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比嘉 勝也  HIGA Katsuya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40238259
その他のID
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2000年度 – 2001年度: 大島商船高等専門学校, 情報工学科, 助教授
1996年度: 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 助手
1994年度: 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 助手
1993年度: 九州工業大学, 助手
1992年度: 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・機器工学 / 応用物理学一般
研究代表者以外
表面界面物性 / 応用物性
キーワード
研究代表者
多孔質シリコン / シリコンマイクロマシニング / フィールドエミッタ / フィールドエミッション / 電界放射 / 微小電子源 / 陽極接合法 / 陽極化成法 / 真空マイクロ素子 / 電界放射エミッタ / 圧力センサ / マイクロマシン / シリコン陽極化成 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る 電界放射 / diamond / field emission / micron-size electron emitter / vacuum microelectronics / electron-wave interference / 微細加工技術 / 微小冷陰極 / 電子干波渉効果 / ダイヤモンド / 微小電子源 / 真空マイクロエレクトロニクス / 電子波干渉 / Vacuum Microelectronics / Sputtering / Anisotropic Etching / Ion Milling / Field Emission / Tunneling Phenomenon / 真空マイクロ素子 / スパッタリング / 異方性エッチング / イオンミリング / トンネル効果 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  電流制御素子内蔵マイクロエミッタチップを配置したフィールドエミッタアレイの製作研究代表者

    • 研究代表者
      比嘉 勝也
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大島商船高等専門学校
  •  多孔質化を利用した単結晶シリコンマイクロマシニングの研究研究代表者

    • 研究代表者
      比嘉 勝也
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州工業大学
  •  電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

    • 研究代表者
      浅野 種正
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      九州工業大学
  •  単原子メモリーの基礎研究

    • 研究代表者
      浅野 種正
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      九州工業大学
  • 1.  浅野 種正 (50126306)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  青木 誠志 (40231758)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  金藤 敬一 (70124766)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  牧平 憲治 (10253569)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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