野本淳一 NOMOTO Junichi

研究者番号	30711288
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度 – 2024年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 2021年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 2013年度 – 2015年度: 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分29020:薄膜および表面界面物性関連 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外環境技術・環境材料
キーワード	研究代表者透明導電膜 / 金属酸化物 / 光反応 / リマニュファクチャリング / 欠陥制御 / キャリア輸送 / 固相結晶化 / イオンプレーティング / マグネトロンスパッタリング / 配向制御 / 酸化亜鉛 / 透明導電酸化物 / キャリア輸送機構 … もっと見る研究代表者以外 … もっと見る電子・電気材料 / プラズマ加工 / 水素 / 表面・界面物性 / 環境材料 / 化学吸着 / 活性酸素 / スーパーオキシドアニオン / 起動時間 / 応答時間 / 酸化物半導体式 / superoxide / peroxide / 吸着酸素 / t90 / 半導体式センサー / 導電性薄膜 / 酸化亜鉛 / 酸化物半導体 / 半導体センサー / 水素センサー / グリーンケミストリ隠す

光反応による透明導電膜の欠陥制御技術の確立とそのリマン応用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  野本淳一
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
透明導電膜の高移動度発現に対する点欠陥の影響と光によるその制御技術に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  野本淳一
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21050:電気電子材料工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
ZnO 系透明導電膜のキャリア輸送に対する構造の影響とその制御技術に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  野本淳一
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  高知工科大学
吸着酸素化学状態制御による高感度水素センサー
- 研究代表者
  
  山本哲也
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  環境技術・環境材料
- 研究機関
  高知工科大学

すべて 2023 2022 2016 2015 2014 2013 その他

すべて雑誌論文学会発表図書産業財産権

[図書] 工業材料2014
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 総ページ数
  4
- 出版者
  日刊工業出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[図書] スマートプロセス学会誌2013
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄、岸本誠一、長田実
- 総ページ数
  9
- 出版者
  一般社団法人　スマートプロセス学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[雑誌論文] Limiting factors of carrier concentration and transport of polycrystalline Ga-doped ZnO films deposited by ion plating with dc arc discharge2016
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 601 ページ: 13-17
- DOI
  10.1016/j.tsf.2015.10.034
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[雑誌論文] Carrier mobility of highly transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films deposited by radio-frequency, direct-current, and radio-frequency-superimposed direct-current magnetron sputtering: Grain boundary effect and scattering in the grain bulk2015
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino and Tetsuya Yamamoto
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 117 号: 4
- DOI
  10.1063/1.4906353
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025, KAKENHI-PROJECT-26790050
[雑誌論文] Carbon monoxide gas sensing properties of Ga-doped ZnO film grown by ion plating with DC arc discharge2014
- 著者名/発表者名
  Seiichi Kishimoto, S. Akamatsu, Huaping Song, Junichi Nomoto, Hisao Makino and Tetsuya Yamamoto
- 雑誌名
  
  Journal of Sensors and Sensor Systems
  
  巻: 3 号: 2 ページ: 331-334
- DOI
  10.5194/jsss-3-331-2014
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[産業財産権] 導電性部材及び該導電性部材の製造方法2023
- 発明者名
  野本淳一、山口巖、鯉田崇、土屋哲男
- 権利者名
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2023
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04148
[産業財産権] 導電性部材及び該導電性部材の製造方法2022
- 発明者名
  野本淳一、山口巖、鯉田崇、土屋哲男
- 権利者名
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04148
[産業財産権] 酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ2014
- 発明者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 権利者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2014-07-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[産業財産権] 透明導電性酸化亜鉛薄膜2013
- 発明者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 権利者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013-08-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[産業財産権] 酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ2013
- 発明者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 権利者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013-08-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Critical layer for achieving low-resistivity impurity-doped ZnO polycrystalline films with a preferred (0001) orientation by magnetron sputtering2016
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  EMN Meeting on Ceramics 2016
- 発表場所
  Eaton Hotel, Hong Kong, China
- 年月日
  2016-01-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] Smart Hybrid of Two Different Deposition Technologies to Enhance Carrier Mobility of Highly Transparent Conductive Al-Doped ZnO Films with Well-Defined (0001) Orientation2016
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  43rd ICMCTF(International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films)
- 発表場所
  Town & Country Hotel, San Diego, CA, USA
- 年月日
  2016-04-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 直流マグネトロンスパッタ多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜の配向秩序特性及びキャリア輸送特性に与える Al 添加量の影響2016
- 著者名/発表者名
  野本淳一、牧野久雄、山本哲也
- 学会等名
  2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- 年月日
  2016-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 酸素ガス流量と放電電流を制御因子とした反応性プラズマ蒸着 Ga 添加 ZnO 膜のキャリア輸送制御2015
- 著者名/発表者名
  野本淳一、牧野久雄、北見尚久、酒見俊之、山本哲也
- 学会等名
  2015年第 76 回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] Control of carrier transport of polycrystalline Ga-doped ZnO films with oxygen gas flow rates and discharge current of reactive plasma deposition with dc arc discharge2015
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  E-MRS 2015 Spring Meeting
- 発表場所
  Lille Grand Palais, Lille, France
- 年月日
  2015-05-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] [講演奨励賞受賞記念講演]クリティカルレイヤーを用いたスパッタAl添加ZnO透明電導電膜のキャリア輸送制御(Ⅱ)2015
- 著者名/発表者名
  野本淳一、牧野久雄、山本哲也
- 学会等名
  2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] The characteristics of structural and electrical properties of polycrystalline Al-doped ZnO films by direct current magnetron sputtering using ZnO-Al2O3 targets2015
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, MA, USA
- 年月日
  2015-12-02
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] Smart Hybrid of Two Different Magnetron Sputtering Technologies to Enhance Electrical Properties of Highly Transparent Conductive Al-Doped ZnO Films with Well-Defined Single (0001) Orientation2015
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, and Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  42nd ICMCTF (International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films)
- 発表場所
  Town & Country Hotel, San Diego, CA, USA
- 年月日
  2015-04-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] The Characteristics of Structural Properties of Polycrystalline Al-doped ZnO Films by Direct Current Magnetron Sputtering using Various Al2O3 Contents in Ceramic Targets2015
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Katsuhiko Inaba, Shintaro Kobayashi, Minoru Osada, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  第25回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜情報文化センター
- 年月日
  2015-12-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 高周波重畳直流スパッタAl添加ZnO透明電導電膜の電気特性に対する成膜電力の最適化2014
- 著者名/発表者名
  野本淳一、宋華平、牧野久雄、岸本誠一、山本哲也
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Sensing characteristics of highly conductive 50-nm-thcik Ga-doped ZnO films as hydrogen gas sensor2014
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  E-MRS
- 発表場所
  Congress Center - Lille, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Reduction of Contribution of Grain Boundary Scattering to Carrier Transport Using Critical Layers for Polycrystalline Al-Doped ZnO Films Prepared by Magnetron Sputtering2014
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, and Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  E-MRS 2014 Spring Meeting
- 発表場所
  Lille Grand Palais, Lille, France
- 年月日
  2014-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 高周波重畳直流スパッタAl添加ZnO透明電導電膜の供給する成膜電力と各種特性との関係2014
- 著者名/発表者名
  野本淳一、牧野久雄、岸本誠一、山本哲也
- 学会等名
  日本材料科学会四国支部主催第23回講演大会
- 発表場所
  高知工科大学宮ノ口キャンパス
- 年月日
  2014-06-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 酸化物半導体の物性・材料設計：秩序と混沌2014
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Ｘ線光電子分光法によるＺｎＯ透明導電膜の極性評価2014
- 著者名/発表者名
  牧野久雄、宋華平、野本淳一、山本哲也
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] クリティカルレイヤーを用いたスパッタAl添加ZnO透明電導電膜のキャリア輸送制御2014
- 著者名/発表者名
  野本淳一、牧野久雄、山本哲也
- 学会等名
  2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] 酸化亜鉛透明導電膜を感ガス材とした高出力電流水素センサー2014
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Hydrogen-Gas Sensing Characteristics for Highly Transparent Conductive 50-nm-thcik Heavily Ga-doped ZnO Films2014
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  IUMRS-ICEM 2014
- 発表場所
  TWTC Nangang Exhibition Hall, taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Critical Layer to Enhance Electrical Properties with Well-Defined Single (0001) Orientation of Polycrystalline Al-Doped ZnO Films Prepared by Magnetron Sputtering2014
- 著者名/発表者名
  Junichi Nomoto, Hisao Makino, and Tetsuya Yamamoto
- 学会等名
  第24回日本MRS年次大会,第1回 E-MRS / MRS-J ジョイントシンポジウム
- 発表場所
  横浜市開港記念会館
- 年月日
  2014-12-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26790050
[学会発表] Characteristics of Carrier Transport in Highly Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Films2013
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄、岸本誠一
- 学会等名
  3) The 16th Int. Conf. on II-VI Compounds and Related Materials (II-VI 2013)
- 発表場所
  長浜ロイヤルホテル
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Al添加ZnO透明電導電膜の特性に及ぼす高周波重畳直流スパッタリング法の効果2013
- 著者名/発表者名
  野本淳一、宋華平、牧野久雄、岸本誠一、山本哲也
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Weakly Bounded Zn Atoms in Polycrystalline ZnO Thin Films caused by Ga Doping2013
- 著者名/発表者名
  牧野久雄、宋華平、野本淳一、山本哲也
- 学会等名
  The AVS 60th International Symposium and Exhibition
- 発表場所
  Long Beach Convention Center, CA, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Characterization of chemical states in near surface region of Ga-doped ZnO thin films by x-ray photoemission spectroscopy2013
- 著者名/発表者名
  牧野久雄、宋華平、野本淳一、宋華平、山本哲也
- 学会等名
  E-MRS 2013 Spring Meeting
- 発表場所
  Congress Center - Strasbourg, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Sustainable Moisture Resistant Carrier Transport of Highly Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Films Controlled by dc arc Plasma Technique2013
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  the 8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-8)
- 発表場所
  National Chiao Tung University (NCTU), Hsinchu, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Control of Moisture Resistant Properties of Highly Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Films2013
- 著者名/発表者名
  山本哲也、宋華平、野本淳一、牧野久雄、岸本誠一
- 学会等名
  E-MRS 2013 Spring Meeting
- 発表場所
  Congress Center - Strasbourg, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Characteristics of Carrier Transport of Highly Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Polycrystalline Films: Theory and Experimental
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia Materials Frontier for Transparent Advanced Electronics
- 発表場所
  Yokohama Port Opening Plaza
- 年月日
  2014-12-10 – 2014-12-14
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] 酸化亜鉛透明導電膜を感ガス材とした高速高出力電流水素センサ
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Characteristics of carrier transport of Al- or Ga-doped ZnO highly transparent conductive films: Theory and Experimental
- 著者名/発表者名
  山本哲也、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  International Conference & Exhibition on Ceramic Interconnect & Ceramic Microsystems Technologies
- 発表場所
  The Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems IKTS
- 年月日
  2015-04-20 – 2015-04-23
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Materials Design of Wide Band Gap ZnO for Wide Applications
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  The Collaborative Conference on 3D Materials Research
- 発表場所
  Incheon/Seou, South Korea Songdo Convensia
- 年月日
  2014-06-23 – 2014-06-27
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] ワイドバンドギャップ酸化亜鉛における価電子メタモルフォロジ
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム：合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Characteritics of carrier transport of highly transparent conductive Al or Ga-doped ZnO films for wide applications; electrodes, plasmonics and chemical sensors
- 著者名/発表者名
  山本哲也、岸本誠一、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  Collaborative Conference on 3D and Materials Research (CC3DMR) 2015
- 発表場所
  Busan, South Korea
- 年月日
  2015-06-15 – 2015-06-19
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Hydrogen-gas sensing characteristics for highly transparent conductive 50-nm-thick heavily Ga-doped ZnO films
- 著者名/発表者名
  岸本誠一、野本淳一、牧野久雄、山本哲也
- 学会等名
  IUMRS-ICEM 2014
- 発表場所
  TWTC Nangang Exhibition Hall, Taipei, TAIWAN
- 年月日
  2014-06-10 – 2014-06-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025
[学会発表] Characteristics of n-type-doped ZnO films for future optoelectric devices
- 著者名/発表者名
  山本哲也、野本淳一、牧野久雄
- 学会等名
  第25回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜市開港記念会館
- 年月日
  2015-12-08 – 2015-12-10
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24241025

1. 山本哲也 (30320120)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 24件
2. 宋華平 (00611831)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
3. 牧野久雄 (40302210)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 24件
4. 岸本誠一 (90177816)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
5. 小林啓介 (50372149)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

野本 淳一 NOMOTO Junichi

研究課題

研究成果

共同研究者

光反応による透明導電膜の欠陥制御技術の確立とそのリマン応用に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

透明導電膜の高移動度発現に対する点欠陥の影響と光によるその制御技術に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ZnO 系透明導電膜のキャリア輸送に対する構造の影響とその制御技術に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

吸着酸素化学状態制御による高感度水素センサー

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] 工業材料2014

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[図書] スマートプロセス学会誌2013

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[雑誌論文] Limiting factors of carrier concentration and transport of polycrystalline Ga-doped ZnO films deposited by ion plating with dc arc discharge2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Carrier mobility of highly transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films deposited by radio-frequency, direct-current, and radio-frequency-superimposed direct-current magnetron sputtering: Grain boundary effect and scattering in the grain bulk2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Carbon monoxide gas sensing properties of Ga-doped ZnO film grown by ion plating with DC arc discharge2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[産業財産権] 導電性部材及び該導電性部材の製造方法2023

発明者名

権利者名

産業財産権種類

出願年月日

データソース

[産業財産権] 導電性部材及び該導電性部材の製造方法2022

発明者名

権利者名

産業財産権種類

出願年月日

データソース

[産業財産権] 酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ2014

発明者名

権利者名

産業財産権種類

出願年月日

データソース

[産業財産権] 透明導電性酸化亜鉛薄膜2013

発明者名

権利者名

産業財産権種類

出願年月日

データソース

[産業財産権] 酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ2013

発明者名

権利者名

野本淳一 NOMOTO Junichi

[学会発表] 高周波重畳直流スパッタAl添加ZnO透明電導電膜の電気特性に対する成膜電力の最適化2014