic?plastic deformation associated with tool?workpiece contact in force sensor?integrated fast tool servo2016
- 著者名/発表者名
  Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Journal of Engineering Manufacture, Proc IMechE Part B.
  
  巻: - 号: 11 ページ: 1-10
- DOI
  10.1177/0954405416673116
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
[雑誌論文] Investigation on the three-dimensional light intensity distribution of the fringe patterns generated by a modified two-axis Lloyd's mirror interferometer2016
- 著者名/発表者名
  Yindi CAI, Xinghui LI, Ryo AIHARA, Ren ZONGWEI, Yuki SHIMIZU, So ITO and Wei GAO
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0080-JAMDSM0080
- DOI
  10.1299/jamdsm.2016jamdsm0080
- NAID
  130005266659
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for measurement of stage tilt motions2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, Siew Leng Tan, Dai Murata, Taiji Maruyama, So Ito, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 24 号: 3 ページ: 2788-2805
- DOI
  10.1364/oe.24.002788
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[雑誌論文] Uncertainty analysis of slot die coater gap width measurement by using a shear mode micro-probing system2016
- 著者名/発表者名
  So Ito, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 43 ページ: 525-529
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.09.016
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018, KAKENHI-PROJECT-16K05999
[雑誌論文] Design of a Laser Autocollimator-based Optical Sensor with a Rangefinder for Error Correction of Precision Slide Guideways2015
- 著者名/発表者名
  Siew Leng Tan, Yuki Shimizu, Takayuki Meguro, So Ito, and Wei Gao
- 雑誌名
  
  INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING
  
  巻: 16-3 号: 3 ページ: 423-431
- DOI
  10.1007/s12541-015-0058-5
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Measurement of six-degree-of-freedom planar motions by using a multiprobe surface encoder2014
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Yindi Cai, So Ito, and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Optical Engineering, 53(12), 122405.
  
  巻: 53
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Development of a probing system for micro-CMM by utilizing shear-force detection2014
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: Vol.25 号: 6 ページ: 064011-064011
- DOI
  10.1088/0957-0233/25/6/064011
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] A micro optical probe for edge contour evaluation of diamond cutting tools2014
- 著者名/発表者名
  S.H. Jang, Y. Shimizu, S. Ito and W. Gao
- 雑誌名
  
  Journal of Sensors and Senosr Systems
  
  巻: 3 ページ: 69-76
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Measurement of Cutting Edge Width of a Rotary Cutting Tool by Using a Laser Displacement Sensor2014
- 著者名/発表者名
  So Ito, Sho Sekine, Yuki Shimizu, Wei Gao, Tsutomu Fukuda, Akira Kato, Kouji Kubota
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: Vol.8, No. 1 ページ: 28-33
- NAID
  130007673916
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Measurement of Cutting Edge Width of a Rotary Cutting Tool by Using a Laser Displacement Sensor2014
- 著者名/発表者名
  So Ito, Sho Sekine, Yuki Shimizu, Wei Gao, Tsutomu Fukuda, Akira Kato and Kouji Kubota
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 28-33
- NAID
  130007673916
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Design and testing of a four-probe optical sensor head for three-axis surface encoder with a mosaic scale grating2014
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Xinghui Li, WooJae Kim and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 25 号: 9 ページ: 094002-094002
- DOI
  10.1088/0957-0233/25/9/094002
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] A two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-dimensional diffraction gratings2014
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 63 号: 1 ページ: 461-464
- DOI
  10.1016/j.cirp.2014.02.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Three-axis vibration measurement by using a grating-interferometric vibrometer2014
- 著者名/発表者名
  So Ito, Ryo Aihara, Woo Jae Kim, Yuki Shimizu and Wei Gao
- 雑誌名
  
  Advanced Optical Technologies
  
  巻: 3 号: 4 ページ: 435-440
- DOI
  10.1515/aot-2014-0028
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] A six-degree-of-freedom surface encoder for precision positioning of a planar motion stage2013
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Wei Gao, Hiroshi Muto, Yuki Shimizu, So Ito, Songyi Dian
- 雑誌名
  
  Precision Engineering,
  
  巻: 37 ページ: 771-781
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] An Electrostatic Force Probe for Surface Profile Measurement in Noncontact Condition2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu, Gaofa He and Wei Gao
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 7 ページ: 714-419
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Characterization of Electrostatic Force for Scanning Electrostatic Force Microscopy of Micro-structured Surface2013
- 著者名/発表者名
  Zhigang Jia, So Ito, Keiichiro Hosobuchi, Shigeaki Goto, Yuki Shimizu, Gaofa He, Wei Gao
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: Vol. 14 号: 9 ページ: 1543-1549
- DOI
  10.1007/s12541-013-0208-6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656093, KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Precision tool setting for fabrication of a microstructure array2013
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yuan-Liu Chen, Kang-Won Lee, Young-Jin-Noh, Yuki Shimizu, So Ito
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 62 ページ: 523-526
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Fabrication of Scale Gratings for Surface Encoders by Using Laser Interference Lithography with 405 nm Laser Diodes2013
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
- 雑誌名
  
  INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING,
  
  巻: 14 ページ: 1979-1988
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[雑誌論文] Construction and verification of a linear-rotary micro-stage with a millimeter-scale range2013
- 著者名/発表者名
  Yuxin Peng, So Ito, Yasumasa Sakurai, Yuki Shimizu, and Wei Gao
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 14 号: 9 ページ: 1623-1628
- DOI
  10.1007/s12541-013-0219-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Improvement of an air-bearing displacement sensor with nanometric resolution2012
- 著者名/発表者名
  So Ito, Kang-Won Lee, Yuki Shimizu, Wei Gao
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 945-950
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.945
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[雑誌論文] Development of a Self-Sensing probe for Local Depositions in Liquid Condition
- 著者名/発表者名
  So Ito and Futoshi Iwata
- 雑誌名
  
  International Journal of Nanomanufacturing
  
  巻: (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[産業財産権] 絶対角測定装置及び絶対角測定方法2014
- 発明者名
  清水裕樹，高偉，伊東聡，工藤幸利
- 権利者名
  清水裕樹，高偉，伊東聡，工藤幸利
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2014-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] 形状偏差の自律的測定を導入したCMMプローブ球の精密測定2024
- 著者名/発表者名
  津田樹，伊東聡，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季学術講演会第31回「学生会員卒業研究発表講演会」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 近赤外線光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ面の表面形状測定2024
- 著者名/発表者名
  山岸巧，伊東聡，宮本大輝，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季学術講演会第31回「学生会員卒業研究発表講演会」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] マイクロプローブ球直径の精密計測法の比較2024
- 著者名/発表者名
  犬飼大地, 伊東聡, 富岡剛大, 松本公久, 神谷和秀
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季学術講演会第31回「学生会員卒業研究発表講演会」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測－第2報　精密ゲージを用いた直径及び形状偏差計測との比較－2024
- 著者名/発表者名
  富岡剛大，伊東聡，犬飼大地，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 表面相互作用力検出型マイクロプローブによる精密微細穴内部の非破壊計測2023
- 著者名/発表者名
  犬飼大地，伊東聡, 富岡剛大, 松本公久, 神谷和秀
- 学会等名
  2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 回転基準器によるCMMプローブ形状誤差のその場測定2023
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  測定計測展2023，精密測定機器、座標測定機セミナー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 法線方向プロービングを用いた微細穴内径の精密計測2023
- 著者名/発表者名
  伊東聡，有賀正和，富岡剛大，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測2023
- 著者名/発表者名
  富岡剛大，伊東聡，犬飼大地，松本公久，神谷和秀，片岡智史
- 学会等名
  2023年度精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 近赤外線レーザを用いた斜入射干渉計によるきさげ加工面の形状測定2023
- 著者名/発表者名
  山岸巧，伊東聡，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] Form error measurement of CMM probe tip ball based on interpolation method2023
- 著者名/発表者名
  So Ito, Daisuke Yamashita, Shiori Toyomoto, Kouki Tsuchida, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya
- 学会等名
  The 15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 形状偏差の自律的測定を導入したCMMプローブを用いた5軸加工機の加工精度評価2023
- 著者名/発表者名
  津田樹，伊東聡，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球測定の不確かさ評価2023
- 著者名/発表者名
  富岡剛大，伊東聡，犬飼大地，松本公久，神谷和秀，片岡智史
- 学会等名
  2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03606
[学会発表] 反転法の考え方を導入したプローブ先端球の形状誤差測定2022
- 著者名/発表者名
  土田昂季，伊東聡，豊本栞，有賀正和，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  第14回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 表面相互作用力検出型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定第2報　プローブ接近方向によるプロービング精度変化の検証2022
- 著者名/発表者名
  有賀正和，伊東聡，富岡剛大，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 斜入射干渉計によるきさげ加工面のマイクロ表面形状の測定2022
- 著者名/発表者名
  伊東聡，有賀正和，津川楓馬
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 回転基準球を用いたCMMプローブ先端球の形状測定第2報　真円度測定機との比較による算出原理の検証2022
- 著者名/発表者名
  伊東聡，山下大輔，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection2022
- 著者名/発表者名
  Masakazu Aruga, So Ito, Takehiro Tomioka, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya
- 学会等名
  The 19th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] マイクロプローブを用いたレーザ加工微細穴内部の三次元計測2022
- 著者名/発表者名
  有賀正和，伊東聡，富岡剛大，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  第14回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 表面相互作用力検出型マイクロプローブを用いた微細穴内部の三次元測定に関する研究2021
- 著者名/発表者名
  有賀正和，伊東聡，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2021年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] エイリアシングを活用したサンプリング定理の拡張2021
- 著者名/発表者名
  仁科友輔，神谷和秀，伊東聡，松本公久
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04210
[学会発表] Preparation of undecenoic-acid-terminated Si nanocrystals from rice husks2021
- 著者名/発表者名
  Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito, Hidehiro Yasuda
- 学会等名
  The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 小型斜入射干渉計の導入によるきさげ加工面の精密測定に関する研究2021
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2021 (OPJ2021)
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] きさげ面および微細穴の知的センシング2021
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  公益社団法人砥粒加工学会未来志向形精密加工工具の開発に関する専門委員会 (FT専門委員会) 第38回オンライン研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 表面相互作用力検出型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定2021
- 著者名/発表者名
  伊東聡，加藤大智，有賀正和，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] Evaluation of characteristics of microprobing system using detection of surface interaction force2021
- 著者名/発表者名
  So Ito, Daichi Kato, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya
- 学会等名
  The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] The study of wide-range measurement of the hand-scraped surface plate using a stitching method2021
- 著者名/発表者名
  Masakazu Aruga, So Ito, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya
- 学会等名
  The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 回転基準球を用いたCMMプローブ先端形状の精密計測　(第1報)　―内挿法を用いた形状誤差分離の高精度化に関する検証―2020
- 著者名/発表者名
  山下大輔，伊東聡，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] スティッチング処理を用いたきさげ加工面の広範囲測定に関する研究2020
- 著者名/発表者名
  有賀正和，伊東聡，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季学術講演会第28回「学生会員卒業研究発表講演会」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 表面相互作用力検出型マイクロプローブを用いた微小開孔の内径測定に関する研究2020
- 著者名/発表者名
  伊東聡，加藤大智，上野貴也，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2020年度精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] ピンゲージを用いたマイクロプローブ先端形状の測定2020
- 著者名/発表者名
  上野貴也，伊東聡，加藤大智，松本公久，神谷和秀
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] きさげ面形状測定のための斜入射干渉計の開発2020
- 著者名/発表者名
  伊東聡，亀岡大貴，有賀正和，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2020年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 回転基準球を用いたCMMプローブ先端球の形状測定 -第1報　内挿法の導入による形状復元の検証-2020
- 著者名/発表者名
  伊東聡，山下大輔，神谷和秀，松本公久
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe2020
- 著者名/発表者名
  Daichi Kato, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto
- 学会等名
  18th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] Uncertainty evaluation of form error measurement of probe tip ball using a rotating reference sphere2020
- 著者名/発表者名
  So Ito, Daichi Kato, Daisuke Tsutsumi, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto
- 学会等名
  18th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04195
[学会発表] 回転基準球を用いたCMMプローブ先端球直径の精密計測に関する研究2019
- 著者名/発表者名
  伊東聡，堤大輔，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] Development of a microprobe using a detection of surface interaction force2018
- 著者名/発表者名
  Yusuke Shima, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] Uncertainty analysis of slot die coater gap width measurement by using a shear mode microprobing system2018
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  2018年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] 回転基準球を用いたCMMプローブの直径の自律的な精密計測に関する研究2018
- 著者名/発表者名
  堤大輔，島由丞，伊東聡，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆
- 学会等名
  2018年度精密工学会北陸居信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] せん断力検出型マイクロプローブに働く表面相互作用力に関する研究2018
- 著者名/発表者名
  伊東聡，神谷和秀，松本公久，高偉
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] Study for multiaxial microprobing system based on the detection a local surface interaction force2018
- 著者名/発表者名
  So ITO, Yusuke SHIMA, Kimihisa MATSUMOTO, Kazuhide KAMIYA
- 学会等名
  The 8th International Conference on Positioning Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] Surface form measurement of a small roll workpiece2017
- 著者名/発表者名
  Toshiki Saito, Yuki Machida, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
- 学会等名
  The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Study for the adhesion force of a microprobing system with the shear-mode detection2017
- 著者名/発表者名
  So Ito, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao
- 学会等名
  13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] せん断力検出型マイクロプローブによるマイクロ構造の精密寸法計測2017
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  2017年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] マイクロプローブのその場校正法を用いたマイクロスリット溝幅の精密測定2017
- 著者名/発表者名
  伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，小林遼，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2017年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] Diamond cutting of brittle materials on inclined surfaces based on a thrust force controlled cutting strategy2016
- 著者名/発表者名
  Yuan-Liu Chen, K. Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
- 学会等名
  The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
- 発表場所
  University of Macau, Macau, China
- 年月日
  2016-08-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Measurement of the Repetition Rate　Stability of a Mode-Locked Laser2016
- 著者名/発表者名
  楊紹青，陳遠流，伊東総，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Measurement of the Gap Width of the Slot Die Coater by Using a Shear-mode Detection Micro-probe2016
- 著者名/発表者名
  1So Ito, Hirotaka Kikuchi, YuanLiu Chen, Yuki Shimizu, Gao Wei
- 学会等名
  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
- 発表場所
  宮城県松島町　ホテル松島大観荘
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] 低測定力測定機を用いた工具刃先の形状測定に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  渡邉佑，高偉，清水裕樹，伊東聡，山本泰河，金山利彦
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Measurement of the Optical Frequency Stability of a Mode-Locked Laser2016
- 著者名/発表者名
  Shaoqing YANG, Yuan-liu CHEN, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] せん断力検出型マイクロプローブによる三次元精密計測に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  伊東聡
- 学会等名
  第44回計測分科会年会，2016年度計測分科会形状計測研究会
- 発表場所
  香川県高松市　サンポートホール高松
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] スロットダイコーターの精密計測に関する研究　　第2報マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築‐2016
- 著者名/発表者名
  伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学，千葉県野田市
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] Profile Measurement of a Micro Cutting Edge by using a Contact-type Stylus Probe with Low Measuring Force2016
- 著者名/発表者名
  Yu WATANABE, Sho SEKINE, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO, Taiga YAMAMOTO, Toshihiko KANAYAMA
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 2軸ロイドミラー干渉計による回折格子製作に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  真野和樹，相原涼，李星輝，伊東聡，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] A Long Stroke Atomic Force Microscope for Surface Profile Measurement of Micro-optics2016
- 著者名/発表者名
  So ITO, Minglei LI, Yuanliu CHEN, Yanhao XU, Zengyuan NIU, Masaya FURUTA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] シングルセル受光素子を用いた光学式角度センサの高感度化に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  間所周平，丸山泰司，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Molecular dynamics simulation of scanning process in Atomic Force Microscope form measurement2016
- 著者名/発表者名
  Y.D. Cai, Y.L. Chen, Yuki Shimizu, So Ito and W. Gao
- 学会等名
  The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
- 発表場所
  University of Macau, Macau, China
- 年月日
  2016-08-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Profile measurement of a steep slope surface by using a long　stroke scanning probe microscope2016
- 著者名/発表者名
  徐延昊，陳遠流，伊東総，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] スロットダイコーターの精密計測に関する研究 ‐第3 報マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価‐2016
- 著者名/発表者名
  伊東聡，菊地浩貴，小林遼，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城県水戸市　茨城大学
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] An optical configuration for the Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of gratings having symmetrical profiles2016
- 著者名/発表者名
  任宗偉，相原涼，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Development of precision length measurement system using a micro-probe for micro-slit of the slot die coater2016
- 著者名/発表者名
  So Ito, Yuanliu Chen, Hirotaka Kikuchi, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  静岡県浜松市　アクトシティー浜松
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
- 学会等名
  日本機械学会2016年度年次大会
- 発表場所
  福岡県福岡市　九州大学
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] 光周波数コム光源を用いた光学式センサに関する研究2016
- 著者名/発表者名
  上原健太郎，工藤幸利，陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Analysis of a Lloyd's Mirror Interferometer for Fabrication of Gratings2016
- 著者名/発表者名
  Zongwei REN, Ryo AIHARA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Yuan-Liu Chen, Wei GAO
- 学会等名
  IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE NANO 2016)
- 発表場所
  仙台国際センター (宮城県仙台市)
- 年月日
  2016-08-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] In-process Tilt Measurement of a Brittle Material Workpiece by using a Force-sensor Integrated Diamond Cutting Tool2016
- 著者名/発表者名
  Keisuke TOHYAMA, Yuan-liu CHEN, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] On-line qualification of an effective diameter for micro-probing system with method of shear-force detection2016
- 著者名/発表者名
  So Ito, Yuanliu Chen, Hirotaka Kikuchi, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao
- 学会等名
  The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
- 発表場所
  中国マカオ
- 年月日
  2016-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K05999
[学会発表] 白色共焦点顕微鏡の光学系設計に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  仲村拓，清水裕樹，伊東聡，陳遠流，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] XYZマイクロステージに関する研究2016
- 著者名/発表者名
  安達圭祐，清水裕樹，伊東聡，高偉，丹羽英二，佐々木祥弘
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Investigation on the sensitivity of an optical angle sensor based on laser autocollimation2016
- 著者名/発表者名
  Yuki SHIMIZU, Taiji MARUYAMA, Yuan-Liu CHEN, So ITO and Wei GAO
- 学会等名
  Optical Measurement Technology and Instrument (OTA2016)
- 発表場所
  China National Convention Center, Beijing China
- 年月日
  2016-05-09
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Precision On-machine Measurement of Error Motion of Carriage Slide on a Drum Roll Lathe2016
- 著者名/発表者名
  Zengyuan NIU, Yuan-LIU CHEN, Daiki MATSUURA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Wei GAO, Jeongseok OH, Chunhong Park
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 水平走査型測定法による小型円筒試料の精密形状測定2016
- 著者名/発表者名
  齋藤俊樹，町田裕貴，清水裕樹，伊東聡，高偉，山崎宏，柴本裕輔，花岡浩毅
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Molecular dynamics simulation of form measurement process of soft materials using atomic force microscope2016
- 著者名/発表者名
  Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, and Wei Gao
- 学会等名
  IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS2016)
- 発表場所
  ホテル松島大観荘（宮城県宮城郡松島町）
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Optical Analysis of a Confocal Microscope2016
- 著者名/発表者名
  Taku NAKAMURA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Yuan-liu CHEN, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] A Design Study of an XYZ Micro-stage2016
- 著者名/発表者名
  Yuki SHIMIZU, Takuma SUGAWARA, Keisuke ADACHI, So ITO, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
- 発表場所
  Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Development of an orthogonal two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-axis scale grating2016
- 著者名/発表者名
  Zongwei Ren, Yuki Shimizu, Ryo Aihara, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao
- 学会等名
  The 12th China-Japan International Conferences on Ultra-Precision Machining Processes (CJUMP2016)
- 発表場所
  Hunan Fenglin Hotel, Hunan, China
- 年月日
  2016-11-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 力センサ搭載型ダイヤモンド切削工具を用いた脆性材料ワークのインプロセスチルト測定2016
- 著者名/発表者名
  遠山佳祐，陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2016年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  一関高専（岩手県一関市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Determination of the origin position for an angle sensor with a femtosecond laser2015
- 著者名/発表者名
  Jun Tamada,Yukitoshi Kudo,Yuan-Liu Chen,Yuki Shimizu,So Ito,Wei Gao
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2015)
- 発表場所
  京都リサーチパーク（京都府京都市）
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] Surface Profile Measurement of Micro-optics by Using a Long Stroke AFM2015
- 著者名/発表者名
  Minglei Li, So Ito, Zhigang Jia, Yuki Shimizu, Wei Gao
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
- 発表場所
  National Taiwan University, Taipei, Taiwan
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] On-line Qualification of Probe Tip Ball Diameter for Gap Width Measurement2015
- 著者名/発表者名
  So Ito, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] Micro-probing system for slit width measurement by using a shear-force detection2015
- 著者名/発表者名
  So Ito, Hirotaka Kikuchi, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  京都リサーチパーク，京都府京都市
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] 3ビームロイドミラー干渉計による2軸回折格子加工に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  相原涼，李星輝，Yindi Cai，伊東聡，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 2次元格子とフィゾー干渉計の一括自律校正に関する研究-自律校正法の提案-2015
- 著者名/発表者名
  大野敦子，金于載，Yindi Cai，陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2015
- 著者名/発表者名
  丸山泰司，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] スロットダイコーターの精密計測に関する研究　-第1報　測定子の有効直径のオンライン測定-2015
- 著者名/発表者名
  菊地浩貴，伊東聡，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学，宮城県仙台市
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] Laser interference lithography with a modified two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-dimensional micro patterns2015
- 著者名/発表者名
  Yindi Cai, Xinghui Li,Ryo Aihara,Yuki Shimizu,So Ito,Wei Gao
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2015)
- 発表場所
  京都リサーチパーク（京都府京都市）
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] A two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of two dimensional diffraction gratings2015
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito
- 学会等名
  2014 CIRP Winter meetings
- 発表場所
  Nantes, France
- 年月日
  2015-01-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] 平面ステージ精密制御用多自由度光センサに関する研究2015
- 著者名/発表者名
  古田雅也，李星輝，Yindi Cai，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 光周波数コムを用いた角度スケールコムに関する研究2015
- 著者名/発表者名
  清水裕樹，玉田純，工藤幸利，陳遠流，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] A three-axis angle sensor with a linear encoder scale reflector2015
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, So Ito, Wei Gao
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
- 発表場所
  National Taiwan University, Taipei, Taiwan
- 年月日
  2015-09-22
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05759
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いたマイクロ構造物の寸法測定に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  伊東聡,小玉一成,高偉
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会
- 発表場所
  東京大学,東京 A74
- 年月日
  2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Development of a nanopipette ball probe for Micro-CMM2014
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Hirotaka Kikuchi Wei Gao
- 学会等名
  International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing (ISMNM2014)
- 発表場所
  Xi'an, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いたマイクロ構造物の寸法測定に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  伊東聡，小玉一成，高偉
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会
- 発表場所
  東京大学，東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2014
- 著者名/発表者名
  村田大，清水裕樹，伊東聡，高偉
- 学会等名
  精密工学会学術講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究－第 4 報周波数変調プローブの三軸方向の感度評価－2014
- 著者名/発表者名
  菊地浩貴，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2014年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  弘前大学，青森県
- 年月日
  2014-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] 光学式3軸角度センサの小型化に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  丸山泰司，清水裕樹，Siew-Leng TAN，村田大，伊東聡，高偉
- 学会等名
  2014年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  青森県弘前市弘前大学
- 年月日
  2014-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] XYZ三軸振動センサに関する研究-第二報信号処理系の最適化と微小振動計測について-2014
- 著者名/発表者名
  相原涼，伊藤武志，伊東聡，清水裕樹，高偉
- 学会等名
  2014年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  青森県弘前市弘前大学
- 年月日
  2014-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] マイクロ構造物寸法計測のための微小球付きナノピペットプローブの開発2014
- 著者名/発表者名
  伊東聡，小玉一成，菊地浩貴，高偉
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学，岩手県
- 年月日
  2014-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] Dimensional measurement of micrometer-scale structures with a nanopipette ball probe by using shear-force detection2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  6th International Symposium of Precision Mechanical Measurement (ISPMM2013)
- 発表場所
  Guizhou, China
- 年月日
  2013-08-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Investigation of a femtosecond laser for measurement of angular displacement2013
- 著者名/発表者名
  Yukitoshi KUDO, Siew-Leng TAN, Yuki SHIMIZU, So ITO, and Wei GAO
- 学会等名
  LEM21
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Construction of a surface profile measurement system by using a nanopipette ball probe with shear-force detection2013
- 著者名/発表者名
  Issei KODAMA, So ITO, Wei GAO
- 学会等名
  The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Proc. of 7th LEM21
- 発表場所
  Matsushima, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Construction of a surface measurement system by using a nanopipette ball probe with shear-force detection2013
- 著者名/発表者名
  Issei Kodama, So Ito and Wei Gao
- 学会等名
  The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  松島，宮城県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Development of a Nanopipette Ball Probe for Form Measurement of Micrometer-Scale Structures2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究 ―第3報　周波数変調検出による接触検出の高感度化―2013
- 著者名/発表者名
  伊東聡，小玉一成，高偉
- 学会等名
  2013年精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学，大阪府
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Development of a Nanopipette Ball Probe for Form Measurement of Micrometer-Scale Structures2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama and Wei Gao
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2013
- 著者名/発表者名
  村田大,清水裕樹,伊東聡,高偉
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学(東京都)
- 年月日
  2013-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Dimensional measurement of micrometer-scale structures with a nanopipette ball probe by using shear-force detection2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama and Wei Gao
- 学会等名
  6th International Symposium of Precision Mechanical Measurement
- 発表場所
  Guizhou, China
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Dimensional Measurement of Micrometer-scale Structures with a Nanopipette Ball Probe by Using Shear-froce Detection2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  6th International Symposium on Precision Mechanical Measurement
- 発表場所
  Guizhou, China
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究―第3報周波数変調検出による接触検出の高感度化―2013
- 著者名/発表者名
  伊東聡,小玉一成,高偉
- 学会等名
  2013年精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学,大阪府吹田市,(2013,G31)
- 年月日
  2013-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] An ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for stage motion measurement2013
- 著者名/発表者名
  Dai MURATA, Siew-Leng TAN, Yuki SHIMIZU, So ITO, and Wei GAO
- 学会等名
  LEM21
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Surface Profile Measurement of Micro-optics by using a Scanning Electrostatic Force Microscope2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Gaofa He, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu and Wei Gao
- 学会等名
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究　－第2報　形状計測システムの開発と評価－2013
- 著者名/発表者名
  伊東聡、小玉一成、高偉
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学(東京)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Development of a Nanopipette Ball Probe for Form Measurement of Micrometer-Scale Structures2013
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究―第2報形状計測システムの開発と評価―2013
- 著者名/発表者名
  伊東聡,小玉一成,高偉
- 学会等名
  2013年精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学,東京,2013,N08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブに関する研究2012
- 著者名/発表者名
  小玉一成,伊東聡,高偉
- 学会等名
  2012年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  山形大学,米沢市
- 年月日
  2012-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Development of self-sensing probe with a high aspect ratio shape for AFM observation in a liquid condition2012
- 著者名/発表者名
  So Ito and Futoshi Iwata
- 学会等名
  European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen) 2012
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブに関する研究2012
- 著者名/発表者名
  小玉一成、伊東聡、高偉
- 学会等名
  2012年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  山形大学(米沢市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 光学式3軸角度センサの高精度化に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  村田大,清水裕樹,伊東聡,高偉
- 学会等名
  2012年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  山形大学工学部(米沢市)
- 年月日
  2012-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Low-cost and compact interference lithography of grating fabrication for surface encoder2012
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
- 学会等名
  2012年度精密工学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  山形大学工学部(米沢市)
- 年月日
  2012-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Fabrication of diffraction gratings for surface encoders by using a Lloyd's mirror interferometer with a 405 nm laser diode2012
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Lijiang Zeng
- 学会等名
  8th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation
- 発表場所
  Chengdu, China
- 年月日
  2012-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] A nanopipette ball probe for dimensional measurement of micro-structures2012
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  International Conference of Manufacturing Technology Engineers 2012 (ICMTE)
- 発表場所
  Seoul, Korea, Proceedings of the ICMTE
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究―装置の設計と基本特性の評価―2012
- 著者名/発表者名
  伊東聡,小玉一成,高偉
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学,北九州市,(2012,N44)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究　－装置の設計と基本特製の評価－2012
- 著者名/発表者名
  伊東聡、小玉一成、高偉
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学(北九州市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] A nanopipette ball probe for dimensional measurement of micro-structure2012
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  International Conference of Manufacturing Technology Engineers
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760097
[学会発表] Fabrication of two-dimensional micro patterns for adaptive optics by using laser interference lithography
- 著者名/発表者名
  Xinghui Li, Yindi Cai, Ryo Aihara, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
- 学会等名
  3rd International Conference on Optical and Photonic ENgineering (icOPEN2015)
- 発表場所
  Singapore, Singapore
- 年月日
  2015-04-14 – 2015-04-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Development of a nanopipette ball probe for Micro-CMM
- 著者名/発表者名
  So Ito, Issei Kodama, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao
- 学会等名
  International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing
- 発表場所
  Xi’an, China
- 年月日
  2014-04-21 – 2014-04-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] A six degree-of-freedom surface motor-driven stage with aerostatic bearings
- 著者名/発表者名
  Masaya Furuta, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
- 学会等名
  The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  福岡県北九州市北九州国際会議場
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Dimensional Measurement of Micro Pinhole by Probing System with a Nanopipette Ball Stylus
- 著者名/発表者名
  So Ito, Hirotaka Kikuchi, Issei Kodama, Wei Gao
- 学会等名
  The 16th International Conference on Positioning Technology
- 発表場所
  北九州国際会議場，福岡県
- 年月日
  2014-11-18 – 2014-11-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820018
[学会発表] Development of a six-degree-of-freedom surface encoder
- 著者名/発表者名
  Yindi Cai, Yuki Shimizu, Xinghui Li, So Ito and Wei Gao
- 学会等名
  The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  福岡県北九州市北九州国際会議場
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] 光学式3軸角度センサの小型化に関する研究
- 著者名/発表者名
  丸山泰司，清水裕樹, 伊東聡, 高偉
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京都文京区東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] A miniaturized three-axis angle sensor
- 著者名/発表者名
  Taiji Maruyama, Siew-Leng Tan, Yuki Shimizu, Dai Murata, So Ito, and Wei Gao
- 学会等名
  The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  福岡県北九州市北九州国際会議場
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] Measurement of three-axis vibration of an air-bearing stage
- 著者名/発表者名
  Ryo Aihara, Takeshi Ito, So Ito, Yuki Shimizu and Wei Gao
- 学会等名
  The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  福岡県北九州市北九州国際会議場
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050
[学会発表] A multi-probe surface encoder for multi-degree-of-freedom position measurement
- 著者名/発表者名
  Yuki Shimizu, Ryo Aihara, Yingdi Cai, Xinghui Li, So Ito and Wei Gao
- 学会等名
  The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  福岡県北九州市北九州国際会議場
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360050

1. 高偉 (70270816)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 81件
2. 清水裕樹 (70606384)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 80件
3. 神谷和秀 (00244509)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
4. 松隈啓 (90728370)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
5. 陳遠流 (90794058)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
6. 松本公久 (40457122)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

伊東 聡 Ito So

研究課題

研究成果

共同研究者

近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

回転基準球を用いたマイクロプローブ三次元形状のナノ精度その場校正に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

多チャンネル同期サンプリングによる超解像度技術に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ツインマイクロプローブの非接触高速走査と実時空間校正による長尺微小溝幅の絶対計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

２軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

マイクロ液柱の自律形成を利用した高感度検出プローブよる3次元形状計測に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代超精密移動ステージ角度誤差計測用高精度３軸レーザオートコリメータの研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

全方位高感度検出型ナノピペットプローブの開発と微小開口の内部形状測定に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Bilingual edition 精密計測学 Precision Metrology2024

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[図書] Precision Manufacturing. Metrology2019

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[図書] (Book chapter) Handbook of Manufacturing, "Chapter 10"2019

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[図書] (Book chapter) 機械設計「精密位置決めにおける多軸センサの活用」2016

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

伊東聡 Ito So