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伊藤 和男  ITOH Kazuo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30106900
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2001年度 – 2002年度: 群馬大学, 工学部, 助教授
1986年度: 群馬大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
応用物性
キーワード
研究代表者
Electron Beam Lithography / Reactive Ion Etching / 3-dimensional Structures / Expanded Pattern Transfer / パターン転写 / 形状転写 / 電子線リソグラフィ / 反応性イオンエッチング / 三次元形状 / 形状の増幅転写 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る molecular beam evaporation / metallic superlattice / non-epitaxy / epitaxial deposition / ultra-high vacuum / superlattice film / アンダーソン局在 / 微少ギャップ半導体 / 半金属 / 分子線蒸着 / 金属超格子 / ノンエピタキシィ / エピタキシャル蒸着 / 超高眞空 / 超格子膜 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  反応性イオンエッチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      伊藤 和男
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      群馬大学
  •  ノン・エピタキシャル超格子合金の物性探究と高伝導度材料の開発

    • 研究代表者
      田沼 静一
    • 研究期間 (年度)
      1984 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      群馬大学
  • 1.  佐々木 義智 (30008445)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  田沼 静一 (70013448)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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