杉野隆 SUGINO Takashi

研究者番号	90206417
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 2002年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 2001年度: 大阪大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 1997年度 – 1998年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 … もっと見る 1997年度: 大阪大学大学院, 工学研究科, 助教授 1994年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 助教授 1989年度: 神戸大学, 工学部, 助教授 1988年度: 大阪大学, 工学部, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 応用物性・結晶工学研究代表者以外電子デバイス・機器工学 / 電子・電気材料工学 / 応用物性 / 電子デバイス・電子機器 / 構造・機能材料 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学
キーワード	研究代表者禁止帯幅 / 水素プラズマ / 冷陰極 / phosphorus-doped diamond / diamond contact / metal / field emission / cold cathode / O_2 plasma / H_2 plasm … もっと見る / surface modification / diamond / リン添加ダイヤモンド / ダイヤモンド接合 / 金属 / フィールドエミッション / 酸素プラズマ / 表面改質 / ダイヤモンド / bandgap / electrical resistivity / infrared absorption spectrum / transmission electron diffraction / N_2 remote plasma / BCl_3 / plasma-assisted CVD / boron nitride / X線光電子分光測定 / 赤外吸収測定 / 希釈ガス依存性 / 透過電子顕微鏡 / 電気抵抗率 / 赤外吸収スペクトル / 透過電子線回折 / 窒素リモートプラズマ / 三塩化ホウ素 / プラズマアシスト気相成長法 / 窒化ホウ素 / プラズマアシスト化学気相成長法 / FTIR / XPS / フィールドエミッション特性 / BCN薄膜 … もっと見る研究代表者以外表面改質 / Flat Panel Display / Silicide / Leakage Current / Polysilicon / Thin Film Transistor / Tunneling Current / Schottky Barrier / フラットディスプレイ / フラットパネルディスプレイ / シリサイド / リ-ク電流 / ポリシリコン / 薄膜トランジスター / トンネル電流 / ショットキー障壁 / phosphorus-doped diamond / surface modification / field emission / electron emission / diamond contact / metal / cold cathode / tunnel injection of electron / diamond / 負性電子親和力 / 内部電界電子放出 / 金属-ダイヤモンド接合 / ダイヤモンド界面 / リン添加ダイヤモンド / フィールドエミッション / 電子放出 / ダイヤモンド接合 / 金属 / 冷陰極 / トンネル注入 / ダイヤモンド / MISダイオード / ショットキー障壁接合 / 水素パシベーション / IIIーV化合物 / EL2 / ショットキ-接合 / 水素化 / エキシマレ-ザ / 光励起プロセス / III-V化合物半導体 / LSI / 窒化ホウ素 / 低誘電率 / 配線 / LowK / メチルBN / BCN / ドライエッチング / LSI配線 / 低誘電率(Low-k) / メチル窒化ホウ素 / テロ対策 / 粉末 / 安全 / 携帯 / 固体燃料 / ギ酸アンモニウム / 固体高分子型 / 燃料電池 / 表面の電子・化学機能 / 表面ナノ加工 / 表面ナノ構造 / 電子デバイス応用 / 化学的・バイオ応用 / 機械的応用 / 薄膜 / アダマント / 表面機能設計 / トライボロジー / 炭素系材料 / コーティング / ナノ構造材料 / アダマント材料隠す

メチルBN系低誘電率膜のLSI先端配線への応用
- 研究代表者
  
  青木秀充
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪大学
カルボン酸系固形燃料を用いたマイクロ燃料電池の研究開発
- 研究代表者
  
  青木秀充
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  大阪大学
アダマント薄膜表面のナノ機能デザイン
- 研究代表者
  
  光田好孝
- 研究期間 (年度)
  2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
アダマント材料によるナノ構造メカニカルコーティング
- 研究代表者
  
  大竹尚登
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東京工業大学
プラズマアシスト気相成長法によるホウ素-炭素-窒素薄膜の作製と冷陰極への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  杉野隆
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  大阪大学
プラズマプロセスによるダイヤモンド表面の改質と冷陰極への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  杉野隆
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
ショットキー接合を用いたトンネル電流制御形薄膜トランジスターの開発
- 研究代表者
  
  白藤純嗣
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  福井工業大学
   大阪大学
ダイヤモンド中への電子のトンネル注入と冷陰極への応用
- 研究代表者
  
  白藤純嗣
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製研究代表者
- 研究代表者
  
  杉野隆
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  大阪大学
In-situ光化学プロセスによるIII-V化合物半導体表面の安定化に関する研究
- 研究代表者
  
  白藤純嗣
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Dry etching properties of methyl-BCN film with C_4F_8 gas for Cu/low-k interconnection2010
- 著者名/発表者名
  Hidemitsu Aoki, Makoto Hara, Takuroh Masuzumi, Farid Ahmed, Chiharu Kimura, Takashi Sugino
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Effect of the radio-frequency power on the dielectric properties of hydrogen-containing boron carbon nitride films deposited by plasma-assisted chemical vapor deposition using tris(dimethylamino)boron gas2010
- 著者名/発表者名
  Hidemitsu Aoki, Takuro Masuzumi, Makoto Hara, Daisuke Watanabe, Chiharu Kimura, Takashi Sugino
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.518 lssue8
  
  ページ: 2102-2104
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Suppression of Fluorine Diffusion into Methyl-BCN Film using Low Temperature Etching2010
- 著者名/発表者名
  Makoto Hara, Takuro Masuzumi, Zhiming Lu, Chiharu Kimura, Hidemitsu Aoki, Takashi Sugino
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Influence of Cu Electroplating Solutions on Boron Carbon Nitride (BCN)Film.2009
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, M. Hara, T. Masuzumi, M. K. Mazumder, N. Ooi, D. Watanabe, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science 255 (6)
  
  ページ: 3719-3722
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Influence of oxygen plasma treatment on boron carbon nitride(BCN)mms composition.2009
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, T. Masuzumi, D. Watanabe, M. K. Mazumder, H. Sota, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science 255 (6)
  
  ページ: 3635-3638
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009
- 著者名/発表者名
  増住拓朗、原誠、青木秀充、呂志明、木村千春、杉野隆
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会(電子デバイス研究会) 109(81)
  
  ページ: 15-20
- NAID
  110007338322
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Synthesis of methyl boron nitride film as low-k insulating filmfor LSI interconnection.2009
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, S. Tokuyama, T. Masuzumi, M. Hara, M. K. Mazumder, D. Watanabe, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials In Press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Properties of Boron Carbon Nitride (BCN)film after plasmaashing.2009
- 著者名/発表者名
  M. K. Mazumder, H. Aoki, T. Masuzumi, M. Hara, D. Watanabe, C. Kimura。M. Fukagawa, M. Umeda, M. Kusuharaand. T. Sugino
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials Vol. 18
  
  ページ: 419-422
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Dry etching properties of boron carbon nitride (BCN)films usingcarbon fluoride gas.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, T. Sasada, D. Watanabe, M. K. Mazumder, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials 17
  
  ページ: 1800-1804
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] A methyl BN film by using tris-di-methyl-amino-boron (TMAB)for future Low-K interlayer.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, S. Tokuyama, M. K. Mazumder, D. Watanabe, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE Vol. 6984, 69841W
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Characterization of BCN film after wet process forinterconnection integration.2008
- 著者名/発表者名
  D. Watanabe, H. Aoki, R. Moriyama, M. K. Mazumder, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials Vol. 17
  
  ページ: 669-672
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Improvement of anodic oxidation reaction of a fuel cell using ammonium formate with Pt-Pd catalysts.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, T. Nitta, S. Kuwabata, C. Kimura, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Electrochemical Soc. Transactions Vol. l6, No. 2
  
  ページ: 849-853
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[雑誌論文] Improvement of anode oxidation reaction of a fuel cell using ammoniumformate with Pt-Ir catalysts. (Pt-Ir触媒によるギ酸アンモニウム燃料電池のアノード酸化反応の向上)2008
- 著者名/発表者名
  Kazutoshi Ohyama, Takashi Sugino, Tomohiro Nitta, Chiharu Kimura, Hidemitsu Aoki
- 雑誌名
  
  IEEJ Trans. EIS (電気学会論文誌C) Vol. 128, No. 11
  
  ページ: 1600-1604
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[雑誌論文] Properties of Methyl Boron Nitride Film for Next GenerationLow-K Interconnection.2008
- 著者名/発表者名
  S. Tokuyama, M. K. Mazumder, D. Watanabe, C. Kimura。H. Aoki, T. Sugino
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47, No. 4
  
  ページ: 2492-2495
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[雑誌論文] Evaluation of Solid Ammonium Formate Oxidation for Polymer Electrolyte Fuel Cells2007
- 著者名/発表者名
  K. Ohyama, C.Kimura, M.Aoki, S.Kuwabata, T.Sugino
- 雑誌名
  
  Electrochemical Soc. Transactions Vol.4,No.1
  
  ページ: 1010-1010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] Influence of oxygen plasma treatment on properties of Methyl-BCN film2010
- 著者名/発表者名
  Zhiming Lu, Makoto Hara, Takuro Masuzumi, Makoto Nishizaki, Chinaru Kimura, Hidemitsu Aoki, Takasi Sugino
- 学会等名
  The 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons
- 発表場所
  Suzhou, China
- 年月日
  2010-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Annealing effect of methyl-boron carbon nitride film after dry etching2010
- 著者名/発表者名
  Hidemitsu Aoki, Makoto Hara, Takuro Masuzumi, Zhiming Lu, Makoto Nishizaki, Chiharu Kimura, Takashi Sugino
- 学会等名
  The 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons
- 発表場所
  Suzhou, China
- 年月日
  2010-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Methyl-BCN膜の湿度による膜質への影響2010
- 著者名/発表者名
  西崎誠, 原誠, 増住拓郎, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学(平塚市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] 酸素プラズマ種によるメチルBCN膜の膜質への影響2010
- 著者名/発表者名
  呂志明, 原誠, 増住拓朗, 西崎誠, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学(平塚市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009
- 著者名/発表者名
  増住拓朗, 原誠, 青木秀充, 呂志明, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  電子情報通信学会 (電子デバイス研究会)2009表面
- 発表場所
  東京工業大学(目黒区)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] CF4を用いた低温ドライエッチングによるMethyl-BCN膜特性への影響2009
- 著者名/発表者名
  原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  H21年度電気学会関西支部連合大会
- 発表場所
  大阪大学(吹田市)
- 年月日
  2009-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Influence of properties of boron carbon nitride (BCN) film on oxygen and hydrogen2009
- 著者名/発表者名
  T.Masuzumi, M.Hara, H.Aoki, Z Lu, C.Kimura, T.Sugino
- 学会等名
  5th International Workshop on reactions involving oxygen and hydrogen
- 発表場所
  Osaka Univ. (吹田市)
- 年月日
  2009-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] O_2プラズマによるMethyl-BCN膜への影響評価2009
- 著者名/発表者名
  呂志明, 原誠, 増住拓朗, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  第23回ダイヤモンドシンポジウム(2009)
- 発表場所
  千葉工業大学(習志野市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009
- 著者名/発表者名
  呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  H21年度電気学会関西支部連合大会
- 発表場所
  大阪大学(吹田市)
- 年月日
  2009-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] 紫外光照射によるMethyl-BCN膜特性への影響評価2009
- 著者名/発表者名
  増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  H21年度電気学会関西支部連合大会
- 発表場所
  大阪大学(吹田市)
- 年月日
  2009-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Suppression of Fluorine Diffusion into Low-k Material (Methyl-BCN) using Low Temperature Etching2009
- 著者名/発表者名
  M.Hara, T.Masuzumi, L.Zhiming, C.Kimura, H.Aoki, T.Sugino
- 学会等名
  2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 発表場所
  Sendai International Hotel (Sendai)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Dry etching properties of methyl-BCN film with C4F8 gas for Cu/LowK interconnection2009
- 著者名/発表者名
  H.Aoki, M.Hara, T.Masuzumi, D.Watanabe, C.Kimura, T.Sugino
- 学会等名
  2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 発表場所
  Sendai International Hotel (Sendai)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] 還元水による析出Pt触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2009
- 著者名/発表者名
  新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2009-03-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] UV照射に対するMethyl-BCN膜の特性評価2009
- 著者名/発表者名
  増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学(富山市)
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Influence of methyl group on the dielectric constant of boron carbon nitride film containing methyl group2009
- 著者名/発表者名
  T.Masuzumi, M.Hara, M.K.Mazumder, D.Watanabe, H.Aoki, C.Kimura, T.Sugino
- 学会等名
  New Diamond and Nano Carbons (NDNC2009)
- 発表場所
  Michigan, USA (Traverse City)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] 低温ドライエッチングを用いたMethyl-BCN膜の特性評価2009
- 著者名/発表者名
  原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学(富山市)
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Boron Carbon Nitride Film containing Hydrogen for 22nm Node Low-K Interconnection2009
- 著者名/発表者名
  H.Aoki, T.Masuzumi, M.Hara, D.Watanabe, C.Kimura, T.Sugino
- 学会等名
  VLSI-TSA (Technology, Systems, and Applications) 2009
- 発表場所
  Taiwan(新竹市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009
- 著者名/発表者名
  呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学(富山市)
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] TMABを用いたH含有BCN膜のRFパワー依存性2008
- 著者名/発表者名
  増住拓朗原誠渡邊大祐木村千春青木秀充杉野隆
- 学会等名
  電気学会関西支部連合大会(2008)
- 発表場所
  京都工芸繊維大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] BCN膜へのCu電解メッキ液による影響2008
- 著者名/発表者名
  渡邊大祐, 青木秀充, 原誠, M. K. マズンデル, 増住拓郎, 大井直樹, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Properties of Boron Carbon Nitride(BCN)mm after plasma ashing.2008
- 著者名/発表者名
  M. K. Mazumder, H. Aoki, T. Masuzumi, M. Hara, N. Ooi, D. Watanabe, C. Kimura, M. Fukagawa, M. Umeda, M. Kusuhara, T. Sugino.
- 学会等名
  New Diamond and Nano Carbons(NDNC2008)
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Suppression of Cu Oxidation using Environmentally FriendlyInhibitors in the Ambience of High Temperature and High Humidity for Cu/Low-K. .2008
- 著者名/発表者名
  M. Hara, D. Watanabe, C. Kimura, H. Aoki, T. Sugino
- 学会等名
  2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 発表場所
  Tukuba、Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] ギ酸アンモニウム燃料を用いた燃料電池特性の評価2008
- 著者名/発表者名
  大山和俊、新田智弘、木村千春、青木秀充、杉野隆
- 学会等名
  2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] TMABで作製したメチル窒化ホウ素膜のRFパワー依存性2008
- 著者名/発表者名
  増住拓朗, 原誠, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  第22回ダイヤモンドシンポジウム(2008)
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Properties of boron carbon nitride(BCN)film after plasma ashing.2008
- 著者名/発表者名
  T. Masuzumi, M. K. Mazumder, H. Aoki, M. Hara, D. Watanabe, C. Kimura, T. Sugino
- 学会等名
  The 27th Electronic Materials Symposium
- 発表場所
  Shizuoka、Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Influence of Cu Electroplating Solution on Boron Carbon Nitride(BCN).2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, M. Hara, M. K. Mazumder, T. Masuzumi, N. Ooi, D. Watanabe, C. Kimura, T. Sugino.
- 学会等名
  New Diamond and Nano Carbons(NDNC2008)
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] ギ酸アンモニウム燃料電池を用いた酸化活性の温度依存性2008
- 著者名/発表者名
  新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] TMABを用いたMethyl doped BN膜のRFパワー依存性2008
- 著者名/発表者名
  増住拓朗, 原誠, M. K. マズンデル, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Pt-Pd触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2008
- 著者名/発表者名
  新田智弘, 大山和俊, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] Anode oxidation reaction of a fuel cell using solid ammonium formate.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, T. Nitta, S. Kuwabata, C. Kimura, T. Sugino
- 学会等名
  4^<th> International Workshop on reactions involving oxygenand hydrogen
- 発表場所
  Osaka University
- 年月日
  2008-08-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] Improvement of anodic oxidation reaction of a fuel cell using ammoniumformate with Pt-Pd catalysts.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, T. Nitta, S. Kuwabata, C. Kimura, T. Sugino
- 学会等名
  ECS2007 214th
- 発表場所
  Honolulu USA
- 年月日
  2008-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] Synthesis of Methyl Boron Nitride Film as Low-K InsulatingFilm for LSI Interconnection.2008
- 著者名/発表者名
  H. Aoki, S. Tokuyama, T. Masuzumi, M. K. Mazumder, D. Watanabe, M. Hara, C. Kimura, T. Sugino
- 学会等名
  19th European Conference on Diamond, Diamond-LikeMaterials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
- 発表場所
  Sitges, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] 配線プロセスのためのBCN薄膜上への積層メタル層評価2008
- 著者名/発表者名
  原誠, 増住拓朗, M. K. マズンデル, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360160
[学会発表] Pt-Ir触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の特性評価2007
- 著者名/発表者名
  大山和俊木村千春青木秀充杉野隆
- 学会等名
  電気学会関西支部連合大会
- 発表場所
  神戸大学
- 年月日
  2007-11-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181
[学会発表] Evaluation of Solid Ammonium Formate Oxidation for Polymer Electrolyte Fuel Cells2007
- 著者名/発表者名
  K. Ohyama, C. Kimura, M. Aoki, S. Kuwabata, T. Sugino
- 学会等名
  ECS2007 212th
- 発表場所
  Washington D.C.
- 年月日
  2007-10-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656181

1. 白藤純嗣 (70029065)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
2. 服部励治 (60221503)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
3. 大竹尚登 (40213756)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 光田好孝 (20212235)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 澤邊厚仁 (70187300)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 青木秀充 (10419468)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 21件
7. 木村千春 (90372630)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 21件
8. 平田敦 (50242277)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 鈴木哲也 (10286635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 川原田洋 (90161380)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 八田章光 (50243184)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 本郷昭三 (00029232)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 芳之内淳

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

杉野 隆 SUGINO Takashi

研究課題

研究成果

共同研究者

メチルBN系低誘電率膜のLSI先端配線への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

カルボン酸系固形燃料を用いたマイクロ燃料電池の研究開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

アダマント薄膜表面のナノ機能デザイン

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

アダマント材料によるナノ構造メカニカルコーティング

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマアシスト気相成長法によるホウ素-炭素-窒素薄膜の作製と冷陰極への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

プラズマプロセスによるダイヤモンド表面の改質と冷陰極への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ショットキー接合を用いたトンネル電流制御形薄膜トランジスターの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンド中への電子のトンネル注入と冷陰極への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

In-situ光化学プロセスによるIII-V化合物半導体表面の安定化に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Dry etching properties of methyl-BCN film with C_4F_8 gas for Cu/low-k interconnection2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effect of the radio-frequency power on the dielectric properties of hydrogen-containing boron carbon nitride films deposited by plasma-assisted chemical vapor deposition using tris(dimethylamino)boron gas2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Suppression of Fluorine Diffusion into Methyl-BCN Film using Low Temperature Etching2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Influence of Cu Electroplating Solutions on Boron Carbon Nitride (BCN)Film.2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Influence of oxygen plasma treatment on boron carbon nitride(BCN)mms composition.2009

杉野隆 SUGINO Takashi