格内敏 KAKUNAI Satoshi

研究者番号	10101130
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2005年度: 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 2005年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 2004年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教授 2003年度: 姫路工業大学, 工学研究科, 助教授 1999年度 – 2000年度: 姫路工業大学, 工学部, 助教授 1991年度 – 1992年度: 姫路工業大学, 工学部, 助教授 1989年度: 姫路工業大学, 工学部, 講師
審査区分/研究分野	研究代表者応用光学・量子光工学研究代表者以外機械工作 / 応用光学・量子光工学
キーワード	研究代表者 Optical fiber / Phase shifting / Absolute measurement / Spherical wave / Point diffraction interferometry / 超精密形状計測 / 絶対測定 / 光ファイバー / 縞走査 / 球面波 / 点回折干渉系 … もっと見る研究代表者以外 … もっと見る Multilayer coating / Mirau Interferometer / Phase defect / Defect Inspection / EUV Lithography / Extreme Ultraviolet / X-ray microscope / ミラウ干渉計 / EUVリソグラフィー / 軟X線位相差顕微鏡 / 多層膜 / ミラウ干渉 / 位相欠陥 / 欠陥検査 / EUVリソグラフィ / X線顕微鏡 / Critical Current Density / Critical Temperature / CO_2 Laser Irradiation / Bi-Sr-Ca-Cu-O / Y-Ba-Cu-O / Superconductor / 高性改質 / CO_2レ-ザ加工 / YーBaーCuーO / 高温超電導体 / CO_2レーザ照射 / 臨界電流密度 / 臨界温度 / Bi系超伝導材料 / Y系超伝導材 / 視覚評価 / ピ-ク数 / サミット数 / 突起の平均傾斜 / 突起の平均曲率 / 等方性判別指標 / スペクトルモ-メント / 自己回帰過程隠す

極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察
- 研究代表者
  
  木下博雄
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  兵庫県立大学
   姫路工業大学
次世代極短波長光の光学素子評価のための点回折干渉系に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  格内敏
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  姫路工業大学
CO_2レーザによる高温超伝導材料の作成と物性改質に関する研究
- 研究代表者
  
  長谷川素由
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1992
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  姫路工業大学
3次元粗さ形状の機能特性に関する研究
- 研究代表者
  
  長谷川素由
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  姫路工業大学

すべて 2005 2004 2003

すべて雑誌論文

[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2005
- 著者名/発表者名
  格内敏, 木下博雄, 渡邊健夫, 坂本亨
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71-8
  
  ページ: 1031-1035
- NAID
  110001373589
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究(第2報) コヒーレント長が測定精度に及ぼす影響2005
- 著者名/発表者名
  格内敏, 木下博雄, 渡邊健夫, 坂本亨
- 雑誌名
  
  精密工学会誌第71巻第8号
  
  ページ: 1031-1035
- NAID
  10016679113
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Actinic mask metrology for extreme ultraviolet lithography2004
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, T.Haga, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Shoki, M.Endo, T.Watanabe
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Technol. B22(1)
  
  ページ: 264-267
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Actinic Mask Inspection Using EUV Microscope2004
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, T.Haga, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Shoki, M.Endo, T.Watanabe
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Technol. B22
  
  ページ: 264-267
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Evaluation of Finished EUVL Mask using a Mirau Intergerometric Microscope2003
- 著者名/発表者名
  T.Haga, H.Kinoshita, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Watanabe
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 42
  
  ページ: 3771-3775
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2003
- 著者名/発表者名
  格内敏, 木下博雄, 渡邊健夫, 坂本亨
- 雑誌名
  
  精密工学会誌第69巻第8号
  
  ページ: 1170-1175
- NAID
  110001373589
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Pattern Inspection of EUV Mask using a EUV Microscope2003
- 著者名/発表者名
  T.Watanabe, T.Haga, T.Shoki, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, H.Kinoshita
- 雑誌名
  
  Proc.SPIE 5130
  
  ページ: 1005-1013
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2003
- 著者名/発表者名
  格内敏, 木下博雄, 渡邊健夫, 坂本亨
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 69,8
  
  ページ: 1170-1175
- NAID
  110001373589
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Evaluation of Finished EUVL Mask using a Mirau Intergerometric Microscope2003
- 著者名/発表者名
  T.Haga, H.Kinoshita, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Watanabe
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys 42、6
  
  ページ: 3771-3775
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010
[雑誌論文] Pattern Inspection of EUV Mask Using a EUV Microscope2003
- 著者名/発表者名
  T.Watanabe, T.Haga, T.Shoki, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, H.Kinoshita
- 雑誌名
  
  Proc.SPIE 5130
  
  ページ: 1005-1013
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206010

1. 長谷川素由 (80180868)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
2. 小西康夫 (40215299)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 木下博雄 (50285334)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
4. 渡邊健夫 (70285336)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
5. 新部正人 (10271199)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

格内 敏 KAKUNAI Satoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代極短波長光の光学素子評価のための点回折干渉系に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

CO_2レーザによる高温超伝導材料の作成と物性改質に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

3次元粗さ形状の機能特性に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2005

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究(第2報) コヒーレント長が測定精度に及ぼす影響2005

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] Actinic mask metrology for extreme ultraviolet lithography2004

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Actinic Mask Inspection Using EUV Microscope2004

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Evaluation of Finished EUVL Mask using a Mirau Intergerometric Microscope2003

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2003

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] Pattern Inspection of EUV Mask using a EUV Microscope2003

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] 光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究2003

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] Evaluation of Finished EUVL Mask using a Mirau Intergerometric Microscope2003

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Pattern Inspection of EUV Mask Using a EUV Microscope2003

著者名/発表者名

雑誌名

格内敏 KAKUNAI Satoshi