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齋藤 滋規  Saito Shigeki

… 別表記

齊藤 滋規  サイトウ シゲキ

斎藤 滋規  サイトウ シゲキ

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研究者番号 30313349
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-5663-975X
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東京科学大学, 環境・社会理工学院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2017年度 – 2023年度: 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授
2016年度: 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授
2011年度 – 2015年度: 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授
2012年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授
2007年度 – 2010年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 … もっと見る
2005年度 – 2006年度: 東京工業大学, 大学院理工学研究科, 助教授
2005年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究所, 助教授
2004年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教授
2000年度 – 2002年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助手
2001年度: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科(国際開発工学専攻), 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
知能機械学・機械システム / 知能機械学・機械システム / 小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連 / 中区分20:機械力学、ロボティクスおよびその関連分野 / マイクロ・ナノデバイス
研究代表者以外
材料加工・処理 / 複合材料・表界面工学 / 知能機械学・機械システム / 材料加工・処理
キーワード
研究代表者
生産技術 / 生体模倣 / 静電チャック / 静電力 / リソグラフィー / 導電性芯 / 高分子繊維 / 静電吸着 / 3Dプリンター / 双極型 … もっと見る / マイクロロボティクス / マイクロ・ナノメカトロニクス / 微小物体物理学 / マイクロアセンブリ / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / 機械力学・制御 / 液架橋力 / Place / Pick / マニピュレーション / 微小物体 / 凝着力 / 静電吸着力 / 微小液滴 / 大面積 / 把持・離脱 / 親疎水面 / ウォータージェット加工 / 表面柔軟性 / 微細毛構造 / マイクロ・ナノメカトロにクス / 3次元プリンター / リソフラフィ― / 高分子 / プローブ / 導通 / IC / マイクロセンサー / マイクロコンタクト / 同時多極 / マイクロセンシング / 表面電位 / ナノメカトロニクス / マイクロ / 走査電子顕微鏡 / 誘電体 / 静電体 / ミクロ・ナノデバス / マイクロ液滴 / 液体凝集 / 相変態(相変化) / 理論解析 / 液滴量制御 / 条件決定 / 実装 / 微小体 / 毛細管現象 / 液体 / ラプラス方程式 / 凝着現象 / 電子顕微鏡 / 転がり抵抗 … もっと見る
研究代表者以外
凝着 / 梁構造 / 毛構造 / 生物模倣 / 可逆接合 / 微小体 / マニピュレーション / 静電力 / せん断力 / 把持・脱離デバイス / 水平力 / 弾性はり理論 / PDMS / 集合体 / メカニズム / kinetic energy / micro-object alignment / Rapid voltage control / conductive micro-particle / IC packaging / micromanipulation / adhesional force / electrostatic force / 条件決定 / 実装 / クーロン相互作用 / 電圧 / 運動エネルギー / 微小物体配置 / 電界高速制御 / 微小金属粒子 / IC実装 / マイクロマニピュレーション / 凝着力 / surface analysis / electronic spectroscopy / interface / chemical bond / molecular dynamics / ultra high vacuum / atomic force microscope / adhesion / 表面分析 / 電子分光 / 界面 / 結合状態 / 分子動力学 / 超高真空 / 原子間力顕微鏡 / 凝着仕事 / 固体間凝着現象 / 大変形 / 梁モデル / 把持機構 / デバイス / 半導体 / クライテリオン / 分離 / 凝着現象 隠す
  • 研究課題

    (16件)
  • 研究成果

    (85件)
  • 共同研究者

    (9人)
  •  親疎水面塗分けパターンに基づく微小液架橋配列を用いた大面積対象物の把持・離脱機構研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分20:機械力学、ロボティクスおよびその関連分野
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  薄膜状電子デバイスの複曲面上実装を実現する微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  微細毛構造由来の表面柔軟性を持つ静電吸着デバイスによる製造技術の革新研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  生物のナノヘア構造に学ぶ把持・脱離機構の破壊クライテリオン

    • 研究代表者
      高橋 邦夫
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  静電誘導ファイバー高度集積化によるヤモリ型静電チャック創製と物体操作技術への展開研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  生物にみられるナノヘア構造による把持・脱離機構を応用した厳密な可逆接合

    • 研究代表者
      高橋 邦夫
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  導電コア高分子ファイバーによる同時多極マイクロ導通センシングデバイス研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  ヤモリに学ぶ静電誘導ファイバー植毛による凝着・離脱デバイス研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  導電性芯を持つ高分子繊維集積化による生体模倣型凝着デバイスの実現研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  相変態を利用した液体供給による液架橋マイクロマニピュレーション手法研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  能動的電子注入とプローブ電圧制御による誘電体の電顕内マイクロマニピュレーション研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  印加電圧制御による微小物体の静電力マニピュレーション手法

    • 研究代表者
      恩澤 忠男
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  液滴量制御による微小物体の液架橋力マニピュレーション手法の確立研究代表者

    • 研究代表者
      恩澤 忠男, 齊藤 滋規
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  電子デバイスにおける分離可能な接合部形成

    • 研究代表者
      恩澤 忠男
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  超高真空中の微小物体凝着面における「転がり抵抗」現象の解明研究代表者

    • 研究代表者
      齊藤 滋規 (齋藤 滋規)
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  微小体マニピュレーションにおける凝着問題の解決-新しいマイクロ接合プロセスのための基礎研究-

    • 研究代表者
      高橋 邦夫
    • 研究期間 (年度)
      2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京工業大学

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Tomohiro、Taoka Yuki、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 7 号: 31 ページ: 923-928

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00329-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [雑誌論文] Development of a bipolar electrostatic chuck with a compliant beam-array assembly having four 3D-printed layers for large film handling2022

    • 著者名/発表者名
      Taoka Yuki、Hayashi Terumichi、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • 雑誌名

      Engineering Research Express

      巻: 4 号: 1 ページ: 015010-015010

    • DOI

      10.1088/2631-8695/ac4a49

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [雑誌論文] Adhesional Contact between Rigid Sphere and Elastic Plane Covered with Thin Liquid Film Considering Contact-Angle Hysteresis2020

    • 著者名/発表者名
      Iguchi Yoji、Baek Dooyoung、Momozono Satoshi、Hemthavy Pasomphone、Saito Shigeki、Takahashi Kunio
    • 雑誌名

      Tribology Online

      巻: 15 号: 1 ページ: 1-8

    • DOI

      10.2474/trol.15.1

    • NAID

      130007785067

    • ISSN
      1881-218X, 1881-2198
    • 年月日
      2020-01-15
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] Compliant bipolar electrostatic gripper using 3D-printed-layered elastic probes2020

    • 著者名/発表者名
      Hemthavy Pasomphone、Kudo Kenta、Kawano Kento、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • 雑誌名

      Engineering Research Express

      巻: 2 号: 1 ページ: 015013-015013

    • DOI

      10.1088/2631-8695/ab67ed

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] Force evaluation of electrostatic gripper with arrayed fibers consisting of parallel and coaxial electrodes2019

    • 著者名/発表者名
      Saito Shigeki、Kawamura Kazuteru、Dhelika Radon、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Takarada Wataru、Kikutani Takeshi
    • 雑誌名

      Smart Materials and Structures

      巻: 28 号: 9 ページ: 095018-095018

    • DOI

      10.1088/1361-665x/ab3243

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] Analytical solution of elastic deformations inside and outside circular contact area between tilted rigid punch and elastic half space2019

    • 著者名/発表者名
      Yoji Iguchi, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito & Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      Acta Mechanica

      巻: 230 号: 12 ページ: 4311-4320

    • DOI

      10.1007/s00707-019-02505-9

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] Development of a bipolar electrostatic chuck module with a beam-array assembly using the multiple etching process2018

    • 著者名/発表者名
      Seungman Choi Kazuki Wakabayashi, Kunio Takahashi and Shigeki Saito
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: Vol. 28 No. 12 号: 12 ページ: 125011-125011

    • DOI

      10.1088/1361-6439/aae8ca

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] 微細毛構造による表面柔軟性を持つ静電チャック2017

    • 著者名/発表者名
      齊藤滋規
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: Vol. 41, No.3 ページ: 134-138

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [雑誌論文] Compliant bipolar electrostatic gripper with micropillar electrodes array for manipulation at macroscale2016

    • 著者名/発表者名
      Radon Dhelika, Pasomphone Hemthavy, Kunio Takahashi and Shigeki Saito
    • 雑誌名

      Smart Materials and Structures

      巻: 25 号: 5 ページ: 055037-055037

    • DOI

      10.1088/0964-1726/25/5/055037

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [雑誌論文] Criterion of detachment for grip-and-release devices with slanted multi-beam structure using Ti-Ni wire2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuhito Emura, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering

      巻: 61 ページ: 012041-012041

    • DOI

      10.1088/1757-899x/61/1/012041

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [雑誌論文] Experiments of the adhesion behavior between an elastic beam and a substrate2014

    • 著者名/発表者名
      Yu Sekiguchi, PASOMPHONE HEMTHAVY, Shigeki SAITO, KUNIO TAKAHASHI
    • 雑誌名

      International Journal of Adhesion and Adhesives.

      巻: 49 ページ: 1-6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [雑誌論文] Criterion of detachment for grip-and-release devices with slanted multi-beam structure using Ti-Ni wire2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuhito Emura, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      IOP Conference Series: Materials Science and Engineering

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [雑誌論文] 電気的な同時多極センシングへ向けた柔軟プローブの設計可能性2013

    • 著者名/発表者名
      二階堂翔一,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 雑誌名

      2013年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      巻: Vol.2013S ページ: 135-136

    • NAID

      130005031634

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [雑誌論文] Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure2013

    • 著者名/発表者名
      Shigeki SAITO, Fumiaki SODA Radon DHELIKA, Kunio TAKAHASHI, Wataru TAKARADA, Takeshi KIKUTANI
    • 雑誌名

      Smart Materials and Structures

      巻: Vol.22 号: 1 ページ: 015019-015019

    • DOI

      10.1088/0964-1726/22/1/015019

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [雑誌論文] Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      Radon Dhelika, Kenji Sawai, Kunio Takahashi, Wataru Takarada, Takeshi Kikutani, and Shigeki Saito
    • 雑誌名

      Smart Materials and Structures

      巻: 22(9) 号: 9 ページ: 095010-095010

    • DOI

      10.1088/0964-1726/22/9/095010

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [雑誌論文] Adhesion between side surface of an elastic beam and flat surface of a rigid body2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Sekiguchi, P. Hemthavy, S. Saito, K. Takahashi
    • 雑誌名

      Journal of Adhesion Science and Technology

      巻: 26 号: 23 ページ: 2615-2626

    • DOI

      10.1080/01694243.2012.691034

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J07674, KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [雑誌論文] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響2012

    • 著者名/発表者名
      前薗圭佑, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 雑誌名

      2012年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      巻: Vol.2012S ページ: 701-702

    • NAID

      130005031392

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [雑誌論文] 静電誘導ファイバー集積化による物体吸着離脱機構の開発2011

    • 著者名/発表者名
      齋藤滋規
    • 雑誌名

      繊維学会ナノファイバー技術戦略研究委員会講演会「ナノ・マイクロファイバーの構造解析と応用展開」要旨集

      巻: Vol.1 ページ: 9-14

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [雑誌論文] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • 著者名/発表者名
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 雑誌名

      2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      巻: vol.2011S ページ: 877-878

    • NAID

      130005030907

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [雑誌論文] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • 著者名/発表者名
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 雑誌名

      2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      巻: vol.2011S ページ: 877-878

    • NAID

      130005030907

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [雑誌論文] 走査電子顕微鏡観察下における微小誘電体帯電モデルとその定量的検証2008

    • 著者名/発表者名
      目黒寛之, 齋藤滋規
    • 雑誌名

      2008年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      ページ: 561-562

    • NAID

      130005029166

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] 表面の微弱導電性を考慮した微小誘電体のマニピュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      山島篤志, 齋藤滋規
    • 雑誌名

      2008年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      ページ: 563-564

    • NAID

      130005029167

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] 高速電界制御による微小導体球安定配置のための電圧指令値最適設計2007

    • 著者名/発表者名
      園田雅樹, 齋藤滋規, 高橋邦夫, 落合俊広
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      ページ: 413-414

    • NAID

      130005028503

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] 液架橋力を利用した微小物体操作のための微小液滴安定化2007

    • 著者名/発表者名
      増成伸一, 尾畑賢一, 齋藤滋規, 高橋邦夫
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      ページ: 408-409

    • NAID

      130005028499

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [雑誌論文] 走査電子顕微鏡下における微小物体操作に向けた操作対象帯電メカニズムの実験的2007

    • 著者名/発表者名
      落合俊広, 齋藤滋規, 高橋邦夫, 目黒寛之
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      ページ: 411-412

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] Electrostatic Micromanipulation of a Conductive/Dielectric Particle by a Single Probe2007

    • 著者名/発表者名
      S.SAITO, et. al.
    • 雑誌名

      Proc. IEEE EANO 2007 CD-ROM

      ページ: 733-736

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] Non-impact electrostatic manipulation of a conductive micro-object by rapid control of applied voltage2005

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito, Kenji Kurihara, Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      Abstracts of 2005 MRS Fall Meeting CD-ROM

      ページ: 430-430

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] Phase transition approach to supply a micro-volume of water on the probe-tip for micro-manipulation by capillary force2005

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito, Osamu Katsuda, Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      Abstracts of 2005 MRS Fall Meeting CD-ROM

      ページ: 430-430

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [雑誌論文] A Micromanipulation Method based on the Capillary Force by Phase Transition2005

    • 著者名/発表者名
      Osamu Katsuda, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • 雑誌名

      Technical Proceedings of the 2005 NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show CD-ROM・2

      ページ: 426-429

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [雑誌論文] 静電マイクロマニピュレーションにおける電界高速制御を用いた導体球の低衝撃配置2005

    • 著者名/発表者名
      斎藤滋規, 栗原健児, 高橋邦夫
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      ページ: 975-976

    • NAID

      130004657270

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [雑誌論文] Non-impact Electrostatic Micromanipulation by Voltage Sequence for Time2004

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito et al.
    • 雑誌名

      Material Research Society Symposium Proceedings 782

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [雑誌論文] Non-impact Electrostatic Micromanipulation by Voltage Sequence for Time2004

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito, Kunio Takahashi, Masataka Urago
    • 雑誌名

      Material Science Research Symposium Proceedings vol.782

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [雑誌論文] Kinetic control of a particle by voltage sequence for a nonimpact electrostatic micromanipulation2003

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 83・10

      ページ: 2076-2078

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [雑誌論文] Kinetic control of a particle by voltage sequence for a nonimpact electrostatic micromanipulation2003

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Saito, Hideo Himeno, Kunio Takahashi, Masataka Urago
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters vol.83, no.10

      ページ: 2076-2078

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [産業財産権] 液体パターン形成方法及び形成装置2005

    • 発明者名
      齋藤ら他3名
    • 権利者名
      齋藤ら他3名
    • 出願年月日
      2005-04-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [学会発表] Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck2023

    • 著者名/発表者名
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] Micromanipulation based on capillary force using probes with hydrophilic and hydrophobic surfaces2023

    • 著者名/発表者名
      So Yeon Suk, Yuki Taoka, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [学会発表] 大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価2023

    • 著者名/発表者名
      吉田周平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 高分子薄膜の曲面自在貼付を可能にする帯状柔軟電極を有した双極型静電吸着デバイス2023

    • 著者名/発表者名
      江頭正洋, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] Rotational-Degree-Of -Freedom Tip Structure Used in Collective Beam Structure Electrostatic Chuck for Curved Surfaces,2022

    • 著者名/発表者名
      Sanchuan XU, Yuki Taoka, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 微細毛静電チャックの表面柔軟性確保のためのシート状交互五層(導電層、絶縁層)高分子複合材料の開発2022

    • 著者名/発表者名
      駒田ひろ, 田岡祐樹, 宝田亘, 齋藤滋規.
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] Development of a capillary force manipulation technique using probes with hydrophilic and hydrophobic surfaces2022

    • 著者名/発表者名
      TREETAVEKUL WANWALEE,田岡祐樹, 齊藤滋規
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [学会発表] Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck2022

    • 著者名/発表者名
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito.
    • 学会等名
      MRS 2022 Spring
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 梁先端に回転自由度 を有する微細毛双極 型静電チャックの開発2022

    • 著者名/発表者名
      凌智寛, 田岡祐樹, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発2021

    • 著者名/発表者名
      林 輝道, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      ジェレミー ガブリエル, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [学会発表] 親疎水面塗分けを施したプローブを用いた液架橋力制御によるマニピュレーション手法の有効性検証2021

    • 著者名/発表者名
      北瀬 雄士, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [学会発表] 微小円筒操作のための双極型静電吸着ツ ールの開発2020

    • 著者名/発表者名
      工藤健太,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発2020

    • 著者名/発表者名
      凌智寛,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 転がり抵抗測定および接触面観察による凝着を考慮した転がり現象の解明2020

    • 著者名/発表者名
      渡邊太平,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 集合梁構造により表面柔軟性を有する双極型静電吸着デザイスの大面積化2019

    • 著者名/発表者名
      林輝道, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] Development of a Compliant Bipolar Electrostatic Chuck Having 3D-Printed Elastically-Deformable Beams for Handling Large Film2019

    • 著者名/発表者名
      Terumichi Hayashi, Yuki Taoka, Pasomphone Hemthavy, Kunio Takahashi, Shigeki Saito
    • 学会等名
      2019 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] くし状構造の積層による側面接触型弾性梁集合体の試作2018

    • 著者名/発表者名
      サリュコフ ミハイル,井口 洋二,ヘムタビー パソムポーン,齋藤 滋規,高橋 邦夫
    • 学会等名
      24rd Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics”
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K06458
  • [学会発表] 微細毛構造を用いた静電チャック2018

    • 著者名/発表者名
      齋藤滋規
    • 学会等名
      第42回静電気学会全国大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 集合梁構造を持つ双極型静電吸着装置による対象物離脱のための手先軌道の実験的検討2018

    • 著者名/発表者名
      工藤健太, 若林一貴, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2018年度精密工学会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] A 3D-Printed-Layered Module of Compliant Electrostatic Gripper Consisting of Elastically Deformable Bipolar Micro-probes for Manipulation of Thin Film/Textile Objects2018

    • 著者名/発表者名
      Kenta KUDO, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 表面に凹凸形状を有する誘電体の把持・離脱を目的とした微細毛構造を持つ双極型静電吸着装置の配列密度に関する実験的検討2018

    • 著者名/発表者名
      児玉理央, 若林一貴, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2018年度精密工学会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上2017

    • 著者名/発表者名
      河野 健人, ヘムタビー パソムポーン,高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発2017

    • 著者名/発表者名
      崔 勝萬,河野 健人,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発2017

    • 著者名/発表者名
      崔 勝萬,河野 健人,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] Development of Bipolar Electrostatic Chuck Module Having Array of Beam Assembly Using Lithography Technique2017

    • 著者名/発表者名
      Seungman Choi, Kazuki Wakabayashi, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      2017 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] A 3D-printed-Layered Module of Compliant Electrostatic Gripper Consisting of Elastically Deformable Bipolar Micro-Probes,2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Wakabayashi, Kento Kawano, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      2017 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上2017

    • 著者名/発表者名
      河野 健人, ヘムタビー パソムポーン,高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [学会発表] 表面電位計測時における走査型プローブの複数本化によるプローブ間静電力の影響2016

    • 著者名/発表者名
      大善俊明,井口洋二,藤原亮,パソムポーンヘムタビー,高橋邦夫,齊藤滋規
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [学会発表] 3D プリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発2016

    • 著者名/発表者名
      河野 健人, Hemthavy Pasomphone, 高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • 学会等名
      2016 年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発2016

    • 著者名/発表者名
      田尻 陽亮,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • 学会等名
      2016 年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] 双極型静電誘導ファイバーの配列に際して電極形状が静電力に与える効果2014

    • 著者名/発表者名
      川村一輝,ヘムタビーパソムポーン,宝田亘,鞠谷雄士,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 学会等名
      精密工学会2014春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] Applicable Range in Object Size for Grasp-less Manipulation using Capillary and Gravitational Forces2013

    • 著者名/発表者名
      Kazuteru Kawamura, Kunio Takahashi, Pasomphone Hemthavy, and Shigeki Saito
    • 学会等名
      ASME 2013 International Mechanical Engineering Congress and Exposition
    • 発表場所
      Manchester Grand Hyatt San Diego
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] Mechanisms and Models for Bio-Mimicry Design of Grip-and-Release Devices2013

    • 著者名/発表者名
      K.Takahashi, S.Saito, P.Hemthavy, and Y.Sekiguchi
    • 学会等名
      International conference on Electronics Packaging 2013
    • 発表場所
      Osaka
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [学会発表] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響2012

    • 著者名/発表者名
      前薗圭佑,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      首都大学東京,東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • 著者名/発表者名
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2011-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] Electrostatic chuck consisting of electrostatic inductive polymer fibers for handling of curved surface2011

    • 著者名/発表者名
      Kenji SAWAI, Wataru TAKARADA, Takeshi KIKUTANI, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO
    • 学会等名
      Abstract in Material Research Society 2011 Fall Meeting, V17.41
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston,MA, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • 著者名/発表者名
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2011-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [学会発表] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • 著者名/発表者名
      澤井賢司,宝田亘,鞠谷雄士,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会論文集
    • 発表場所
      東洋大学,東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] 静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発2010

    • 著者名/発表者名
      早田史明,宝田亘,鞠谷雄士,齋藤滋規
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会論文集
    • 発表場所
      埼玉大学,埼玉
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] 静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発2010

    • 著者名/発表者名
      早田史明・鞠谷雄士・齋藤滋規
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      埼玉大学
    • 年月日
      2010-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [学会発表] 走査電顕環境下におけるヤモリの足裏構造を模倣した凝着デバイスの機能解明2009

    • 著者名/発表者名
      園田雅樹, 斎藤滋規, 高橋邦夫
    • 学会等名
      2009年精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      中央大学(東京都文京区)
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [学会発表] Optimized Voltage Sequence for Repeatable Manipulation of a Conductive Micro-particle by a Single Probe2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sonoda, S.Saito, et, al.
    • 学会等名
      MRS (Material Research Society) Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [学会発表] フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

    • 著者名/発表者名
      猿渡達彦,Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫, 田口良広,齋藤滋規
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Polymer Fibers for Handling of Curved Surface

    • 著者名/発表者名
      Kenji SAWAI , wataru takarada , TAKESHI KIKUTANI , KUNIO TAKAHASHI , Shigeki SAITO
    • 学会等名
      MRS 2011 Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響

    • 著者名/発表者名
      前薗圭佑, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [学会発表] Compliant electrostatic chuck with micropillar electrodes for handling of rough surfaces

    • 著者名/発表者名
      Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [学会発表] フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

    • 著者名/発表者名
      猿渡達彦,Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫, 田口良広,齋藤滋規
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [学会発表] 電気的な同時多極センシングへ向けた柔軟プローブの設計可能性

    • 著者名/発表者名
      二階堂翔一,高橋邦夫,齋藤滋規
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [学会発表] 静電誘導ファイバー集積化による物体吸着離脱機構の開発

    • 著者名/発表者名
      齋藤滋規
    • 学会等名
      繊維学会ナノファイバー技術戦略研究委員会講演会「ナノ・マイクロファイバーの構造解析と応用展開」
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • 1.  高橋 邦夫 (70226827)
    共同の研究課題数: 11件
    共同の研究成果数: 47件
  • 2.  恩澤 忠男 (10016438)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  鞠谷 雄士 (70153046)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 13件
  • 4.  ヘムタビー パソムポーン (00401539)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 5件
  • 5.  田岡 祐樹 (50845766)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 14件
  • 6.  浦郷 正隆 (50302948)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  山本 貴富喜 (20322688)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  武田 行生 (20216914)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  宝田 亘 (50467031)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件

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