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服部 秀三  HATTORI Shuzo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10023003
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1991年度 – 1993年度: 名古屋産業科学研究所, 電子機械部長
1989年度 – 1991年度: (財)名古屋産業科学研究所, 電子機械研究部, 部長
1990年度: 名古屋大学, 名誉教授
1988年度: 名古屋大学, 工学部, 教授
1986年度: 名大, 工学部, 教授
1985年度: 名古屋大学, 工, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子材料工学
研究代表者以外
機械工作
キーワード
研究代表者
Laser interferometer / X-ray source / Dry process / Plasma polymerization / X-ray resist / X-ray lithography / プラズマ重合装置 / 二重双光路レーザ干渉膜厚計 G値 / 自己現像 / アラインメント … もっと見る / レーザ干渉膜厚計 / X線源 / ドライプロセス / プラズマ重合 / X線レジスト / X線リソグラフィ … もっと見る
研究代表者以外
光励起プロセス / Electronic static motor / Effect of carrier gas / Submicron pattern fabrication / Plasma polymerized alpha-methyle-styrene / plasma polymerized styrene / three dementional machining / Plasma polymerized resist / キャリヤガス効果 / 電子線リングラフィ立体加工法 / 静電モ-タ加工 / キセリヤ-ガス効果 / 静電モ-タ-加工 / キャリヤ-ガス効果 / サブミクロンパタ-ン加工 / プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト / プラズマ重合スチレンネガレジスト / 電子線リソグラフィ立体加工法 / プラズマ重合レジスト 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 共同研究者

    (12人)
  •  半導体における光励起プロセスの基礎(総括班)

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  半導体における光励起プロセスの基礎(総括班)

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  半導体における光励起プロセスの基礎(総括班)

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

    • 研究代表者
      森田 慎三 (森田 愼三)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究研究代表者

    • 研究代表者
      服部 秀三
    • 研究期間 (年度)
      1984 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  • 1.  高橋 清 (10016313)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  廣田 栄治 (30011464)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  西沢 潤一 (20006208)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  伊藤 糾次 (90063205)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  明石 和夫 (00013095)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  森田 慎三 (00076548)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  羽根 一博 (50164893)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  松田 文夫 (60109303)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  内川 嘉樹 (20023260)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  丸勢 進 (20022981)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  家田 正之 (50022984)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  内田 悦行 (20023187)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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