澤邊厚仁 SAWABE Atsuhito

研究者番号	70187300
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2020年度 – 2023年度: 青山学院大学, 理工学部, 教授 2000年度 – 2002年度: 青山学院大学, 理工学部, 教授 1998年度 – 1999年度: 青山学院大学, 理工学部, 助教授 1991年度: (株)東芝総合研究所, 金属セラミックス研究所, 研究員 1990年度 – 1991年度: (株)東芝総合研究所, 金属セラミックス研究所 … もっと見る 1989年度: (株)東芝, 総合研究所・金属セラミック研究所 1988年度: (株)東芝, 総合研究所(金属・セラミックス研究所), 研究員 1987年度: 青山学院大学, 理工学部・電気電子工学科, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者以外小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 応用物性 / 表面界面物性 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学
キーワード	研究代表者以外ダイヤモンド / CVD法 / 欠陥密度 / ヘテロエピタキシャル成長 / Diamond / 薄膜 / Epitaxial Growth / High Rate Growth / Thin Film / Plasma … もっと見る / Chemical Vapor Deposition / 粒子 / 気相成長 / 放電 / 高速合成 / プラズマ / 化学蒸着 / エピタキシャル成長 / negative electron affinity / cold cathode / electron emission / nitrogen-doped / diamond / 電池駆動 / 負性電子親和力 / 冷陰極 / 電子放出 / 窒素添加 / Low temperature process / Carbon cluster / Atomic vapor deposition / CVD method / 低温合成 / 炭素クラスタ- / 原子蒸着法 / 表面の電子・化学機能 / 表面ナノ加工 / 表面ナノ構造 / 電子デバイス応用 / 化学的・バイオ応用 / 機械的応用 / アダマント / 表面機能設計 / トライボロジー / 炭素系材料 / コーティング / ナノ構造材料 / アダマント材料隠す

超薄化した下地基板を用いた応力制御低欠陥ダイヤモンド成長技術の開発
- 研究代表者
  
  會田英雄
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学
究極の省エネ半導体実現を見据えたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの徹底的低欠陥化
- 研究代表者
  
  會田英雄
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学
アダマント薄膜表面のナノ機能デザイン
- 研究代表者
  
  光田好孝
- 研究期間 (年度)
  2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
アダマント材料によるナノ構造メカニカルコーティング
- 研究代表者
  
  大竹尚登
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東京工業大学
負の電子親和力を利用した電池駆動可能なダイヤモンド冷陰極の作製とそのデバイス応用
- 研究代表者
  
  岡野健
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  国際基督教大学
原子蒸着法及び高真空中CVD法によるダイヤモンド低温合成と評価
- 研究代表者
  
  犬塚直夫
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  青山学院大学
ア-ク及びア-ク・グロ-移行領域の放電を用いた粒状・膜状ダイヤモンドの高速合成
- 研究代表者
  
  犬塚直夫
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  青山学院大学

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Physical bending of heteroepitaxial diamond grown on an Ir/MgO substrate2023
- 著者名/発表者名
  Kimura Yutaka、Ihara Takahiro、Ojima Takumi、Oshima Ryuji、Sawabe Atsuhito、Aida Hideo
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 137 ページ: 110055-110055
- DOI
  10.1016/j.diamond.2023.110055
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26418
[雑誌論文] Chemical Mechanical Polishing of MgO Substrate and Its Effect on Fabrication of Atomic Step-Terrace Structures on MgO Surface by Subsequent High-Temperature Annealing2022
- 著者名/発表者名
  Aida Hideo、Ojima Takumi、Oshima Ryuji、Ihara Takahiro、Takeda Hidetoshi、Kimura Yutaka、Sawabe Atsuhito
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 11 号: 11 ページ: 114005-114005
- DOI
  10.1149/2162-8777/aca3d1
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] Analysis of the correlation between in-situ and ex-situ observations of the initial stages of growth of heteroepitaxial diamond on Ir(0 0 1)/MgO(0 0 1)2022
- 著者名/発表者名
  Kimura Yutaka、Oshima Ryuji、Sawabe Atsuhito、Aida Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Crystal Growth
  
  巻: 595 ページ: 126807-126807
- DOI
  10.1016/j.jcrysgro.2022.126807
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[雑誌論文] In-situ reflectance interferometry of heteroepitaxial diamond growth2021
- 著者名/発表者名
  Aida Hideo、Oshima Ryuji、Ouchi Takaya、Kimura Yutaka、Sawabe Atsuhito
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 113 ページ: 108253-108253
- DOI
  10.1016/j.diamond.2021.108253
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロエピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023
- 著者名/発表者名
  中村友哉，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26418
[学会発表] 単結晶MgO基板の原子レベル表面創製2022
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，伊原隆宏，大島龍司，木村豊，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  表面技術協会第145回講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Ir/MgO基板上ヘテロエピタキシャルダイヤモンド初期成長様式のその場観察2022
- 著者名/発表者名
  伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，高須智也，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Comparison of in-situ and ex-situ observation of initial growth morphology of heteroepitaxial diamond grown on Ir(001)/MgO(001)2022
- 著者名/発表者名
  Yutaka Kimura, Ryuji Oshima, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  32nd International Conference on Diamond and Carbon Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Detailed study on preparation of MgO substrate for diamond heteroepitaxy2022
- 著者名/発表者名
  Takahiro Ihara, Takumi Ojima, Ryuji Oshima, Yutaka Kimura, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド成長における基板反り変形の観察2022
- 著者名/発表者名
  木村豊，伊原隆宏，尾島拓海，田中日菜，大島龍司，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Experimental and theoretical analysis on substrate bending during heteroepitaxial growth of diamond2022
- 著者名/発表者名
  Yutaka Kimura, Takahiro Ihara, Takumi Ojima, Hina Tanaka, Ryuji Oshima, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida
- 学会等名
  The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] ヘテロエピタキシャルダイヤモンドの成長過程における下地基板の反り挙動観察2021
- 著者名/発表者名
  伊原隆宏，尾島拓海，田中日菜，大島龍司，木村豊，澤邊厚仁，會田英雄
- 学会等名
  精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 結晶MgO基板の原子レベル平坦化プロセスの最適化2021
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，田中日菜，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  表面技術協会第144回講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 単結晶MgO基板の原子平坦化プロセスの構築2021
- 著者名/発表者名
  尾島拓海，田中日菜，伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
- 学会等名
  精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] Ir(001)/MgO(001)基板上に成長したヘテロエピタキシャルダイヤモンドの初期成長の表面観察と配向評価2020
- 著者名/発表者名
  木村豊, 大内貴矢, 會田英雄, 大島龍司, 澤邊厚仁
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478
[学会発表] 単結晶MgO 基板の原子レベル平坦化加工2020
- 著者名/発表者名
  尾島拓海, Francisco Raul Vazquez Gomez Martinez, 會田英雄，大島龍司，木村豊, 澤邊厚仁
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02478

1. 犬塚直夫 (30082788)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
2. 會田英雄 (10811648)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 16件
3. 大竹尚登 (40213756)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 杉野隆 (90206417)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 光田好孝 (20212235)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 岡野健 (20233356)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 小泉聡 (90215153)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 平田敦 (50242277)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 鈴木哲也 (10286635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 川原田洋 (90161380)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 八田章光 (50243184)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 木村豊 (40838851)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
13. 伊藤順司

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

澤邊 厚仁 SAWABE Atsuhito

研究課題

研究成果

共同研究者

超薄化した下地基板を用いた応力制御低欠陥ダイヤモンド成長技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

究極の省エネ半導体実現を見据えたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの徹底的低欠陥化

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

アダマント薄膜表面のナノ機能デザイン

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

アダマント材料によるナノ構造メカニカルコーティング

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

負の電子親和力を利用した電池駆動可能なダイヤモンド冷陰極の作製とそのデバイス応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原子蒸着法及び高真空中CVD法によるダイヤモンド低温合成と評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ア-ク及びア-ク・グロ-移行領域の放電を用いた粒状・膜状ダイヤモンドの高速合成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Physical bending of heteroepitaxial diamond grown on an Ir/MgO substrate2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Chemical Mechanical Polishing of MgO Substrate and Its Effect on Fabrication of Atomic Step-Terrace Structures on MgO Surface by Subsequent High-Temperature Annealing2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Analysis of the correlation between in-situ and ex-situ observations of the initial stages of growth of heteroepitaxial diamond on Ir(0 0 1)/MgO(0 0 1)2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] In-situ reflectance interferometry of heteroepitaxial diamond growth2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロ エピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 単結晶MgO基板の原子レベル表面創製2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Ir/MgO基板上ヘテロエピタキシャルダイヤモンド初期成長様式のその場観察2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Comparison of in-situ and ex-situ observation of initial growth morphology of heteroepitaxial diamond grown on Ir(001)/MgO(001)2022

著者名/発表者名

澤邊厚仁 SAWABE Atsuhito

[学会発表] Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロエピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価2023