牟田浩司 MUTA Hiroshi

研究者番号	10219850
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 近畿大学, 産業理工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2015年度: 近畿大学, 工学部, 教授 2013年度 – 2014年度: 岐阜大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2009年度 – 2010年度: 岐阜大学, 工学研究科, 准教授 2009年度: 岐阜大学, 准教授 2008年度: 岐阜大学, 工学部, 准教授 … もっと見る 2007年度: 九州大学, 総合理工学研究院, 助教 2002年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 助手 1998年度 – 1999年度: 北九州工業高等専門学校, 電子制御工学科, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者プラズマエレクトロニクス / 薄膜・表面界面物性 / プラズマ理工学研究代表者以外プラズマ科学 / 理工系
キーワード	研究代表者プラズマパラメータ / VHFプラズマ / 大面積一様化 / クラスタ / 高次シラン / クラスタ- / シランプラズマ / マルチホローカソード / クラスター / 高速製膜 … もっと見る / 超音速噴流 / 太陽電池 / バラン給電法 / 微結晶シリコン / 高圧狭ギャップ / 薄膜シリコン太陽電池 / ダイヤモンドライク薄膜 / マイクロ波伝播 / プローブ計測 / レーザー計測 / 数値シミュレーション / 電子速度分布関数 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ … もっと見る研究代表者以外電荷交換反応 / 可視化 / 流れ場 / 半導体レーザー / 荷電交換反応 / 化学ポテンシャル / 運動量輸送 / セナ効果 / 構造形成 / 誘起蛍光ドップラー分光 / プラズマ / 反E×B渦 / レーザー誘起蛍光分光法 / 流れ構造 / 中性粒子 / 渦 / プラズマ基礎 / 触媒・化学プロセス / 構造・機能材料 / 複合材料・物性 / 表面・界面物性 / プラズマ加工隠す

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  牟田浩司
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマエレクトロニクス
- 研究機関
  近畿大学
   岐阜大学
狭ギャップ高圧VHFプラズマを用いた微結晶シリコン薄膜作製研究代表者
- 研究代表者
  
  牟田浩司
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  岐阜大学
中性粒子風と渦の極性反転
- 研究代表者
  
  田中雅慶
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
低温プラズマ表面修飾技術による酸化チタン微粒子の環境浄化機能の改善に関する研究
- 研究代表者
  
  山田憲二
- 研究期間 (年度)
  2002
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  北九州工業高等専門学校
ECRプラズマ中の電子速度分布関数と成膜の再現性に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  牟田浩司
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  北九州工業高等専門学校

すべて 2015 2014 2011 2010 2009 2008 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] 高速噴流を利用したプラズマCVDの新規高速製膜手法2015
- 著者名/発表者名
  西田哲、納土亮、牟田浩司、栗林志頭眞
- 雑誌名
  
  ながれ（日本流体力学会誌）
  
  巻: 34 ページ: 15-20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[雑誌論文] 非平衡プラズマジェットCVD法によるシリコン製膜時に装置内圧力が製膜速度, 膜質に及ぼす影響2015
- 著者名/発表者名
  西田哲、納土亮、牟田浩司、栗林志頭眞
- 雑誌名
  
  化学工学論文集
  
  巻: 41(2) ページ: 148-152
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[雑誌論文] Effect of Gas Flow Rate on the High-Rate, Localized Jet-Deposition of Silicon in SiH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub> PE-CVD2014
- 著者名/発表者名
  S. Nishida, H. Muta, S. Kuribayashi
- 雑誌名
  
  JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING OF JAPAN
  
  巻: 47 号: 6 ページ: 478-482
- DOI
  10.1252/jcej.13we263
- NAID
  130004145823
- ISSN
  0021-9592, 1881-1299
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[雑誌論文] Estimation of Negative Ions in VHF SiH4/H2 Plasma2014
- 著者名/発表者名
  T. Yamane, S. Nakano, S. Nakao, Y. Takeuchi, R. Ichiki, H. Muta,, K. Uchino, Y. Kawai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 53 号: 11 ページ: 1-4
- DOI
  10.7567/jjap.53.116101
- NAID
  210000144592
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[雑誌論文]2011
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, S.Nakao, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Surf.Coat.Technol. in press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2011
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films in press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge2011
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, S.Nakao, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Surface & Coatings Technology
  
  巻: (in press,in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2011
- 著者名/発表者名
  H.Muta S.Nishida, S.Kuribayashi, N.Yoshikawa, R.Komatsu, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Physics Vol.50
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Effect of Excitation Frequency on the Spatial Distributions of a Surface Wave Plasma2011
- 著者名/発表者名
  H.Muta, S.Nishida, S.Kunbayashi, N.Yoshikawa, R.Komatsu, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 50
- NAID
  210000138242
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Dominant Ion Species in VHF SiH_4/H_2 Plasma2010
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, T.Baba, T.Yamane, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Physica Status Solidi C
  
  巻: 7 ページ: 549-552
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2010
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchil, T.Baba, T.Yamanel, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Phys.Status Solidi C Vol.7
  
  ページ: 549-552
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2010
- 著者名/発表者名
  Y.Kawai, K.Uchino, H.Muta S.Kawai, T.
- 雑誌名
  
  Rowf, Vacuum Vol.84
  
  ページ: 1381-1384
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Development of Large Diameter ECR Plasma Source2010
- 著者名/発表者名
  Y.Kawai, K.Uchino, H.Muta, S.Kawai, T.Rowfi
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 84 ページ: 1381-1384
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Development of VHF Plasma Source with Short Discharge Gap for Solar Cells2009
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, T.Baba, Y.Takeuchi, H.Takastsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Plasma Processes and Polymers 6
  
  ページ: 273-277
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2009
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, T. Baba, Y. Takeuchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Plasma Process.Polym. Vol.6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2009
- 著者名/発表者名
  H.Muta, S.Kishida, M.Tanaka, Y.Yamauchi, T.Baba, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Plasma Process.Polym. Vol.6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文] Investigation of Plasma Paramclers in a VHF Plasma with Narrow Gapunder High Gaseous Pressure2009
- 著者名/発表者名
  H Muta, S, Kishida, M. Tanaka, Y. Yamauchi, T. Baba. Y. Takcuchi, H. Takatsuka. Y. Kawai
- 雑誌名
  
  Plasma Processes and Polymers 4(印刷中)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2008
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, H.Yamashita, H.Muta, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Contributions to Plasma Physics Vol.48
  
  ページ: 326-330
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2008
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, Y.Kai, H.Muta, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Surf.Coat.Technol. Vol.202
  
  ページ: 5668-5671
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2008
- 著者名/発表者名
  T.Nishnniya, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, T.Shioya, H.Muta, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.516
  
  ページ: 4430-4434
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[雑誌論文]2008
- 著者名/発表者名
  D.H.Thang, H.Muta, Y.Kawai
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.516
  
  ページ: 4452-4455
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Numerical Investigation of VHF Plasmas Produced by a Balanced Power Feeding Method2011
- 著者名/発表者名
  H.Muta, S.Nishida, S.Kuribayashi, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  第3回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム(ISPlasma2011)
- 発表場所
  名古屋工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Analysis of Si Deposition Using Under-expanded Supersonic Jet in SiH_4/H_2 PE-CVD2011
- 著者名/発表者名
  S.Nishida, Y.Tsunekawa, M.Ukai, D.Ando, N.Okamoto, S.Tanaka, N.Tanaka, J.Nakamura, Y.Nomura, H.Muta, S.Kuribayashi
- 学会等名
  第3回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム(ISPlasma2011)
- 発表場所
  名古屋工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 高圧狭ギャップVHFプラズマの数値シミュレーション2010
- 著者名/発表者名
  高比良将, 丸尾幸一郎, 牟田浩司, 西田哲, 栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Control of Large Area VHF Plasma Produced at High Pressure2010
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials
- 発表場所
  Jeju (Korea)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 不足膨張噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長2010
- 著者名/発表者名
  安藤大輔, 中村次郎, 恒川佳寛, 栗林志頭眞, 西田哲, 牟田浩司, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  県民文化ホール未来会館(岐阜)
- 年月日
  2010-08-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] バラン給電法によるVHFプラズマの特性2010
- 著者名/発表者名
  水野健太, 松岡正典, 牟田浩司, 西田哲, 栗林志頭眞, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  県民文化ホール未来会館(岐阜)
- 年月日
  2010-08-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 高圧狭ギャップVHFプラズマの空間分布特性2010
- 著者名/発表者名
  丸尾幸一郎, 高比良将, 牟田浩司, 西田哲, 栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge2010
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, S.Nakao, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  Twelfth International Conference on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, (Germany)
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Observation of Negative Ions in VHF SiH_4/H_2 Plasma2010
- 著者名/発表者名
  Y.Kawai, T.Yamane, Y. Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino
- 学会等名
  7th International Conference on Reactive Plasmas and 63rd Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Paris (France)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 衝突噴流群を用いた非平衡プラズマCVDによる高速シリコン成膜2010
- 著者名/発表者名
  鵜飼正夫, 恒川佳寛, 岡本直樹, 田中翔, 西田哲, 牟田浩司, 栗林志頭眞, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 不足膨張噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長2010
- 著者名/発表者名
  安藤大輔, 中村次郎, 恒川佳寛, 栗林志頭眞, 西田哲, 牟田浩司, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  岐阜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 高圧狭ギャップVHFプラズマの数値シミュレーション2010
- 著者名/発表者名
  S.Nishida, Y.Tsunekawa, M.Ukai,, D.Ando, N.Okamoto, S.Tanaka, N.Tanaka, J.Nakamura, Y.Nomura, H.Muta, S.Kuribayashi
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Characteristics of VHF Plasma Produced by a Balance Power Feeding Method2010
- 著者名/発表者名
  H.Muta, S.Nishida, S.Kuribayashi, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials
- 発表場所
  Jeju (Korea)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 超音速不足膨張噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるSi製膜に及ぼすVHF周波数の影響2010
- 著者名/発表者名
  恒川佳寛, 安藤大輔, 中村次郎, 西田哲, 牟田浩司, 栗林志頭眞, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 高圧狭ギャップVHFプラズマの空間分布特性2010
- 著者名/発表者名
  丸尾幸一郎, 高比良将, 牟田浩司, 西田哲, 栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge2010
- 著者名/発表者名
  T.Nishimiya, T.Yamane, S.Nakao, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  Twelfth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen
- 発表場所
  Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] バラン給電法によるVHFプラズマの特性2010
- 著者名/発表者名
  水野健太, 松岡正典, 牟田浩司, 西田哲, 栗林志頭眞, 竹内良昭, 山内康弘, 高塚汎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  岐阜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Dominant ion species in VHF SiH_4/H_2 plasma2009
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, T.Baba, T.Yamane, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors
- 発表場所
  Utrecht, Netherlands
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] Proceedings of the 24th European Photovoltaic Solar Energy Conference (Hamburg)2009
- 著者名/発表者名
  Y.Yamauchi, T.Baba, Y.Takeuchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai
- 学会等名
  20090000
- 発表場所
  2333-2336
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560022
[学会発表] 太陽電池のテクスチャ構造の形状による電流漏れの変化の評価
- 著者名/発表者名
  兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 非平衡プラズマジェットCVD を用いた微結晶シリコン膜(μc-Si) の高速成膜
- 著者名/発表者名
  千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 太陽電池用a-Si:H 膜の高速成膜と高品質アニール効果の研究
- 著者名/発表者名
  岡田祐希，栗林志頭眞，牟田浩司，西田哲
- 学会等名
  秋季第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 選択的Si 酸化を用いたc-Si/a-Si ヘテロ接合界面における漏れ電流抑制技術の開発
- 著者名/発表者名
  三和寛之，西田哲，牟田浩司，野々村修一，栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] バラン給電型リモートプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発
- 著者名/発表者名
  岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 大面積VHFプラズマ中の定在波測定
- 著者名/発表者名
  廣井将平，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] バラン給電型SiH4/H2リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価
- 著者名/発表者名
  滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 二次元ノズルを用いた非平衡プラズマジェットCVDの大面積化・高品質化の研究
- 著者名/発表者名
  松永卓真，井関将仁，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞
- 学会等名
  日本機械学会熱工学コンファレンス2013
- 発表場所
  弘前大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] バラン給電型マルチホローカソードプラズマを用いた低光劣化a-Si:H 製膜法の開発
- 著者名/発表者名
  鈴木貴也，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
- 学会等名
  秋季第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108
[学会発表] 非平衡プラズマジェットCVDに於けるガス流速がSi成膜品質に及ぼす影響の考察
- 著者名/発表者名
  井関将仁，西田　哲，牟田浩司，栗林志頭眞
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390108

1. 山田憲二 (80101179)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
2. 松嶋茂憲 (80229476)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 中村裕之 (70172434)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 山根大和 (70332096)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 田中雅慶 (90163576)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 河野光雄 (00038564)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 吉村信次 (50311204)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

牟田 浩司 MUTA Hiroshi

研究課題

研究成果

共同研究者

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

狭ギャップ高圧VHFプラズマを用いた微結晶シリコン薄膜作製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

中性粒子風と渦の極性反転

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

低温プラズマ表面修飾技術による酸化チタン微粒子の環境浄化機能の改善に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ECRプラズマ中の電子速度分布関数と成膜の再現性に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 高速噴流を利用したプラズマCVDの新規高速製膜手法2015

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] 非平衡プラズマジェットCVD法によるシリコン製膜時に装置内圧力が製膜速度, 膜質に及ぼす影響2015

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effect of Gas Flow Rate on the High-Rate, Localized Jet-Deposition of Silicon in SiH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub> PE-CVD2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Estimation of Negative Ions in VHF SiH4/H2 Plasma2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文]2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文]2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文]2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effect of Excitation Frequency on the Spatial Distributions of a Surface Wave Plasma2011

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Dominant Ion Species in VHF SiH_4/H_2 Plasma2010

著者名/発表者名

雑誌名

牟田浩司 MUTA Hiroshi