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鈴木 佐年  SUZUKI Suketoshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10042459
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1991年度: 茨城工業高等専門学校, 電子情報工学科, 教授
1990年度: 茨城工業高等専門学校, 電子情報学科, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
電子材料工学
キーワード
研究代表者以外
Laser manipulation in vacuum chamber / Protection for contaminating wafer / Laser barrier / Contamination of submicron particles / Clean room technology / Radiation pressure / Laser manipulation of particles / ウェハ汚染防止 / 光共鳴吸収 / クリンル-ム … もっと見る / 粒子の排接触マニピュレ-ト / 真空中の粒子マニピュレ-ト / ウエハ汚染防止 / 光バリア / サブミクロン粒子汚染 / クリ-ンル-ム / 粒子の非接触マニピュレ-ト / レ-ザ光圧力 隠す
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  レ-ザ光束によるサブミクロン粒子の制御技術の開発に関する研究

    • 研究代表者
      清水 勲
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      茨城工業高等専門学校
  • 1.  清水 勲 (80042464)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  安久 正紘 (10016462)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  高原 淑恵 (50216777)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  山本 信雄 (70042489)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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