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有馬 健太  ARIMA Kenta

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10324807
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2021年度 – 2023年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
2015年度 – 2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授
2012年度 – 2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 … もっと見る
2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授
2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手
2001年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
生産工学・加工学 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 薄膜・表面界面物性 / 中区分26:材料工学およびその関連分野 / 小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 理工系 / 表面界面物性
研究代表者以外
表面界面物性 / 大区分C / 生産工学・加工学 / 電子・電気材料工学 / 電子・電気材料工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
半導体表面 / ウェットエッチング / グラフェン / 触媒 / ナノ材料 / エッチング / 表面科学 / 生産工学 / 表面 / 自己組織化 … もっと見る / トレンチ加工 / 選択エッチング / グラフェン触媒 / 酸化 / 超精密加工 / 表面工学 / 触媒反応 / 半導体プロセス / 平坦化 / プラズマ酸化 / 超平坦表面 / シリコンカーバイド / ケルビン法 / ホール効果 / 表面原子構造 / 原子構造 / 走査型トンネル顕微鏡 / 光学特性 / ウェットプロセス / 電子構造 / Siナノ材料 / 固液界面 / シリコン / 原子層 / シリコン表面 / 原子構造制御 / 異方性エッチング / ナノカーボン / 選択メッキ / 金属めっき / 金属援用エッチング / Siシート / ステップ/テラス構造 / 原子層シート / Si表面 / 金属アシストエッチング / 触媒アシストエッチング / 半導体 / 表面加工 / ナノグラフェン / 加工 / ドーピング / 界面化学 / 構造制御 / SiC表面 / 酸化膜 / 表面改質 / プラズマ / 超純水 / 加工学 / 電気化学 / 酸素還元触媒 / ゲルマニウム表面 / 酸素還元 / エピタキシャル成長 / 昇華法 / プラズマ処理 / X 線光電子分光 / 原子間力顕微鏡 / 表面不動態化 / 湿式洗浄 / ゲルマニウム基板 / 半導体材料 / 埋没構造 / ケルビンフォース顕微鏡 / 表面ホール電位分布 / 移動度 / 水平磁場 / SOIウエハ / 内部構造 / 薄膜トランジスタ / 半導体薄膜 / 太陽電池 / 整流特性 / 光照射 / 光誘起欠陥 / ショットキー障壁 / 水素化アモルファスシリコン … もっと見る
研究代表者以外
シリコン / シリコン酸化膜 / 極薄シリコン酸化膜 / 電子応答 / トンネル分光 / パワー半導体 / スラリーレス研磨 / 難加工材料 / ワイドギャップ半導体 / 超精密加工 / プラズマ / hydrophilic surface / hydrophobic surface / exposure / applying / fluorination agent / N-fluoropyridinium salt / silicon / photo-etching / 干渉計 / 近赤外光 / 界面 / エッチング / 固相反応 / 形状創成 / 親水性 / 疎水性 / 露光 / 塗布 / フッ素化剤 / N-フルオロピリジニウム塩 / 光エッチング / CONDUCTANCE / CAPACITANCE / ULTRAPURE WATER / SILICON / SILICON DIOXIDE / SENSING / NANO-GAP / ナノギャップ構造 / コンダクタンス / 静電容量 / 超純水 / センシング / ナノギャップ / LIGHT IRRADIATION / OXYGEN / WATER / HEATING / CLEANING / SILICON SURFACE / 光照射効果 / ウルトラクリーン洗浄 / シリコン表面反応制御 / 光照射 / 酸素 / 水 / 昇温 / 洗浄 / シリコン表面 / センシングデバイス / 微小空隙 / マイクロセンサ構造 / 原子レベル制御 / 精密制御熱酸化 隠す
  • 研究課題

    (22件)
  • 研究成果

    (318件)
  • 共同研究者

    (14人)
  •  Si原子層リボンのフォトニクス:自律型ウェットナノ加工が拓く光電集積素子の未来研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2028
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノカーボンが持つ腐食酸化作用を積極的に引き出して挑むソフト深堀り加工法研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分26:材料工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  Si結晶層を原子層単位で成型・剥離できる自律型ウェットナノ加工の高度化と展開研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノカーボンが持つ腐食作用を逆手に取った異方的ナノ化学リソグラフィーへの挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究

    • 研究代表者
      山村 和也
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 審査区分
      大区分C
    • 研究機関
      大阪大学
  •  原子論的ウェットサイエンスで挑む水素終端化シリコン原子層シートの革新的創製研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  金属元素を一切含まない化学触媒工具の挑戦的創出研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  原子構造が制御されたグラフェンを搭載した触媒工具による次世代半導体表面の創成研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超平坦SiC表面上へのプラズマ援用化学アニールによる未踏の低欠陥グラフェンの形成研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  金属元素を含まない触媒工具による次世代半導体表面の創成研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  独自の超平坦SiC表面上でのSi原子層エッチングによるグラフェンの低温形成研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超平滑な酸素還元触媒を用いた純水中でのGe表面の金属フリー・原子レベル平坦化研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  原子像実空間観察を用いた酸素フリーGe表面創成型湿式洗浄プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  金属/微小空隙/半導体構造の電子応答による生体のエネルギー準位分析デバイスの研究

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  固体フッ素化剤―シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究

    • 研究代表者
      打越 純一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  表面ホール電位分布計測による電子材料内部埋没構造のナノレベル透視技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  水平磁場印加表面ホール電位分布測定による半導体薄膜の内部局所物性計測技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  極薄シリコン酸化膜スペーサを用いたナノギャップ構造トンネル分光デバイスの研究

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  仮想多層膜形成条件熱酸化による高機能極薄シリコン酸化膜の研究

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2001
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  電界ストレス局所絶縁破壊による水素化アモルファスシリコン表面光誘起欠陥の直接観察研究代表者

    • 研究代表者
      有馬 健太
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  シリコン/微小空隙/シリコン構造を用いたトンネル分光マイクロセンサの研究

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術2023

    • 著者名/発表者名
      諏訪部 仁、岡本 康寛、川波多 裕司、森田 和代、白鳥 英、堀邊 英夫、関口 淳、渡邊 健夫、東口 武史、中村 典雄、平井 義彦、伊藤 俊樹、佐藤 敏文、佐々木 浩一、笠嶋 悠司、石川 健治、木野 日織、小谷 雄大、篠田 和典、瀧尻 興太郎、大嶽 遼平、田中 浩、八重 真治、有馬 健太 他33名
    • 総ページ数
      630
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861049828
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [図書] 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術2023

    • 著者名/発表者名
      諏訪部 仁、岡本 康寛、川波多 裕司、森田 和代、白鳥 英、堀邊 英夫、関口 淳、渡邊 健夫、東口 武史、中村 典雄、平井 義彦、伊藤 俊樹、佐藤 敏文、佐々木 浩一、笠嶋 悠司、石川 健治、木野 日織、小谷 雄大、篠田 和典、瀧尻 興太郎、大嶽 遼平、田中 浩、八重 真治、有馬 健太 他33名
    • 総ページ数
      630
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861049828
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [図書] 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術2022

    • 著者名/発表者名
      礒部 晶, 服部 毅, 大山 聡, 式田 光宏, 河合 晃, 堀 勝, 中野 博彦, 扇谷 浩通, 浜口 智志, 豊田 紀章, 唐橋 一浩, 江利口 浩二, 寒川 誠二, 篠田 和典, 佐藤 威友, 有馬 健太
    • 総ページ数
      252
    • 出版者
      (株)R&D支援センター
    • ISBN
      9784905507611
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [図書] 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術2022

    • 著者名/発表者名
      羽深 等、清家 善之、白水 好美、有馬 健太、カチョーンルンルアン パナート、岩本 花子、前田 主悦、山崎 克弘、向井 義雄、長谷川 浩史、松井 淳、金洪 杰
    • 総ページ数
      123
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー
    • ISBN
      9784864282949
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [図書] 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術第4章第4節(pp. 233-252)2022

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 総ページ数
      252
    • 出版者
      (株)R&D支援センター
    • ISBN
      9784905507611
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [図書] 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術第4章第1節(pp. 63-75)2022

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 総ページ数
      123
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー
    • ISBN
      9784864282949
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [図書] 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術2022

    • 著者名/発表者名
      礒部 晶、服部 毅、大山 聡、式田 光宏、河合 晃、堀 勝、中野 博彦、扇谷 浩通、浜口 智志、豊田 紀章、唐橋 一浩、江利口 浩二、寒川 誠二、篠田 和典、佐藤 威友、有馬 健太
    • 総ページ数
      252
    • 出版者
      R&D支援センター
    • ISBN
      9784905507611
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [図書] 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術2022

    • 著者名/発表者名
      羽深等, 清家善之, 白水好美, 有馬健太, カチョーンルンルアン パナート, 岩本花子, 前田主悦, 山崎克弘, 向井義雄, 長谷川浩史, 松井淳, 金洪杰
    • 総ページ数
      123
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー
    • ISBN
      9784864282949
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [図書] 2020版 薄膜作製応用ハンドブック、第2編「薄膜の作製と加工」第1章「基板と表面処理」、第2節 半導体基板(Si・Ge・SiC)2020

    • 著者名/発表者名
      有馬健太(分担執筆)
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      9784860436315
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [雑誌論文] First-principles simulations of scanning tunneling microscopy images exhibiting anomalous dot patterns on armchair-edged graphene nanoribbons2024

    • 著者名/発表者名
      Li Junhuan、Inagaki Kouji、Arima Kenta
    • 雑誌名

      Physical Review Research

      巻: 6 号: 1 ページ: 0132521-9

    • DOI

      10.1103/physrevresearch.6.013252

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23KJ1440, KAKENHI-PROJECT-21K18676, KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [雑誌論文] Nanocarbon-assisted chemical etching of Ge(100) in H2O22024

    • 著者名/発表者名
      Li Junhuan、Yamamoto Seiya、Inagaki Kouji、Arima Kenta
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communications

      巻: 163 ページ: 1077351-5

    • DOI

      10.1016/j.elecom.2024.107735

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676, KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [雑誌論文] Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing2023

    • 著者名/発表者名
      Liu Nian、Sugimoto Kentaro、Yoshitaka Naoya、Yamada Hideaki、Sun Rongyan、Arima Kenta、Yamamura Kazuya
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 49 号: 11 ページ: 19109-19123

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2023.03.038

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [雑誌論文] Nanocarbon-Induced Etching Property of Semiconductor Surfaces: Testing Nanocarbon's Catalytic Activity for Oxygen Reduction Reaction at a Single-Sheet Level2022

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ogasawara, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura and Kenta Arima
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 11 号: 4 ページ: 0410011-5

    • DOI

      10.1149/2162-8777/ac6117

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676, KAKENHI-PROJECT-21H05005, KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [雑誌論文] Separation of Neighboring Terraces on a Flattened Si(111) Surface by Selective Etching along Step Edges Using Total Wet Chemical Processing2022

    • 著者名/発表者名
      Ma Zhida、Masumoto Seiya、Kawai Kentaro、Yamamura Kazuya、Arima Kenta
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 38 号: 12 ページ: 3748-3754

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.1c03317

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005, KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [雑誌論文] Effects of polishing pressure and sliding speed on the material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Nian、Sugimoto Kentaro、Yoshitaka Naoya、Yamada Hideaki、Sun Rongyan、Kawai Kentaro、Arima Kenta、Yamamura Kazuya
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 124 ページ: 108899-108899

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2022.108899

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03754, KAKENHI-PROJECT-21J11028, KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [雑誌論文] ナノカーボン触媒を用いた半導体表面の選択エッチングと応用2021

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 72 ページ: 77-83

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [雑誌論文] ナノカーボンの触媒作用に基づく半導体表面の選択エッチング2021

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、小笠原歩見、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 64 号: 8 ページ: 352-357

    • DOI

      10.1380/vss.64.352

    • NAID

      130008072749

    • ISSN
      2433-5835, 2433-5843
    • 年月日
      2021-08-10
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [雑誌論文] ナノカーボンの触媒作用に基づく半導体表面の選択エッチング2021

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、小笠原歩見、川合健太郎、山村和也、有馬 健太
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 64

    • NAID

      130008072749

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [雑誌論文] Catalytic Properties of Chemically Modified Graphene Sheets to Enhance Etching of Ge Surface in Water2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Mikurino, Ayumi Ogasawara, Tomoki Hirano, Yuki Nakata, Hiroto Yamashita, Shaoxian Li, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, Kenta Arima
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry C

      巻: 124 号: 11 ページ: 6121-6129

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.9b11423

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [雑誌論文] Improvements in graphene growth on 4H-SiC(0001) using plasma induced surface oxidation2019

    • 著者名/発表者名
      Ouki Minami, Ryota Ito, Kohei Hosoo, Makoto Ochi, Yasuhisa Sano, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, and Kenta Arima
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 126 号: 6 ページ: 0653011-10

    • DOI

      10.1063/1.5092336

    • NAID

      120007145771

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [雑誌論文] Investigation of reaction sequence occurring in graphene-assisted chemical etching of Ge surfaces in water2018

    • 著者名/発表者名
      Shaoxian Li, Kazuki Nakade, Tomoki Hirano, Kentaro Kawai, Kenta Arima
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 87 ページ: 32-36

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2018.07.009

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Chemical etching of a semiconductor surface assisted by single sheets of reduced graphene oxide2018

    • 著者名/発表者名
      Hirano Tomoki、Nakade Kazuki、Li Shaoxian、Kawai Kentaro、Arima Kenta
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 127 ページ: 681-687

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2017.11.053

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133, KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [雑誌論文] Formation of Etch Pits on Germanium Surfaces Loaded with Reduced Graphene Oxide in Water2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Nakade, Tomoki Hirano, Shaoxian Li, Yusuke Saito, Daichi Mori, Mizuho Morita, Kentaro Kawai and Kenta Arima
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 78

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Formation of Etch Pits on Germanium Surfaces Loaded with Reduced Graphene Oxide in Water2017

    • 著者名/発表者名
      Nakade Kazuki、Hirano Tomoki、Li Shaoxian、Saito Yusuke、Mori Daichi、Morita Mizuho、Kawai Kentaro、Arima Kenta
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 77 号: 4 ページ: 127-133

    • DOI

      10.1149/07704.0127ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Formation of Etch Pits on Germanium Surfaces Loaded with Reduced Graphene Oxide in Water2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Nakade, Tomoki Hirano, Shaoxian Li, Yusuke Saito, Daichi Mori, Mizuho Morita, Kentaro Kawai and Kenta Arima
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 78

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [雑誌論文] Reactivity of Water Vapor with Ultrathin GeO2/Ge and SiO2/Si Structures Investigated by Near-Ambient-Pressure X-ray Photoelectron Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Arima Kenta、Hosoi Takuji、Watanabe Heiji、Crumlin Ethan J
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 80 号: 2 ページ: 131-140

    • DOI

      10.1149/08002.0131ecst

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching2016

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Yusuke Saito, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, and Kenta Arima
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 75 号: 1 ページ: 107-112

    • DOI

      10.1149/07501.0107ecst

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Effect of metal particles on the Si etching rate with N-fluoropyridinium salts2016

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Kentaro Kawai, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 10 ページ: 1080031-3

    • DOI

      10.7567/jjap.55.108003

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-26289017, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 雑誌名

      Journal of Material Sciences & Engineering

      巻: 5 号: 02 ページ: 66-66

    • DOI

      10.4172/2169-0022.c1.011

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Comparative study of GeO2/Ge and SiO2/Si structures on anomalous charging of oxide films upon water adsorption revealed by ambient-pressure X-ray photoelectron spectroscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Daichi Mori, Hiroshi Oka, Takuji Hosoi, Kentaro Kawai, Mizuho Morita, Ethan J. Crumlin, Zhi Liu, Heiji Watanabe, and Kenta Arima
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 120 号: 9 ページ: 0953061-10

    • DOI

      10.1063/1.4962202

    • NAID

      120007145772

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] 洗浄技術のコツ ―Si表面のウェット洗浄―2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 84 ページ: 1009-1012

    • NAID

      130007718673

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [雑誌論文] Microfluidic valve array control system integrating a fluid demultiplexer circuit2015

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita and Shuichi Shoji
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 25 号: 6 ページ: 0650161-7

    • DOI

      10.1088/0960-1317/25/6/065016

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026, KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [雑誌論文] 洗浄技術のコツ ―Si表面のウェット洗浄―2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 84 ページ: 1009-1012

    • NAID

      130007718673

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] Catalyst-assisted Electroless Flattening of Ge Surfaces in Dissolved-O2-containing Water2015

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kawase, Yusuke Saito, Atsushi Mura, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, Kazuto Yamauchi, Kenta Arima
    • 雑誌名

      ChemElectroChem

      巻: 2 号: 11 ページ: 1656-1659

    • DOI

      10.1002/celc.201500245

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026, KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [雑誌論文] 水中での溶存酸素を介したGe 表面の金属アシストエッチングの基礎特性2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太、川合健太郎、森田瑞穂
    • 雑誌名

      表面科学

      巻: 36 号: 7 ページ: 369-374

    • DOI

      10.1380/jsssj.36.369

    • NAID

      130005088879

    • ISSN
      0388-5321, 1881-4743
    • 言語
      日本語
    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026, KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [雑誌論文] 極薄 GeO<sub>2</sub>/Ge(100) 上に形成された吸着水の準大気圧下でのX線光電子分光観察2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: 58 号: 1 ページ: 20-26

    • DOI

      10.3131/jvsj2.58.20

    • NAID

      130004952533

    • ISSN
      1882-2398, 1882-4749
    • 言語
      日本語
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 64 号: 17 ページ: 23-28

    • DOI

      10.1149/06417.0023ecst

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] 超精密加工後の半導体表面の原子構造観察2014

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 80 号: 5 ページ: 452-456

    • DOI

      10.2493/jjspe.80.452

    • NAID

      130004513557

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] Aggregation of Carbon Atoms at SiO2/SiC(0001) Interface by Plasma Oxidation toward Formation of Pit-free Graphene2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Keisuke Nishitani, Hiroki Sakane, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 80 ページ: 440-446

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2014.08.083

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] Ambient-Pressure XPS Study of GeO2/Ge(100) and SiO2/Si(100) at Controlled Relative Humidity2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Yuya Minoura, Yusuke Saito, Daichi Mori, Hiroshi Oka, Kentaro Kawai, Takuji Hosoi, Zhi Liu, Heiji Watanabe, and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 64 号: 8 ページ: 77-82

    • DOI

      10.1149/06408.0077ecst

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing Devices2009

    • 著者名/発表者名
      Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO, Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI and Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      ANALYTICAL SCIENCES(Peer-reviewed) 25

      ページ: 101-104

    • NAID

      10025209631

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing D e v i c e s2009

    • 著者名/発表者名
      Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO, Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      ANALYTICAL SCIENCES 25(Peer-reviewed)

      ページ: 101-104

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      Xing WU, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Ryuta YAMADA, Akihiro TAKEUCHI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47(4)(Peer-reviewed.)

      ページ: 2511-2514

    • NAID

      10022549248

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Sensing of λDNA solutions by metal-gap-semiconductor devices2008

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis(Peer-reviewed) 40

      ページ: 1131-1133

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Characterization of Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films by Different-Metal Gates Method2008

    • 著者名/発表者名
      Takaaki HIROKANE, Naoto YOSHII, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 8317-8320

    • NAID

      40016346939

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47(inpress)

    • NAID

      10022549248

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing Devices2008

    • 著者名/発表者名
      Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE Kenta ARIMA. Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      ANALYTICAL SCIENCES 25

      ページ: 101-104

    • NAID

      10025209631

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Sensing ofλDNA solutions by metal-gap-semiconductor devices2008

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 40(Peer-reviewed.)

      ページ: 1131-1133

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Characterization of Pinhole in Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Transmission Microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society 155(11)(Peer-reviewed)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Characterization of Void in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Controlling Coherence Length of Light Source using Near-Infrared Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      Noritaka AJARI, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46(4B)(Peer-reviewed.)

      ページ: 1994-1996

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Photodetective Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Tunneling Structure with Aluminum Grid Gate2006

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Hashimoto, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 860-861

    • NAID

      10022546987

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Line profile measurement of surface Hall potentials on Si samples2006

    • 著者名/発表者名
      Yuji Hidaka, Kenji Hiwa, Mizuho Morita, Kenta Arima
    • 雑誌名

      PROGRAM and ABSTRACTS of Second International Symposium on Standard Materials And Metrology for Nanotechnology

      ページ: 26-26

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] Absolute straightness measurements of plane silicon mirrors with wedge by near-infrared ray interferometry2006

    • 著者名/発表者名
      Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Amane Tsuda, Akihiro Funamoto, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology

      ページ: 127-128

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [雑誌論文] Characterization of Void in Bonded SOI Wafers by Controlling Coherence Length of Near-Infrared Microscope2006

    • 著者名/発表者名
      Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials, Yokohama, 2006

      ページ: 486-487

    • NAID

      10022545814

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [雑誌論文] Development of Surface Hall Potentiometry to Characterize Semiconductor Films2006

    • 著者名/発表者名
      Kenji Hiwa, Ryoji Nakaoka, Mizuho Morita, Kenta Arima
    • 雑誌名

      ABSTRACTS of Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium

      ページ: 91-91

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] Photo current through SnO_2/SiC/p-Si(100) structures2006

    • 著者名/発表者名
      Syuhei Nishikawa, Hideaki Hashimoto, Motonori Chikamoto, Kosuke Horikoshi, Minoru Aoki, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 508

      ページ: 385-388

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Liquid Sensing by Nano-Gap Device with Treated Surface2006

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Tatsuya Takegawa, Satoru Morita, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 900-901

    • NAID

      10022547108

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Absolute line profile measurements of plane silicon mirrors with an anti-reflection film using near-infrared ray interferometry2006

    • 著者名/発表者名
      N.Ajari, J.Uchikoshi, A.Tsuda, T.Okamoto, T.Hirokane, A.Funamoto, K.Arima, M.Morita
    • 雑誌名

      PROGRAM and ABSTRACTS, Second International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology. Tokyo, 2006

      ページ: 25-26

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [雑誌論文] 近赤外干渉計によるシリコンミラーの絶対形状測定-ウェッジ付きシリコンミラーの絶対形状測定-2006

    • 著者名/発表者名
      阿砂利典孝, 打越純一, 津田周, 廣兼孝亮, 有馬健太, 森田瑞穂
    • 雑誌名

      精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集

      ページ: 57-58

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [雑誌論文] Characterization of Void in Bonded SOI Wafers by Controlling Coherence Length of Near-Infrared Microscope2006

    • 著者名/発表者名
      Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 486-487

    • NAID

      10022545814

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Surface Hall Potentiometry for Characterizing Semiconductor Films2006

    • 著者名/発表者名
      Kenta ARIMA, Kenji HIWA, Ryoji NAKAOKA, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 3601-3605

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes with λDNA Molecules on SiO_2/Si Substrate after Elongating Treatment2006

    • 著者名/発表者名
      Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Abstracts, 210th Meeting of The Electrochemical Society

      ページ: 2099-2099

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [雑誌論文] Development of Surface Hall Potentiometry for Characterizing Semiconductor Materials2006

    • 著者名/発表者名
      Yuji Hidaka, Kenji Hiwa, Mizuho Morita, Kenta Arima
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology

      ページ: 129-130

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] Development of Nano-Gap Device for Biosensor2005

    • 著者名/発表者名
      Satoru Morita, Takaaki Hirokane, Tatsuya Takegawa, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 828-829

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] Surface Hall Potentiometry to Characterize Functional Semiconductor Films2005

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kenji Hiwa, Ryoji Nakaoka, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2005 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS

      ページ: 378-379

    • NAID

      10022541984

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] PHOTODETECTION CHARACTERISTICS OF SnO_2-ULTRATHIN SiO_2-Si STRUCTURES2005

    • 著者名/発表者名
      Motonori Chikamoto, Hideaki Hashimoto, Kosuke Horikoshi, Akihito Shinozaki, Satoru Morita, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      The Physics and Chemistry of SiO_2 and the Si-SiO_2 Interface - 5, ECS Transactions, The Electrochemical Society 1・1

      ページ: 97-102

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] 表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価2005

    • 著者名/発表者名
      桧皮賢治, 仲岡亮史, 森田瑞穂, 有馬健太
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 789-790

    • NAID

      130004657166

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [雑誌論文] Electrical Properties of SiC/p-Si(100) Structure2005

    • 著者名/発表者名
      Syuhei Nishikawa, Hideaki Hashimoto, Motonori Chikamoto, Minoru Aoki, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Program and Abstracts, Fourth International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures

      ページ: 148-149

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] Photodetector Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Tunneling Structures with Transparent Conductive Tin Oxide Gate2005

    • 著者名/発表者名
      Motonori Chikamoto, Hideaki Hashimoto, Kosuke Horikoshi, Akihito Shinozaki, Satoru Morita, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 734-735

    • NAID

      10022543080

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004

    • 著者名/発表者名
      Satoru, MORITA, Tatsuya, TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Extended Abstract of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 704-705

    • NAID

      10022539806

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13555007
  • [雑誌論文] 水平磁場を印加したホール効果による材料内音朧解析法の開発2004

    • 著者名/発表者名
      有馬健太, 仲岡亮史, 桧皮賢治, 森田瑞穂
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会講演論文集

      ページ: 611-612

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760022
  • [雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004

    • 著者名/発表者名
      Satoru, MORITA, Tatsuya, TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 704-705

    • NAID

      10022539806

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004

    • 著者名/発表者名
      Satoru MORITA, Tatsuya TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 704-705

    • NAID

      10022539806

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] Visible Light Irradiation Effects on STM Observations of Hydrogenated Amorphous Silicon Surfaces2004

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Hiroaki Kakiuchi, Manabu Ikeda, Katsuyoshi Endo, Mizuho Marita, Yuzo Mori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43・4B

      ページ: 1891-1895

    • NAID

      10012948812

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760022
  • [雑誌論文] Scanning tunneling microscopy/spectroscopy observation of intrinsic hydrogenated amorphous silicon surface under light irradiation2004

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Hiroaki Kakiuchi, Manabu Ikeda, Katsuyoshi Endo, Mizuho Marita, Yuzo Mori
    • 雑誌名

      Surface Science 572

      ページ: 449-458

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760022
  • [雑誌論文] Atomic-scale analysis of hydrogen-terminated Si(110) surfaces after wet cleaning2004

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Jun Katoh, Katsuyoshi Endo
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 85・25

      ページ: 6254-6256

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760022
  • [雑誌論文] FTIR-ATR Evaluation of Organic Contaminant Cleaning Methods for SiO_2 Surfaces2003

    • 著者名/発表者名
      Akihito SHINOZAKI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA, Isao KOJIMA, Yasushi AZUMA
    • 雑誌名

      ANALYTICAL SCIENCES 19

      ページ: 1557-1559

    • NAID

      10012534238

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350166
  • [雑誌論文] FTIR-ATR Evaluation of Organic Contaminant Cleaning Methods for SiO_2 Surfaces2003

    • 著者名/発表者名
      Akihito SHINOZAKI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA, Isao KOJIMA, Yasushi AZUMA
    • 雑誌名

      ANALYTICAL SCIENCES 19

      ページ: 1557-1559

    • NAID

      10012534238

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13555007
  • [産業財産権] SAMPLE OBSERVATION METHOD AND OBSERVATION DEVICE2006

    • 発明者名
      有馬健太
    • 権利者名
      大阪大学
    • 出願年月日
      2006-08-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760029
  • [学会発表] 高アスペクト比構造底部に対する非破壊洗浄評価法の開発 ~底部にAuを埋め込んだSiトレンチ構造における光電子脱出特性の角度依存性~2024

    • 著者名/発表者名
      村瀬詩花、東知樹、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Si表面上のテラス領域を自己組織的に区分けるウェットプロセスの開発 ~走査型プローブ顕微鏡を用いたSi表面上のステップ/テラス構造の高分解能観察~2024

    • 著者名/発表者名
      竹内 鉄朗、Tran Duong、橋本 龍人、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Si 表面の溝底部への金属原子の埋め込みと光電子検出特性の評価2023

    • 著者名/発表者名
      東知樹、村瀬詩花、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] ナノグラフェン上での長方形状構造を呈するSTM像の第一原理計算に基づく考察2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察-グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察-2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 数値制御PCVMによる反応焼結SiC材の高精度形状創成-非球面形状の加工精度評価-2023

    • 著者名/発表者名
      能登樹,須場健太,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ナノグラフェン上での長方形状構造を呈するSTM像の第一原理計算に基づく考察2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Origin of Rectangular-like Lattice on Nanographene in STM Images Unveiled by First-Principles Calculations2023

    • 著者名/発表者名
      J. Li, K. Inagaki, R. Sun, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Si(111)表面上のテラス領域を自己組織的に区分けるウェットプロセスの開発2023

    • 著者名/発表者名
      竹内鉄朗、橋本龍人、馬智達、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工-エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響-2023

    • 著者名/発表者名
      山本聖也,李君寰,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Si表面の溝底部への金属元素の埋め込みと光電子検出特性の評価2023

    • 著者名/発表者名
      東知樹、村瀬詩花、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] 全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究―ウエットエッチングによるSOI層表面の構造制御―2023

    • 著者名/発表者名
      橋本 龍人、竹内 鉄朗、稲垣 耕司、有馬 健太
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Novel non-destructive method to evaluate cleaning performances of three-dimensional nanostructures on Si ~ Angle-resolved photoemission spectra of Au resided at the bottoms of deep trenches on Si~2023

    • 著者名/発表者名
      Shiika Murase, Tomoki Higashi, Kouji Inagaki, Kenta Arima
    • 学会等名
      2023年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] ナノカーボンの触媒作用を援用したGe表面の選択エッチング~エッチング液に添加した酸化剤がエッチング特性に与える影響~2023

    • 著者名/発表者名
      山本 聖也、李 君寰、稲垣 耕司、有馬 健太
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察-グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察-2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments2023

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Zhida Ma, Tetsuro Takeuchi, Ryuto Hashimoto, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Si表面上のテラス領域を自己組織的に区分けるウェットプロセスの開発2023

    • 著者名/発表者名
      竹内鉄郎、橋本龍人、馬智達、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] ナノグラフェン上の線状欠陥に由来する特異な電子状態のSTM観察と第一原理計算に基づく考察2023

    • 著者名/発表者名
      李 君寰、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究 ―ウエットエッチングによるSOI層表面の構造制御―2023

    • 著者名/発表者名
      橋本龍人、竹内鉄郎、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究-プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング-2023

    • 著者名/発表者名
      杉原聡太,杉本健太郎,董佳遠,孫栄硯,有馬健太,王俊沙,須賀唯知,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 微小グラフェンシートのSTM観察と特異な電子状態分布の考察2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰、有馬健太
    • 学会等名
      応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第8回ポスター発表展
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Novel non-destructive method to evaluate cleaning performances of three-dimensional nanostructures on Si ~ Au embedding at the bottoms of deep trenches on Si by metal-assisted chemical etching ~2023

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Higashi, Shiika Murase, Kouji Inagaki, Kenta Arima
    • 学会等名
      2023年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] ナノカーボンの触媒作用を援用したGe表面の選択エッチング ーエッチング液に添加した酸化剤がエッチング特性に与える影響ー2023

    • 著者名/発表者名
      山本聖也、有馬健太
    • 学会等名
      応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第8回ポスター発表展
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 線状欠陥を含むナノグラフェンにおける電子状態の第一原理計算2023

    • 著者名/発表者名
      李 君寰、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments2023

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Zhida Ma, Tetsuro Takeuchi, Ryuto Hashimoto, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments2023

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, T. Takeuchi, R. Hashimoto, R. Sun, K. Yamamura
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択エッチング ―エッチング液に添加した酸化剤がエッチング特性に与える影響―2023

    • 著者名/発表者名
      山本聖也、李 君寰、稲垣耕司、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Novel non-destructive method to evaluate cleaning performances of three-dimensional nanostructures on Si ~Au embedding at the bottoms of deep trenches on Si by metal-assisted chemical etching~2023

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Higashi, Shiika Murase, Kouji Inagaki, Kenta Arima
    • 学会等名
      2023年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Wet Chemical Processing to Form Nanotrenches along Step Edges on a Vicinal Si(111) Surface Composed of Terraces and Atomic Steps2023

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Zhida Ma, Tetsuro Takeuchi, Ryuto Hashimoto, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura
    • 学会等名
      2023 MRS Spring Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Wet Chemical Processing to Form Nanotrenches along Step Edges on a Vicinal Si(111) Surface Composed of Terraces and Atomic Steps2023

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Zhida Ma, Tetsuro Takeuchi, Ryuto Hashimoto, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura
    • 学会等名
      2023 MRS Spring Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築-ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質-2023

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,北出隼人,陶通,永橋潤司,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第 2 報)-2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について-2023

    • 著者名/発表者名
      Dong Jiayuan,杉本健太郎,杉原聡太,孫栄硯,有馬健太,山村和也,須賀唯知,Wang Junsha
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工(第3報)-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性に関する検討-2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,劉念,吉鷹直也,川合健太郎,有馬健太,山田英明,赤羽優子,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Bias Dependence of STM Images Exhibiting Superstructures on Nanographene by First-principles Calculations2022

    • 著者名/発表者名
      Junhuan Li, Kentaro Kawai, Kouji Inagaki, Kazuya Yamamura, Kenta Arima
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Superstructure Patterns on Graphene Nanoribbons in Simulated STM Images at Low Biases2022

    • 著者名/発表者名
      J. Li, K. Kawai, K. Inagaki, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 湿式法によるSi(111)表面の原子ステップに沿ったナノ溝構造の形成と制御2022

    • 著者名/発表者名
      竹内鉄朗,馬智達,橋本龍人,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第13報)-PCVM加工後の表面粗さ悪化要因の究明とその対策-2022

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Ag-assisted Chemical Etching to Separate Neighboring Terraces along Step Edges on Vicinal Si(111) Surface2022

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      International Conference on Materials Science, Engineering and Technology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 全ウェットプロセスによる Si(111) 表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の形成と制御2022

    • 著者名/発表者名
      有馬健太,馬智達,竹内鉄朗,橋本龍人,孫栄硯,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 湿式法によるSi(111)表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の自己組織的形成2022

    • 著者名/発表者名
      竹内鉄朗,馬智達,橋本龍人,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第7回ポスター発表展
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Self-assembled Ag Nanowires to Catalyze Nanotrench Formation Along Step Edges on Vicinal Si(111)2022

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 第一原理計算を用いたナノグラフェン上の特異な超構造電子状態の解析2022

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Origin of Rectangular-like Lattice on Nanographene in STM Images Unveiled by First-Principles Calculations2022

    • 著者名/発表者名
      J. Li, K. Inagaki, R. Sun, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Formation and Characterization of Nanotrenches along Step Edges of a Flattened Si Surface by Self-assembled Processes in Solutions2022

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai and K. Yamamura
    • 学会等名
      19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Detection of photoelectrons from noble metal catalysts at the bottoms of Si grooves after metal-assisted chemical etching2022

    • 著者名/発表者名
      T. Higashi, K. Kawai, K. Yamamura, and K. Arima
    • 学会等名
      19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H00187
  • [学会発表] Formation and Characterization of Nanotrenches along Step Edges of a Flattened Si Surface by Self-assembled Processes in Solutions2022

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出-光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Optimization of modification conditions used in plasma assisted polishing for improving the material removal rate of Gallium nitride2022

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ダイヤモンド砥粒を用いたプラズマ援用研磨による窒化ガリウム基板の高能率研磨2022

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF4プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-2022

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Detection of photoelectrons from noble metal catalysts at the bottoms of Si grooves after metal-assisted chemical etching2022

    • 著者名/発表者名
      T. Higashi, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討 -2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,劉念,吉鷹直也,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Submicron-scale figure correction of Wolter mirror mandrel with nano-scale surface roughness using plasma chemical vaporization machining2022

    • 著者名/発表者名
      K. Suba, Y. Yamamoto, K. Kawai, K. Arima, R. Maruyama, H. Hayashida, K. Soyama, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-2022

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第14報)-PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関-2022

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Self-assembled Ag Nanowires to Catalyze Nanotrench Formation Along Step Edges on Vicinal Si(111)2022

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, and K. Yamamura
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Processing characteristics of quartz crystal in plasma chemical vaporization machining using argon or helium as the carrier gas2022

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) (2022.3.27@Virtual Conference) 91-95.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出- 光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Elucidation of plasma-assisted polishing mechanism through evaluating the adhesion force between diamond abrasive and AlN wafer2022

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Detection of photoelectrons from noble metal catalysts at the bottoms of Si grooves after metal-assisted chemical etching2022

    • 著者名/発表者名
      T. Higashi, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Polishing characteristics of AlN ceramics in plasma-assisted polishing using diamond grinding stone with different abrasive particle sizes2022

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) (2022.3.27@Virtual Conference) 91-95.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Study on material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing2022

    • 著者名/発表者名
      K. Sugimoto, N. Liu, N. Yoshitaka, H. Yamada, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2022 (NDNC2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 第一原理計算を用いたナノグラフェン上の特異な超構造電子状態の解析2022

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出- 光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Formation and Characterization of Nanotrenches along Step Edges of a Flattened Si Surface by Self-assembled Processes in Solutions2022

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai and K. Yamamura
    • 学会等名
      19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出-光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 数値制御プラズマCVMによるWolterミラーマンドレルの高精度加工2022

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Superstructure Patterns on Graphene Nanoribbons in Simulated STM Images at Low Biases2022

    • 著者名/発表者名
      J. Li, K. Kawai, K. Inagaki, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Ag-assisted chemical etching to separate neighboring terraces along step edges on vicinal Si(111) surface2022

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Zhida Ma, Seiya Masumoto, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura
    • 学会等名
      International Conference on Materials Science, Engineering and Technology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Bias Dependence of STM Images Exhibiting Superstructures on Nanographene by First-principles Calculations2022

    • 著者名/発表者名
      Junhuan Li, Kentaro Kawai, Kouji Inagaki, Kazuya Yamamura, Kenta Arima
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 選択エッチングを利用したナノカーボン触媒の新しい活性評価法2021

    • 著者名/発表者名
      小笠原歩見,東知樹,三栗野諒,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第11報)-精密加工のためのマンドレル高精度形状測定-2021

    • 著者名/発表者名
      山本有悟,須場健太,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] STM Observation of Rectangular-like Superstructure in Nanographene on Graphite Surface2021

    • 著者名/発表者名
      J. Li, S. Li, K. Kawai, K. Inagaki, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science (ISSS-9)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-2021

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第12報)-エッチレートにおける投入電力とギャップ長の相関-2021

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-2021

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 銀イオンの選択吸着を援用したSi表面上への連続ナノ溝構造の形成と評価2021

    • 著者名/発表者名
      馬智達,増本晴文,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Nano-Groove Formation on Si (111) Surfaces by Metal Induced Etching by Ag Nanowires2021

    • 著者名/発表者名
      Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science (ISSS-9)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 単層ナノグラフェンに形成される新たな電子密度分布に関する研究-長方形状格子のSTM観察と第一原理計算による考察-2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰,李韶賢,川合健太郎,稲垣耕司,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 自己組織的に形成したAg ナノワイヤをテンプレートとしたSi表面上へのナノ溝形成2021

    • 著者名/発表者名
      馬智達,増本晴文,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] STM Observation of Rectangular-like Superstructure in Nanographene on Graphite Surface2021

    • 著者名/発表者名
      J. Li, S. Li, K. Kawai, K. Inagaki, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science (ISSS-9)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマを援用した大面積モザイク単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー研磨2021

    • 著者名/発表者名
      吉鷹直也,劉念,杉本健太郎,菅原宏輝,山田英明,赤羽優子,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      第35回ダイヤモンドシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)-研磨レートおよび表面性状の研磨プレート材質依存性-2021

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,劉念,吉鷹直也,川合健太郎,有馬健太,山田英明,赤羽優子,山村和也
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 選択エッチングを利用したナノカーボン触媒の新しい活性評価法2021

    • 著者名/発表者名
      小笠原歩見,東知樹,三栗野諒,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 燃料電池用グラフェンシートの酸素還元活性評価-選択エッチングを利用した新触媒評価法の検討-2021

    • 著者名/発表者名
      小笠原歩見,東知樹,三栗野諒,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Study on the oxidation characteristics of reaction-sintered silicon carbide using vacuum Ar-based O2 plasma for plasma-assisted polishing2021

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 微小なグラフェンシートにおける長方形状パターンの電子状態-STMによる原子スケール観察とその起源の考察-2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、稲垣耕司、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発2021

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 単層ナノグラフェンに形成される新たな電子密度分布に関する研究-長方形状格子のSTM観察と第一原理計算による考察-2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰,李韶賢,川合健太郎,稲垣耕司,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 銀イオンの選択吸着を援用したSi表面上への連続ナノ溝構造の形成と評価2021

    • 著者名/発表者名
      馬智達,増本晴文,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ナノグラフェン上での長方形状超構造のSTM観察とその起源2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰,李韶賢,川合健太郎,稲垣耕司,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Consideration on suppression of grinding stone components adhesion in dry polishing with the aid of surface modification by fluorine-based plasma2021

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ナノグラフェン上での長方形状超構造のSTM観察とその起源2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰,李韶賢,川合健太郎,稲垣耕司,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] Nano-Groove Formation on Si (111) Surfaces by Metal Induced Etching by Ag Nanowires2021

    • 著者名/発表者名
      Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-2021

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 剥離グラフェンシートにおける長方形状格子のSTM観察とその起源2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、川合健太郎、稲垣耕司、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2021年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 自己組織的に形成したAgナノワイヤをテンプレートとしたSi表面上へのナノ溝形成2021

    • 著者名/発表者名
      馬智達,増本晴文,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2021年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 剥離グラフェンシートにおける長方形状格子のSTM観察とその起源2021

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、川合健太郎、稲垣耕司、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2021年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 燃料電池用グラフェンシートの酸素還元活性評価-選択エッチングを利用した新触媒評価法の検討-2021

    • 著者名/発表者名
      小笠原歩見,東知樹,三栗野諒,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18676
  • [学会発表] 微小な剥離グラフェンシート上での長方形状パターンのSTM観察2020

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、稲垣耕司、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] グラファイト上に形成した微小なグラフェンシートの原子レベルSTM観察2020

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、稲垣耕司、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] ステップ端に選択吸着させたAg原子を援用したSi (111)表面上への溝構造の形成2020

    • 著者名/発表者名
      馬智達、増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Formation of Trench Pattern on Ge Surface by Enhanced Chemical Etching Using Chemically Modified Graphene Flakes2020

    • 著者名/発表者名
      R. Mikurino, A. Ogasawara, T. Hirano, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] グラフェン・アシストエッチングによるGe表面の選択領域加工2020

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、小笠原歩見、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年度応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] 化学改質したグラフェンシートを援用した水中でのGe表面の新エッチング法2020

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、小笠原歩見、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Agナノワイヤを触媒とした化学加工による微傾斜Si表面上へのナノ溝形成2020

    • 著者名/発表者名
      馬智達、増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] アンモニア還元グラフェンを援用した化学エッチング法 -Ge表面上へのトレンチ構造の形成-2020

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、小笠原歩見、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Agナノワイヤ援用型化学エッチングによるSi(111)表面上へのナノ溝形成2020

    • 著者名/発表者名
      馬智達、増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 微小なグラフェンシートにおける長方形状パターンのSTM観察2020

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、稲垣耕司、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Nano-Groove Formation on Si(111) Surfaces by Chemical Etching Assisted by Ag Nanowires2020

    • 著者名/発表者名
      Z. Ma, S. Masumoto, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Adsorption of Water Molecules on Oxide Surfaces and Its Impact on the Electronic Property of the Oxides Probed by In Situ XPS2019

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Science and Technology 2019
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] グラフェン・アシストエッチングによるGe表面の選択領域加工2019

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、平野智暉、小笠原歩見、山村和也、川合健太郎、有馬健太
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Agナノワイヤを援用した化学エッチングによるSi表面上へのナノ溝形成2019

    • 著者名/発表者名
      増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Small Holes in Graphene: a Key in Graphene-Assisted Chemical Etching of Semiconductor Surfaces2019

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      EMN Meeting on Porous Materials 2019
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] SiとGe表面のウェットエッチングの新潮流:不動態化から加工まで2019

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      応用物理学会 2019年秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Agナノワイヤ援用型化学エッチングによるSi(111)表面上へのナノ溝形成2019

    • 著者名/発表者名
      増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Fundamental Properties for Enhanced Etching of Ge Surfaces in Water Assisted by Single Sheets of Reduced Graphene Oxide2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hirano, Y. Nakata, H. Yamashita, S. Li, K. Kawai, K. Yamamura and K. Arima
    • 学会等名
      46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Fundamental Properties for Enhanced Etching of Ge Surfaces in Water Assisted by Single Sheets of Reduced Graphene Oxide2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hirano, Y. Nakata, H. Yamashita, S. Li, K. Kawai, K. Yamamura and K. Arima
    • 学会等名
      46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Agナノワイヤを援用した化学エッチングによる Si(111)表面上へのナノ溝形成2019

    • 著者名/発表者名
      増本晴文、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2019年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] Atomic-scale Observations of Reduced Graphene Oxide Nanosheets Dispersed on HOPG Substrates2019

    • 著者名/発表者名
      S. Li, T. Hirano, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Adsorption of Water Molecules on Oxide Surfaces and Its Impact on the Electronic Property of the Oxides Probed by In Situ XPS2019

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Science and Technology 2019
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02478
  • [学会発表] 半導体表面におけるグラフェン・アシストエッチングの基礎特性の解明2019

    • 著者名/発表者名
      平野 智暉、中田 裕己、山下 裕登、李 韶賢、川合 健太郎、山村 和也、有馬 健太
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Atomic-scale Observations of Reduced Graphene Oxide Nanosheets Dispersed on HOPG Substrates2019

    • 著者名/発表者名
      S. Li, T. Hirano, K. Kawai, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] 化学処理により得た還元グラフェンシートのSTMによる原子レベル構造観察2019

    • 著者名/発表者名
      李君寰、李韶賢、稲垣耕司、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2019年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] 半導体表面におけるグラフェン・アシストエッチングの基礎特性の解明2019

    • 著者名/発表者名
      平野 智暉、中田 裕己、山下 裕登、李 韶賢、川合 健太郎、山村 和也、有馬 健太
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] グラフェン・アシストエッチングによる半導体表面の新規加工プロセスの開発2019

    • 著者名/発表者名
      三栗野諒、平野智暉、小笠原歩見、山村和也、川合健太郎、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2019年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] SiとGe表面のウェットエッチングの新潮流:不動態化から加工まで2019

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] 還元グラフェンシートによる半導体表面の選択エッチングの溶液温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      平野智暉、中田裕己、山下裕登、李韶賢、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Ge表面におけるグラフェン・アシストエッチングの基礎研究~エッチング速度の温度依存性と活性化エネルギーの評価~2018

    • 著者名/発表者名
      平野智暉、中田裕己、山下裕登、李韶賢、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] 還元グラフェンシートによる半導体表面の選択エッチングの溶液温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      平野智暉、中田裕己、山下裕登、李韶賢、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] 表面科学に基づく固液界面プロセスの極限診断・制御とその応用2018

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      2018年度 精密工学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Observations of chemically reduced graphene oxide on atomic scale by scanning tunneling microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      李韶賢、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] ウェットエッチングによる半導体表面構造の極限制御 ~不動態化から触媒アシストエッチングまで~2018

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      表面技術協会 ARS研究会 第100回例会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Ge表面におけるグラフェン・アシストエッチングの基礎研究~エッチング速度の温度依存性と活性化エネルギーの評価~2018

    • 著者名/発表者名
      平野智暉、中田裕己、山下裕登、李韶賢、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Surface Modification of SiC by Plasma Oxidation to Form Graphene/SiC Structure with Low Pit Density2018

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, R. Ito, O. Minami, K. Hosoo, Y. Sano, and K. Kawai
    • 学会等名
      45th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] 表面科学に基づく固液界面プロセスの極限診断・制御とその応用2018

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      2018年度 精密工学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] プラズマ酸化を援用して形成した低欠陥密度グラフェンの構造評価とその起源2018

    • 著者名/発表者名
      南映希、伊藤亮太、細尾幸平、佐野泰久、川合健太郎、有馬健太
    • 学会等名
      第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] HOPG 基板上に形成したヒドラジン還元グラフェンナノシートの原子レベル構造観察2018

    • 著者名/発表者名
      李韶賢、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Observations of chemically reduced graphene oxide on atomic scale by scanning tunneling microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      李韶賢、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] ウェットエッチングによる半導体表面構造の極限制御 ~不動態化から触媒アシストエッチングまで~2018

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      表面技術協会 ARS研究会 第100回例会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] HOPG 基板上に形成したヒドラジン還元グラフェンナノシートの原子レベル構造観察2018

    • 著者名/発表者名
      李韶賢、平野智暉、川合健太郎、山村和也、有馬健太
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18808
  • [学会発表] Effect of Reduction of Graphene Oxide on Enhanced Etching of Ge Surfaces in O2-containing Water2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Hirano, Kazuki Nakade, Shaoxian Li, Mizuho Morita, Kentaro Kawai, Kenta Arima
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Surface Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Reactivity of Water Vapor with Ultrathin GeO2/Ge and SiO2/Si Structures Investigated by Near-Ambient-Pressure X-ray Photoelectron Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Takuji Hosoi, Heiji Watanabe, and Ethan J Crumlin
    • 学会等名
      232nd Meeting of The Electrochemical Society
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Catalysts to Enhance Chemical Etching of Ge Surfaces in Water: From Noble Metals to Reduced Graphene Oxide2017

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kazuki Nakade, Daichi Mori, Yusuke Saito, Kentaro Kawai, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      231st Meeting of The Electrochemical Society
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Plasma-assisted Oxidation of SiC Surface to Assist Forming Graphene with Low Pit Density2017

    • 著者名/発表者名
      Ryota Ito, Kohei Hosoo, Ouki Minami, Mizuho Morita, Yasuhisa Sano, Kentaro Kawai, Kenta Arima
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Surface Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Carbon Overlayer on 4H-SiC Surfaces by Plasma Oxidation at near Room Temperature Followed by Wet Etching2017

    • 著者名/発表者名
      K. Hosoo, R. Ito, K. Kawai, Y. Sano, M. Morita and K. Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface Science & Nanotechnology - 25th Anniversary of SSSJ Kansai -
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Enhanced Etching of Ge Surfaces in Water by Single Flakes of Graphene Catalysts2017

    • 著者名/発表者名
      K. Nakade, T. Hirano, S. Li, K. Kawai, M. Morita and K. Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface Science & Nanotechnology - 25th Anniversary of SSSJ Kansai -
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Carbon Overlayer on 4H-SiC Surfaces by Plasma Oxidation at near Room Temperature Followed by Wet Etching2017

    • 著者名/発表者名
      K. Hosoo, R. Ito, K. Kawai, Y. Sano, M. Morita and K. Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface Science & Nanotechnology - 25th Anniversary of SSSJ Kansai -
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Enhanced Etching of Ge Surfaces in Water by Single Flakes of Graphene Catalysts2017

    • 著者名/発表者名
      K. Nakade, T. Hirano, S. Li, K. Kawai, M. Morita and K. Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface Science & Nanotechnology - 25th Anniversary of SSSJ Kansai -
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Characterization of Aggregated Carbon Compounds at SiO2/SiC Interface after Plasma Oxidation at Near Room Temperature2016

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, K. Hosoo, R. Ito, N. Saito, K. Kawai, Y. Sano, and M. Morita
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      International Conference and Exhibition on Materials Chemistry
    • 発表場所
      スペイン・バレンシア
    • 年月日
      2016-04-01
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] グラフェン触媒を援用した水中でのGe表面エッチングの基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      森大地、中出和希、佐藤慎祐、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2016年応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Atomic-Scale Analysis of Semiconductor Surfaces after Wet-Chemical Treatments Such as Cleaning and Polishing2016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      BIT's 6th Annual World Congress of Nano Science & Technology -2016
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      International Conference and Exhibition on Materials Chemistry
    • 発表場所
      スペイン・バレンシア
    • 年月日
      2016-04-01
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 洗浄技術のコツ --Si表面のウェット洗浄2016

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Ion Segregation in Deliquesced Droplets of Alkali Halide Nanocrystals on SiO2 Approached by both Surface Science Techniques and Electrical Characteristics2016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Research
    • 発表場所
      Seoul, South Korea
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      International Conference and Exhibition on Materials Chemistry
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] グラフェン触媒を援用した水中でのGe表面エッチングの基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      森大地、中出和希、佐藤慎祐、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2016年応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京都・目黒区
    • 年月日
      2016-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 半導体表面加工に用いるグラフェン系触媒の合成と電気化学的評価2016

    • 著者名/発表者名
      佐藤慎祐、森大地、中出和樹、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      千葉県野田市
    • 年月日
      2016-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 半導体表面加工に用いるグラフェン系触媒の合成と電気化学的評価2016

    • 著者名/発表者名
      佐藤慎祐、森大地、中出和樹、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学・千葉県・野田市
    • 年月日
      2016-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      International Conference and Exhibition on Materials Chemistry
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] 水中で酸素還元触媒と接触したGe表面のエッチング特性と平坦化への応用2016

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森大地、川瀬達也、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理-
    • 発表場所
      東レ研修センター・静岡県・三島市
    • 年月日
      2016-01-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Ion Segregation in Deliquesced Droplets of Alkali Halide Nanocrystals on SiO2 Approached by both Surface Science Techniques and Electrical Characteristics2016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Research
    • 発表場所
      Seoul, South Korea
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kawase, A. Mura, Y. Saito, T. Okamoto, K. Kawai, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Morita, and K. Arima
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] 水中で酸素還元触媒と接触したGe表面のエッチング特性と平坦化への応用2016

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森大地、川瀬達也、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理-
    • 発表場所
      静岡県三島市
    • 年月日
      2016-01-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Characterization of Aggregated Carbon Compounds at SiO2/SiC Interface after Plasma Oxidation at Near Room Temperature2016

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, K. Hosoo, R. Ito, N. Saito, K. Kawai, Y. Sano, and M. Morita
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [学会発表] Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kawase, A. Mura, Y. Saito, T. Okamoto, K. Kawai, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Morita, and K. Arima
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] 洗浄技術のコツ --Si表面のウェット洗浄2016

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] Atomic-Scale Analysis of Semiconductor Surfaces after Wet-Chemical Treatments Such as Cleaning and Polishing2016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      BIT's 6th Annual World Congress of Nano Science & Technology -2016
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902
  • [学会発表] 水分子が吸着したGeO2/Ge構造の特異な帯電状態のAP-XPS観測2015

    • 著者名/発表者名
      有馬 健太、森 大地、岡 博史、細井 卓治、川合 健太郎、Liu Zhi、渡部 平司、森田 瑞穂
    • 学会等名
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場・愛知県・名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] O2還元活性を持つグラフェン触媒の合成と性能評価2015

    • 著者名/発表者名
      森 大地、中出和希、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都府京都市
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Origin of Anomalous Positive Charging of Water-adsorbed Thin GeO2 Films Studied by Ambient-pressure XPS2015

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, D. Mori, Y. Saito, H. Oka, K. Kawai, T. Hosoi, M. Morita, H. Watanabe and Z. Liu
    • 学会等名
      16th European Conference on Application of Surface and Interface Analysis
    • 発表場所
      スペイン・グラナダ
    • 年月日
      2015-10-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Metal-Assisted Etching of Ge Surfaces in Water: From Pit Formation to Flattening2015

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi and Mizuho Morita
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      米国・サンフランシスコ
    • 年月日
      2015-04-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 触媒金属の酸素還元活性を利用した水中でのGe表面の平坦化2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太、川瀬達也、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、森田瑞穂、山内和人
    • 学会等名
      2015年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      茨城県つくば市
    • 年月日
      2015-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 酸素還元活性を持つ触媒金属による水中でのGe表面平坦化の試み2015

    • 著者名/発表者名
      有馬 健太、川瀬 達也、齋藤 雄介、川合 健太郎、佐野 泰久、山内 和人、森田 瑞穂
    • 学会等名
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 酸素還元触媒を用いた水中でのGe表面の平坦化に関する研究 ~触媒材料の検討~2015

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森大地、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      宮城県仙台市
    • 年月日
      2015-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Origin of Anomalous Positive Charging of Water-adsorbed Thin GeO2 Films Studied by Ambient-pressure XPS2015

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, D. Mori, Y. Saito, H. Oka, K. Kawai, T. Hosoi, M. Morita, H. Watanabe and Z. Liu
    • 学会等名
      16th European Conference on Application of Surface and Interface Analysis
    • 発表場所
      スペイン・グラナダ
    • 年月日
      2015-10-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 単一グラフェンフレークによる水中での Ge 表面のエッチング特性2015

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森 大地、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学・京都府・京都市
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 単一グラフェンフレークによる水中での Ge 表面のエッチング特性2015

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森 大地、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都府京都市
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 酸素還元触媒を用いた水中でのGe表面の平坦化に関する研究 ~触媒材料の検討~2015

    • 著者名/発表者名
      中出和希、森大地、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      東北大学・宮城県・仙台市
    • 年月日
      2015-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 触媒金属の酸素還元活性を利用した水中でのGe表面の平坦化2015

    • 著者名/発表者名
      有馬健太、川瀬達也、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、森田瑞穂、山内和人
    • 学会等名
      2015年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場・茨城県・つくば市
    • 年月日
      2015-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Metal-Assisted Etching of Ge Surfaces in Water: From Pit Formation to Flattening2015

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi and Mizuho Morita
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      米国・サンフランシスコ
    • 年月日
      2015-04-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] 水分子が吸着したGeO2/Ge構造の特異な帯電状態のAP-XPS観測2015

    • 著者名/発表者名
      有馬 健太、森 大地、岡 博史、細井 卓治、川合 健太郎、Liu Zhi、渡部 平司、森田 瑞穂
    • 学会等名
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] O2還元活性を持つグラフェン触媒の合成と性能評価2015

    • 著者名/発表者名
      森 大地、中出和希、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学・京都府・京都市
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] 酸素還元活性を持つ触媒金属による水中でのGe表面平坦化の試み2015

    • 著者名/発表者名
      有馬 健太、川瀬 達也、齋藤 雄介、川合 健太郎、佐野 泰久、山内 和人、森田 瑞穂
    • 学会等名
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場・愛知県・名古屋市
    • 年月日
      2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Pit-free Graphene Growth on SiC Surface Assisted by Plasma Oxidation at Near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Kenta Arima et al.
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会
    • 発表場所
      熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Understanding Water Interaction with Ge Surfaces: From Wetting to Machining2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      BIT's 3rd Annual World Congress of Advanced Materials 2014
    • 発表場所
      Chongqing, China
    • 年月日
      2014-06-06
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Understanding Water Interaction with Ge Surfaces: From Wetting to Machining2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      BIT's 3rd Annual World Congress of Advanced Materials 2014
    • 発表場所
      Chongqing, China
    • 年月日
      2014-06-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Ambient-Pressure XPS Study of GeO2/Ge(100) and SiO2/Si(100) at Controlled Relative Humidity2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Yuya Minoura, Yusuke Saito, Daichi Mori, Hiroshi Oka, Kentaro Kawai, Takuji Hosoi, Zhi Liu, Heiji Watanabe, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Formation of Graphene with Reduced Pits on SiC(0001) Assisted by Plasma Oxidation and Wet Etching2014

    • 著者名/発表者名
      Daichi Mori, Naoki Saito, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
    • 学会等名
      The 7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
    • 発表場所
      Shimane Prefectural Convention Center (Shimane, Matsue)
    • 年月日
      2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Comparison of Wetting Properties between GeO2/Ge and SiO2/Si Revealed by in-situ XPS2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会
    • 発表場所
      熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Combination of Plasma Oxidation and Wet Etching to Create Monolayer-scale C Source for Pit-free Graphene on SiC Surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Daichi Mori, Kentaro Kawai, Mizuho Morita and Yasuhisa Sano
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D&Materials Research 2014
    • 発表場所
      Incheon/Seoul, South Korea
    • 年月日
      2014-06-24
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Formation of Graphene with Reduced Pits on SiC(0001) Assisted by Plasma Oxidation and Wet Etching2014

    • 著者名/発表者名
      Daichi Mori, Naoki Saito, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
    • 学会等名
      The 7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
    • 発表場所
      Matsue, Japan
    • 年月日
      2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Comparison of Wetting Properties between GeO2/Ge and SiO2/Si Revealed by in-situ XPS2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会
    • 発表場所
      熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Accumulation of C Atoms at SiO2/SiC Interface by Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) at Room Temperature: Toward Formation of PIt-Free Graphene2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano and Mizuho Morita
    • 学会等名
      2014 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-04-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Ambient-Pressure XPS Study of GeO2/Ge(100) and SiO2/Si(100) at Controlled Relative Humidity2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Yuya Minoura, Yusuke Saito, Daichi Mori, Hiroshi Oka, Kentaro Kawai, Takuji Hosoi, Zhi Liu, Heiji Watanabe, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Ambient-Pressure XPS Study of GeO2/Ge(100) and SiO2/Si(100) at Controlled Relative Humidity2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Yoshie Kawai, Yuya Minoura, Yusuke Saito, Daichi Mori, Hiroshi Oka, Kentaro Kawai, Takuji Hosoi, Zhi Liu, Heiji Watanabe, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Accumulation of C Atoms at SiO2/SiC Interface by Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) at Room Temperature: Toward Formation of PIt-Free Graphene2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano and Mizuho Morita
    • 学会等名
      2014 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-04-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Understanding Water Interaction with Ge Surfaces: From Wetting to Machining2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Kentaro Kawai and Mizuho Morita
    • 学会等名
      BIT's 3rd Annual World Congress of Advanced Materials 2014
    • 発表場所
      Chongqing, China
    • 年月日
      2014-06-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Pit-free Graphene Growth on SiC Surface Assisted by Plasma Oxidation at Near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Kenta Arima et al.
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会
    • 発表場所
      熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] その場X線光電子分光法を用いた極薄酸化物表面上の吸着水の観察 ―GeO2とSiO2の比較―2014

    • 著者名/発表者名
      有馬健太
    • 学会等名
      2014年度 精密工学会 春季大会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Formation of Graphene with Reduced Pits on SiC(0001) Assisted by Plasma Oxidation and Wet Etching2014

    • 著者名/発表者名
      Daichi Mori, Naoki Saito, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
    • 学会等名
      The 7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
    • 発表場所
      Shimane Prefectural Convention Center (Shimane, Matsue)
    • 年月日
      2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Combination of Plasma Oxidation and Wet Etching to Create Monolayer-scale C Source for Pit-free Graphene on SiC Surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Daichi Mori, Kentaro Kawai, Mizuho Morita and Yasuhisa Sano
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D&Materials Research 2014
    • 発表場所
      Incheon/Seoul, South Korea
    • 年月日
      2014-06-24
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Accumulation of C Atoms at SiO2/SiC Interface by Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) at Room Temperature: Toward Formation of PIt-Free Graphene2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano and Mizuho Morita
    • 学会等名
      2014 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-04-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
    • 学会等名
      226th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630026
  • [学会発表] Combination of Plasma Oxidation and Wet Etching to Create Monolayer-scale C Source for Pit-free Graphene on SiC Surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima, Naoki Saito, Daichi Mori, Kentaro Kawai, Mizuho Morita and Yasuhisa Sano
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D&Materials Research 2014
    • 発表場所
      Incheon/Seoul, South Korea
    • 年月日
      2014-06-24
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Effect of Water Growth on Quality of GeO2/Ge Revealed by in-situ XPS2013

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2013
    • 発表場所
      蔵王(山形県)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Interaction of Water Vapor with GeO2/Ge(100) Revealed by In Situ XPS under Controlled Relative Humidity2013

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      15th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis
    • 発表場所
      サルデーニャ島(イタリア)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Nanoscale Interaction of Water with Germanium Surfaces: Wetting, Etching and Machining properties2013

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Research
    • 発表場所
      済州島(韓国)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Nanoscale Interaction of Water with Germanium Surfaces: Wetting, Etching and Machining properties2013

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Research
    • 発表場所
      済州島(韓国)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Interaction of Water Vapor with GeO2/Ge(100) Revealed by In Situ XPS under Controlled Relative Humidity2013

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      15th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis
    • 発表場所
      サルデーニャ島(イタリア)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Effect of Water Growth on Quality of GeO_2/Ge Revealed by in-situ XPS2013

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2013
    • 発表場所
      蔵王(招待講演)
    • 年月日
      2013-01-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Low temperature growth of graphene on 4H-SiC(0001) flattened by catalyst-assisted etching in HF solution2012

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      24th General Conference of tbe Condensed Matter Division of the European Physical Society held jointly with 29th European Conference on Surface Science
    • 発表場所
      エジンバラ(英国)
    • 年月日
      2012-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Metal-induced anisotropic etching of Ge (100) surfaces in water with dissolved oxygen2012

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      24th General Conference of the Condensed Matter Division of the European Physical Society held jointly with 29th European Conference on Surface Science
    • 発表場所
      エジンバラ(英国)
    • 年月日
      2012-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Metal-induced anisotropic etching of Ge(100) surfaces in water with dissolved oxygen2012

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      24th General Conference of the Condensed Matter Division of the European Physical Society held jointly with 29th European Conference on Surface
    • 発表場所
      エジンバラ(英国)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Low temperature growth of graphene on 4H-SiC(0001) flattened by catalyst-assisted etching in HF solution2012

    • 著者名/発表者名
      K. Arima
    • 学会等名
      24th General Conference of the Condensed Matter Division of the European Physical Society held jointly with 29th European Conference on Surface Science
    • 発表場所
      エジンバラ(英国)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Low Temperature Growth of Graphene on Atomically Flat SiC Assisted by Plasma Oxidation2012

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [学会発表] Low Temperature Growth of Graphene on Atomically Flat SiC Assisted by Plasma Oxidation2012

    • 著者名/発表者名
      Kenta Arima
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      大阪大学(大阪府)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656101
  • [学会発表] Direct immobiliszation of DNA oligomers onto an aminosilane-attached SiO_2 surface2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Okamoto, Takaaki Hirokane, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomicalluy Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Suita, Osaka
    • 年月日
      2009-11-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Direct immobilization of DNA oligomers onto an aminosilane-attached SiO2 surface2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshifumi Okamoto, Takaaki Hirokane, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2009-11-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Electrical Detection of ExtendedλDNA Molecules with Gap Electrodes by Ultraviolet Radiation2009

    • 著者名/発表者名
      Takamichi Hanada, Yoshifumi Okamoto, Katsuhiro Hashimoto, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shinichiro Kajiyama, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology- Surface and Thin Film Processing-
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2009-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Sensing of DNA solution with Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Device, Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology2009

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      - Surface and Thin Film Processing-
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2009-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Sensing of DNA solution with Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Device2009

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2009-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semicondu ctor Device for Biosensors2007

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2007-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Electrical Detection of Damage of ExtendedλDNA Molecules by Ultraviolet Radiation2007

    • 著者名/発表者名
      Takamichi Hanada, Katsuhiro Hashimoto, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shinichiro Kajiyama, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2007-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] 酸系溶液によるGe(111)表面の終端構造原子スケール制御2007

    • 著者名/発表者名
      米田和史、打越純一、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      2007年度精密工学会関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪産業大学
    • 年月日
      2007-08-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026008
  • [学会発表] LEED and AFM Study of Cl-terminated Ge(111) Surfaces after HCl Dipping2007

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi, Yoneda・Junichi, Uchikoshi・Mizuho, Morita・Kenta Arima
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2007-11-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026008
  • [学会発表] Development of Wet-chemical Procedures to Control Emerging Semiconductor Surfaces on the Atomic Scale2007

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi, Yoneda・Junichi, Uchikoshi・Mizuho, Morita・Kenta Arima
    • 学会等名
      International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2007-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026008
  • [学会発表] 低速電子線回折によるHCI浸漬後のGe表面の終端構造評価2007

    • 著者名/発表者名
      米田和史、打越純一、森田瑞穂、有馬健太
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026008
  • [学会発表] Wet-Chemical Preparations of Cl-terminated Ge(111)1x1 Surfaces2007

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi, Yoneda・Junichi, Uchikoshi・Mizuho, Morita・Kenta Arima
    • 学会等名
      International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2007-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026008
  • [学会発表] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulat or Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2007

    • 著者名/発表者名
      Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 学会等名
      The 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Ibaraki, Japan
    • 年月日
      2007-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [学会発表] 近赤外光トポグラフィと赤外顕微鏡による貼り合わせSOIウエハのパターン付埋め込み酸化膜の評価2007

    • 著者名/発表者名
      打越純一呉幸、廣兼孝亮、山田隆太、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪府大東市、大阪産業大学
    • 年月日
      2007-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18560104
  • [学会発表] Liquid Sensing by Nano-Gap Device with Treated Surface2006

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Tatsuya Takegawa, Satoru Morita, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Yokohama(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2006-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes withλDNA Molecules on SiO2/Si Substrate after Elongating Treatment, Abstracts2006

    • 著者名/発表者名
      Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      210th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Cancun(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2006-11-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • [学会発表] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes with ExtendedλDNA Molecules2006

    • 著者名/発表者名
      Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka(Not peer-reviewed.)
    • 年月日
      2006-10-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360148
  • 1.  森田 瑞穂 (50157905)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 40件
  • 2.  李 韶賢
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 17件
  • 3.  福井 希一 (00311770)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 4.  佐野 泰久 (40252598)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 5.  打越 純一 (90273581)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 7件
  • 6.  山村 和也 (60240074)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 53件
  • 7.  孫 栄硯 (50963451)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 29件
  • 8.  齋藤 直樹
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 9件
  • 9.  森 大地
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 9件
  • 10.  細尾 幸平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 11.  伊藤 亮太
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 12.  南 映希
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 13.  平野 智暉
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 14.  中出 和希
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件

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