會田英雄 AIDA Hideo

研究者番号	10811648
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 長岡技術科学大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2018年度 – 2024年度: 長岡技術科学大学, 工学研究科, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分26050:材料加工および組織制御関連
キーワード	研究代表者ダイヤモンド / ヘテロエピタキシャル成長 / 欠陥密度 / CVD法 / 原子オーダープラナリゼーション / イリジウム / ヘテロエピタキシャルダイヤモンド / 化学機械研磨 / プラナリゼーション

超薄化した下地基板を用いた応力制御低欠陥ダイヤモンド成長技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  會田英雄
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学
究極の省エネ半導体実現を見据えたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの徹底的低欠陥化研究代表者
- 研究代表者
  
  會田英雄
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学
大型ダイヤモンド単結晶成長のためのIr薄膜への原子オーダープラナリゼーション研究代表者
- 研究代表者
  
  會田英雄
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2019
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学

すべて 2023 2022 2021 2020 2019

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Physical bending of heteroepitaxial diamond grown on an Ir/MgO substrate2023
- 著者名/発表者名
  Kimura Yutaka、Ihara Takahiro、Ojima Takumi、Oshima Ryuji、Sawabe Atsuhito、Aida Hideo
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 137 ページ: 110055-110055
- DOI
  10.1016/j.diamond.2023.110055
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26418
[雑誌論文] Synthesis and charatrization of diamond abrasives grains containing boron compounds2022
- 著者名/発表者名
  Ryuji Oshima, Xiang Ren Cui, Hideo Aida, Kanji Iizuka
- 雑誌名
  
  Advanced Micro-Fabrication and Green Technology
  
  巻: 9 ページ: 30-34
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Analysis of the correlation between in-situ and ex-situ observations of the initial stages of growth of heteroepitaxial diamond on Ir(0 0 1)/MgO(0 0 1)2022
- 著者名/発表者名
  Kimura Yutaka、Oshima Ryuji、Sawabe Atsuhito、Aida Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Crystal Growth
  
  巻: 595 ページ: 126807-126807
- DOI
  10.1016/j.jcrysgro.2022.126807
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Chemical Mechanical Polishing of MgO Substrate and Its Effect on Fabrication of Atomic Step-Terrace Structures on MgO Surface by Subsequent High-Temperature Annealing2022
- 著者名/発表者名
  Aida Hideo、Ojima Takumi、Oshima Ryuji、Ihara Takahiro、Takeda Hidetoshi、Kimura Yutaka、Sawabe Atsuhito
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 11 号: 11 ページ: 114005-114005
- DOI
  10.1149/2162-8777/aca3d1
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Mirror-grinding of single-crystal diamond substrates with a rotary grinder2022
- 著者名/発表者名
  Aida Hideo、Oshima Ryuji、Minamigata Hiroki、Kawaguchi Shogo、Tokutake Junpei、Sifuentes Juan Manuel Del Angel、Kimura Yutaka
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 121 ページ: 108733-108733
- DOI
  10.1016/j.diamond.2021.108733
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Challenges of future high-precision polishing methods for hard-to-process materials by the fusion of environmental control and plasma technology2022
- 著者名/発表者名
  DOI K.Toshiro、AIDA Hideo、OHNISHI Osamu、YIN Shaohui、REN Yinghui
- 雑誌名
  
  Diamond ＆ Abrasives Engineering
  
  巻: 42 ページ: 637-649
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] In-situ reflectance interferometry of heteroepitaxial diamond growth2021
- 著者名/発表者名
  Aida Hideo、Oshima Ryuji、Ouchi Takaya、Kimura Yutaka、Sawabe Atsuhito
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 113 ページ: 108253-108253
- DOI
  10.1016/j.diamond.2021.108253
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Proposal on rapid determination of removal rate in chemical mechanical polishing of hard-to-process single crystals2019
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Ryotaro Higashi, Hidetoshi Takeda, and Toshiro Doi
- 雑誌名
  
  Advanced Micro-Fabrication and Green Technology (Transaction of MIRAI)
  
  巻: 7 ページ: 4-9
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K14026
[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロエピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023
- 著者名/発表者名
  中村友哉，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26418
[学会発表] Investigation of Mirror-Grinding Conditions for Large diameter Single Crystal Diamond Substrates2022
- 著者名/発表者名
  Junpei Tokutake, Hiroki Minamigata, Juan Manuel Del Angel Sifuentes, Tetsuro Iyama, Yutaka Kimura, Ryuji Oshima, Hideo Aida
- 学会等名
  The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Oblique Chemical Mechanical Polishing for Investigating Distribution of Subsurface Damages in Single Crystal Diamond Substrate2022
- 著者名/発表者名
  Junpei Tokutake, Takaya Kobayashi, Kyosuke Nakagawa, Ryuji Oshima, Hideo Aida
- 学会等名
  Advanced Micro-Fabrication and Green Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 単結晶MgO基板の原子レベル表面創製2022
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，伊原隆宏，大島龍司，木村豊，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  表面技術協会第145回講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Experimental and theoretical analysis on substrate bending during heteroepitaxial growth of diamond2022
- 著者名/発表者名
  Yutaka Kimura, Takahiro Ihara, Takumi Ojima, Hina Tanaka, Ryuji Oshima, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Detailed study on preparation of MgO substrate for diamond heteroepitaxy2022
- 著者名/発表者名
  Takahiro Ihara, Takumi Ojima, Ryuji Oshima, Yutaka Kimura, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Comparison of in-situ and ex-situ observation of initial growth morphology of heteroepitaxial diamond grown on Ir(001)/MgO(001)2022
- 著者名/発表者名
  Yutaka Kimura, Ryuji Oshima, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  32nd International Conference on Diamond and Carbon Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド成長における基板反り変形の観察2022
- 著者名/発表者名
  木村豊，伊原隆宏，尾島拓海，田中日菜，大島龍司，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Ir/MgO基板上ヘテロエピタキシャルダイヤモンド初期成長様式のその場観察2022
- 著者名/発表者名
  伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，高須智也，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] GaN・ダイヤモンド基板の精密加工と加工変質層の評価2021
- 著者名/発表者名
  會田英雄
- 学会等名
  第154 回結晶工学分科会研究会（応用物理学会）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 横型研削機を用いたホモエピタキシャル成長用単結晶ダイヤモンド基板の作製－基板の固定研削および回転研削における加工特性の評価－2021
- 著者名/発表者名
  徳武純平，南方啓貴，Juan Manuel Del Angel Sifentes，井山徹郎，木村豊，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 結晶MgO基板の原子レベル平坦化プロセスの最適化2021
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，田中日菜，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  表面技術協会第144回講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 単結晶MgO基板の原子平坦化プロセスの構築2021
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，田中日菜，伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Synthesis and charatrization of diamond abrasives grains containing boron compounds2021
- 著者名/発表者名
  Ryuji Oshima, Xiang Ren Cui, Hideo Aida, Kanji Iizuka
- 学会等名
  Advanced Micro-Fabrication and Green Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] ヘテロエピタキシャルダイヤモンドの成長過程における下地基板の反り挙動観察2021
- 著者名/発表者名
  伊原隆宏，尾島拓海，田中日菜，大島龍司，木村豊，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] ホモエピタキシャル成長用ダイヤモンド基板の研削加工とダメージ評価2021
- 著者名/発表者名
  大宮裕之，南方啓貴，川口正悟，會田英雄，大島龍司
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 単結晶MgO 基板の原子レベル平坦化加工2020
- 著者名/発表者名
  尾島拓海, Francisco Raul Vazquez Gomez Martinez, 會田英雄，大島龍司，木村豊, 澤邊厚仁
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Ir(001)/MgO(001)基板上に成長したヘテロエピタキシャルダイヤモンドの初期成長の表面観察と配向評価2020
- 著者名/発表者名
  木村豊, 大内貴矢, 會田英雄, 大島龍司, 澤邊厚仁
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 研削加工によるホモエピタキシャル成長用下地ダイヤモンド基板の作成と評価2020
- 著者名/発表者名
  南方啓貴，川口正悟，福田雅人，大宮裕之，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Challenges toward prospective precise polishing techniques by fusing environmental controlling and plasma technology2019
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Hidetoshi Takeda, Syuhei Kurokawa, Yasuhisa Sano, and Toshiro Doi
- 学会等名
  International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 2019
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K14026
[学会発表] Challenges toward prospective precise polishing techniques by fusing environmental controlling and plasma technology2019
- 著者名/発表者名
  (44)Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Hidetoshi Takeda, Syuhei Kurokawa, Yasuhisa Sano, and Toshiro
- 学会等名
  13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K14026
[学会発表] Development of rapid determination method of removal rate in chemical mechanical polishing of hard-to-process single crystals2019
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Ryotaro Higashi, Hidetoshi Takeda, and Toshiro Doi
- 学会等名
  Manufacturing Institute for Research on Advanced Initiatives (MIRAI) 2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K14026
[学会発表] Proposal on rapid determination of removal rate in chemical mechanical polishing of hard-to-process single crystals2019
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Ryotaro Higashi, Hidetoshi Takeda, and Toshiro Doi
- 学会等名
  The 12th MIRAI conference on Microfabrication and Green Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K14026

1. 澤邊厚仁 (70187300)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 16件
2. 木村豊 (40838851)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件

會田 英雄 AIDA Hideo

研究課題

研究成果

共同研究者

超薄化した下地基板を用いた応力制御低欠陥ダイヤモンド成長技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

究極の省エネ半導体実現を見据えたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの徹底的低欠陥化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

大型ダイヤモンド単結晶成長のためのIr薄膜への原子オーダープラナリゼーション研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Physical bending of heteroepitaxial diamond grown on an Ir/MgO substrate2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Synthesis and charatrization of diamond abrasives grains containing boron compounds2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Analysis of the correlation between in-situ and ex-situ observations of the initial stages of growth of heteroepitaxial diamond on Ir(0 0 1)/MgO(0 0 1)2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Chemical Mechanical Polishing of MgO Substrate and Its Effect on Fabrication of Atomic Step-Terrace Structures on MgO Surface by Subsequent High-Temperature Annealing2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Mirror-grinding of single-crystal diamond substrates with a rotary grinder2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Challenges of future high-precision polishing methods for hard-to-process materials by the fusion of environmental control and plasma technology2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] In-situ reflectance interferometry of heteroepitaxial diamond growth2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Proposal on rapid determination of removal rate in chemical mechanical polishing of hard-to-process single crystals2019

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロ エピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Investigation of Mirror-Grinding Conditions for Large diameter Single Crystal Diamond Substrates2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Oblique Chemical Mechanical Polishing for Investigating Distribution of Subsurface Damages in Single Crystal Diamond Substrate2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 単結晶MgO基板の原子レベル表面創製2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Experimental and theoretical analysis on substrate bending during heteroepitaxial growth of diamond2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Detailed study on preparation of MgO substrate for diamond heteroepitaxy2022

會田英雄 AIDA Hideo

[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロエピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023