新部正人 Niibe Masahito

研究者番号	10271199
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 客員研究員(研究員)
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2023年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 客員研究員(研究員) 2014年度 – 2017年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 2003年度: 姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授 2001年度: 姫路工業大学, 高度産業化学技術研究所, 助教授 1999年度 – 2001年度: 姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者応用光学・量子光工学 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外小区分29020:薄膜および表面界面物性関連 / 小区分28030:ナノ材料科学関連 / 応用光学・量子光工学
キーワード	研究代表者 Wavefront error / Point Diffraction Interferometer / Lithography / Multilayer / Thin Film / Aspherical / Optical Element / Soft X-Rays / 表面粗さ / 内部応力 … もっと見る / X線 / 波面収差 / 点回折干渉法 / リソグラフィ / 多層膜 / 薄膜 / 非球面 / 光学素子 / 軟X線 / イオンビーム / プラズマ / ドライエッチング / 軟Ｘ線吸収 / 欠陥 / 化合物半導体 / ＵＶ照射 / TiO2 / GaN / UV / ワイドギャップ半導体 / 紫外線照射 / プラズマエッチング … もっと見る研究代表者以外中性子照射高配向性熱分解黒鉛 / 放射光X線回折測定法によるその場観察技術の開発 / 中性子照射高配向性熱分解グラファイト(HOPG) / 放射光X線回折法によるその場観察技術の開発 / 高温領域における構造相転移 / スピンデバイス / 原子状水素 / グラフェンナノリボン / 加熱触媒体 / 水素 / 2次元芳香族化合物 / Multilayer coating / Mirau Interferometer / Phase defect / Defect Inspection / EUV Lithography / Extreme Ultraviolet / X-ray microscope / ミラウ干渉計 / EUVリソグラフィー / 軟X線位相差顕微鏡 / 多層膜 / ミラウ干渉 / 位相欠陥 / 欠陥検査 / EUVリソグラフィ / X線顕微鏡隠す

高温領域における構造相転移のその場観察技術の開発と中性子照射HOPGへの適用
- 研究代表者
  
  本多信一
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
水素と加熱触媒体を用いた2次元芳香族化合物創製とスピンデバイス応用
- 研究代表者
  
  部家彰
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28030:ナノ材料科学関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
ワイドギャップ半導体のプラズマエッチングプロセスにおけるUV照射効果の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  新部正人
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  兵庫県立大学
極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察
- 研究代表者
  
  木下博雄
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  兵庫県立大学
   姫路工業大学
薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製研究代表者
- 研究代表者
  
  新部正人
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  姫路工業大学

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すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] 演習・基礎から学ぶ大学の化学2018
- 著者名/発表者名
  伊藤省吾・植田一正・梅本宏信・神田一浩・新部正人・原田茂治・平川和貴・藤本忠蔵・宮林恵子・盛谷浩右
- 総ページ数
  144
- 出版者
  倍風館
- ISBN
  9784563046309
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Characteristics of TiO 2 thin films surfaces treated by O 2 plasma in dielectric barrier discharge with the assistance of external heating2018
- 著者名/発表者名
  Kawakami Retsuo、Niibe Masahito、Nakano Yoshitaka、Araki Yuma、Yoshitani Yuki、Azuma Chisato、Mukai Takashi
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 152 ページ: 265-271
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2018.03.051
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Soft X-ray irradiation effect on the fluorinated DLC film2017
- 著者名/発表者名
  Takamatsu Hiroki、Niibe Masahito、Zhou XiaoLong、Komatsu Keiji、Saitoh Hidetoshi、Akasaka Hiroki、Saiga Akihiro、Tamada Koji、Tagawa Masahito、Yokota Kumiko、Furuyama Yuichi、Kanda Kazuhiro
- 雑誌名
  
  Diamond & Related Materials
  
  巻: 79 ページ: 14-20
- DOI
  10.1016/j.diamond.2017.08.004
- NAID
  120006394590
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06799, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Soft X-ray absorption spectroscopy study of chemical states, orientation, and oxygen content of ion-irradiated vertically aligned multiwalled carbon nanotubes2017
- 著者名/発表者名
  Honda Shin-ichi、Ideno Fumiya、Muramatsu Yasuji、Niibe Masahito、Terasawa Mititaka、Gullikson Eric M.、Lee Kuei-Yi
- 雑誌名
  
  J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.
  
  巻: 220 ページ: 91-95
- DOI
  10.1016/j.elspec.2016.12.013
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Generation of electrical damage in n-GaN films following treatment in a CF4 plasma2017
- 著者名/発表者名
  Nakano Yoshitaka, Kawakami Retsuo, Niibe Masahito
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 10 号: 11 ページ: 116201-116201
- DOI
  10.7567/apex.10.116201
- NAID
  210000136023
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06276, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] AlGaN surfaces etched by CF4 plasma with and without the assistance of near-ultraviolet irradiation2017
- 著者名/発表者名
  Retsuo Kawakami, Masahito Niibe, Yoshitaka Nakano, Takashi Mukai
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 136 ページ: 28-35
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2016.11.016
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06276, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Large take-off angle dependence of C-K emission spectra observed in highly oriented pyrolytic graphite2017
- 著者名/発表者名
  Niibe Masahito、Tokushima Takashi、Takehira Noritaka、Araki Yuma
- 雑誌名
  
  J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.
  
  巻: 220 ページ: 118-120
- DOI
  10.1016/j.elspec.2017.02.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Characteristics of N2 and O2 Plasma-Induced Damages on AlGaN Thin Film Surfaces2017
- 著者名/発表者名
  Kawakami Retsuo、Niibe Masahito、Nakano Yoshitaka、Tanaka Ryo、Azuma Chisato、Mukai Takashi
- 雑誌名
  
  physica status solidi (a)
  
  巻: 214 号: 11 ページ: 1700393-1700393
- DOI
  10.1002/pssa.201700393
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06276, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Low Energy Soft X-ray Emission Spectrometer at BL-09A in NewSUBARU2016
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe and Takashi Tokushima
- 雑誌名
  
  Proc. SRI2015, AIP Conf. Proc.
  
  巻: 1741 ページ: 030042-030042
- DOI
  10.1063/1.4952865
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Development of the Surface-sensitive Soft X-ray Absorption Fine Structure Measurement Technique for the Bulk Insulator2016
- 著者名/発表者名
  T. Yonemura, J. Iihara, S. Uemura, K. Yamaguchi, M. Niibe
- 雑誌名
  
  Proc. SRI2015, AIP Conf. Proc.
  
  巻: 1741 ページ: 050025-050025
- DOI
  10.1063/1.4952945
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Damage Characteristics of n-GaN Crystal Etched with N2 Plasma by Soft X-Ray Absorption Spectroscopy2016
- 著者名/発表者名
 M. Niibe, T. Kotaka, R. Kawakami, Y. Nakano, T. Mukai
- 雑誌名
 
 e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
 
 巻: 14 号: 0 ページ: 9-13
- DOI
 10.1380/ejssnt.2016.9
- NAID
 130005120933
- ISSN
 1348-0391
- 言語
 英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Fabrication and characterization of fine-grained 316L steel with 2.0 mass% TiC2016
- 著者名/発表者名
  M. Terasawa, H. Kurishita, T. Sakamoto, M. Niibe, H. Takahashi, S. Nishikawa, A. Yamamoto, M. Yamashita, T. Mitamura, T. Yamasaki, M. Kawai
- 雑誌名
  
  J. Nuclear Sci. Technol.
  
  巻: 印刷中号: 12 ページ: 1951-1959
- DOI
  10.1080/00223131.2016.1175390
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Fabrication of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Hexamethyldisilane with Microwave Discharge Flow of Ar2016
- 著者名/発表者名
  H. Ito, M. Kumakura, T. Suzuki, M. Niibe, K. Kanda, and H. Saitoh
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 6S2 ページ: 06HC01-06HC01
- DOI
  10.7567/jjap.55.06hc01
- NAID
  210000146710
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K04958, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Comparison between AiGaN surfaces etchtched bycarbon tetrafluoride and argon plasmas: Effect of the fluorine impurities incorporated in the surface2015
- 著者名/発表者名
  R. Kawakami, M. Niibe, Y. Nakano, T. Shirahama, S. Hirai, T. Mukai
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 119 ページ: 264-269
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Resistance of Hydrogenated Titanium-Doped Diamond-Like Carbon Film to Hyperthermal Atomic Oxygen2015
- 著者名/発表者名
  K. Kidena, M. Endo, H. Takamatsu, M. Niibe, M. Tagawa, K. Yokota, Y. Furuyama, K. Komatsu, H. Saitoh, K. Kanda
- 雑誌名
  
  Metals
  
  巻: 5 号: 4 ページ: 1957-1970
- DOI
  10.3390/met5041957
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066, KAKENHI-PROJECT-15K14252, KAKENHI-PROJECT-15K14253, KAKENHI-PROJECT-25289307, KAKENHI-PROJECT-26289322
[雑誌論文] Electrical Investigation of Deep-Level Defects Induced in AlGaN/GaN Heterostrucutures by CF4 Plasma Treatments2015
- 著者名/発表者名
  2)R. Kawakami, Y. Nakano, M. Niibe, T. Shirahama, and T. Mukai
- 雑誌名
  
  ECS Solid State Letters
  
  巻: 4 ページ: 36-38
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Surface Analysis of AlGaN Treated with CF4 and Ar Plasma Etching2015
- 著者名/発表者名
 S. Hirai, M. Niibe, R. Kawakami, T. Shirahama, Y. Nakano, T. Mukai
- 雑誌名
 
 e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
 
 巻: 13 号: 0 ページ: 481-487
- DOI
 10.1380/ejssnt.2015.481
- NAID
 130005114535
- ISSN
 1348-0391
- 言語
 英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Recovery of x-ray absorption spectral profile in etched TiO2 thin films2015
- 著者名/発表者名
  1)Keiji Sano, Masahito Niibe, Retsuo Kawakami and Yoshitaka Nakano
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol.
  
  巻: A33 ページ: 031403-031403
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Ar+-irradiation-induced damage in hydride vapor-phase epitaxy GaN films2015
- 著者名/発表者名
  Y. Nakano, D. Ogawa, K. Nakamura, R. Kawakami, M. Niibe
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. A
  
  巻: 33 号: 4 ページ: 0314031-5
- DOI
  10.1116/1.4922593
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066, KAKENHI-PROJECT-25420300
[雑誌論文] Optical and electrical investigation of Ar+-irradiated GaN2014
- 著者名/発表者名
  Miao-Gen Chen, Keiji Nakamura, Yan-Qing Qiu, Daisuke Ogawa, Retsuo Kawakami, Masahito Niibe, Yoshitaka Nakano
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 7 号: 11 ページ: 111003-111003
- DOI
  10.7567/apex.7.111003
- NAID
  210000137269
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420300, KAKENHI-PROJECT-26390066
[雑誌論文] Damage Characteristics of n-GaN Thin Film Surfaces Etched by Ultraviolet Light-Assisted Helium Plasmas2014
- 著者名/発表者名
  5)R. Kawakami, M. Niibe, Y. Nakano, T. Shirahama, K. Aoki, K. Oba, M. Takabatake, T. Mukai
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 570 ページ: 81-86
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 中性子照射黒鉛から生成された圧縮黒鉛のTEM-EELSによる分析2024
- 著者名/発表者名
  庭瀬敬右，大澤優太，斎藤興也，佐藤庸平，寺内正己，北詰崇，徳永匠，肥後祐司，新部正人，本多信一
- 学会等名
  日本金属学会2024年春期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04586
[学会発表] Compressed graphite and its electronic structure investigated by TEM-EELS2023
- 著者名/発表者名
  Keisuke Niwase, Y. Ohsawa, Y. K. Sato, T. Saito, M. Terauchi, T. Kitazume, T. Tokunaga, Y. Higo, M. Niibe, S. Honda
- 学会等名
  33nd International Conference on Diamond and Carbon Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04586
[学会発表] 中性子照射した高配向熱分解黒鉛の高温高圧処理による圧縮黒鉛の合成とその構造・電子特性の評価2023
- 著者名/発表者名
  北詰崇，徳永匠，肥後祐司，佐藤庸平，庭瀬敬右，新部正人，本多信一
- 学会等名
  2023年日本表面真空学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04586
[学会発表] TEM-EELSを用いた圧縮グラファイトの電子構造の研究2023
- 著者名/発表者名
  大澤優太，佐藤庸平，斎藤興也，寺内正己，北詰崇，徳永匠，藤井俊治郎，肥後祐司，庭瀬敬右，新部正人，本多信一
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第79回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04586
[学会発表] 大気圧Heパスを用いた軟Ｘ線吸収分光測定技術の開発2018
- 著者名/発表者名
  横内翔，新部正人
- 学会等名
  先端技術セミナー2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 原子状水素を用いたNiコートミラーの炭素汚染の除去2018
- 著者名/発表者名
  新部正人、原田哲男、部家彰、渡邊健夫、松尾直人
- 学会等名
  第31回日本放射光学会シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Construction and Performance of the Compact Soft X-ray Emission Spectrometer at BL-09A in NewBUBARU SR Facility2017
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Noritaka Takehira, and Tahashi Tokushima
- 学会等名
  5th Annual Congress of AnalytiX-2017
- 発表場所
  ヒルトン福岡シーホーク、（福岡県福岡市）
- 年月日
  2017-03-22
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2 Thin Film Surfaces Treated by O2 Plasma in Dielectric Barrier Discharge with Assistance of Heat Treatment2017
- 著者名/発表者名
  Retsuo Kawakami, Kengo Fujimoto, Masahito Niibe, Yuma Araki, Yoshitaka Nakano and Takashi Mukai
- 学会等名
  14th International Symp. Sputtering & Plasma Processes
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Surface Structure Analysis of AlGaN Thin Films Damaged by Oxygen and Nitrogen Plasmas2017
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Ryo Tanaka, Retsuo Kawakami, Yoshitaka Nakano and Takashi Muka
- 学会等名
  The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2 薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関2017
- 著者名/発表者名
  荒木佑馬、新部正人、川上烈生、竹平徳崇、中野由崇
- 学会等名
  第30回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター（兵庫県神戸市）
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 光触媒TiO2薄膜への加熱を伴うO2 DBDプラズマ処理効果2017
- 著者名/発表者名
  川上烈生, 新部正人, 中野由崇, 芳谷勇樹, 東知里, 向井孝志
- 学会等名
  平成29年度電気関係学会四国支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Generation Behavior of Electrical Damage Introduced into n-GaN Films by CF4 Plasma Treatments2017
- 著者名/発表者名
  Yoshitaka Nakano, Retsuo Kawakami and Masahito Niibe
- 学会等名
  29th International Conf. on Defects in Semiconductors (ICDS)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 原子状水素を用いたNiコートミラーの炭素汚染の除去2017
- 著者名/発表者名
  新部正人、原田哲男、部家彰、渡邊健夫、松尾直人
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 酸素および窒素プラズマ処理したAlGaN膜の表面分析2017
- 著者名/発表者名
  田中良、新部正人、川上烈生、中野由崇、向井孝志
- 学会等名
  第30回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター（兵庫県神戸市）
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Observation of B-K Emission and Absorption Spectra of Trace Boron Doped in HOPG2017
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Noritaka Takehira and Takashi Tokushima
- 学会等名
  The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] CF4プラズマ処理したn-GaN膜の電気的評価2016
- 著者名/発表者名
  6) 中野由崇, 坂井佑輔, 新部正人, 川上烈生
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Electrical damage in n-GaN films treated by CF4 plasma2016
- 著者名/発表者名
  Yoshitaka Nakano, Masahito Niibe and Retsuo Kawakami
- 学会等名
  International Symposium of Dry Process 2016
- 発表場所
  北海道大学（北海道札幌市）
- 年月日
  2016-11-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Effect of Ultraviolet Light-Assisted CF4 Plasma Irradiation on AlGaN Thin Film Surface2016
- 著者名/発表者名
  Retsuo Kawakami, Masahito Niibe, Yoshitaka Nakano and Takashi Mukai
- 学会等名
  43rd International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2016)
- 発表場所
  富山国際会議場（富山県富山市）
- 年月日
  2016-06-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Soft X-ray Absorption Spectroscopy of Orientation, Oxygen Content, Chemical States of Ion-irradiated Vertically Aligned Multiwalled Carbon Nanotubes2016
- 著者名/発表者名
  S. Honda, F. Ideno, Y. Muramatsu, M, Niibe, M. Terasawa, E.M. Gullikson and K.-Y. Lee
- 学会等名
  39th inter’l Conf. on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics (VUVX2016)
- 発表場所
  Zurich, Switzerland
- 年月日
  2016-07-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] CF4とArプラズマ処理したAlGaN膜の表面分析2016
- 著者名/発表者名
  8) 平井翔大，新部正人，川上烈生，竹平徳崇，中野由崇，向井孝志
- 学会等名
  第29回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  東京大学柏の葉キャンパス（千葉県柏市）
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Electrical Damage Investigation of n-GaN Films Treated by CF4 Plasma2016
- 著者名/発表者名
  Yoshitaka Nakano, Masahito Niibe and Retsuo Kawakami
- 学会等名
  43rd International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2016)
- 発表場所
  富山国際会議場（富山県富山市）
- 年月日
  2016-06-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] AlGaN表面特性への酸素プラズマ照射効果2016
- 著者名/発表者名
  新部正人, 川上烈生，中野由崇、田中良、荒木佑馬、東知里、向井孝志
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ、（新潟県新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関2016
- 著者名/発表者名
  荒木佑馬、竹平徳崇、新部正人、川上烈生、中野由崇
- 学会等名
  第52回X線分析討論会
- 発表場所
  筑波大学東京キャンパス（東京都文京区）
- 年月日
  2016-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS 法による組成と触媒活性の相関2016
- 著者名/発表者名
  7)　荒木佑馬，新部正人，川上烈生，竹平徳崇，中野由崇
- 学会等名
  第29回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  東京大学柏の葉キャンパス（千葉県柏市）
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] CF4プラズマ処理したn-GaN膜の電気的ダメージ2016
- 著者名/発表者名
  中野由崇、新部正人、川上烈生
- 学会等名
  2016年真空・表面科学合同講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2016-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] A large take-off angle dependence of C-K emission spectra observed in highly oriented pyrolytic graphite2016
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Takashi Tokushima, Niritaka Takehira, Yuma Araki
- 学会等名
  39th inter’l Conf. on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics (VUVX2016)
- 発表場所
  Zurich, Switzerland
- 年月日
  2016-07-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 紫外光アシストCF4プラズマでエッチンングされたAlGaN表面分析2015
- 著者名/発表者名
  10)新部正人，川上烈生，中野由崇，竹平徳崇，平井翔大，荒木佑馬，東知里，向井孝志
- 学会等名
  第76回秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Anatase TiO2 Thin Films Grown by Facing-Target Reactive Sputtering and Its Impact on Photocatalytic Activity2015
- 著者名/発表者名
  1) R. Kawakami, M. Niibe, Y. Nakano, C. Azuma and T. Mukai
- 学会等名
  International Symposium of Dry Process 2015
- 発表場所
  Awaji-Yumebutai International Conference Center, （兵庫県淡路島）
- 年月日
  2015-11-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Development of the Surface-sensitive Soft X-ray Absorption Fine Structure Measurement Technique for the Bulk Insulator2015
- 著者名/発表者名
  4) T. Yonemura, J. Iihara, S. Uemura, K. Yamaguchi, M. Niibe
- 学会等名
  The 12th inter’l conf. on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2015)
- 発表場所
  New York, USA
- 年月日
  2015-07-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS 法による組成と触媒活性の相関2015
- 著者名/発表者名
  9) 荒木佑馬，新部正人，川上烈生，竹平徳崇，中野由崇
- 学会等名
  第51回Ｘ線分析討論会
- 発表場所
  姫路・西はりま地場産業センター（兵庫県姫路市）
- 年月日
  2015-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 酸化チタン薄膜表面への酸素プラズマ照射効果2015
- 著者名/発表者名
  11)新部正人，荒木佑馬，竹平徳崇，川上烈生，中野由崇，東知里
- 学会等名
  第76回秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] A Relation between Pinch-Off Voltages and Deep-Level Defects in AlGaN/GaN Hetero-Structures Treated by CF4 Plasma2015
- 著者名/発表者名
  2) Y. Nakano, R. Kawakami, M. Niibe, T. Shirahama and T. Mukai
- 学会等名
  11th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-11)
- 発表場所
  Beijing, China
- 年月日
  2015-08-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Low energy soft X-ray Emission Spectrometer at BL-09A in NewSUBARU2015
- 著者名/発表者名
  3)Masahito Niibe and Takashi Tokushima
- 学会等名
  The 12th inter’l conf. on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2015)
- 発表場所
  New York, USA
- 年月日
  2015-07-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Comparison between Surface Characteristics of Titanium Oxide Thin Films Treated with N2 Dielectric Barrier Discharge Plasma and Annealed in N2 Gas2015
- 著者名/発表者名
  5) R. Kawakami, M. Niibe, Y. Nakano and T. Mukai
- 学会等名
  13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP)
- 発表場所
  京都リサーチパーク, （京都府京都市）
- 年月日
  2015-07-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析2014
- 著者名/発表者名
  平井翔大，新部正人，白濱達夫，川上烈生，中野由崇，向井孝志
- 学会等名
  兵庫県立大学知の交流シンポジウム
- 発表場所
  姫路商工会議所（兵庫県姫路市）
- 年月日
  2014-09-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Damage Characteristics of n-GaNCrystal Etched with N2 Plasma by Soft X-ray Absorption Spectroscopy
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Takuya Kotaka, Retsuo Kawakami, Yoshitaka Nakano and Takashi Mukai
- 学会等名
  7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
- 発表場所
  Kunibikki Messe, Matsue, Japan
- 年月日
  2014-11-02 – 2014-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Si含有DLC 膜の原子状酸素照射効果
- 著者名/発表者名
  貴傳名健吾，新部正人，横田久美子，田川雅人，古山雄一，小松啓記，斎藤秀俊，神田一浩
- 学会等名
  第75回秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] CF4とArプラズマでエッチングしたAlGaN表面ダメージ
- 著者名/発表者名
  新部正人，川上烈生，中野由崇，向井孝志，白濱達夫，平井翔大
- 学会等名
  第75回秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Ｘ線吸収分光法を用いたTiO2薄膜のプラズマダメージ評価
- 著者名/発表者名
  佐野桂治，新部正人，川上烈生，中野由崇
- 学会等名
  第28回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  立命館大学びわこ・くさつキャンパス（滋賀県草津市）
- 年月日
  2015-01-10 – 2015-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Morphological and Compositional Changes in AlGaN Surfaces etched by RF Capacitively Coupled Carbon Tetrafluoride and Argon Plasmas
- 著者名/発表者名
  R. Kawakami, M. Niibe, Y. Nakano, T. Shirahama, S. Hirai and T. Mukai
- 学会等名
  36th International Symposium on Dry Process (DSP2014)
- 発表場所
  PACIFICO Convention Plaza, Yokohama, Japan
- 年月日
  2014-11-27 – 2014-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析
- 著者名/発表者名
  平井翔大，新部正人，川上烈生，白濱達夫，中野由崇，向井孝志
- 学会等名
  第28回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  立命館大学びわこ・くさつキャンパス（滋賀県草津市）
- 年月日
  2015-01-10 – 2015-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Surface analysis of AlGaN treated by Ar and CF4 plasma etching
- 著者名/発表者名
  Shodai Hirai, Masahito Niibe, Retsuo Kawakami, Yoshitaka Nakano
- 学会等名
  7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
- 発表場所
  Kunibiki Messe, Matsue, Japan
- 年月日
  2014-11-02 – 2014-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Etching damage analysis of n-GaN crystals etched with N2-plasma using soft X-ray absorption spectroscopy
- 著者名/発表者名
  Masahito Niibe, Takuya Kotaka, Retsuo Kawakami, Yoshitaka Nakano and Takashi Mukai
- 学会等名
  36th International Symposium on Dry Process (DSP2014)
- 発表場所
  PACIFICO Convention Plaza, Yokohama, Japan
- 年月日
  2014-11-27 – 2014-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Spectral Recovery of Etching Damage of TiO2 thin film Observed in XAS Spectra
- 著者名/発表者名
  Keiji Sano, Masahito Niibe, Retsuo Kawakami, Yoshitaka Nakano
- 学会等名
  7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
- 発表場所
  Kunibiki Messe, Matsue, Japan
- 年月日
  2014-11-02 – 2014-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 軽元素領域の軟Ｘ線発光分光器の開発
- 著者名/発表者名
  新部正人，徳島高
- 学会等名
  第28回日本放射光学会シンポジウム
- 発表場所
  立命館大学びわこ・くさつキャンパス（滋賀県草津市）
- 年月日
  2015-01-10 – 2015-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Ar+イオン照射したHVPE-GaN膜の電気的評価
- 著者名/発表者名
  中野由崇，中村圭二，新部正人，川上烈生
- 学会等名
  第75回秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] TiO2超微粒子の軟Ｘ線照射によるNEXAFSスペクトル形状の回復
- 著者名/発表者名
  新部正人，佐野桂治，川上烈生，中野由崇
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] Ar＋イオン照射したMOCVD-GaN:Si膜の電気的評価
- 著者名/発表者名
  中野由崇，高木健司，小川大輔，中村圭二，新部正人，川上烈生
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] CF4プラズマ処理したAlGaN/GaNヘテロ構造の電気的評価
- 著者名/発表者名
  中野由崇，川上烈生，新部正人，高木健司，白濱達夫，向井孝志
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066
[学会発表] 軽元素領域の軟Ｘ線発光分光器の開発
- 著者名/発表者名
  新部正人，徳島高
- 学会等名
  第55回真空に関する合同講演会
- 発表場所
  大阪府立大学I-siteなんば（大阪市浪速区）
- 年月日
  2014-11-18 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390066

1. 渡邊健夫 (70285336)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
2. 木下博雄 (50285334)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 川上烈生 (30314842)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 43件
4. 中野由崇 (60394722)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 44件
5. 格内敏 (10101130)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 部家彰 (80418871)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 住友弘二 (30393747)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 神田一浩 (20201452)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
9. 本多信一 (90324821)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
10. 肥後祐司 (10423435)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
11. 庭瀬敬右 (50198545)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
12. 佐藤庸平 (70455856)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
13. 小高拓也

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
14. 佐野桂治

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
15. 平井翔大

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
16. 荒木佑馬

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
17. 田中良

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
18. 斎藤秀俊

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
19. 熊倉基起

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
20. 伊藤治彦

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

新部 正人 Niibe Masahito

研究課題

研究成果

共同研究者

高温領域における構造相転移のその場観察技術の開発と中性子照射HOPGへの適用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

水素と加熱触媒体を用いた2次元芳香族化合物創製とスピンデバイス応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ワイドギャップ半導体のプラズマエッチングプロセスにおけるUV照射効果の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] 演習・基礎から学ぶ大学の化学2018

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[雑誌論文] Characteristics of TiO 2 thin films surfaces treated by O 2 plasma in dielectric barrier discharge with the assistance of external heating2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Soft X-ray irradiation effect on the fluorinated DLC film2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Soft X-ray absorption spectroscopy study of chemical states, orientation, and oxygen content of ion-irradiated vertically aligned multiwalled carbon nanotubes2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Generation of electrical damage in n-GaN films following treatment in a CF4 plasma2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] AlGaN surfaces etched by CF4 plasma with and without the assistance of near-ultraviolet irradiation2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Large take-off angle dependence of C-K emission spectra observed in highly oriented pyrolytic graphite2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Characteristics of N2 and O2 Plasma-Induced Damages on AlGaN Thin Film Surfaces2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Low Energy Soft X-ray Emission Spectrometer at BL-09A in NewSUBARU2016

著者名/発表者名

雑誌名

新部正人 Niibe Masahito