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下河辺 明  SHIMOKOHBE Akira

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

下河邉 明  シモコウベ アキラ

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研究者番号 40016796
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1993年度 – 2006年度: 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授
1999年度: 東京工業大学, 精密工業研究所, 教授
1989年度 – 1991年度: 東京工業大学, 工学部・生産機械工学科, 教授
1987年度 – 1988年度: 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作・生産工学 / 設計工学・機械要素・トライボロジー / 機械工作 / 生産工学・加工学 / 機械要素 / 知能機械学・機械システム
研究代表者以外
設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 医用生体工学・生体材料学 / 知能機械学・機械システム / 設計工学・機械要素・トライボロジー / 機械工作・生産工学 / 電子デバイス・機器工学 / 金属物性
キーワード
研究代表者
MEMS / 金属ガラス / アモルファス / 微細加工 / 磁気軸受 / 圧電素子 / 能動制振 / 薄膜 / 物性 / 空気ねじ … もっと見る / Repetitive Control / Magnetic Bearing / 回転精度 / 繰り返し制御 / ファジイ制御 / 最適制御 / 位置決め / Mechatronics / Piezoelectric actuator / 能動化 / メカトロニクス / 超精密機構 / 超精密位置決め / 空気軸受 / プローブ / Ultra Precise Mechanism / Piezoelectric Actuator / Ultra Precise Positioning / Active Damping / Controlled Bearing / Air Bearing / Arc plasma / Physical properties / Micro actuator / Metallic glass / Amorphous / Thin film / Micro fabication / アークプラズマ / マイクロアクチュエータ / genetic algorithm / rotational accuracy / magnetic bearing / micro-actuator / light enhanced magnetization / precision positioning / nanometer / motion control / 磁気形状記憶 / 磁気軸 / GaAs-Fe / サブナノモーション / GA / マイクロアクチュータ / 光誘起磁性 / ナノメートル / 精密位置決め / モーションコントロール / optical pickup / information instruments / electrostatic actuator / metallic glass / amorphous / thin film / micromachining / 抵抗率 / Sensorless control / Micro Dynamics / Robust Control / Redundant mechanism / Nano-meter positioning / Motion Dynamics / 波動歯車 / ニューロ制御 / 電磁石 / 電磁アクチュエータ / 制御 / 冗長メカニズム / ダイナミクス / ナノモーション / AXIAL FORCE / STIFFNESS / NON-CONTACT / POSITIONING / PERMANENT MAGNET / MAGNETIC LEAD SCREW / 有限要素法 / 軸方向剛性 / 螺旋着磁 / 偏心 / 剛性 / 永久磁石 / 磁気ねじ / Gear / Coordinate Measuring Machine / Production / Design / トランスミッション / 校正 / 三次元測定器 / 歯車 / 三次元測定機 / 生産 / 設計 / Positioning Accuracy / Rotational Accuracy / Profile Error / Optimal Control / モデルの同定 / 静電容量型変位計 / 位置決め精度 / 形状誤差 / Active vibration control / Crystalline lattice / Virtual CMM / Miniature robot / Optical probe / Coordinate metrology / Software datum / Nanometer metrology / 微動テーブル / 超小型自走機械 / ナノCMM / 自律校正 / 結晶格子 / 仮想三次元測定機 / 超小型精密自走機械 / 光プローブ / 座標計測 / ナノメートル計測 / ソフトウェアデータム / Ball screw / Coarse and fine positioning mechanism / Optimal control / neural network control / Fuzzy control / PID control / Positioning / ヒステリシス特性 / ばね特性 / 電磁モータ / 転がり案内 / 位置決め分解能の評価 / 位置決め分解能 / フィルタリング / ボールねじ / 粗微動機構 / ニューラルネットワーク制御 / ファジィ制御 / PID制御 / Measurement of absolute distance / Measurement of displacement / Measurement of surface roughness / Laser heterodyne interferometer / Selfoc lens / Optical fiber coupler / Laser diode / Non contact sensor / 応答速度 / 光アイソレータ / ヘテロダイン干渉 / 周波数変調 / 絶対距離測定 / 表面粗さ測定 / 変位測定 / ヘテロダイン干渉計 / セルフォックレンズ / 光ファイバカプラ / レーザダイオード / 非接触センサ / Precision mechanisms / positioning / Active damping / Active bearing / Air bearing / 能動空気軸受 / 三次元座標測定 / 多重位相差 / 伝達時間 / 三角測量法 / 超音波 / プロセス / マイクロミラー / 薄膜金属ガラス / マイクロブロー成型 / マイクロ成型 / 光学 / ひずみ / 引張り / 半導体レーザ / 温度測定 / レーザフォーミング … もっと見る
研究代表者以外
磁気軸受 / MEMS / Magnetic Bearing / 金属ガラス / アモルファス / 薄膜 / 微細加工 / Blood Pump / Hemolysis / Centrifugal Pump / Artificial Heart / 血液ポンプ / 溶血 / 遠心ポンプ / 人工心臓 / Optical Scattering / Blood Cell Biomechanics / Flow Visualization / Computational Fluid Dynamics / Hydrodynamic Levitated Centrifugal Blood Pump / Magnetic levitated Centrifugal Blood Pump / Total Artificial Heart / Pulsatile Ventricular Assist Device / オーダーメード人工心臓 / 抗血栓性 / ナノ表面修飾 / CFD数値解析 / 補助人工心臓(VAD) / 全置換型人工心臓(TAH) / 連続流血液ポンプ / 動圧軸受け / 磁気軸受け / 補助人工心臓 / 耐久試験 / 電気機械カプリング / 数値流体解析 / ナノテクノロジー / 経皮エネルギー伝送 / マイクロプロセッサ / 解剖学的適合性 / 光散乱 / 血球バイオメカニクス / 流れの可視化 / 数値流体解析(CFD) / 動圧軸受心血液ポンプ / 磁気浮上遠心血液ポンプ / 全置換型人工心臓 / 拍動流補助人工心臓 / optical pickup / information instruments / electrostatic actuator / metallic glass / amorphous / thin film / micromachining / 物性 / 情報機 / 光磁気ディスク / 光ピックアップ / 情報機器 / 静電アクチュエータ / Runout / Repetitive Control / Precision Positioning / Rotational accuracy / ナノメートル / 真円度 / 位置決め精度 / 静電容量型変位計 / バイアス電流 / 繰り返し制御 / 回転精度 / Measurement / Microfabrication / Surface Structure / High Vacuum / Miniature Robot / 電子デバイス / 測定 / 加工 / 表面微細構造 / 超高真空 / 超小型自走機械 / 微細梁 / 光誘起磁化 / GaAs / 偏光 / スピントロニクス / 光誘起磁性体 / マイクロアクチュエータ / 受動部品 / オンチップ / インダクタ / シリコン / 集積回路 / TTT曲線 / 過冷却液体域 / レーザフォーミング / マイクロマイン / 半導体レーザー / マイクロマシン / ニューロトランジスタ / 光集積回路 / 光インターコネクト / 並列光情報処理 / 微小光学 / 光通信 / 半導体レーザ 隠す
  • 研究課題

    (25件)
  • 研究成果

    (110件)
  • 共同研究者

    (46人)
  •  磁気軸受を用いた高耐久遠心ポンプ型人工心臓の研究

    • 研究代表者
      進士 忠彦
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  光・磁気駆動型マイクロアクチュエータの基礎研究

    • 研究代表者
      進士 忠彦
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  薄膜ガラス材料を用いたOpt-MEMS研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2002
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  マイクロメカニクス技術を用いたGHz帯可変インダクタの開発

    • 研究代表者
      益 一哉
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  最先端、革新的、永久人工心臓開発のための総合的基礎研究

    • 研究代表者
      高谷 節雄
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      医用生体工学・生体材料学
    • 研究機関
      東京医科歯科大学
  •  バルク金属ガラスの高精度微細成形研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2001
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  サブナノモーションメカニズムの研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究

    • 研究代表者
      秦 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  レーザマイクロフォーミングによる金属ガラス薄膜微小構造物の形状制御研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  薄膜金属ガラスの研究

    • 研究代表者
      秦 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作

    • 研究代表者
      進士 忠彦
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  ナノモーションメカニズムのダイナミクスと制御に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  先端設計・生産工学研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  高剛性磁気ねじの試作研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  超並列光エレクトロニクス

    • 研究代表者
      伊賀 健一
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 2000
    • 研究種目
      COE形成基礎研究費
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  座標計測の高度化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  超精密磁気軸受の試作研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  サブナノメカニズムの動的挙動の計測と制御に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発

    • 研究代表者
      青山 尚之
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  超精密加工用インプロセス光センサの開発研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  5自由度制御型能動空気軸受の試作研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  制御形高性能空気軸受の試作研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1989
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  空間運動精度の測定法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械要素
    • 研究機関
      東京工業大学

すべて 2007 2006 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 産業財産権

  • [雑誌論文] Dynamic Characteristics of a Magnetically-Levitated Impeller in a Centrifugal Blood Pump2007

    • 著者名/発表者名
      Junichi Asama, Tadahiko Shinshi, Hideo Hoshi, Setsuo Takatani, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Artificial Organs 31, 4

      ページ: 301-311

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] Dynamic Characteristics of a Magnetically-Levitated Impeller in a Centrifugal Blood Pump2007

    • 著者名/発表者名
      Junichi Asama, Tadahiko Shinshi, Hideo Hoshi, Setsuo Takatani, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Artificial Organs 31,4

      ページ: 301-311

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Films2006

    • 著者名/発表者名
      Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI, Akira SHIMOKOHBE
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45・4A

    • NAID

      40007227498

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Detection of Left ventricular function from the Mag-Lev impeller behavior2006

    • 著者名/発表者名
      Hoshi H, Asama J, Shinshi T, Shimokohbe A, Takatani S
    • 雑誌名

      Artif Organs 30(5)

      ページ: 324-338

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] マイクロ磁気軸受モータの研究2006

    • 著者名/発表者名
      黒木次郎, 進士忠彦, 李 黎川, 下河辺明
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72,5

      ページ: 662-667

    • NAID

      110004717819

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] A compact, high-efficiency and low hemolytic centrifugal blood pump with a magnetically levitated impeller2006

    • 著者名/発表者名
      J.Asama, T.Shinshi, H.Hoshi, S.Takatani, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Artificial Organs 30,3

      ページ: 160-167

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] Rotary Microactuator -Investigation of Shape and Driving Method-2006

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Hiroaki Akamatu, Takashi Fukushige, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 fall meeting of JSPE

      ページ: 925-926

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 回転型マイクロアクチュエータ-形状,駆動方法の検討-2006

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 赤松宏明, 福重孝志, 下河辺 明
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 927-928

    • NAID

      130005027682

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] マイクロ磁気軸受モータの研究2006

    • 著者名/発表者名
      黒木次郎, 進士忠彦, 李黎川, 下河辺明
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72, 5

      ページ: 662-667

    • NAID

      110004717819

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] Detection of left ventricular function from the Mag-Lev impeller behavior2006

    • 著者名/発表者名
      Hideo Hoshi, Junichi Asama, Chikara Hara, Wataru Hijikata, Tadahiko Shinshi, Akira Shimokohbe, Setsuo Takatani
    • 雑誌名

      Artificial Organs 30, 5

      ページ: 377-383

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御2006

    • 著者名/発表者名
      林 健彦, 福重孝志, 秦 誠一, 下河辺 明
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 925-926

    • NAID

      130005027681

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Detection of left ventricular function from the Mag-Lev impeller behavior2006

    • 著者名/発表者名
      Hideo Hoshi, Junichi Asama, Chikara Hara, Wataru Hijikata, Tadahiko Shinshi, Akira Shimokohbe, Setsuo Takatani
    • 雑誌名

      Artificial Organs 30,5

      ページ: 377-383

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] MEMS complete blood count sensors designed to reduce noises from electolysis gas2006

    • 著者名/発表者名
      Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 83,[4-9]

      ページ: 1646-1650

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Micro-Magnetic Bearing Motor2006

    • 著者名/発表者名
      Jiro Kuroki, Tadahiko Shinshi, Lichuan Li, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Society for Precision Engineering 72, 5

      ページ: 662-667

    • NAID

      110004717819

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] MEMS complete blood count sensors designed to recce noises from electolysis gas2006

    • 著者名/発表者名
      Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 83, [4-9]

      ページ: 1646-1650

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A compact highly efficient and low hemolytic centrifugal blood pump with a magnetically levitated impeller.2006

    • 著者名/発表者名
      Asama J, Shinshi T, Hoshi H, Takatani S, Shimokohbe A
    • 雑誌名

      Artif Organs 30(3)

      ページ: 184-191

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] 回転型マイクロアクチュエータ -形状、駆動方法の検討-2006

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 赤松宏明, 福重孝志, 下河辺 明
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 927-928

    • NAID

      130005027682

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Displacement control of an elastic microactuator using a built-in sensor2006

    • 著者名/発表者名
      Takehiko Hayashi, Takashi Fukushige, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 fall meeting of JSPE

      ページ: 927-928

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案2005

    • 著者名/発表者名
      吉田和弘, 堀井宣孝, 秦 誠一, 横田眞一, 下河辺 明
    • 雑誌名

      日本機械学会関東支部山梨ブロック山梨講演会講演論文集

      ページ: 213-214

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas2005

    • 著者名/発表者名
      R.Tanabe, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005)

      ページ: 622-623

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)

      ページ: 12-13

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS Conical Spring Actuator Array2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14,[2]

      ページ: 243-253

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Magnetically suspended centrifugal blood pump with a radial magnetic driver2005

    • 著者名/発表者名
      Hoshi H, Kataoka H, Ohuchi K, Asama J, Shinshi T, Shimokohbe A, Takatani S
    • 雑誌名

      ASAIO J 51・1

      ページ: 60-64

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystalliztion Temperature2005

    • 著者名/発表者名
      Junpei sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005

      ページ: 479-482

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS complete blood count sensor with vanes2005

    • 著者名/発表者名
      Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems

      ページ: 357-361

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses2005

    • 著者名/発表者名
      Ryusuki Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of 2005 MRS Fall Metting (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Basic Research on an Out-of-plane Rotating Microactuator2005

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Akamatu, Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE

      ページ: 955-956

    • NAID

      130004657259

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成I2005

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 山内隆介, 桜井淳平, 下河邉 明
    • 雑誌名

      2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Disposable, Maglev Centrifugal Blood Pump : Design and in vitro Performance2005

    • 著者名/発表者名
      Hoshi H, Asama J, Shinshi T, Ohuchi K, Mizuno T, Arai H, Shimokohbe A, Takatani S
    • 雑誌名

      Artif Organs 29(7)

      ページ: 520-526

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] Micro blow forming of thin film metallic glass2005

    • 著者名/発表者名
      Keita Nishigaya, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE

      ページ: 477-478

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS Conical Spring Actuator Array2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14・2

      ページ: 31-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成II2005

    • 著者名/発表者名
      山内隆介, 秦 誠一, 桜井淳平, 下河邉 明
    • 雑誌名

      2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] MEMS用材料としての薄膜金属ガラスとその微細加工2005

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺 明
    • 雑誌名

      日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

      ページ: 18-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 薄膜金属ガラスのマイクロブロー成形2005

    • 著者名/発表者名
      西ヶ谷啓太, 秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺明
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 477-478

    • NAID

      130004657459

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature2005

    • 著者名/発表者名
      Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 18th International Congress of Mechanical Engineering (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] The proposal of a multi-flexibility fluid micro-actuator made of thin film metallic glass2005

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Yoshida, Yoshinobu Horii, Seiichi Hata, Shinichi Yokota, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of the Japan Society of Mechanical Engineers Kanto branch Yamanashi block Yamanashi meeting

      ページ: 213-214

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Disposable magnetic bearing centrifugal blood pump for extracorporeal circulation support2005

    • 著者名/発表者名
      Hoshi H, Asama J, Ohuchi K, Shinshi T, Shimokohbe A, Takatani S
    • 雑誌名

      Artif Organs

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas2005

    • 著者名/発表者名
      R.Tanabe, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)

      ページ: 622-623

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Thin film metallic glass as MEMS material and its micro fabrication2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      The 11th young scientist forum of the Iron and Steel Institute of Japan

      ページ: 18-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS complete blood count sensor with vanes2005

    • 著者名/発表者名
      Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems

      ページ: 357-361

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, Takehiko Hayashi, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. IPACK2005 (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Disposable, Maglev Centrifugal Blood Pump : Design and in vitro Performance.2005

    • 著者名/発表者名
      Hoshi H, Asama J, Shinshi T, Ohuchi K, Mizuno T, Arai H, Shimokohbe A, Takatani S.
    • 雑誌名

      Artif Organs 29(7)

      ページ: 520-526

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] 基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究2005

    • 著者名/発表者名
      赤松宏明, 秦 誠一, 福重 孝志, 下河辺 明
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 955-956

    • NAID

      130004657259

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Disposable, Maglev Centrifugal Blood Pump : Design and In Vitro Performance2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hoshi, J.Asama, T.Shinshi, K.Ohuchi, T.Mizuno, H.Arai, A.Shimokohbe, S.Takatani
    • 雑誌名

      Artificial Organs 29,7

      ページ: 520-526

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [雑誌論文] MEMS用材料としての薄膜金属ガラスとその微細加工2005

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺明
    • 雑誌名

      日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

      ページ: 18-19

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira, Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 18th International Congress of Mechanical Engineering (COBEM 2005) (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, Takehiko Hayashi, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.IPACK2005 (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses2005

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS Conical Spring Actuator Array, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14, [2]

      ページ: 243-253

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Materials Synthesis using Cathodic Arc Plasma Deposition I2005

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2005 Autumn JSAP annual meeting

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Materials Synthesis using Cathodic Arc Plasma Deposition II2005

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2005 Autumn JSAP annual meeting

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] アナログ的基板面外変位静電マイクロアクチュエータ2004

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 林 健彦, 福重孝志, 下河辺明
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 887-888

    • NAID

      130004655810

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作-窒化銅を発ガス材として用いたマイクロブロー成形-2004

    • 著者名/発表者名
      西ヶ谷啓太, 秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺明
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 555-556

    • NAID

      130004655626

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Fabrication of micro hollow structure using thin film metallic glass - Micro blow molding using Cu_3N as outgas material -2004

    • 著者名/発表者名
      Keita Nishigaya, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 fall meeting of JSPE

      ページ: 555-556

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking2004

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)

      ページ: 15-16

    • NAID

      130004656508

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking2004

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

      ページ: 15-16

    • NAID

      130004656508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] New design for a compact centrifugal blood pump with a maganetically levitated rotor2004

    • 著者名/発表者名
      Asama J, Shinshi T, Hoshi H, Takatani S, Shimokohbe A.
    • 雑誌名

      Artif Organs 29(1)

      ページ: 26-35

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] 光磁化デバイス2004

    • 著者名/発表者名
      進士忠彦, 下河辺明, 宗片比呂夫, 野口浩史, Jamil Kaosa
    • 雑誌名

      第51回応用物理学関連連合講演会シンポジウム概要集

      ページ: 55-55

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656044
  • [雑誌論文] A New Design for A Compact Centrifugal Blood Pump With A Magnetically Levitated Rotor.2004

    • 著者名/発表者名
      Asama J, Shinshi T, Hoshi H, Takatani S, Shimokohbe A
    • 雑誌名

      ASAIO J 50・6

      ページ: 550-556

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14208103
  • [雑誌論文] 2-DOF thin film metallic glss microactuator2004

    • 著者名/発表者名
      S.Hata, H.W.JEONG, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

      ページ: 9-10

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 2-DOF thin film metallic glass microactuator2004

    • 著者名/発表者名
      S.Hata, H.W.JEONG, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)

      ページ: 9-10

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] An out-of-plane analog motion electrostatic microactuator2004

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takehiko Hayashi, Takashi Fukushige, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 fall meeting of JSPE

      ページ: 877-888

    • NAID

      130004655810

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system2004

    • 著者名/発表者名
      J.Sakurai, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems CD-ROM

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system2004

    • 著者名/発表者名
      J.Sakurai, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II

      ページ: 260-267

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A new driving method for electrostatic MEMS actuators to prevent sticking2004

    • 著者名/発表者名
      Takashi Fukushige, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 spring meeting of JSPE

      ページ: 1129-1130

    • NAID

      130004656508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動方法2004

    • 著者名/発表者名
      福重孝志, 秦 誠一, 下河辺明
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 1129-1130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] On-Chip Variable Inductor Using Microelectromechanical Systems Technology2003

    • 著者名/発表者名
      Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU, Akira SHIMOKOHBE
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42

      ページ: 2190-2192

    • NAID

      10010801393

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] On-Chip Variable Inductor Using Microelectromechanical Systems Technology2003

    • 著者名/発表者名
      Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU, Akira SHIMOKOHBE
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 42

      ページ: 2190-2192

    • NAID

      10010801393

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] High output force and high integrated out-of-plane microactuator2003

    • 著者名/発表者名
      Takashi Fukushige, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

      ページ: 576-576

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Effect of prescription for mechanical property and electric resistivity of a CuTi alloy weld slag thin film.2003

    • 著者名/発表者名
      Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of JMRS

      ページ: 541-541

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Fabrication of micro hollow structure using thin film metallic glass - Improvement of fabrication process and discussion of deformation mechanism -2003

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

      ページ: 575-575

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 高出力・高集積基板面外駆動マイクロアクチュエータ2003

    • 著者名/発表者名
      福重孝志, 秦 誠一, 下河辺明
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 576-576

    • NAID

      130005026972

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ(第2報) -薄膜金属ガラスの低電気抵抗化-2003

    • 著者名/発表者名
      桜井淳平, 秦 誠一, 下河辺明
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 391-391

    • NAID

      130005026769

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Reduction of electrical resistivity in PdCuSi thin film metallic glass2003

    • 著者名/発表者名
      J.Sakurai, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Micro dome shape structures made of thin film metallic glass2003

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Jyunpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Micro System Technology 2003

      ページ: 180-187

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology 5276

      ページ: 240-248

    • NAID

      130005026972

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作-プロセスの改良と変形に関する考察-2003

    • 著者名/発表者名
      秦 誠一, 山中 崇, 桜井淳平, 下河辺明
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 575-575

    • NAID

      130005026971

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Integrated micro probe made of thin film metallic glass - low resistivity of thin film metallic glass -2003

    • 著者名/発表者名
      Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

      ページ: 391-391

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果2003

    • 著者名/発表者名
      桜井淳平, 秦 誠一, 下河辺明
    • 雑誌名

      日本金属学会講演概要

      ページ: 541-541

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005) (2005.9 Vienna, Austria)

      ページ: 12-13

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators

    • 著者名/発表者名
      Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (in press)

    • NAID

      10019289577

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology (2003.12.Perth, Australia) vol.5276

      ページ: 240-248

    • NAID

      130005026972

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] 2-DOF thin film metallic glass microactuator

    • 著者名/発表者名
      S.Hata, H.W.JEONG, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004) (2004.6.Glasgow, Scotland)

      ページ: 9-10

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004) (2004.6.Glasgow, Scotland)

      ページ: 15-16

    • NAID

      130004656508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Micro dome shape structures made of thin film metallic glass

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Jyunpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Micro System Technology 2003 (MST '03) (2003.10.7-8 Munich, Germany)

      ページ: 180-187

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas

    • 著者名/発表者名
      R.Tanabe, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005) (2005.9 Vienna, Austria)

      ページ: 622-623

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005 (2005.1. Miami, USA)

      ページ: 479-482

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] A MEMS complete blood count sensor with vanes for reduction in influence of electrolysis gas

    • 著者名/発表者名
      Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (in press)

    • NAID

      10017600546

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system

    • 著者名/発表者名
      J.Sakurai, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II (2004.12. Sydney, Australia)

      ページ: 260-267

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Search for Low Resistivity PdCuSi Thin Film Metallic Glass

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke YAMAUCHI, Seiichi HATA, Junpei SAKURAI, Akira SHIMOKOHBE
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature

    • 著者名/発表者名
      Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Reduction of electrical resistivity in PdCuSi thin film metallic glass

    • 著者名/発表者名
      J.Sakurai, S.Hata, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03) (2003.9.10-12 Nagoya, Japan) (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Combinatorial Search for Low Resistivity PdCuSi Thin Film Metallic Glass

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke YAMAUCHI, Seiichi HATA, Junpei SAKURAI, Akira SHIMOKOHBE
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators

    • 著者名/発表者名
      Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. (in press)

    • NAID

      10019289577

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [雑誌論文] Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushige, S.Hata, Takehiko Hayashi, A.Shimokohbe
    • 雑誌名

      Proc.IPACK2005 (2005.6. San Francisco, USA) (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] 熱特性測定装置, 及び熱特性測定方法2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 桜井淳平, 山内隆介, 下河辺明
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-157876
    • 出願年月日
      2005-05-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] ガラス転移温度測定装置, 及びガラス転移温度測定方法2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺明
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-157869
    • 出願年月日
      2005-05-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] ガラス転移温度測定装置,及びガラス転移温度測定方法2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 桜井 淳平, 下河辺 明
    • 権利者名
      理工学振興会
    • 産業財産権番号
      2005-157869
    • 出願年月日
      2005-04-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] マイクロ中空デバイス及びCBCセンサ並びにそれらの製造方法2005

    • 発明者名
      田邊 力也, 秦 誠一, 下河辺 明
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-238268
    • 出願年月日
      2005-08-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] コンビナトリアルマテリアル用評価基板2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 山内隆介, 桜井淳平, 下河辺明
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-131915
    • 出願年月日
      2005-04-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] 使い捨て磁気浮上式血液ポンプ2005

    • 発明者名
      進士 忠彦, 下河辺 明, 朝間 淳一, 原 力, 土方 亘, 高谷 節雄, 星 英男
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-256278
    • 出願年月日
      2005-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360070
  • [産業財産権] 熱特性測定装置,及び熱特性測定方法2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 桜井 淳平, 山内 隆介, 下河辺 明
    • 権利者名
      理工学振興会
    • 産業財産権番号
      2005-157876
    • 出願年月日
      2005-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • [産業財産権] コンビナトリアルマテリアル用評価基板2005

    • 発明者名
      秦 誠一, 山内 隆介, 桜井 淳平, 下河辺 明
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権番号
      2005-131915
    • 出願年月日
      2005-04-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206015
  • 1.  佐藤 海二 (00215766)
    共同の研究課題数: 11件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  進士 忠彦 (60272720)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 18件
  • 3.  秦 誠一 (50293056)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 84件
  • 4.  森山 茂夫
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  青山 尚之 (40159306)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  高谷 節雄 (40154786)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 14件
  • 7.  豊山 晃
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  村上 健司 (30182091)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  佐々木 彰 (80022309)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  高増 潔 (70154896)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  三好 隆志 (00002048)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  高田 孝次 (80126474)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  清野 慧 (40005468)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  大園 成夫 (10010878)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  中野 道雄 (80016451)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  梅澤 清彦 (60016780)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  伊東 誼 (60016441)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  坂本 徹 (10101875)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  荒井 裕國 (50202718)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  岩崎 泰彦 (90280990)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  桜井 淳平 (40345385)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  張 暁友 (30431985)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  伊賀 健一 (10016785)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  小山 二三夫 (30178397)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  石原 宏 (60016657)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  宮本 智之 (70282861)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  徳光 英輔 (10197882)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  中村 健太郎 (20242315)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  馬場 俊彦 (50202271)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  益 一哉 (20157192)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  岡田 健一 (70361772)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  宗片 比呂夫 (60270922)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 33.  大内 克洋 (20322084)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 34.  中村 真人 (90301803)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  赤羽 正大
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  菅沼 亮介
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  原 勉
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  HORIKAWA Osw
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  橋本 純一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 40.  片桐 創一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 41.  和田 晃一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 42.  市原 順一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 43.  唐 東雷
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 44.  TANG Donglei
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 45.  櫻井 淳平
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 38件
  • 46.  荒井 裕国
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

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