村上浩一 MURAKAMI Kouichi

研究者番号	10116113
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2011年度: 筑波大学, 数理物質系, 教授 2009年度 – 2010年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 2007年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 2006年度: 筑波大学, 大学院数理物質科学研究科, 教授 2006年度: 筑波大学, 数理物質科学研究科, 教授 … もっと見る 2004年度 – 2005年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 2003年度: 筑波大学, 物理工学系, 教授 1999年度 – 2001年度: 筑波大学, 物理工学系, 教授 1998年度: 筑波大学, 物資工学系, 教授 1995年度 – 1998年度: 筑波大学, 物質工学系, 教授 1986年度 – 1994年度: 筑波大学, 物質工学系, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 電子材料工学 / 応用物性・結晶工学 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス研究代表者以外材料加工・処理 / 応用物性 / 応用物性・結晶工学 / 理工系
キーワード	研究代表者レーザーアブレーション / 可視発光 / レーザープラズマ軟X線吸収分光 / シリコン / Silicon / ラマン散乱 / 多原子空孔 / 水素分子 / 光ルミネッセンス / 時間分解構造測定 … もっと見る / シリコン超微粒子 / 時間分解分光測定 / 動的機構 / Si超微粒子 / 単発測定 / 超微粒子 / Temperature Dependent Linewidth / Interface-Barrier-Controled ESR / Electron Spin Resonance / Impurity / off-center substitutional Nitrogen / Process-induced Defects / 微小領域プロセス誘起欠陥 / 欠陥準位 / 線幅 / 超微細分離幅 / シリコン表面層 / 置換位置N / 界面バリヤ制御電子スピン共鳴法 / 欠陥評価手法 / 線幅温度依存性 / 電子準位 / 電子準位決定法 / 線幅温度変化 / 界面バリヤ制御 / 電子スピン共鳴 / 不純物 / off-center置換位置N / プロセス誘起欠陥 / Si-H-B Complexes / Multivacancies / Raman Scattering / Hydrogen Molecule / Hydrogen Passivation / Poly-silicon / Amorphous Si / 水素複合体中心 / ポリシリコン化 / レーザーアニール / ポリシリコン / Si-H結合 / ドーパントのパッシベーション / 水素 / Si-H-B複合体 / 水素パッシベーション / ポリ化シリコン / アモルファスシリコン / Photo luminescence / Oxidation / Time-resolued measurements / Si Ge EL Device / Si nanoparticles / Visible Hight Emission / Si Nano particles / Laser Ablation / Z-コントラストEELS・電顕 / 時間分解光ルミネッセンス測定 / レーザープラズマ軟X線分光 / シリコンナノ構造 / 時間分解レーザー分解発光分析 / SiGeEL素子 / 時間分解レーザー分解分析 / 時間分解構造測定手法 / SiGe EL素子 / SiO_2中Siナノ結晶 / 可視発光薄膜 / シリコン・ナノ微粒子 / Visible Photoluminescence / Si Nanoclusters / Time-resolved Photon-emission Measurements / Time-resolved Laser Plasma Soft X-ray Absorption Spectroscopy / Dynamics / Laser Ablation of Si, C and SiC / 時間分解測定 / 二次元発光分布測定 / 時間分解発光測定 / Siクラスター / 動的形成機構 / レーザープラズマ軟X線 / Si,グラファイト / クラスター / 水素原子処理効果 / 常磁性の偶奇性 / フォトルミネッセンス / イオン注入効果 / ドナー / 機能性不純物ドーピング / スピンメモリー効果 / 水素原子処 / イオン注入 / 動径方向濃度分布測定 / 酸化に伴う不純物偏析出 / CVD作成法 / 新物性 / 酸化と偏析挙動 / 最大固溶度 / 不純物ドーピング / 界面水素パッシベーション / Siナノ結晶 / Siナノワイヤ / プレートレット水素分子 / 四面体格子間位置水素分子 / 多原子空孔内水素分子 / 状態制御 / アニール効果 / 水素分子の消滅過程 / 水素分子の生成過程 / シリコンクラスター / Siナノクラスター表面反応 / Siナノクラスター / クラスター化 / 酸化反応 / ナノクラスター / パルスHeガス吹き付け / レーザープラズマ軟X線源 / 時間分解軟X線吸収分光 / Si,C超微粒子 / クラスター化の機構 / C超微粒子 / 時間・空間合解測定 / 軟X線吸収分光 / レーザープラズマ / ガラスレ-ザ- / Nd:YAG / レ-ザ-アブレ-ション / レ-ザ-プラズマ軟X線分光 / レ-ザ-プラズマ / スピン緩和変化 / ドナ-・伝導電子のESR / Y_1Ba_2Cu_3O_y / アモルファスGaAs / GaAs / 結晶 / シリコン界面 / 金属 / 界面でのトンネリング / スピン緩和 / ドナ-@伝導電子のESR / GaAs@シリコン界面 / 金属@シリコン界面 … もっと見る研究代表者以外シリカガラス / 光直接加工 / レーザープラズマ軟X線 / 無機材料 / 透明材料 / ナノ加工 / 超伝導発現機構 / <Hg_(1-x)> <Cd_x> Te / <Hg_(1-x)> <Mn_x> Te / Liquid phase epitaxy / Alloy semiconductor / Infrared sensor / 非輻射再結合プロセス / 【Hg_(1-x)】CdxTe / 【Hg_(1-x)】MnxTe / 液相エピタキシャル成長 / 混晶半導体 / 赤外センサー / X-ray optics / silica glass / optical direct machining / nanomachining / inorganic materials / transparent materials / lader plasma soft X-ray / 精密部品加工 / 光源技術 / レーザープラズマ / 軟X線 / 軟X線光学系 / 軟 X 線光学系 / ホール濃度補償効果 / ホール係数 / ホール濃度と超伝導 / Ln-Ba-Cu-O系超伝導体 / 原子分子操作 / 構造相転移 / フェムト秒レーザー / 放射線・X線 / 量子ビーム / 非平衡プロセス / 半導体超微細化 / ナノ材料 / 光加工 / エキシトン / レーザー加工 / 微細加工 / ポテンシャルスパッタリング / ガリウム砒素 / 欠陥 / 水素 / シリコン / ドライエッチング / 塩素 / ナノ構造 / 電子状態制御 / ダイヤモンド / グラファイト / 多価イオン / ホ-ル係数 / ホ-ル濃度と超伝導 / 高圧酸素下アニ-ル / ク-パ-対破壊効果 / 電子ド-ピング / 正孔ド-ピング / Y系高温超伝導体隠す

ナノ結晶、ナノワイヤへの機能性不純物ドーピングと新物性研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノ材料・ナノバイオサイエンス
- 研究機関
  筑波大学
励起ナノプロセスの基盤形成
- 研究代表者
  
  篠塚雄三
- 研究期間 (年度)
  2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  和歌山大学
レーザープラズマ軟X線による透明材料のナノ加工とナノ物質創製
- 研究代表者
  
  牧村哲也
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  筑波大学
無機透明材料のナノ加工のためのX線エキシトン空間閉じ込め
- 研究代表者
  
  牧村哲也
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  筑波大学
低速多価イオンビームによる原子操作
- 研究代表者
  
  目黒多加志
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  特定領域研究(B)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  理化学研究所
シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  筑波大学
半導体結晶中の水素分子の制御と分子メモリー研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  筑波大学
時間分解測定によるシリコンクラスターの表面反応と光ルミネッセンス研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
レーザーアブレーションによる半導体薄膜作製と時間分解構造測定研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  国際学術研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  筑波大学
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1996
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
レーザーアブレーションによるIV族超微粒子形成と動的機構の時間分解分光測定研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  筑波大学
レーザーアブレーション超微粒子の時間分解レーザープラズマ軟X線分光研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
レ-ザ-アブレ-ション超微粒子のレ-ザ-プラズマ軟X線分光研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
酸素及び電荷ド-ピングによる高温超伝導発現機構の探索
- 研究代表者
  
  滝田宏樹
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
Ln-Ba-Cu-O(Ln=Nd,Pr及びLa)系における超伝導発現機構の探索
- 研究代表者
  
  滝田宏樹
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  筑波大学
界面バリヤ制御電子スピン共鳴法による微小領域プロセス誘起欠陥の評価研究代表者
- 研究代表者
  
  村上浩一
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1988
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  筑波大学
新しい赤外センサー用混晶半導体の液相エピタキシャル成長と特性評価
- 研究代表者
  
  滝田宏樹
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1986
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  筑波大学

すべて 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Segregation Behaviors and Radial Distribution of Dopant Atoms in Silicon Nanowires2011
- 著者名/発表者名
  N. Fukata, S. Ishida, S. Yokono, R.Takiguichi, J. Chen, T. Sekiguchi, andK. Murakami
- 雑誌名
  
  Nano Lett
  
  巻: 11 ページ: 651-656
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Si結晶における水素の侵入過程と状態2010
- 著者名/発表者名
  村上浩一
- 雑誌名
  
  真空
  
  巻: vol.53 ページ: 265-270
- NAID
  10026292914
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Si結晶における水素の侵入過程と状態2010
- 著者名/発表者名
  村上浩一
- 雑誌名
  
  真空(J,Vac.Soc,Jpn)
  
  巻: 53 ページ: 1-6
- NAID
  10026292914
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Isotope Effect of Penetration of Hydrogen and Deuterium into Silicon through Si/SiO2 Interface2009
- 著者名/発表者名
  K. Murakami, N. Fukata, K. Ishioka, M.Kitajima, N. Uchida, K. Morisawa, H.Morihiro, R. Shirakawa, and M.Tsujimura
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 48
- NAID
  40016742995
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Electronic States of P Donors in Si Nanocrystals embedded in amorphous SiO_2 layer studied by Electron Spin Resonance -Hydrogen Passivation Effects-2009
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, et al.
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 48
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Phosphorus Ion Implantation in Silicon Nanocrystals embedded in SiO_22009
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, et al.
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys. 105
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Isotope Effect of Penetration of Hydrogen and Deuterium into Silicon through Si/SiO_2 Interface2009
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, et al.
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 48
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Phosphorus Ion Implantation in Silicon Nanocrystals embedded in SiO22009
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, Ryota Shirakawa, Masatoshi Tsujimura, Noriyuki Uchida, Naoki Fukata, and Shun-ichi Hishita
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys
  
  巻: 105
- NAID
  120007131288
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Electronic States of P Donors in SiNanocrystals embedded in amorphous SiO2 layer studied by Electron Spin Resonance-Hydrogen Passivation Effects ?2009
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, Masatoshi Tsujimura, Ryota Shirakawa, Noriyuki Uchida, and Naoki Fukata
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 48
- NAID
  40016704634
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[雑誌論文] Micromachining of lnorganic Materials using Laser Plasma Soft X-Rays2008
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Satoshi, Uchida・Takashige, Fujimori・Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami,
- 雑誌名
  
  Electrical Engineering in Japan (印刷中)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ablation of inorganic materials using laser plasma Soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Takashige, Fujimori・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami・Hiroyuki, Niino
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE 6586
  
  ページ: 6586091-15
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] 1.5μm Light Emission of Er3+ Ions Doped in SiO2 Films Including Si Nanocrystallites and in SiOx Films2007
- 著者名/発表者名
  T. Makimura, H. Uematsu, Y. Okada, K. Murakami
- 雑誌名
  
  Journal of Physics 59
  
  ページ: 466-469
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] 1・5μm light emission of Er3+ions doped in SiO2 films including Sinanocrystallites and in SiOxfilms,2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Hiroshi, Uematsu・Yuuki, Okada・Kouichi, Murakami
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series 59
  
  ページ: 466-469
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materilas by ablation using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takeshige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan 127
  
  ページ: 179-184
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Hiroyuki, Niino・ Kouichi, Murakami,
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series 59
  
  ページ: 279-284
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料の微細加工2007
- 著者名/発表者名
  牧村哲也・村上浩一
- 雑誌名
  
  セラミックス 42
  
  ページ: 64-64
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  T. Manicure, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE 6886
  
  ページ: 658609-658624
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料のアブレーション加工2007
- 著者名/発表者名
  牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌 127
  
  ページ: 179-184
- NAID
  10018480450
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Journal of Physics : Conference Series, refreed 59
  
  ページ: 279-284
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションとそのメカニズムの検討2007
- 著者名/発表者名
  藤森隆成・牧村哲也・井上毅彦・村上浩一・新納弘之
- 雑誌名
  
  電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-07
  
  ページ: 41-44
- NAID
  10018897616
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2007
- 著者名/発表者名
  T. Makimura, H. Miyamoto, S. Uchida, H. Niino, K. Murakami
- 雑誌名
  
  Journal of Physics 59
  
  ページ: 279-284
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Ceramics, unrefreed 42
  
  ページ: 64-64
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Silica nanomachining using laser plasma soft x rays,2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters, refreed 89
- NAID
  120007131283
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ultra-fine micromachining of silica glass using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takeshige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Report on the Laser Society of Japan Meeting #352, unrefreed RTM-06
  
  ページ: 21-25
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザーブラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション2006
- 著者名/発表者名
  牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
- 雑誌名
  
  電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-06
  
  ページ: 53-56
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工2006
- 著者名/発表者名
  牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
- 雑誌名
  
  レーザー学会第 352回研究会報告 RTM-06
  
  ページ: 21-25
- NAID
  10020611506
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm,2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fuji-mori, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Japan Journal of Applied Physics, refreed 45
  
  ページ: 5545-5547
- NAID
  10017998993
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Silica nanomachjning using laser plasma soft x rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami・Hiroyuki, Niino,
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 89
  
  ページ: 1011181-3
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Nano-Ablation of lnorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Takashige, Fujimori・ Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45
  
  ページ: 5545-5547
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Direct Micromachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami,
- 雑誌名
  
  Conference Series of The Institute of Pure and Applied Physic 7
  
  ページ: 137-139
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工2006
- 著者名/発表者名
  内田智・藤森隆成・牧村哲也・村上浩一・新納弘之
- 雑誌名
  
  電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-06
  
  ページ: 49-52
- NAID
  10019203795
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed plasma soft X rays2006
- 著者名/発表者名
  Tdsuya, Makimura・Youichi, Kenmotsu・Hisao, Miyamoto・Hiroyuki, Niino・Koujchi, Murakami,
- 雑誌名
  
  Surface Science 53
  
  ページ: 248-251
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2005
- 著者名/発表者名
  S., Uchida・T., Makimura・H., Miyamoto・K., Murakami,
- 雑誌名
  
  Materials Processing for Properties and Performance 4
  
  ページ: 261-263
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materials using pulsed laser plasma soft x-rays at 10 nm,2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Youichi Kenmotsu, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE Lasers and Applica-tions in Science and Engineering, unrefreed 5713
  
  ページ: 9-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays,2005
- 著者名/発表者名
  S. Uchida, T. Makimura, H. Miyamoto, K. Murakami
- 雑誌名
  
  Materials Processing for Properties and Per-formance, unrefreed 4
  
  ページ: 261-263
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Micromachining of lnorganic transparent materials using laser plasma soft x-Rays at 10 nm2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Youichi, Kenmotsu・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Niroyuki, Niino・Kouichi, Murakami
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE 5713
  
  ページ: 9-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] "Hydrogen Passivation of Er and Si Nanocrystallites in Er-doped SiO2-Increase in Photoluminescence-2005
- 著者名/発表者名
  N., Fukata・C., Li・H., Uematsu・T., Arai・T., Makimura・K., Murakami,
- 雑誌名
  
  Materials Research Society Symposium Proceeding 832
  
  ページ: 379-384
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ablation of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10nm and Ablation Dynamics2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami,
- 雑誌名
  
  Materials Processing for Properties and Performance 4
  
  ページ: 267-269
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] レーザーとナノ物性ーレーザーアブレーションで創製したSi ナノ構造の物性-2005
- 著者名/発表者名
  村上浩一・牧村哲也・深田直樹
- 雑誌名
  
  レーザー研究 33
  
  ページ: 5-11
- NAID
  10014278760
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed laser plasma soft X rays,2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Youichi Kenmotsu, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Ni-ino, and Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Surface Science, redreed 593
  
  ページ: 248-251
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Laser and nano-properties -Properties of nano-structured Si fabricated by laser ablation-2005
- 著者名/発表者名
  Kouichi Murakami, Tetsuya Makimura, Naoki Fukata
- 雑誌名
  
  The Review of Laser Engineering, refreed 33
  
  ページ: 5-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Direct micromachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya, Makjmura・Hisao, Miyamoto・Youichi, Kenmotsu・Kouichi, Murakami・Hiroyuki, Niino,
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 86
  
  ページ: 1031111-3
- NAID
  120007131276
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[雑誌論文] Micromachining of Inorganic Materials using Laser Plasma Soft X-Rays
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
- 雑誌名
  
  Electrical Engineering in Japan, refreed, to be published
- NAID
  10018480450
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[産業財産権] 軟X線加工装置及び軟X線加工法2005
- 発明者名
  牧村哲也, 村上浩一
- 権利者名
  独立行政法人科学技術辰興機構
- 産業財産権番号
  2004-034343
- 出願年月日
  2005
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656183
[学会発表] Segregation behaviors and radialdistribution of dopant atoms in siliconnanowires2011
- 著者名/発表者名
  N. Fukata, S. Ishida, S.Yokono, R. Takiguchi, T. Sekiguchi1, and K. Murakami
- 学会等名
  2011 MRS FALL Meeting
- 発表場所
  Boston(USA)
- 年月日
  2011-02-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[学会発表] Siナノワイヤ中のBアクセプタ濃度分布の定量評価2010
- 著者名/発表者名
  滝口亮, 石田慎哉, 横野茂輝, 深田直樹, 陣君, 関口隆史, 村上浩一
- 学会等名
  秋季応用物理学会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[学会発表] Doping and radial distribution of boron atoms in silicon nanowires2010
- 著者名/発表者名
  R.Takiguchi, S.Ishida, S.Yokono, N.Fukata, S.Hishita, J.Chen, T.Sekiguchi, K.Murakami
- 学会等名
  第6回シリコン材料の科学と技術フォーラム(2010岡山会議)
- 発表場所
  岡山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[学会発表] Siナノワイヤにイオン注入したBの電気の活性化2009
- 著者名/発表者名
  齋藤直之, 石田慎哉, 横野茂輝, 深田直樹, 陣君, 関口隆史, 菱田俊一, 村上浩一
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21510112
[学会発表] EUV材料プロセス2008
- 著者名/発表者名
  牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
- 学会等名
  2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学船橋キャンパス
- 年月日
  2008-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Materials Processing using EUV light2008
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  Symposium in The Japan Society of Applied Physics2008 Spring Meeting
- 発表場所
  Nihon Unviersity
- 年月日
  2008-05-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] EUVアブレーション2008
- 著者名/発表者名
  牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
- 学会等名
  平成20年電気学会全国大会
- 発表場所
  福岡工業大学
- 年月日
  2008-03-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] EUV ablation2008
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  Symposium in the Insitute of Electrical Engineers of Japan 2008
- 発表場所
  Fukuoka Kogyo University
- 年月日
  2008-03-21
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of transparent materials using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  Special Meeting of Kyushu Devision of The Japan Society of Applied Physics
- 発表場所
  Kyushu Uvniversity
- 年月日
  2007-11-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic ma-terials using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  (Invited Paper) Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
- 学会等名
  Optics and Optoelectronics 2007 Prague Czech Republic
- 年月日
  2007-04-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Silica Nanomachining Using Laser Plasma Soft X-Rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 8th International ternational Conference on Laser Precision Microfabrication, Vienna, Austria
- 年月日
  2007-04-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation process of silica glass using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2007 Fall Meeting
- 発表場所
  Hokkaido Kogyou University
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションプロセス2007
- 著者名/発表者名
  藤森隆成, 牧村哲也, 新納弘之, 村上浩一
- 学会等名
  2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道工業大学
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays and discussion on mechanism2007
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Takehiko Inoue, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
- 学会等名
  The Institute of Electrical Engineers of Japan Meeting
- 発表場所
  Hirosaki University
- 年月日
  2007-03-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  T. Makimura, S. Uchida, T. Fujimori, H. Niino, K. Murakami
- 学会等名
  The 8th International Conference on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  ウィーン
- 年月日
  2007-04-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of SiO_2 and Si using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2007 Fall Meeting
- 発表場所
  Hokkaido Kogyou University
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Process of silica nano-ablation using laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
- 学会等名
  9th Conference on Laser Ablation 2007
- 発表場所
  テネリフェ,スペイン
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] レーザープラズマ軟X線による透明材料のアブレーション2007
- 著者名/発表者名
  牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
- 学会等名
  応用物理学会九州支部特別講演会
- 発表場所
  九州大学伊都キャンパス
- 年月日
  2007-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Process of Silica Nano-Ablation Using Laser Plasma Soft X-Rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
- 学会等名
  9th International Conference on Laser lation Tenerife, Spain
- 年月日
  2007-09-25
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nano-ablation of quartz glass by laser plasma soft X-ray technique2007
- 著者名/発表者名
  Satoshi Uchida, Kengo Yofu, Takashige Fujimori, Takehiko Inoue, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2007 Spring Meeting
- 発表場所
  Aoyama Gakuin University
- 年月日
  2007-03-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Silica Nanomachining Using Laser Plasma Soft X-Rays2007
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  International Conference on Nanoelectronics, Nanostructures on Interactions, NTT Atsugi R&D Center
- 年月日
  2007-02-22
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] レーザープラズマ軟X線によるSiO2およびSiのアブレーション2007
- 著者名/発表者名
  牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
- 学会等名
  2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道工業大学
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablated species generated by irradiation of silica glass with laser plasma soft X-rays2007
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Takehiko Inoue, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  2007 Spring Meeting
- 発表場所
  Aoyama Gakuin University
- 年月日
  2007-03-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays(招待講演)2007
- 著者名/発表者名
  T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
- 学会等名
  Optics and Optoelectronics 2007
- 発表場所
  プラハ,チェコ
- 年月日
  2007-04-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Design and development of synchrotron beam line for rapid etching using XeF_2 gas2006
- 著者名/発表者名
  N. Nakai, H. Uno, S. Cho, R. Teruo, M. Suzui, Y. Teraoka, A. Yoshikoshi, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, T. Urisu
- 学会等名
  Joint Symposium of The 19th The Japan Society of Synchrotron Radiation Research and Synchrotron Radiation Science
- 発表場所
  Nagoya University
- 年月日
  2006-01-09
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Silica Nanomachining Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2006
- 著者名/発表者名
  Satoshi Uchida, Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
- 年月日
  2006-01-17
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Institute of Electrical Engineers of JapanC Devision Annual Meeting 2006
- 発表場所
  KantoGakuin University
- 年月日
  2006-09-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining dynamics of synthesized quartz glass using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
- 発表場所
  Musashino Kougyou University
- 年月日
  2006-03-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Micromachining of optical materials by ablation using High-energy laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
- 発表場所
  Musashino Kougyou University
- 年月日
  2006-03-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Dynamics of silica glass nano-ablation using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
- 発表場所
  Musashino Kougyou University
- 年月日
  2006-03-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ultra-fine micromachining of silica glass using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Laser_Society of Japan #352 Meeting
- 発表場所
  Miyazaki University
- 年月日
  2006-09-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Silica Ablation Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays in Various Gases2006
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
- 年月日
  2006-01-17
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Design and development of synchrotron beam line for rapid etching using XeF_2 gas2006
- 著者名/発表者名
  Naofumi Nakai, S. Zheng, H. Uno, R. Teruo, K. Suzui, Y. Teraoka, A. Yoshikoshi, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, T. Urisu
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2006 Fall Meeting
- 発表場所
  Ritsumeikan University
- 年月日
  2006-08-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2006
- 著者名/発表者名
  Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
- 年月日
  2006-01-17
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic transparent materials in gases using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
- 学会等名
  The Institute of Electrical Engineers of JapanMeeting
- 発表場所
  Nagasaki University
- 年月日
  2006-03-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Composition of silica glass after ablation using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2006 Fall Meeting
- 発表場所
  Ritsumeikan University
- 年月日
  2006-08-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
- 学会等名
  The Institute of Electrical Engineers of JapanMeeting
- 発表場所
  Nagasaki University
- 年月日
  2006-03-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic materials in gases using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Laser Society of JapanAnnual Meeting 2006
- 発表場所
  Ohmiya Sonic City
- 年月日
  2006-02-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
- 学会等名
  The 4th International Conference on Laser Advanced Materials Processing Kyoto Research Park, Kyoto
- 年月日
  2006-05-16
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm and Ablation Dynamics2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
- 発表場所
  Tsukuba Science City
- 年月日
  2005-11-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining of inorganic transparent materials using laserr plsma soft X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 8th Synposium on X-ray Microscopy
- 発表場所
  Kobe
- 年月日
  2005-12-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Development of a technique for nanomachining of inorganic transparent materials by X-ray exciton method2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami
- 学会等名
  Inovation Japan 2005
- 発表場所
  Tokyo International Forum
- 年月日
  2005-09-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
- 発表場所
  Tokushima University
- 年月日
  2005-09-08
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
- 学会等名
  International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005,
- 発表場所
  Tokyo
- 年月日
  2005-10-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ultra-fine micromachining of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 65th Annual Meeting of Japan Laser Processing Society
- 発表場所
  Sophia University
- 年月日
  2005-12-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2005
- 著者名/発表者名
  S. Uchida, T. Makimura, H. Miyamoto, K. Murakami
- 学会等名
  4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
- 発表場所
  Tsukuba Science City
- 年月日
  2005-11-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Reserch Meeting
- 発表場所
  Kyushu University
- 年月日
  2005-12-19
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Satoshi Uchida, Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
- 発表場所
  Tokushima University
- 年月日
  2005-09-08
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation process of quartz glass using laser plasma sfot X-rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hosao Miyamoto, Hiroyuki Miino, Kouichi Murakami
- 学会等名
  The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
- 発表場所
  Tokyshima University
- 年月日
  2005-09-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] 1.5〓 light emission of E〓 ions doped in SiO_2 films including Si nanocrystallites and in SiO_x films2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hiroshi Uematsu, Yuuki Okada and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 8th Conference on Laser Ablation
- 発表場所
  Banff, Canada
- 年月日
  2005-09-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005
- 著者名/発表者名
  (Invited Paser) Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 8th Conference on Laser Ablation
- 発表場所
  Banff, Canada
- 年月日
  2005-09-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005
- 著者名/発表者名
  Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
- 学会等名
  4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
- 発表場所
  Tsukuba Science City
- 年月日
  2005-11-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348
[学会発表] Direct Micromachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
- 学会等名
  The 8th International Conference on X-ray Microscopy
- 発表場所
  Egret Himeji
- 年月日
  2005-07-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360348

1. 升田公三 (90029405)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
2. 牧村哲也 (80261783)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 81件
3. 滝田宏樹 (00011213)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
4. 北島正弘 (00343830)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 深田直樹 (90302207)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
6. 目黒多加志 (20182149)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 一色秀夫 (60260212)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 尾笹一成 (10231234)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 青柳克信 (70087469)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 篠塚雄三 (30144918)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 前田康二 (10107443)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 小森文夫 (60170388)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 萱沼洋輔 (80124569)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 依田修

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. AZIZ M.J.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. LOWNDES D.H.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 鈴木堅吉

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 吉田岳人

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. GEDREGAN D.B

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. YOSHIDA T.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. GEOHEGON D.B.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. GEOHEGAN D.B

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

村上 浩一 MURAKAMI Kouichi

研究課題

研究成果

共同研究者

ナノ結晶、ナノワイヤへの機能性不純物ドーピングと新物性研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

励起ナノプロセスの基盤形成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザープラズマ軟X線による透明材料のナノ加工とナノ物質創製

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

無機透明材料のナノ加工のためのX線エキシトン空間閉じ込め

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

低速多価イオンビームによる原子操作

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半導体結晶中の水素分子の制御と分子メモリー研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

時間分解測定によるシリコンクラスターの表面反応と光ルミネッセンス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

レーザーアブレーションによる半導体薄膜作製と時間分解構造測定研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

レーザーアブレーションによるIV族超微粒子形成と動的機構の時間分解分光測定研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザーアブレーション超微粒子の時間分解レーザープラズマ軟X線分光研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光研究代表者

研究代表者

村上浩一 MURAKAMI Kouichi