松尾繁樹 Matsuo Shigeki

… 別表記

松尾茂樹マツオシゲキ

研究者番号	20294720
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2023年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授 2014年度 – 2016年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授 2011年度 – 2012年度: 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 2007年度 – 2012年度: 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 2006年度: 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教授 … もっと見る 2005年度: 徳島大学, 大学院工学研究科, 助教授 2005年度: 徳島大学, 工学研究科, 助教授 2002年度 – 2004年度: 徳島大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1997年度 – 2001年度: 徳島大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 知能機械学・機械システム / 知能機械学・機械システム / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外知能機械学・機械システム / 理工系 / 小区分24020:船舶海洋工学関連 / 機能材料・デバイス
キーワード	研究代表者フェムト秒レーザー / シリコン / エッチング / レーザー加工 / 周期構造 / レーザー着色 / 構造色 / レーザー誘起表面周期構造 / 着色 / レーザー誘起表面周期好悪像 … もっと見る / 酸化 / 窒化 / レーザー / ナノマイクロ加工 / フッ硝酸 / 赤外パルス / サファイア / フェムト秒レーザー加工 / マイクロマシン / 光ピンセット / マイクロ・ナノデバイス / 多焦点 / 回析光学素子 / アブレーション / マイクロロッドアレイ / フォトポリマー / フォトマスク / マイクロレンズアレイ / 多光子吸収 / ダイアモンド構造 / 位相 / フォトニック結晶 / 干渉 / マクロマシン / マイクロマシニング / ファイバープロープ / エバッセント場 / スピンコート / レジスト / フォトリソグラフィー / 原子間力顕微鏡 / NSOM / 近接場顕微鏡 … もっと見る研究代表者以外マイクロマシン / DNA / 近接場顕微鏡 / 白金 / 酸化チタン / PCR / micro-machine / PDMS / エッチング / ゼオライト / NSOM / 電極反応 / PMMA / MEMS / 光学計測 / フリーフォール型 / マイクロプラスチック / 海洋観測 / 姿勢推定 / メッシュフィルタ / イメージセンサ / 蛍光分析 / レーザースペックル / ガラス球 / 海洋観測システム / 海洋マイクロプラスチック / Surface Plasmon Resonance / Gold Colloid / Photomanipulation / Nanoactuator / Nanomachine / 表面プラズモン共鳴 / 金コロイド / 光マニピュレーション / ナノアクチュエーター / ナノマシン / etching / micro-chip / a gene / マイクロチップ / 遺伝子 / biosensor / pulling experiment / high voltage / chemical modification / joining in room temperature / ポリイオン / シランカップリング処理 / バイオセンサー / 引っ張り試験 / 高電圧 / 化学修飾 / 室温接合 / luminescence / multiphoton process / anneal / change in refractive index / femtosecond pulse / silica glass / three-dimensional optical memory / three-dimensional optical data storage / 三次元メモリ / 欠陥 / 発光 / 多光子過程 / アニール / 屈折率変化 / フェムト秒パルス / 石英ガラス / 三次元光メモリ / 三次元光記録 / forming resolution / microstructure / micromachining / photo polymer / stereolithopraphy / micromachine / 加工分解能 / 微小構造物 / マイクロマシニング / 高分子材料 / 光造形法 / レーザー加工 / ガラス / 金ナノ粒子 / プラズモン / レーザートラピング / 多光束干渉 / フォトニック結晶 / 光ピンセット / ナノ材料 / 共焦点顕微鏡 / 蛍光スペクトル / 色素 / 走査型電子顕微鏡 / 共焦点レーザー顕微鏡 / 蛍光顕微鏡 / 蛍光色素 / レジスト / フォトリソグラフィー / 電子線リソグラフィー / 微細ハニカム構造 / シリケイト / 一次元 / ナノチューブ / ペリレン / 微粒子 / ナノ界面 / ローダミン / フォトレジスト / ニアフィールド光 / ファイバープローブ / ナノマシニング / 表面準位 / ナノパタ-ニング / 塩化白金酸 / 光還元反応 / 光触媒反応 / ロ-ダミン / ポリシラン誘導体 / レーザー発振 / 微粒子共振器 / 光カー効果 / 非線形光学効果隠す

窒化と表面周期構造形成による色鮮やかなレーザー着色研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  芝浦工業大学
スーパーマイクロプラスチックのその場計測を可能にする海洋観測機の開発
- 研究代表者
  
  小池義和
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分24020:船舶海洋工学関連
- 研究機関
  芝浦工業大学
近赤外フェムト秒レーザーを用いるシリコンの新奇三次元微細加工技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  芝浦工業大学
シリコン結晶基板の新しい微細加工技術の開発:内部・三次元・任意形状除去加工研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  徳島大学
表面プラズモン増強電場を利用した透明無機材料光化学エッチングの高光利用効率化
- 研究代表者
  
  橋本修一
- 研究期間 (年度)
  2008
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  徳島大学
透明固体基板内部で回転する光駆動マイクロモーターの開発と応用研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
レーザートラッピングを用いた円柱型ゼオライト微粒子フォトニック結晶の作製
- 研究代表者
  
  橋本修一
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  機能材料・デバイス
- 研究機関
  徳島大学
ゼオライト結晶を利用した微小領域光化学反応の計測
- 研究代表者
  
  橋本修一
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  徳島大学
フェムト秒レーザーを用いた広領域一括微細加工技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
光の放射圧を利用したナノアクチュエーターの開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  北海道大学
   徳島大学
単一光プロセスによる三次元周期構造物の作製とそのフォトニック結晶への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
プローブ顕微鏡を用いた光半導体電極ナノ界面における電子移動反応制御
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  徳島大学
近接場顕微鏡によるナノマシニング技術の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  徳島大学
DNA分析用集積化マイクロチップの開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  地域連携推進研究費
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
プローブ顕微鏡を用いた光半導体電極ナノ界面における電子移動反応制御
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  徳島大学
近接場顕微鏡によるナノマシシング技術の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  徳島大学
ナノチューブ中に集積化した一次元金属フタロシアニンの光物性の解明
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  徳島大学
エバネッセント場造形法による光の限界を超えるマイクロマシニング技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松尾繁樹 (松尾茂樹)
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
分子を工具とする新しいマイクロマシン接合技術の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
微粒子共振器による光電場閉じ込めを利用した新しい有機非線形光学材料の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  徳島大学
プローブ顕微鏡を用いた光半導体電極ナノ界面における電子移動反応制御
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  徳島大学
近接場顕微鏡によるナノマシニング技術の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  徳島大学
フォトンを工具とする超高密度三次元光記録装置の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学
非線形光学刃物を用いた新しいマイクロマシン作製技術の開発
- 研究代表者
  
  三澤弘明
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  徳島大学

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すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Scanning strategy-dependent etching rate in the formation of through-via holes by femtosecond laser-assisted etching2024
- 著者名/発表者名
  Matsuda Shogo、Matsuo Shigeki
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 63 号: 5 ページ: 052001-052001
- DOI
  10.35848/1347-4065/ad3da2
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03845
[雑誌論文] Laser Fabrication of Miniature Internal Thread in Glass Substrate2017
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki Degawa, Noriaki Urano, Shigeki Matsuo
- 雑誌名
  
  Micromachines
  
  巻: 8 号: 2 ページ: 48-48
- DOI
  10.3390/mi8020048
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[雑誌論文] Subnanosecond-laser-induced periodic surface structures on prescratched silicon substrate2016
- 著者名/発表者名
  Motoharu Hongo, Shigeki Matsuo
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 9 号: 6 ページ: 062703-062703
- DOI
  10.7567/apex.9.062703
- NAID
  210000137933
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[雑誌論文] Reduction of Pulse-to-Pulse Fluctuation in Laser Pulse Energy using the Optical Kerr Effect2012
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, L. Yan, J. Si, T. Tomita and S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: (掲載決定, 2012年5月掲載予定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Matrix calculus for axially symmetric polarized beam2011
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: Vol.19 号: 13 ページ: 12815-12824
- DOI
  10.1364/oe.19.012815
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Hashimoto and Tatsuya Okada, Femtosecond Laser-Assisted Etching of Fluoride Crystals2011
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, K. Iwasa, T. Tomita, S.
- 雑誌名
  
  Journal of Laser Micro/ Nanoengineering
  
  巻: Vol.6 号: 3 ページ: 245-248
- DOI
  10.2961/jlmn.2011.03.0014
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate2010
- 著者名/発表者名
  K. Tokumi, S. Matsuo, S. Kiyama, T. Tomita and S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Laser Micro/ Nanoengineering
  
  巻: Vol.5 号: 2 ページ: 179-182
- DOI
  10.2961/jlmn.2010.02.0015
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate2010
- 著者名/発表者名
  K. Tokumi, S. Matsuo, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.5
  
  ページ: 179-182
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, H. Sumi, S. Kiyama, T. Tomita and S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science
  
  巻: Vol.255 号: 24 ページ: 9758-9760
- DOI
  10.1016/j.apsusc.2009.04.065
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009
- 著者名/発表者名
  Matsuo, H. Sumi, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science Vol.255
  
  ページ: 9758-9760
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material2009
- 著者名/発表者名
  S. Kiyama, T. Tomita, S. Matsuo, S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.4
  
  ページ: 18-21
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Examination of etching agent and etching mechanism on femtosecond laser microfabrication of channels inside vitreous silica substrates2009
- 著者名/発表者名
  S. Kiyama, S. Matsuo, S. Hashimoto and Y. Morihira
- 雑誌名
  
  The Journal of Physical Chemistry C
  
  巻: Vol.113 号: 27 ページ: 11560-11566
- DOI
  10.1021/jp900915r
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material2009
- 著者名/発表者名
  S. Kiyama, T. Tomita, S. Matsuo and S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Laser Micro/ Nanoengineering
  
  巻: Vol.4 号: 1 ページ: 18-21
- DOI
  10.2961/jlmn.2009.01.0004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009
- 著者名/発表者名
  S.Matsuo, et al.
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science 255
  
  ページ: 9758-9760
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 93
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, K. Tokumi, T. Tomita and S. Hashimoto
- 雑誌名
  
  Laser Chemistry
  
  巻: Vol.2008 ページ: 1-4
- DOI
  10.1155/2008/892721
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Masuhara, Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, H.
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters Vol.93
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa and H. Masuhara
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: Vol.93 号: 5
- DOI
  10.1063/1.2967872
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 93
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19655069
[雑誌論文] Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 雑誌名
  
  Laser Chemistry 2008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Hashimoto, Three- Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, K. Tokumi, T. Tomita, S.
- 雑誌名
  
  Laser Chemistry Vol.2008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[雑誌論文] Femtosecond Laser Microfabrication of Periodic Structures using a Microlens Array2005
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo
- 雑誌名
  
  Applied Physics A Vol.80,No.4
  
  ページ: 683-685
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760205
[産業財産権] レーザー光束制御装置、レーザー光束エネルギー安定化装置、レーザー光束制御方法、及びレーザー光束エネルギー安定化方法2011
- 発明者名
  松尾繁樹
- 権利者名
  徳島大学
- 出願年月日
  2011-09-02
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[産業財産権] レーザー光束制御装置及びレーザー光束エネルギー安定化装置2010
- 発明者名
  松尾繁樹
- 権利者名
  徳島大学
- 産業財産権番号
  2010-203367
- 出願年月日
  2010-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザーを用いた間欠加工現象発生の検討2024
- 著者名/発表者名
  平野斗真，松尾繁樹
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会第44回年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03845
[学会発表] 水素混合窒素ガスの吹き付けによる金属材料のレーザー窒化2024
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹，水野陽登，近藤敏彰
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03845
[学会発表] フェムト秒レーザーを用いた異種透明材料の接合可能性の検討2023
- 著者名/発表者名
  佐藤純也，松尾繁樹
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会第43回年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03845
[学会発表] 電子物性の異なるシリコン結晶基板の非線形光学係数の比較2017
- 著者名/発表者名
  杉本幸大造，松尾繁樹
- 学会等名
  レーザー学会東京支部研究会
- 発表場所
  東京都港区
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] 短パルスレーザーによるPDMS内部の除去加工2017
- 著者名/発表者名
  林克幸，松尾繁樹
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県横浜市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] サブナノ秒レーザーを用いた液中アブレーションによるガラスの内部加工2017
- 著者名/発表者名
  出川洋之，浦野徳章，中川寛之，村上廉和，松尾繁樹
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会
- 発表場所
  徳島県徳島市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] サブナノ秒レーザーによるシリコン・ガラスの微細加工2017
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  電気学会　光・量子デバイス研究会
- 発表場所
  三重県伊勢市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Sub-nanosecond laser induced periodic surface structures on pre-scratched Silicon surface2016
- 著者名/発表者名
  Motoharu Hongo, Shigeki Matsuo
- 学会等名
  17th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  Xi'an, China
- 年月日
  2016-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Intermittent release of stress can form periodic surface holes on glass: subsurface technique in femtosecond laser study2016
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronics Technology
- 発表場所
  Itabashi, Tokyo, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Subnanosecond laser processing of bulk and surface of silicon2016
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo
- 学会等名
  Progress in Ultrafast Laser Modifications of Materials
- 発表場所
  Neuchatel Switzerland
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Subnanosecond laser processing of bulk and surface of silicon2016
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo
- 学会等名
  2nd workshop on Progress on Ultrafast Laser Modifications of Materials
- 発表場所
  ヌーシャテル, Switzerland
- 年月日
  2016-06-13
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Subnanosecond laser induced periodic surface structures on pre-scratched silicon surface2016
- 著者名/発表者名
  Motoharu Hongo and Shigeki Matsuo
- 学会等名
  17th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  Xi’an, China
- 年月日
  2016-05-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] フェムト秒レーザーを用いるガラス内部への三次元微細形状除去加工2015
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  第82回レーザ加工学会講演会
- 発表場所
  産業技術総合研究所臨海副都心センター
- 年月日
  2015-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] フェムト秒レーザーを用いた透明固体内部加工2015
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-12
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289019
[学会発表] Three-Dimensional Micro Modification and Selective Etching of Crystalline Silicon Using 1.56-μm Subpicosecond Laser Pulses2013
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  CLEO Pacific Rim
- 発表場所
  国立京都国際会館（京都府）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656109
[学会発表] Three-Dimensional Micro Modification and Selective Etching of Crystalline Silicon Using 1.56-μmSubpicosecond Laser Pulses2013
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹他
- 学会等名
  CLEO Pacific Rim
- 発表場所
  国立京都国際会館(京都府)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656109
[学会発表] ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける照射パラメータ依存性2012
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Femtosecond laser-assisted etching of Fluoride crystals2011
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo, et al
- 学会等名
  The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  高松市
- 年月日
  2011-06-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] 軸対称偏光の行列計算法:ジョーンズ計算法の拡張2011
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Optical rotator inside glass substrate fabricated by femtosecond laser processing2011
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technologies 2011
- 発表場所
  香港中文大学(香港)(招待講演)
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング2011
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  厚木市
- 年月日
  2011-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Optical rotator inside glass substrate fabricated by femtosecond laser processing2011
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 学会等名
  ISOT2011 International Symposium on Optomechatronic Technologies
- 発表場所
  香港中文大学(香港)
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Rotation Formulas in the Jones Calculus Extended to Axially Symmetrically Polarized Beam2011
- 著者名/発表者名
  Shigeki Matsuo
- 学会等名
  Frontiers in Optics 2011
- 発表場所
  サンノゼコンベンションセンター(アメリカ)
- 年月日
  2011-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザーパルスを照射したガラスのエッチング特性の温度・濃度依存性2010
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎市
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける選択性のエッチング条件依存性2010
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  2010年光化学討論会
- 発表場所
  千葉市
- 年月日
  2010-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Femtosecond laser-assisted micro removal processing inside transparent solids2010
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 学会等名
  The 7th Asia-Pacific Laser Symposium
- 発表場所
  Seogwipo KAL Hotel(韓国済州島)
- 年月日
  2010-05-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Femtosecond laser-assisted micro removal processing inside transparent solids2010
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 学会等名
  The 7th Asia-Pacific Laser Symposium
- 発表場所
  Seogwipo, Korea
- 年月日
  2010-05-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザー照射によるガラスのエッチングレート増大のメカニズム2010
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  レーザー学会第408回研究会
- 発表場所
  尾道市
- 年月日
  2010-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザを用いた透明固体材料の内部微細加工技術の開発2009
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹
- 学会等名
  第72回レーザ加工学会
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2009-12-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Microfluidic devices のための埋め込み型可動構造物の作製2009
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会第29回年次大会
- 発表場所
  徳島市
- 年月日
  2009-01-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009
- 著者名/発表者名
  S.Matsuo, et al.
- 学会等名
  The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
- 発表場所
  神戸
- 年月日
  2009-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro- structuring Crystalline and Glassy Materials2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 学会等名
  The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
- 発表場所
  Orlando, U.S.A.(招待講演)
- 年月日
  2009-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro-structuring Crystalline and Glassy Materials2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo
- 学会等名
  The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
- 発表場所
  Hilton in Walt Disney World Resort(Orlando, U.S.A.)
- 年月日
  2009-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro-structuring Crystalline and Glassy Materials2009
- 著者名/発表者名
  S.Matsuo
- 学会等名
  The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
- 発表場所
  Orlando
- 年月日
  2009-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo et al.
- 学会等名
  The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
- 発表場所
  神戸コンベンションセンター(神戸市)
- 年月日
  2009-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Three-dimensional Microstructuring inside Transparent Solid Substrates Assisted by Femtosecond Laser Pulses2009
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 学会等名
  PIERS 2009 in Beijing
- 発表場所
  Beijing
- 年月日
  2009-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuo, et al.
- 学会等名
  The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
- 発表場所
  Kobe, Japan
- 年月日
  2009-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Optically Driven Micro Rotator embedded in Solid Substrate2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 学会等名
  Microprocesses and Nanotechnology 2008
- 発表場所
  福岡市
- 年月日
  2008-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザー照射と高温エッチングによるサファイアの内部加工2008
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  第27回固体・表面光化学討論会
- 発表場所
  徳島市
- 年月日
  2008-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 学会等名
  the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  Qubec city
- 年月日
  2008-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Laser fabrication and manipulation of optical rotator embedded inside a transparent solid material2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 学会等名
  the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
- 発表場所
  Qubec city
- 年月日
  2008-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] ホウケイ酸ガラスのフェムト秒レーザー誘起選択エッチング2008
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  第27回固体・表面光化学討論会
- 発表場所
  徳島市
- 年月日
  2008-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] フェムト秒レーザー支援エッチング加工よる微小流体制御素子の開発2008
- 著者名/発表者名
  松尾繁樹, 他
- 学会等名
  第27回固体・表面光化学討論会
- 発表場所
  徳島市
- 年月日
  2008-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115
[学会発表] Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses with aqueous solution of KOH2008
- 著者名/発表者名
  Matsuo S., et al
- 学会等名
  6th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
- 発表場所
  札幌市
- 年月日
  2008-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360115

1. 三澤弘明 (30253230)

共同の研究課題数: 13件

共同の研究成果数: 0件
2. 橋本修一 (70208445)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
3. 直井美貴 (90253228)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. JUODKAZIS Saulius (80332823)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 山口央

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 桑島正道 (00205262)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 高木均 (20171423)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 木内陽介 (80035807)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 長篠博文 (40035655)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 坪井泰之 (00283698)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 小池義和 (30251672)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 富田卓郎 (90359547)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 二井信行 (10508378)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 長澤純人 (30400279)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 荒川久幸 (40242325)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 西川宏之 (40247226)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. ラジャゴパランウママヘスワリ (40270706)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 李素潤 (80837336)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 横井秀樹 (90251636)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 張暁賓 (40647111)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 近藤敏彰 (20513716)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
22. 鈴木好久

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 棚村好彦

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. SAULIUS Juodkazis

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. ANDRIUS Marcinkevicius

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. VYGANTAS Mizeikis

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

松尾 繁樹 Matsuo Shigeki

松尾 茂樹 マツオ シゲキ

研究課題

研究成果

共同研究者

窒化と表面周期構造形成による色鮮やかなレーザー着色研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

近赤外フェムト秒レーザーを用いるシリコンの新奇三次元微細加工技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シリコン結晶基板の新しい微細加工技術の開発:内部・三次元・任意形状除去加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

透明固体基板内部で回転する光駆動マイクロモーターの開発と応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

フェムト秒レーザーを用いた広領域一括微細加工技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

単一光プロセスによる三次元周期構造物の作製とそのフォトニック結晶への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

松尾繁樹 Matsuo Shigeki

松尾茂樹マツオシゲキ