井上晴行 Inoue Haruyuki

研究者番号	30304009
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所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2012年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2011年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手 1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者以外生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 応用光学・量子光工学 / 電子デバイス・機器工学
キーワード	研究代表者以外シングルモード光ファイバ / HeCdレーザー / WGMモード / フォトレジスト / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 走査型近接場光学顕微鏡 / 位相シフト干渉計 … もっと見る / 光ファイバ / 回折球面波 / フェムト秒レーザー / SNOM / fiber optic plate / 絶対形状計測 / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / 光の近接場 / 計測の再現性 / 高精度絶対形状計測 / 光干渉計測 / He-Neレーザー / 位相シフト干渉法 / 点光源 / 3次元境界要素法 / 高空間分解能 / 極微小突起プローブ / spherical diffraction wave / measurement error / aspherical surface measurement / absolute surface figure measurement / single-mode optical fiber / phase-shifting interferometry / point diffraction interferometry / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 位相シフト干渉計測法 / 点回折干渉計測法 / 大口径光学素子 / HeNeレーザー / Point Diffraction Inteferometer / 点回折球面波干渉計 / 非球面観測 / 計測誤差 / 非球面計測 / 位相シフト干渉計測 / 点回折干渉計測 / repeatability / absolute shape measurement / optical interferometry / Helium-Neon laser / single mode optical fiber / phase shift interferometry / point light source / diffracted Spherical wavefront / EUVL露光装置 / 点光源回折干渉法 / surface defect / surface morphology / high-frequency pulse / surface characterization / ultra-precision machining / insulator / scanning tunneling spectroscopy / scanning tunneling microscope / 表面欠陥 / 表面微細構造 / 高周波パルス / 表面キャラクタリゼーション / 超精密加工 / 絶縁体 / 走査トンネル分光法 / 走査トンネル顕微鏡 / high spatial resolution / multi photon absorption process / 3-dimensional finite element method / ultraviolet resins / micro protrusion probe / femto-second laser / evanescent field / scanning near-field optical microscope / 極微細光加工 / チタンサファイアレーザー / 多光子吸収過程 / 紫外線硬化性樹脂 / three dimensional boundary element method / micro protrusion / HeCd laser / photoresist / Morphology Dependent Resonances / Whispering Gallery Modes / spherical micro resonator / Scanning Near-field Optical Microscope / 時間領域差分法 / 走査系近接場光学顕微鏡 / 三次元境界要素法 / MDRs / WGMs / Point Diffraction Interierometer / Point Diffraction Interferometer / PDI / 精密加工計測 / PDI(Point Diffraction Interferometer) / 加工計測 / 精密位置決め / 放物面計測 / 非球面形状計測 / ガラスレスCCDカメラ / デジタルホログラフィー / 表面形状計測 / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / デジタルホログラフ / phase-shifting interferometer / point diffraction interferometer / 点光源回折干渉計 / 近接場局所分光 / キャビティーリングダウン分光隠す

光ファイバ出射の点回折球面波を基準面とする平面原器絶対形状の位相シフト干渉計測
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
FOW援用型PDI形状計測装置の開発:大口径非球面の高い再現性での絶対形状計測
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2012 2011 2010 2008 2007 2006 2005 2004

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers, Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 142012
- 著者名/発表者名
  Oshikane Yasushi, Nakano Motohiro and Inoue Haruyuki
- 総ページ数
  67
- 出版者
  (Moh. Yasin, Sulaiman W. Harun and Hamzah Arof, eds.), InTech, Croatia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[図書] Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 14, Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers2012
- 著者名/発表者名
  Oshikane Yasushi, Nakano Motohiro, Inoue Haruyuki
- 出版者
  InTech (ISBN 978-953-51-0091-1)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[雑誌論文] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008
- 著者名/発表者名
  Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
- 雑誌名
  
  Surface and Inter face Analysis Vol. 40
  
  ページ: 1028-1032
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007
- 著者名/発表者名
  Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
- 雑誌名
  
  Optical Review Vol. 14
  
  ページ: 401-405
- NAID
  10020010020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130005028613
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 161-161
- NAID
  130004658297
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] Absolute surface profiling of large diameter mirror by point diffraction interferometer2006
- 著者名/発表者名
  S.Okagaki, T.Nakamura, T.Matsuura, Y.0shikane, T.Kataoka, H.Inoue, M.Nakanao
- 雑誌名
  
  Extended abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 121-122
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004657236
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- 著者名/発表者名
  井上晴行, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  光アライアンス Vol.16, No.2
  
  ページ: 36-41
- NAID
  40006601718
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004655911
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers2011
- 著者名/発表者名
  N. Ogawa, T. Nishioka, M. Nakano, Y. Oshikane, H. Inoue
- 学会等名
  Fourth international symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka University
- 年月日
  2011-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-ファイバ保持方法の改良とノイズの低減-2011
- 著者名/発表者名
  小川尚利,西岡孝純,中野元博,押鐘寧,井上晴行
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Point light Sources of Single-Mode Optical Fibers2011
- 著者名/発表者名
  N.Ogawa, T.Nishioka, M.Nakano, Y.Oshikane, H.Inoue
- 学会等名
  Fourth international symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Spherical Reference Wavefronts Generated by two Optical Fibers2010
- 著者名/発表者名
  N.Ogawa, Y.Oshikane, H.Inoue, M.Nakano
- 学会等名
  Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  大阪大学(大阪市)
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-非球面凹面ミラーの表面形状計測精度-2010
- 著者名/発表者名
  小川尚利, 中野元博, 押鐘寧, 井上晴行, 山内和人
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学(名古屋市)
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-非球面凹面ミラーの表面形状計測精度-2010
- 著者名/発表者名
  小川尚利,中野元博,押鐘寧,井上晴行,山内和人、
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109

1. 押鐘寧 (40263206)

共同の研究課題数: 10件

共同の研究成果数: 18件
2. 片岡俊彦 (50029328)

共同の研究課題数: 9件

共同の研究成果数: 0件
3. 遠藤勝義 (90152008)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
4. 中野元博 (40164256)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 18件
5. 山内良昭 (00252619)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 松浦敏晋 (60525145)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
7. 片岡秀彦

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 12件

井上 晴行 Inoue Haruyuki

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers, Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 142012

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[図書] Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 14, Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers2012

著者名/発表者名

出版者

データソース

[雑誌論文] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007

著者名/発表者名

井上晴行 Inoue Haruyuki