清水淳 Shimizu Jun

研究者番号	40292479
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所属 (現在)	2025年度: 茨城大学, 応用理工学野, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2024年度: 茨城大学, 応用理工学野, 教授 2018年度 – 2024年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 2012年度 – 2017年度: 茨城大学, 工学部, 教授 2007年度 – 2011年度: 茨城大学, 工学部, 准教授 2003年度 – 2006年度: 茨城大学, 工学部, 講師 1998年度 – 2002年度: 茨城大学, 工学部, 助手 2001年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連 / 機械工作・生産工学 / 設計工学・機械要素・トライボロジー研究代表者以外生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード	研究代表者分子動力学 / 加工変質層 / 引っかき / 陽極酸化 / 掘起し / トライボロジー / 研削 / 振動 / 切削 / 結晶異方性 … もっと見る / ナノスクラッチ / 次世代半導体基板 / スクラッチ / 環境 / 接触試験 / 摩擦 / 原子間ポテンシャル / 工具 / バリ / 静水圧 / 計算物理 / 機械工作・生産工学 / MOLECULAR DYNAMICS / WORK AFFECTED LAYER / STRAIN RATE / PLASTIC WAVE / PLASTIC FLOW / GRINDING / ULTRA PRECISION MACHINING / SUPER HIGH-SPEED MACHINING / 表面性状 / 風損 / 砥石 / ひずみ速度 / 塑性波 / 塑性流動 / 超精密加工 / 超高速加工 / 酸化チタン / 光触媒 / ナノパターン / 電極 / セリア / ダイヤモンド / 砥粒 / 半導体材料 / 塑性変形 / 加速度 / スティックスリップ / 固体表面像 / プローブ / 剛性 / カンチレバ / 分子動力学法 / 摩擦力顕微鏡 / 原子間力顕微鏡 … もっと見る研究代表者以外加工変質層 / 研削加工 / 切削 / 超磁歪材料 / 機械工作・生産工学 / 半導体ウエハ / 切削・研削加工 / Defect free / ECM / 物理特性 / 機械特性 / 圧電効果 / 焦電効果 / 化学・機械融合加工 / CMG / 電子顕微鏡 / アクチュエータ / 結晶構造 / 研削面 / 無機材料 / 顕微Raman断層イメージング計測 / 加工損傷 / 断層計測 / Ramanイメージング / 超解像 / 非破壊計測 / 断層イメージング / 顕微Raman分光 / リアルタイム / 教師なし学習 / 異常検知 / 摩耗 / 潤滑 / なじみ / 境界潤滑 / 摩擦 / 振動援用切削 / きさげ / 表面テクスチャ / 静水圧 / 定送り制御 / 定圧制御 / CFRP / トライボロジー / トライボロジ― / 硬質皮膜 / 付加加工 / 放電加工 / 材料加工・処理 / シリコンウェハ / 極薄ウェハ / 白色光反射分光計測 / 低コヒーレント干渉 / 近赤外分光 / 表面性状 / 分光イメージング / 測定精度 / 干渉 / 分光 / 干渉計 / 画像計測 / 厚さ計測 / ウェハ薄片化 / 表面粗さ / サファイヤ単結晶 / ハイブリッド送り機構 / サファイア単結晶 / 加工変質法 / ハイブリッド化工法 / ハイブリッド加工法 / サファイ / 切削・研削加 / ハイブリッド加工 / サファイア / 機械強度 / 内部応力 / 自発分極 / 強誘電体 / Residual stress / Chemo-Mechanical Grinding / Power devices / Damaged layer / Fixed abrasive technology / Extremely thin Si wafer / 完全表面 / 固定砥流加工技術 / 残留応力 / 無歪み / パワー・デバイス / 固定砥粒加工技術 / 極薄Siウエハ / Shape based pattern matching / Tool path generation / Force feedback control / Pixel coordinates / Mechanical / control / Vision sensing / Egg cell / Micro Manipulation system / クローン技術 / 画素座標 / 細胞操作 / 自動化 / ビジュアルセンシング制御 / 形状ベースマッチング / ツールパス生成 / 力覚フィードバック / 画素座標系 / 機械座標系 / 制御 / ビジュアルセンシング / 卵細胞 / マイクロマニピュレーション / Meso-micro mechanical machining / Desktop Machine / Micro EDM / Micro cutting / Multifunction / Non-Simaterial / Micro-machining / メゾーマイクロ・メカニカル・マニュファクチャリング / メゾ-マイクロ・メカニカル・マニュファクチャリング / デスクトップ・マシン / マイクロ・EDM / マイクロ・カッティング / マルチ・ファンクション / 非シリコン材料 / マイクロ・マシンニング / Grinding / Fixed abrasives / Alignment control / Ultraprecision positioner / Giant magnetostrictive material / Silicon wafer / 省エネ / 局所クリーンルーム / 固定砥粒 / 姿勢制御 / 微小位置決め装置 / シリコンウエハ / ACTUATOR / IMAGE PROCESSING / MAN-MACHINE-INTERFACE / MANIPULATOR / MICRO FABRICATION / MICRO MANIFACTURING / MICRO MACHINING / ELECTRON MICROSCOPE / マン-マシンインターフェイス / マンーマシンインターフェイス / 画像処理 / マン-マシン-インターフェイス / マニピュレータ / マイクロファブリケーション / マイクロマニファクチャリング / マイクロマシニング / テクスチャ / ダイヤモンド工具 / レーザ加工 / ナノマイクロ加工 / 分級 / 除染・洗浄 / 砥粒加工 / 多重反射 / ツイン振動子 / 定在波 / 音響浮揚 / 分子動力学シミュレーション / インデンテーション実験 / "軟脆"材料 / "硬脆"材料 / “硬脆”材料 / “軟脆”材料 / 研削熱の影響 / 機械化学融合加工 / 単結晶 / 硬脆材料 / 軟脆材料 / 色素増感太陽電池 / 転写 / 透明電極 / 振動 / 表面微細構造 / 平坦度 / 分散補償器 / 極薄ウエハ / 単結晶シリコン / エタロン / キーワード / エッチング / き裂 / 塑性変形 / 引っかき / セメンタイト / 炭素鋼 / 遠隔監視装置 / アクチュエーター / トモグラフィ / 地球環境 / 加速度センサー / H∞制御理論 / フイードバック制御 / 超磁歪効果 / 構造物制振機構 / センサ / 振動解析隠す

スマート生産を革新するReal-time異常検知AIモデルの開発と実証的研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
超解像Raman断層計測を用いた結晶損傷発生機構の解明と先端加工技術への応用
- 研究代表者
  
  小貫哲平
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
実験結果を考慮した分子動力学解析の新たな試みによる弱点克服とトライボ現象の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
  茨城大学
微小振動援用切削テクスチャによるきさげ加工の置換可能性の検討
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
ガス雰囲気中走査型マイクロ放電付加加工による硬質膜テクスチャコーテッド工具の開発
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
静水圧付与冶具およびハイブリッド送り機構具備CFRP加工機とプロセスの開発
- 研究代表者
  
  尾嶌裕隆
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
トライボ圧縮静水圧による局所的材料硬化を活用した高品位切削法の新開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
物理特性を能動的に利用した機能材料高品位加工技術の探索
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
単結晶サファイアの「機械＋化学」ハイブリッド先進加工および評価技術の開発
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンド工具刃先成形とテクスチャリングによる長寿命化
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
2次元同時分光イメージング計測による大径極薄<10umウェハ機上全面厚さ計測技術
- 研究代表者
  
  小貫哲平
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
複雑形状管内の非接触駆動研磨除染方式の考案と装置の開発に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
“軟脆”特徴を持つ高機能材料の無欠陥表面創成加工技術と評価技術に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ナノ切削金型を用いた微小転写加工の高機能色素増感太陽電池開発への応用
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
掘起し現象のMEMS利用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
CMGによる超高速光通信用可変分散補償器コア要素エタロンの加工技術に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
Siおよび次世代半導体基板材料の無欠陥加工メカニズムと最適加工環境・条件の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
不錆高強度の鋼炭化物適用のマイクロファブリケーションの萌芽研究
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
マイクロ・ナノマシニングにおける加速度と振動の有効性研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
卵細胞操作用自動マイクロマニピュレーションシステムの開発
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
原子間力顕微鏡の固体表面像分解能と二次元量子摩擦現象の解明に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
複合超精密マイクロマシンニングシステムと中核技術の開発
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
高・低温環境対応テレメータ式超磁歪加速度センサの企画調査-地球環境モニタリング-
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
600m/s超高速・ナノメータオーダ超精密加工機械の開発に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  地域連携推進研究費
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
超磁歪アクチュエータ・センサー適用の構造物制振機構とデバイスの創作
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学
電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験
- 研究代表者
  
  江田弘
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  茨城大学

[図書] 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術2023
- 著者名/発表者名
  清水淳、他（総執筆者：58名、技術情報協会）
- 総ページ数
  630
- 出版者
  技術情報協会
- ISBN
  9784861049828
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[図書] 数値解析と表面分析によるトライボロジーの解明と制御2018
- 著者名/発表者名
  佐々木信也，清水　淳，他（全142名）
- 総ページ数
  1192
- 出版者
  テクノシステム
- ISBN
  9784924728806
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[雑誌論文] ロータリインフィード研削におけるウエハ温度の解析および評価2024
- 著者名/発表者名
  塩見山太郎, 髙橋清樹, 周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆, 金子和暉
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 68 ページ: 140-144
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[雑誌論文] 顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測,2024
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，柴教一郎，黒田隼乃介，茂垣有亮，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 68 ページ: 202-207
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] 振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターン周期配置型金属面の乾式すべり特性2023
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 67 ページ: 218-223
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] シリコンCMPの分子動力学シミュレーションにおける化学的作用のモデル化2023
- 著者名/発表者名
  金子和暉、橋村紀香、清水淳、周立波、小貫哲平、尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 67 号: 8 ページ: 452-457
- DOI
  10.11420/jsat.67.452
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 年月日
  2023-08-01
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[雑誌論文] Abrasive wear damages observation in engineering ceramics using micro-Raman tomography2023
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 17 号: 1 ページ: JAMDSM0009-JAMDSM0009
- DOI
  10.1299/jamdsm.2023jamdsm0009
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] Investigation of nanoscratch anisotropy of C-plane sapphire wafer using friction force microscope2022
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 73 ページ: 51-62
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2021.08.011
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235, KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] 微小振動援用切削加工を用いた表面テクスチャリング加工技術2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 67 号: 5 ページ: 337-342
- DOI
  10.18914/tribologist.67.05_337
- ISSN
  0915-1168, 2189-9967
- 年月日
  2022-05-15
- 言語
  日本語
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] 砥粒による上すべり－原子除去遷移域の分子動力学シミュレーション2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 65 ページ: 467-470
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[雑誌論文] Chemo-mechanical grinding by applying grain boundary cohesion fixed abrasive for monocrystal sapphire2021
- 著者名/発表者名
  Wu Ke、Touse Daichi、Zhou Libo、Lin Wangpiao、Shimizu Jun、Onuki Teppei、Yuan Julong
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 70 ページ: 110-116
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2021.01.015
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] 接触実験結果を踏まえたすべり過程の分子動力学シミュレーション2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 66 号: 4 ページ: 275-280
- DOI
  10.18914/tribologist.66.04_275
- NAID
  130008024835
- ISSN
  0915-1168, 2189-9967
- 年月日
  2021-04-15
- 言語
  日本語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] Analysis of Nanoscratch Mechanism of C-Plane Sapphire with the Aid of Molecular Dynamics Simulation of Hcp Crystal2021
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Nanomaterials
  
  巻: 11 号: 7 ページ: 1739-1739
- DOI
  10.3390/nano11071739
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235, KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] Friction Characteristics of Mechanically Microtextured Metal Surface in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Tribology International
  
  巻: 149 ページ: 105634-105634
- DOI
  10.1016/j.triboint.2019.02.042
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102, KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] ロータリ型インフィード平面研削メカニズムに関する研究2019
- 著者名/発表者名
  石橋憲，月井裕太，蛯名雄太郎，周立波，清水淳，小貫哲平，山本武幸, 尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 63 号: 1 ページ: 31-35
- DOI
  10.11420/jsat.63.31
- NAID
  130007670937
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 年月日
  2019-01-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] 砥粒による原子スケール材料除去過程の分子動力学シミュレーション2019
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 85 号: 4 ページ: 314-317
- DOI
  10.2493/jjspe.85.314
- NAID
  130007624097
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 年月日
  2019-04-05
- 言語
  日本語
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[雑誌論文] Friction Characteristics of Mechanically Microtextured Metal Surface in Dry Sliding2019
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Tribology International
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] Study on the finishing capability and abrasives-sapphire interaction in dry chemo-mechanical-grinding (CMG) process2018
- 著者名/発表者名
  Wu Ke、Zhou Libo、Onuki Teppei、Shimizu Jun、Yamamoto Takeyuki、Yuan Julong
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 52 ページ: 451-457
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.02.007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] 実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査2018
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 前崎智博, 周立波, 清水淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 乾正知
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 84 号: 7 ページ: 640-645
- DOI
  10.2493/jjspe.84.640
- NAID
  130007393958
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 年月日
  2018-07-05
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06075, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] シリコンウェハ変形による加工変質層残留応力の評価2017
- 著者名/発表者名
  髙橋清樹、周立波、清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 83 号: 5 ページ: 426-432
- DOI
  10.2493/jjspe.83.426
- NAID
  130005645845
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] シリコンウェハ変形による加工変質層残留応力の評価　－有限要素法を用いた数値シミュレーションによるウェハ変形メカニズム解明－2017
- 著者名/発表者名
  髙橋清樹，周立波，清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 5
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on the potential of chemo-mechanical-grinding (CMG) process of sapphire wafer2017
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
  
  巻: 90 号: 5-8 ページ: 1-8
- DOI
  10.1007/s00170-016-9836-1
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213, KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina1, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina1, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Zhou Libo、Ebina Yutaro、Wu Ke、Shimizu Jun、Onuki Teppei、Ojima Hirotaka
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 50 ページ: 27-31
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2017.04.010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1136.156
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753, KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] 金属のねじり変形に及ぼす圧縮静水圧応力の影響2016
- 著者名/発表者名
  植崎圭人，清水淳，周立波
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 82 号: 5 ページ: 448-453
- DOI
  10.2493/jjspe.82.448
- NAID
  130005150318
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[雑誌論文] ナノ接触実験結果と酸化膜の影響を考慮したすべり摩擦の分子動力学シミュレーション2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 61 ページ: 845-856
- NAID
  130005250169
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[雑誌論文] ステレオ画像による砥石作業面トポグラフィの機上3次元計測システム開発に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆，長山拓矢，周立波，清水淳，小貫哲平
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 82 号: 2 ページ: 186-191
- DOI
  10.2493/jjspe.82.186
- NAID
  130005124397
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on grinding of LiTaO3 wafer using effective cooling andelectrolyte solution2016
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Kehua Zhang, Jun Shimizu, Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 4 ページ: 62-69
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.10.001
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] ナノ接触実験結果と酸化膜の影響を考慮したすべり摩擦の分子動力学シミュレーション2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 61 ページ: 845-856
- NAID
  130005250169
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] Study on grinding of LiTaO3 wafer using effective cooling and electrolyte solution2016
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Kehua Zhang, Jun Shimizu, Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 44/2 ページ: 62-69
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by using Microcutting Techniques2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Ceramics Transactions
  
  巻: 257 ページ: 35-42
- DOI
  10.1002/9781119234463.ch4
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753, KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 581-585
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  田代芳章，周　立波，清水　淳，篠田知顕，三上祐樹
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 81 号: 10 ページ: 957-962
- DOI
  10.2493/jjspe.81.957
- NAID
  130005100542
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectrum analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 806 ページ: 581-585
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1136.581
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Study on Sapphire Wafer Grinding by Chromium Oxide (Cr2O3) Wheel2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Yutaro Ebina, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takashi Fujiwara
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 311-316
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] 茨城大学　ナノ・マイクロ表面機能研究室2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 60 ページ: 373-374
- NAID
  130006929950
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] 切削加工によるテクスチャリング2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 60 ページ: 177-183
- NAID
  130005628073
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Process study on large-size silicon wafer grinding by using a small-diameter wheel2015
- 著者名/発表者名
  Yutaro EBINA, Tomoya YOSHIMATSU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 9 号: 5 ページ: JAMDSM0073-JAMDSM0073
- DOI
  10.1299/jamdsm.2015jamdsm0073
- NAID
  130005130435
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 581-585
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] 茨城大学　ナノ・マイクロ表面機能研究室2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 60 ページ: 373-374
- NAID
  130006929950
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[雑誌論文] Study on Sapphire Wafer Grinding by Chromium Oxide (Cr2O3) Wheel2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Yutaro Ebina, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takashi Fujiwara
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 311-316
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Development of non-contact classifying systems by use of acoustic levitation2014
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Inada, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Takuya Ito
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: （未定）
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[雑誌論文] 近赤外分光器を用いた反射分光方式の薄シリコンウェハ厚さ計2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、小野竜典、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 515-519
- NAID
  130004835723
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Development of Microtextured Photocatalytic Surface by Vibration-assisted Scratching2014
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: 783-786 ページ: 1488-1493
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.783-786.1488
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Influence of surface integrity in silicon wafer thickness measurements by reflection spectroscopy2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 1017 ページ: 681-685
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1017.681
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Modeling of process mechanisms in pulsed laser micro machining on lithium niobate substrates2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ippei Murayama, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 896-902
- NAID
  130007674050
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] 日本縦断研究室巡り「茨城大学　Nano-Engineering Laboratory (nLab)」2014
- 著者名/発表者名
  周　立波，清水　淳，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 雑誌名
  
  レーザ協会誌
  
  巻: 39 ページ: 33-35
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Proceedings of 15th International conference on Precision Engineering (ICPE2014)
  
  巻: 1 ページ: 836-837
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Development of metal cutting process accompanied by a localized compressive hydrostatic stress field formation: Examination by molecular dynamics simulation2014
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 38 号: 2 ページ: 371-378
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.12.002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] 大口径Si ウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究-第2報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の適用-2013
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆,周立波,清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: Vol.79, 7 ページ: 677-681
- NAID
  130003385012
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on thermal influence of grinding process on LiTaO32013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 797 ページ: 252-257
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.797.252
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] A robust procedure of data analysis for micro/nano indentation2013
- 著者名/発表者名
  W. Hang, L. Zhou, J. Shimizu, J. Yuan
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: Vol.37 号: 2 ページ: 408-414
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2012.11.003
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] A robust procedure of data anal ysis for micro/nano indentation2013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu and Ju long Yuan
- 雑誌名
  
  Precision E ngineering
  
  巻: Vol.37, 2 ページ: 408-414
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆，周立波，清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79 号: 7 ページ: 677-681
- DOI
  10.2493/jjspe.79.677
- NAID
  130003385012
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062, KAKENHI-PROJECT-24760099
[雑誌論文] A Thin Silicon Wafer Thickness Measurement System by Optical Reflectmetry Scheme Using Fourier Transform Near-Infrared Spectrometer2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Akira Suzuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 797 ページ: 549-554
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon2013
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Tribology Online
  
  巻: 8 号: 1 ページ: 38-43
- DOI
  10.2474/trol.8.38
- NAID
  130003368294
- ISSN
  1881-218X, 1881-2198
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Development of Finishing System using Acoustically Levitated Abrasive2013
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Inada, Libo Zhou, Hirotaka Ojima and Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Int. J. of Automation Technology
  
  巻: Vol.7, 6 ページ: 671-677
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[雑誌論文] Study on the Mechanical Properties of Lithium Tantalate and the Influence on Its Machinability2013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Julong Yuan, Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 7 ページ: 644-653
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Mold Pattern Fabrication by Nanoscratching2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Han Huang
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 7 ページ: 686-693
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Study on the mechanical properties of lithium tantalate and the influence on its machinability2013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Julong Yuan and Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  Int. J. of Automation Technology
  
  巻: Vol.7, 6 ページ: 644-653
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] A robust procedure of data analysis for micro/nano indentation2013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 37 ページ: 408-414
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] A Thin Silicon Wafer Thickness Measurement System by Optical Reflectmetry Scheme Using Fourier Transform Near-Infrared Spectrometer2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Akira Suzuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.797 ページ: 549-554
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Development of Finishing System using Acoustically Levitated Abrasive2013
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Inada, Libo Zhou, Hirotaka Ojima and Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Int. J. of Automation Technology
  
  巻: 6 ページ: 671-677
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou and Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  Tribology Online
  
  巻: 8 ページ: 38-43
- NAID
  130003368294
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on thermal influence of grinding process on LiTaO_32013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol. 797 ページ: 252-257
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Fabrication of Surface Microtexture by Vibration Assisted Cutting2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Shun-ichi Nagaoka
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 797 ページ: 638-641
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.797.638
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Study on the mechanical properties of lithium tantalate and the influence on its machinability2013
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Julong Yuan and Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: Vol. 7, No. 6 ページ: 644-653
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement2012
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 615 ページ: 332-336
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.516.332
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on micro/nano-indentation of typical soft-brittle materials2012
- 著者名/発表者名
  Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vol. 523-524
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers2012
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Y.Tian, H.Huang, H.Sato, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Part B : Journal of Engineering Manufacture
  
  巻: 226 号: 1 ページ: 66-76
- DOI
  10.1177/0954405411414768
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Influence of Surface Micro Texture on Photocatalitic Function of Titanium Dioxide Film2012
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, G. Kobayashi, N. Hasegawa, T. Yamamoto, H. Ojima, T. Onuki, L. Zhou
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vols.706-709 ページ: 2646-2651
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.706-709.2646
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on micro/nano-indentation of typical soft-brittle materials2012
- 著者名/発表者名
  W. Hang, L. Zhou, J. Shimizu, T. Yamamoto, J. Yuan
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.523-524 ページ: 7-12
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.7
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Research on digital filters for Si wafer surface profile measurement2012
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.565 ページ: 656-661
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on grinding processing of sapphire wafer2012
- 著者名/発表者名
  Yutaro Ebina, Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Onuki Teppei, Hirotaka Ojima and Yoshiaki Tashiro
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 565 ページ: 22-27
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.565.22
- NAID
  130005031327
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Metal Cutting with Local Hydrostatic Pressure Field Formation2012
- 著者名/発表者名
  K. Uezaki, J. Shimizu, L. Zhou, T. Onuki, H. Ojima
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.523-524 ページ: 67-172
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.167
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] トライボロジスト2012
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 雑誌名
  
  アブレシブ摩耗現象のシミュレーション
  
  巻: 57巻ページ: 339-344
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] アブレシブ摩耗現象のシミュレーション2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 57巻ページ: 339-344
- NAID
  10030614027
- URL
  http://www.tribology.jp/publication/journal/journal2012.html
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers2012
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yebing Tian, Han Huang, Hisashi Sato and Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc IMechE, Part B : J.of Engineering Manufacture
  
  巻: Vol.226, 1 ページ: 66-75
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2012
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55巻ページ: 662-667
- URL
  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/55/11/55_662/_pdf
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011
- 著者名/発表者名
  周立波,小野真志,尾嶌裕隆,清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: Vol.77, 12 ページ: 1165-1169
- NAID
  130002121500
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] 大口径Siウェハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011
- 著者名/発表者名
  周立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 77 ページ: 1165-1169
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウェハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平,尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウェハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- NAID
  10030194515
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平,小野龍典,尾嶌隆裕,清水淳,周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: Vol.55, 12 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Spectroscopic Measurements of Silicon Wafer Thickness for Backgrinding Process2011
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 325 ページ: 672-677
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.325.672
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Spectroscopic measurements of silicon wafer thickness for backgrinding process2011
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Material Research
  
  巻: Vol.325 ページ: 672-677
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers2011
- 著者名/発表者名
  Y.B.Tian, L.Zhou, Z.W.Zhong, H.Sato, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Semiconductor Science and Technology
  
  巻: 26 号: 10 ページ: 1-7
- DOI
  10.1088/0268-1242/26/10/105002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Nanogrinding of multi-layered thin film amorphous Si solar panels2011
- 著者名/発表者名
  Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou, Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  International Journal of Machine Tools and Manufacture
  
  巻: 51 ページ: 797-805
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers2011
- 著者名/発表者名
  Y.B.Tian, L.Zhou, Z.W. Zhong, H.Sato, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Semiconductor Science and Technology
  
  巻: Vol.26, 10 ページ: 1-7
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011
- 著者名/発表者名
  周立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 77 ページ: 1165-1169
- NAID
  130002121500
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Development of CMG Wheels for Stress Relief in Si Wafer Thinning Process2011
- 著者名/発表者名
  Yuki Mikami, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Yoshiaki Tashiro, Sumio Kamiya
- 雑誌名
  
  Advanced Material Research
  
  巻: Vol.325 ページ: 678-683
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Nanogrinding of multi-layered thin film amorphous Si solar panels2011
- 著者名/発表者名
  Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou, Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  International Journal of Machine Tools and Manufacture
  
  巻: 51 号: 10-11 ページ: 797-805
- DOI
  10.1016/j.ijmachtools.2011.07.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Development of CMG Wheels for Stress Relief in Si Wafer Thinning Process2011
- 著者名/発表者名
  Yuki Mikami, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Yoshiaki Tashiro, Sumio Kamiya
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 325 ページ: 678-683
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.325.678
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会
  
  巻: Vol.55, 11 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011
- 著者名/発表者名
  周立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 77 ページ: 1165-1169
- NAID
  130002121500
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography2010
- 著者名/発表者名
  W. Ohsone, J. Shimizu, L. Zhou, H. Ojima, T. Onuki, T. Yamamoto, H. Huang
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 843-848
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.126-128.843
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  Journal of Computational and Theoretical Nanoscience
  
  巻: Vol.7 ページ: 2165-2170
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション2010
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 Vol.45, No.1
  
  ページ: 41-44
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響第1報:モデルと解析2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 54巻
  
  ページ: 45-49
- NAID
  10026236898
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Single Crystal Si Wafer2010
- 著者名/発表者名
  Hidenori Takahashi, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.447-448 ページ: 106-110
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響 (第2報 : 実験的考察)2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 Vol.45, No.2
  
  ページ: 92-96
- NAID
  10026236943
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  Journal of Computational and Theoretical Nanoscience 7/10
  
  ページ: 1-6
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Rubbing Phenomena in Ultra-Precision Abrasive Machining2010
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto, H. Huang
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vol.443 ページ: 417-422
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.443.417
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響(第1報:モデルと解析)2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 45/1
  
  ページ: 45-49
- NAID
  10026236898
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション2010
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 54巻
  
  ページ: 41-44
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Titanium, Dioxide Film by Surface Texturing2010
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
- 雑誌名
  
  Journal of Computational and Theoretical Nanoscience
  
  巻: Vol.7 ページ: 2165-2170
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement-Noise reduction by lifting scheme wavelet transform-2010
- 著者名/発表者名
  Kazutaka Nonomura, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 544-548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Design of digital digital filters Si wafer surface prlfile measurement-Noise reduction by lifting scheme wavelet transform2010
- 著者名/発表者名
  Kazutaka Nonomura, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 544-548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding(CMG)of Single Crystal Si Wafer2010
- 著者名/発表者名
  Hidenori Takahashi, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.447-448 ページ: 106-110
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Titanium Dioxide Film by Surface Texturing2010
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, K. Takamori, H. Ojima, T. Yamamoto, H. Huang
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.654-656.1784
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響(第2報:実験的考察)2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 45/2
  
  ページ: 92-96
- NAID
  10026236943
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 701-706
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement-Noise Reduction by Wavelet Transform-2010
- 著者名/発表者名
  Masashi Ono, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.447-448 ページ: 544-548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション2010
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 45/1
  
  ページ: 41-44
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 701-706
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto
- 雑誌名
  
  J.of Computational and Theoretical Nanoscience Vol.7, No.10
  
  ページ: 1-6
- NAID
  10026236879
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響第2報:実験的考察2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 54巻
  
  ページ: 92-96
- NAID
  10026236943
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measuremen-Noise Reduction by Wavelet Transform2010
- 著者名/発表者名
  Masashi Ono, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.447-448 ページ: 544-548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響 (第1報 : モデルと解析)2010
- 著者名/発表者名
  周立波, 光田孝仁, 清水淳, 田業氷, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 Vol.45, No.1
  
  ページ: 45-49
- NAID
  10026236898
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Tifanium Dioxide Film by Surface Texturing2010
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Study on Path Control Scheme by Laplacian Potential Field and Configuration Space for Vision Guided Micro Manipulation System2009
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Yoshitaka Yanai, Libo Zhou, Jun Shimizu
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research Vol.76～78
  
  ページ: 725-730
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Study on Improvement of Material Removal Rate in Chemo-mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer2009
- 著者名/発表者名
  J. Sasaki, T. Tsuruga, B. Soltani., H, T. Mitsuta, Y.B. Tian, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda, Y. Tashiro, H. Iwase, S. Kamiya
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vols.389-390
  
  ページ: 13-17
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] 砥粒上すべり現象の分子動力学シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 53巻
  
  ページ: 751-755
- NAID
  10026236816
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] A Novel Single Step Thinning Process for Extremely Thin Si Wafers2009
- 著者名/発表者名
  Y.B.Tian, L.Zhou, J.Shimizu, H.Sato R.K.Kang
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research 76-78
  
  ページ: 434-439
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Elimination of surface scratch/texture on the surface of single crystal Si substrate in chemo-mechanical grinding (CMG) process2009
- 著者名/発表者名
  Y.B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, T. Tashiro, R.K. Kang
- 雑誌名
  
  J.of App.Surface Science Vol.255, No.7
  
  ページ: 4205-4211
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on Improvement of Material Removal Rate in Chemo-mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer2009
- 著者名/発表者名
  J. Sasaki, T. Tsumga, B. SoltaniH, T. Mitsuta, Y.B. Tian, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda, Y. Tashiro, H. Iwase and S. Kamiya
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 389-390
  
  ページ: 13-17
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemo-mechanical Grinding (CMG) by Controlling Interatomic Potential Parameters to Imitate Chemical Reaction2009
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research Vol.76～78
  
  ページ: 82-87
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Fundamental Study on Influence of Surface Topography on Photocatalytic Reaction2009
- 著者名/発表者名
  K. Azusawa, Y. Ishii, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 389-390
  
  ページ: 417-423
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Siウエーハのレーザダイシングに関する研究=ピコ秒パルスレーザによる液中加工の検討=2009
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 周立波, 清水淳, 溝口高史
- 雑誌名
  
  光アライアンス 20(7)
  
  ページ: 20-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] ステレオ視法によるSEM画像の3次元形状計測および復元2009
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆, 村上幸博, 大塚春樹, 笹本侑弥, 周立波, 清水淳, 江田弘
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 75巻
  
  ページ: 773-777
- NAID
  130000421687
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Effects of sodium carbonate and ceria concentration on chemo-mechanical grinding of single crystal Si wafer2009
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Takahashi, Yebing Tian, Junichi Sasaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research Vol.76～78
  
  ページ: 428-433
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Elimination of surface scratch/texture on the surface of single crystal Sisubstrate in chemo-mechanical grinding (CMG) process2009
- 著者名/発表者名
  Y. B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, Y. Tashiro, R. K. Kang
- 雑誌名
  
  Journal of Moiled Surface Science 255/7
  
  ページ: 4205-4211
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on a Micro Lathe with Visual Feedback Control2009
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Abrasive Technology 2
  
  ページ: 60-69
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Fundamental Research on Generation of Nanostructure by Means of Local Anodic Oxidation2009
- 著者名/発表者名
  Yumetaka Suehisa, Toshiaki Aoki, Jun Shimizu, Libo Zhou and Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 389-390
  
  ページ: 424-429
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Elimination of Surface Scratch/texture on the Surface of Single Crystal Si Substrate in Chemo-mechanical Grinding (CMG) Process2009
- 著者名/発表者名
  Y. B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, Y. Tashiro, R. K. Kang
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science 255
  
  ページ: 4205-4211
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding of Large Size Quartz Glass Substrate2009
- 著者名/発表者名
  L. ZHOU, T. SHIINA, Z.J. QIU, J. SHIMIZU, T. YAMAMOTO, Y. TASHIRO
- 雑誌名
  
  Precision Engineering Vol.33
  
  ページ: 499-504
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Research on Chemo-mechanical Grinding of Large Size Quartz Glass Substrate2009
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Takeshi Shiina, Zhongjun Qiu, Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Toshiaki Tashiro
- 雑誌名
  
  Precision Engineering Vol.33
  
  ページ: 499-504
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Modeling and Analysis of Effects of Machine Tool Stiffness and Cutting Path Density on Infeed Surface Grinding of Silicon Wafer2009
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, T.Mitsuta, J.Shimizu, T.Tajima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research 76-78
  
  ページ: 445-450
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding of Large Size Quartz Glass Substrate2009
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Takeshi SHIINA, Zhongjun QIU, Jun SHIMIZU, Takeyuki YAMAMOTO, Toshiaki TASHIRO
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 33
  
  ページ: 499-504
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Fundamental Study on Influence of Surface Topography on Photocatalytic Reaction2009
- 著者名/発表者名
  Keisuke Azusawa, Yuta Ishii, Jun Shimizu, Libo Zhou and Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 389-390
  
  ページ: 417-423
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Fundamental Research on Generation of Nanostructure by Means of Local Anodic Oxidation2009
- 著者名/発表者名
  Y. Suehisa, T. Aoki, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 389
  
  ページ: 424-429
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Modeling and analysis of effects of machine tool stiffness and cutting path density on infeed surface grinding of silicon wafer2009
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Takahito Mitsuta, Jun Shimizu, Takuji Tajima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research Vol.76～78
  
  ページ: 445-450
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemo-Mechanical Grinding(CMG)by Controlling Interatomic Potential Parameters to Imitate Chemical Reaction2009
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, T.Yamamoto
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research 76-78
  
  ページ: 82-86
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Effects of Sodium Carbonate and Ceria Concentration on Chemo-Mechanical Grinding of Single Crystal Si Wafer2009
- 著者名/発表者名
  H.Takahashi, Y.B.Tian, J.Sasaki J.Shimizu, L.Zhou, Y.Tashiro, H.Iwase, S.Kamiya
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research 76-78
  
  ページ: 428-433
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] A novel single step thinning process for extremely thin Si wafers2009
- 著者名/発表者名
  Yebing Tian, Junichi Sasaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hisashi Sato, R.K.Kang
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research Vol.76～78
  
  ページ: 434-439
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史, 岡部秀光, 江田弘
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 Vol.52, No.10
  
  ページ: 601-606
- NAID
  10021923685
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史, 岡部秀光, 江田弘
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 52
  
  ページ: 603-608
- NAID
  10021923685
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Adhesion Effect on Material Removal and Tool Wear in Diamond Grinding of Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Hidemitsu Okabe
- 雑誌名
  
  Tribology Online Vol.3, No.5
  
  ページ: 248-253
- NAID
  130000067618
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史, 岡部秀光, 江田弘
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 52/10
  
  ページ: 601-606
- NAID
  10021923685
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Adhesion Effect on Material Removal and Tool Wear in Diamond Grinding of Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Hidemitsu Okabe
- 雑誌名
  
  Tribology Online 3/5
  
  ページ: 248-253
- NAID
  130000067618
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Adhesion Effect on Material Removal and Tool Wear in Diamond Grinding of Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, H. Eda, L. Zhou, H. Okabe
- 雑誌名
  
  Tribology Online+ 3
  
  ページ: 248-253
- NAID
  130000067618
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Effect of Grinding Wheel Stiffness on Nanogrinding Process2008
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Abrasive Technology 1
  
  ページ: 316-326
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Effect of Grinding Wheel Stiffness on Nannarinding Process2008
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Abrasive Technology 1/3・4
  
  ページ: 316-326
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Effect of Grinding Wheel Stiffness on Nanogrinding Process2008
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int'l J.of Abrasive Technology Vol.1, No.3/4
  
  ページ: 316-326
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on Path Control Scheme for Vision Guided Micro Manipulation System2007
- 著者名/発表者名
  Hirotaka OJIMA, Hiroyuki ASANO, Genki SHIMIZU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU and Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceeding of 4th LEM21
  
  ページ: 605-608
- NAID
  130007891031
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on Nanomachining Process of Si Wafer using an Atomic Force Microscope2007
- 著者名/発表者名
  Jun SHIMIZU, Takashi TSUMURA, Yumetaka SUEHISA, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceeding of 4th LEM21
  
  ページ: 153-156
- NAID
  130007890917
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of large size silica glass substrate2007
- 著者名/発表者名
  Takeshi SHIINA, Libo ZHOU, Zhongjun QIU, Takeyuki YAMAMOTO, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceeding of 4th LEM21
  
  ページ: 65-68
- NAID
  130007890884
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int. J. Manufacturing Science ＆ Technology (印刷中)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of On-machine 3D Measuring System for Large Size Si Wafer Thinning Process2007
- 著者名/発表者名
  T. Mitsuta, B. Soltani, T. Tsuruga, J. Sasaki, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT2007
  
  ページ: 75-81
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer2007
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Bahman Soltani Hosseini, Tatsuya Tsuruga, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase and Yoshiaki Tashiro
- 雑誌名
  
  Int. J. Abrasive Technology 1/1
  
  ページ: 94-105
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Experimental and Simulation Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  Hidemitsu Okabe, Takashi Tsumura, Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 379-384
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Simulation and Experimental Study on Nanoscracthig of Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hidemotsu Okabe, Takashi Tsumura, Yumetaka Suehisa, Libo Zhou and Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceedings of Int'l Conference on Tribology in Manufacturing Process (ICTMP) 2007
  
  ページ: 307-310
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] 3D Data Acquisition and Configuration by Means of Binocular Stereopsis2007
- 著者名/発表者名
  H. Otsuka, Y. Myrakami, Z. Qiu, H. Ojima, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 35th International MATADOR Conference
  
  ページ: 393-396
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of AFM/FFM Surface Observation: Influence of Probe Tip Shape2007
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou and H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 35th International MATADOR Conference
  
  ページ: 271-274
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process2007
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 373-378
- NAID
  40015624684
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano-Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int. J. Manufacturing Science & Technology 1/9
  
  ページ: 69-75
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Fundamental Study on Cleavage-Cutting of Silicon Wafer by Ultra-Short Pulsed Laser2007
- 著者名/発表者名
  Atsushi HAGIYA, Takeyuki YAMAMOTO, Hirotaka OJIMA, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU and Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceeding of 4th LEM21
  
  ページ: 879-882
- NAID
  130007890953
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal for Manufacturing Science and Technology 9・1
  
  ページ: 69-76
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int.J.Manufacturing Science & Technology Vol.9, No.1
  
  ページ: 69-75
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer2007
- 著者名/発表者名
  L. Zhou, B. S. Hosseini, T. Tsuruga, J. Shimizu, H. Eda, S. Kamiya, H. Iwase, Y. Tashiro
- 雑誌名
  
  Int.J.Abrasive Technology Vol.1, No.1
  
  ページ: 94-105
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on Thinning Process of Large Size Si wafer2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuruga, B. Soltani, J. Sasaki, T. Mitsuta, J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT2007
  
  ページ: 67-73
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding2007
- 著者名/発表者名
  Yoshiaki Tashiro, Masaaki Kenmochi, Bahman Soitani, Tatsuya Tsuruga, Libo Zhou, Jun Shimizu and Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceeding of 4th LEM21
  
  ページ: 69-72
- NAID
  130007890888
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006
- 著者名/発表者名
  Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
- 雑誌名
  
  Proceedings of 1lth International Conference on Precision Engineering (ICPE)
  
  ページ: 309-303
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] 材料加工層-分析と評価法-2006
- 著者名/発表者名
  高橋裕和, 江田弘, 清水淳
- 雑誌名
  
  機械の研究 58・1
  
  ページ: 17-24
- NAID
  40007083390
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Path Control Study for Vision Guided Micro Manipulation System2006
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki Asano, Zhougjun Qiu, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Tomohiko Ishikawa, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 11th International Conference on Production Engineering (11th ICPE), Tokyo
  
  ページ: 321-322
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 3rd Asia Int.Conf.on Tribology (ASIATRIB 2006)
  
  ページ: 525-526
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 3rd Asia International Conference on Tribology (ASIATRIB 2006), Kanazawa
  
  ページ: 525-526
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Vibration-Assisted Cutting : Influences of Vibration Parameters2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 9・2
  
  ページ: 120-129
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proc. of 3rd Asia Int. Conf. on Tribology (ASIATRIB 2006)
  
  ページ: 525-526
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding (CMG)に関する研究,-第2報:固定砥粒によるφ300mmSiウエハの完全表面創成-2006
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 50・3
  
  ページ: 130-133
- NAID
  10015505910
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006
- 著者名/発表者名
  Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
- 雑誌名
  
  Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering(ICPE)
  
  ページ: 309-313
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Elementary Process of Coating by a High-Temperature, High-Speed Droplet2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Etsuji Ohmura, Yoshifumi Kobayashi, Shoichi Kiyoshima, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  JSME International Journal C 49・2
  
  ページ: 505-511
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] 顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発2006
- 著者名/発表者名
  石川友彦, 江田弘, 周立波, 清水淳, 尾嶌裕隆, 山本佳男, 川上辰男
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 50・6
  
  ページ: 318-323
- NAID
  10019172718
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP 55・1
  
  ページ: 313-316
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Vibration-Assisted Micro and Nanocutting : Influences of Vibration, Acceleratin and Velocity2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Nanomanufacturing 1・1
  
  ページ: 105-116
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Experimental and Simulation Research Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer2006
- 著者名/発表者名
  H.Okabe, T.Tsumura, J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 379-384
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proc. of 3rd Asia Int. Conf. on Tribology(ASIATRIB 2006)
  
  ページ: 525-526
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Vibration-Assisted Cutting : Influences of Vibration, Acceleration and Velocity2006
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Nanomanufacturing 1・1
  
  ページ: 105-116
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Visual Feedback Control of a Micro Lathe2006
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Katsuhiro Saito, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 11th International Conference on Production Engineering (11th ICPE), Tokyo
  
  ページ: 133-137
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Experimental and Simulation Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer2006
- 著者名/発表者名
  H.Okabe, T.Tsumura, J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 379-384
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Path control scheme for vision guided micro manipulation system2006
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki Asano, Tomohiko Ishikawa, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Zhongjun Qiu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering(ICPE)
  
  ページ: 321-322
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process2006
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizul, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 373-378
- NAID
  40015624684
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process2006
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizu1, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 329
  
  ページ: 373-378
- NAID
  40015624684
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Defect-free Favrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP 55・1
  
  ページ: 313-316
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Visual Feedback Control of a Micro Lathe2006
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Katsuhiro Saito, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 11th International conference on Precision engineering (ICPE)
  
  ページ: 133-137
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006
- 著者名/発表者名
  Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
- 雑誌名
  
  Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering (ICPE)
  
  ページ: 309-313
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP 1/55
  
  ページ: 313-316
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] 顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発2006
- 著者名/発表者名
  石川友彦, 江田弘, 周立波, 清水淳, 尾嶌裕隆, 山本佳男, 川上辰男
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 51・6
  
  ページ: 318-323
- NAID
  10019172718
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Study on Subsurface Damage Generated in Ground Si Wafer2006
- 著者名/発表者名
  Bahman Soltani Hosseini, Libo Zhou, Tatsuya Tsuruga, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 11th International Conference on Production Engineering (11th ICPE), Tokyo
  
  ページ: 309-313
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Hiroshi Eda, Jun Shimizu, Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Shun-ichiro Kimura
- 雑誌名
  
  CIRP Annals 55・1
  
  ページ: 313-316
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Vibration Assisted Cutting - Effect of Vibration Parameter -2005
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hidekazu Tanaka, Libc Zhou, Hirotaka Ojima, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2
  
  ページ: 861-864
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 (液滴の偏平過程と原子挙動)2005
- 著者名/発表者名
  清水淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 71・701
  
  ページ: 298-303
- NAID
  110006264528
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報:固定砥粒によるφ300mmSiウエハの完全表面創成-2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・4
  
  ページ: 466-470
- NAID
  10015505910
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarization (Integrated model for simulation of planarization process)2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 490-503
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
- 雑誌名
  
  Synopsis of Int. Tribology Conference 349
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Elementary Process of Coating by High-Temperature and High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of Droplet)2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  J.JSME Trans.C (in Japanese) 71(701)
  
  ページ: 298-303
- NAID
  110004728867
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] A Novel Fixed Abrasive Process : Chemo-Mechanical Grinding Technology2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 441-451
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation,2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
- 雑誌名
  
  Synopsis of Int.Tribology Conference
  
  ページ: 349-349
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process -Surface and Subsurface Analysis of Wafer Produced by CMG-2005
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Y.Kumagai, J.Shimizu, H.Eda, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Nagoya 2
  
  ページ: 889-892
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の偏平過程と原子挙動)2005
- 著者名/発表者名
  清水淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 71・701
  
  ページ: 298-303
- NAID
  110006264528
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical Grinding of Si Wafer, 2^<nd> Report : Generation of Defect free surface on Φ300mm Si Wafer2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Shun'ichiro Kimura
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society of Precision Engineering 4/71
  
  ページ: 466-470
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 大久保瞳, 清水淳, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集C編 71・702
  
  ページ: 725-730
- NAID
  110006264589
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of a Visual Guided Micro Lathe2005
- 著者名/発表者名
  K.Saito, H.Ojima, L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Nagoya 3
  
  ページ: 1229-1234
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の扁平過程と原子挙動)2005
- 著者名/発表者名
  清水淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 71・701
  
  ページ: 298-303
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarization, (Integrated model for simulation of planarization process)2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 490-503
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の扁平過程と原子挙動)2005
- 著者名/発表者名
  清水淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 71・701
  
  ページ: 298-303
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development and Evaluation of CMG Wheels made by Electrophoretic Deposition2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Isao Toita, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society of Abrasive Technology 3/55
  
  ページ: 130-133
- NAID
  10017285120
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報 : 固定低位によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・4
  
  ページ: 466-470
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] A Novel Fixed Abrasive Process : Chemo-Mechanical Grinding Technology2005
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 441-454
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Siウエハの Chemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報 : 固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・4
  
  ページ: 466-470
- NAID
  10015505910
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] A Novel Fixed Abrasive Process: Chemo-Mechanical Grinding Technology2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 441-451
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarisa-tion (Integrated Model for Simulation of Planarisation Process)2005
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6
  
  ページ: 441-454
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報:固定砥粒によるφ300mmSiウエハの完全表面創成-2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・4
  
  ページ: 466-470
- NAID
  10015505910
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Improvements in accuracy of simulation model)2005
- 著者名/発表者名
  H.Okubo, L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Nagoya 2
  
  ページ: 883-888
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Vibration Assisted Cutting -Effect of Vibration Parameter-2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Ojima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Nagoya 2
  
  ページ: 861-864
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 (液滴の偏平過程と原子挙動)2005
- 著者名/発表者名
  清水淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 71・701
  
  ページ: 298-303
- NAID
  110006264528
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Improvements in accuracy of simulation model)2005
- 著者名/発表者名
  Hitomi Okubo, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2
  
  ページ: 883-890
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 大久保瞳, 清水淳, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集C編 71・702
  
  ページ: 725-730
- NAID
  110006264589
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
- 雑誌名
  
  Synopsis of Int. Tribology Conference
  
  ページ: 349-349
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] 電気泳動法によるCMG砥石の開発とその性能評価2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 戸井田勲, 清水淳, 江田弘
- 雑誌名
  
  加工学会誌 50・3
  
  ページ: 130-133
- NAID
  10017285120
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005
- 著者名/発表者名
  周立波, 大久保瞳, 清水淳, 江田弘
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集C編 71・702
- NAID
  110006264589
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation2005
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
- 雑誌名
  
  Synopsis of International Trabology Conference, (ITC Kobe 2005), Kobe
  
  ページ: 349-349
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760099
[雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process (Surface and Sub-surface Analysis of Si Wafer Produced by CMG)2005
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Y.Kumagai, J.Shimizu, H.Eda, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2
  
  ページ: 889-892
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Establishment of an analytical model)2005
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Hitomi Ohkubo, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  J.JSME Trans.C (in Japanese) 72(701)
  
  ページ: 725-730
- NAID
  110006264589
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 4th euspen International conference (Scotland/UK)
  
  ページ: 113-114
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, K.Nishida, Z.Qiu, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 165-166
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (Liege, Belgium)
  
  ページ: 387-394
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 49・3
  
  ページ: 223-232
- NAID
  10013113666
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Tribology Vol.49(3)
  
  ページ: 223-232
- NAID
  10013113666
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diameter Optical Components2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 101-106
- NAID
  110002512005
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vol.257-258
  
  ページ: 21-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004
- 著者名/発表者名
  Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology
  
  ページ: 457-461
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Effect of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of the 4th euspen Int.Conf., Glasgow, UK
  
  ページ: 113-114
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diamond Optical Components2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 101-106
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004
- 著者名/発表者名
  Z.Qiu, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu.H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology
  
  ページ: 457-461
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 21-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Micro Manipulation System for Bio-applications2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, K.Nishida, Z.Qiu, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 4th euspen International conference, Glasgow, UK
  
  ページ: 165-166
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT 2004 (Bursa/Turkey)
  
  ページ: 393-396
- NAID
  110002512007
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Planarization of Patterned Si Wafer, (Establishment of an Analysis Model)2004
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Hitomi Ohkubo, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Transaction of the Japan Society of Mechanical Engineers, C Edition 702/71
  
  ページ: 725-730
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004
- 著者名/発表者名
  Z.Qiu, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 1st Int'l Conference on Positioning Technology
  
  ページ: 457-461
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Zhongjun Qiu, Keisuke Nishida, Tomohiko Ishikawa, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4^<th> International Workshop on Microfactories (Shanhai/China)
  
  ページ: 152-159
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diamond Optical Components2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 101-106
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (REWAS'2004), Spain
  
  ページ: 1999-2008
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] マイクロ・ナノトライボロジーにおける分子動力学シミュレーションの適用2004
- 著者名/発表者名
  江田弘, 清水淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト 49・6
  
  ページ: 466-472
- NAID
  10013113666
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 113-114
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT 2004
  
  ページ: 393-396
- NAID
  110002512007
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology(REWAS'2004) Spain
  
  ページ: 1999-2008
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004) Liege, Belgium
  
  ページ: 387-394
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 4th euspen International conference, Glasgow, UK
  
  ページ: 113-114
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004). Liege, Belgium
  
  ページ: 387-394
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT 2004
  
  ページ: 393-396
- NAID
  110002512007
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (REWAS'2004), Spain
  
  ページ: 1999-2008
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories
  
  ページ: 152-159
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] マイクロ・ナノトライボロジーにおける分子動力学シミュレーションの適用2004
- 著者名/発表者名
  江田弘, 清水淳
- 雑誌名
  
  トライボロジスト 49・6
  
  ページ: 466-472
- NAID
  10013113666
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (Spain)
  
  ページ: 1999-2008
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology(REWAS'2004). Spain
  
  ページ: 1999-2008
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] [Introduction of Laboratory] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, H.Ojima, T.Yamamoto
- 雑誌名
  
  J.JSAT (in Japanese) Vol.70(9)
  
  ページ: 1165-1166
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diameter Optical Components2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vol.257-258
  
  ページ: 101-106
- NAID
  110002512005
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004
- 著者名/発表者名
  Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 1st Int'l Conference on Positioning Technology (Shizuoka/Japan)
  
  ページ: 457-461
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Automated Cell Manipulation System by Use of Visual Information2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories
  
  ページ: 152-159
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Simulation on Planrization Process of Device Wafer2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of ISAAT 2004
  
  ページ: 393-396
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Journal of Japanese Society of Tribologists (in Japanese) Vol.49(6)
  
  ページ: 466-472
- NAID
  10013113666
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of the 3rd Int. Conf.and Exhibition on Design and Production of Dies and Molds 7th Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology, (ISAAT 2004), Turkey
  
  ページ: 393-396
- NAID
  110002512007
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 49・3
  
  ページ: 223-232
- NAID
  10013113666
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004), Liege, Belgium
  
  ページ: 387-394
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qio, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 165-166
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Micro Manipulation System for Bio-applications2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, K.Nishida, Z.Qio, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 4th euspen International conference (Scotland,/UK)
  
  ページ: 165-166
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qio J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 165-166
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Thermal Spray Conf.,(ITSC'2004),Osaka
  
  ページ: 7-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer, Proc.of the 3rd Int.Conf. and Exhibition on Design and Production of Dies and Molds2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  7th Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology, (ISAAT 2004), Turkey
  
  ページ: 393-396
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining,2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 113-114
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 21-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004
- 著者名/発表者名
  Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology
  
  ページ: 457-461
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th euspen International conference
  
  ページ: 113-114
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories
  
  ページ: 152-159
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, H.Ojima, T.Yamamoto
- 雑誌名
  
  [Introduction of Laboratory] Database of leading-edge processing technology (JSPE) (in Japanese)
  
  ページ: 30-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories, China
  
  ページ: 152-159
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004
- 著者名/発表者名
  H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004), Liege, Belgium
  
  ページ: 387-394
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004) (Osaka) 042.pdf(CD-ROM)
  
  ページ: 7-12
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism, -Behaviors of Zero Wear-Wear transition Region -2003
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Tribologist (in Japanese) Vol.48(9)
  
  ページ: 741-751
- NAID
  10011734712
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] 金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎研究,第1報:鋼の微少引っかきに及ぼす第2相合金の影響2003
- 著者名/発表者名
  谷山久法, 江田弘, 清水淳, 周立波, 中沢由加里, 佐藤潤一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 47,5
  
  ページ: 263-268
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism -Behaviors of Zero-Wear Transition Regions -2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 48(5)
  
  ページ: 437-452
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero Wear-Wear Transition Regions -2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 48・5
  
  ページ: 437-452
- NAID
  10011734712
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760074
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Material Removal Mechanism beyond Propagation Speed of Plastic Wave2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of Int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Niigata
  
  ページ: 309-315
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Material Removal Mechanism beyond Propagation Speed of Plastic Wave2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of International Conference on LEM21 (Niigata)
  
  ページ: 309-315
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Biological-Micro-Manipulation System in Scanning Electron Microscope2003
- 著者名/発表者名
  H.Eda, T.Ishikawa, Y.Tomita, Y.Yamamoto, L.Zhou, T.Kawakami, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), Nagoya
  
  ページ: 211-214
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Three Dimensional Kinematical Analyses for Surface Grinding of Large Scale Substrate2003
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Kazuhiro SHINOHARA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 27,2
  
  ページ: 175-184
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Material Removal Mechanism Beyond Plastic Wave Propagation Rate2003
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Akihito Muroya, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 27,2
  
  ページ: 109-116
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] φ300シリコンウエハ超精密研削加工シミュレーション2003
- 著者名/発表者名
  佐川克雄, 江田弘, 周立波, 清水淳, 白石昌武
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 47,8
  
  ページ: 440-445
- NAID
  10011753390
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Three Dimensional Kinematical Analyses for Surface Grinding of Large Scale Substrate2003
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Kazuhiro SHINOHARA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Precision Engineering Vol.27(2)
  
  ページ: 175-184
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Manipulation of the Universal Rotational Mechanism for Biological Application2003
- 著者名/発表者名
  T.Ishikawa, H.Eda, Y.Yamamoto, K.Kawakami, L.Zhou, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of 2003 Int'l Symposium on Microelectronics and Human Science, Nagoya, Oct.(IEEE Robotics & Automation 2003)
  
  ページ: 215-220
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Basic research on microfabrication applied to metal particles, -1^<st> report : Effect of second phase in steels on microscratching -2003
- 著者名/発表者名
  Hisanori Taniyama, Hiroshi Eda, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yukari Nakazawa, Jun'ichi Sato
- 雑誌名
  
  J.JSAT (in Japanese) Vol.47(5)
  
  ページ: 263-268
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] すべり摩擦・摩耗機構の分子動力学解析-ゼロ摩耗-摩耗遷移領域の挙動-2003
- 著者名/発表者名
  清水淳, 江田弘, 周立波
- 雑誌名
  
  トライボロジスト 48,9
  
  ページ: 741-751
- NAID
  10011734712
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] 巨大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発,-φ300Siウエハ超加工機械の中核技術-2003
- 著者名/発表者名
  江田弘, 中野博民, 近藤良, 周立波, 森輝夫, 清水淳
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 69,1
  
  ページ: 100-104
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Biological-Micro-Manipulation System in Scanning Electron Microscope2003
- 著者名/発表者名
  H.Eda, T.Ishikawa, Y.Tomita, Y.Yamamoto, L.Zhou, T.Kawakami, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of 2003 Int'l Symposium on Microelectronics and Human Science,(IEEE Robotics & Automation 2003)
  
  ページ: 211-214
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process2003
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, S.Kawai, S.Kimura, J.Shimizu, H.EDA
- 雑誌名
  
  Proc.of International Conference on LEM21 (Niigata)
  
  ページ: 316-321
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero Wear-Wear Transition Regions -2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 48・5
  
  ページ: 437-452
- NAID
  10011734712
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656033
[雑誌論文] Simulation of ultra precision grinding of φ300 Si wafer2003
- 著者名/発表者名
  Katsuo Sagawa, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Jun Shimizu, Masatake Shiraishi
- 雑誌名
  
  J.JSAT (in Japanese) Vol.47(8)
  
  ページ: 440-445
- NAID
  10011753390
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Manipulation of the Universal Rotational Mechanism for Biological Application2003
- 著者名/発表者名
  T.Ishikawa, H.Eda, Y.Yamamoto, T.Kawakami, L.Zhou, J.Shimizu
- 雑誌名
  
  Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), Nagoya
  
  ページ: 215-220
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel -Plastic Flow Mechanism of the Ferrite and Cementite Phase -2003
- 著者名/発表者名
  H.Taniyama, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, J.Sato
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vol.238-239
  
  ページ: 15-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process2003
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, S.Kawai, S.Kimura, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of Int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Niigata
  
  ページ: 316-321
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Multifunctional Micro-Machining System and its Applications2003
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Y.Yaguchi, T.Fuji, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vol.238-239
  
  ページ: 3-8
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Material Removal Mechanism Beyond Plastic Wave Propagation Rate2003
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Jun Shimizu, Akihito Muroya, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Precision Engineering Vol.27(2)
  
  ページ: 109-116
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Multifunctional Micro-Machining System and Applications2003
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, Y.Yaguchi, T.Fujii, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 238-239
  
  ページ: 15-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel - Plastic Flow Mechanism of Ferrite and Cementite Phase -2003
- 著者名/発表者名
  H.Taniyama, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, J.Sato
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 238-239
  
  ページ: 3-8
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Development of Atomic Level GMM Positioning/Alignment System for Driving a Gigantic Weight Spindle, -Core Technology for Advanced φ300mm Si Wafer Ultraprecision Machine Tool -2003
- 著者名/発表者名
  Hiroshi EDA, Hirotami NAKANO, Ryou KONDO, Libo ZHOU, Teruo MORI, Jun SHIMIZU
- 雑誌名
  
  J.JSPE (in Japanese) Vol.69(1)
  
  ページ: 100-104
- NAID
  110001373477
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero-Wear Transition Regions -2003
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Japanese J.of Tribology 48,5
  
  ページ: 437-452
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (IMCC 2002), China (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] 3D Kinematic Analysis of Large Scale Substrate Surface Grinding.2002
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Kazuhiro SHINOHARA, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Proceedings of ASPE 2002 Annual Meeting
  
  ページ: 140-143
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  J.Materials Processing Technology Vol.129(1-3)
  
  ページ: 34-40
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of Si wafer, -1^<st> Report : Development of CMG Wheel -2002
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Shinji KAWAI, Masayuki HONDA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA, Kazuaki YAKITA
- 雑誌名
  
  J.JSPE (in Japanese) Vol.68(12)
  
  ページ: 1559-1563
- NAID
  110001373342
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of the Contact Process in AFM Surface Observations2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Tribotest Journal 9,2
  
  ページ: 101-115
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Crystal Dependence in Micro Scratching of Carbon Steel - Groove Formation on Pearlite -2002
- 著者名/発表者名
  H.Taniyama, H.Eda, J.Sato, J.Shimizu, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Conf.ASIATRIB2002, Korea
  
  ページ: 197-198
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Journal of Materials Processing Technology 129,1-3
  
  ページ: 34-40
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] [Introduction of Laboratory] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2002
- 著者名/発表者名
  H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, T.Yamamoto
- 雑誌名
  
  J.JSAT (in Japanese) Vol.46(5)
  
  ページ: 230-231
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM/FFM Surface Observation2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Conf.ASIATRIB2002, Korea
  
  ページ: 61-62
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002
- 著者名/発表者名
  Jun SHIMIZU, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  J.Materials Processing Technology Vol.129(1-3)
  
  ページ: 19-24
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (IMCC 2002), China (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Crystal Dependence in Micro Scratching of Carbon Steel -Groove Formation of Cementite and Ferrite Phases -2002
- 著者名/発表者名
  H.Taniyama, H.Eda, J.Sato, J.Shimizu, L.Zhou
- 雑誌名
  
  Proc.of 2^<nd> Asia Int.Conf.on Tribology Korea
  
  ページ: 197-198
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] 3D Kinematical Analysis of Large Scale Substrate Surface Grinding2002
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, K.Shinohara, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of American Society for Precision Engineering 2002 Annual Meeting, USA
  
  ページ: 140-143
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002
- 著者名/発表者名
  Jun SHIMIZU, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
- 雑誌名
  
  Journal of Materials Processing Technology 129,1-3
  
  ページ: 19-24
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002
- 著者名/発表者名
  L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] 熱・電・磁場附加による工具機能の改善に関する研究2002
- 著者名/発表者名
  周立波, 福田勇夫, 清水淳, 江田弘, 加藤明彦, 谷山久法
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 46,10
  
  ページ: 507-510
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM/FFM Surface Observation2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
- 雑誌名
  
  Proc.of 2^<nd> Asia Int.Conf.on Tribology, Korea
  
  ページ: 61-62
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Cutting tool performance enhanced with thermal/electrical/magnetic processing2002
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Isao FUKUDA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA, Akihiko KATO, Hisanori TANIYAMA
- 雑誌名
  
  J.JSAT (in Japanese) Vol.46(10)
  
  ページ: 506-509
- NAID
  10010081510
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第1報:CMG砥石の開発-2002
- 著者名/発表者名
  周立波, 河合真二, 本田将之, 清水淳, 江田弘, 焼田和明
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 68,12
  
  ページ: 1559-1563
- NAID
  110001373342
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM Surface Observations2002
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.ZHOU, H.EDA
- 雑誌名
  
  Tribotest Journal Vol.9(2)
  
  ページ: 101-115
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 -第2報:固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 (掲載待ち)
- NAID
  10015505910
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Development of non-contact classifying systems by use of acoustic levitation
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Inada, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima and Takuya Ito
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: (掲載決定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 -第2報:固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 (掲載待ち)
- NAID
  10015505910
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350065
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding -Influence of Tool Stiffness-
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int. J. Manufacturing Science ＆ Technology, (印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
- 雑誌名
  
  Int.J.Manufacturing Science ＆ Technology, Key Engineering Materials (to be published)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360061
[学会発表] マグネシウムシリサイドウエハ表層の顕微Raman3D 断層イメージング2024
- 著者名/発表者名
  渡邉和馬，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波，鵜殿治彦
- 学会等名
  応用物理学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Observation of potential failures in ceramic cutting tools using microscopic Raman imaging2024
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryohei Tazawa, Shuo Liu, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性（第3報）－シングルとマルチ・スクラッチにおける現象の相違－2024
- 著者名/発表者名
  清水淳，三枝剣悟，林旺票，金子和暉，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] 3D Micro-Raman Tomographic Measurement on Subsurface of Magnesium Silicide Wafer2024
- 著者名/発表者名
  Kazuma Watanabe, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou and Haruhiko Udono
- 学会等名
  The 13th Advanced Lasers and Photon Sources Conference (ALPS2024)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測2023
- 著者名/発表者名
  柴教一郎，小貫哲平，黒田隼乃介，茂垣有亮，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] ポテンシャル制御を用いたシリコンCMPの分子動力学解析における砥粒強度の影響2023
- 著者名/発表者名
  橋村紀香，金子和暉，清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] Characterization of Subsurface Damaged Layers in Wide-bandgap Semiconductor Wafers Using High-resolution Depth Slice Raman Imaging2023
- 著者名/発表者名
  Kyo-ichiro Shiba, Teppei Onuki, Jun-nosuke Kuroda, Yusuke Mogaki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou,
- 学会等名
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] ロータリインフィード研削におけるウェハ温度の解析及び評価2023
- 著者名/発表者名
  塩見山太郎, 髙橋清樹, 周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆, 金子和暉
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性（第2報）－nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察－2023
- 著者名/発表者名
  清水淳，林旺票，矢野直彦，三枝剣悟，金子和暉，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Study on Machining Anisotropy of C-plane Sapphire Wafer by Nanoscratching Experiments2023
- 著者名/発表者名
  Kengo Saegusa, Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] 環境調和半導体マグネシウムシリサイドウエハ表面への顕微Raman断層イメージング計測2023
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 渡邉和馬, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波, 鵜殿治彦
- 学会等名
  茨城講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Abrasive Wear of Hcp Crystal to Clarify Nanoscratch Phenomena of C-plane Sapphire Wafer2023
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Kengo Saegusa, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC 2023), Fukuoka
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] 顕微Raman イメージング非破壊検査技術の工具品質計測への応用2023
- 著者名/発表者名
  劉爍, 小貫哲平, 黒田隼乃介, 柴教一郎, 金子和暉, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  精密工学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] First-principles electronic structure calculation for analyzation of crystallographic damage states in Raman spectral data2022
- 著者名/発表者名
  Jun-nosuke KURODA, Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 学会等名
  The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Mechanical Polishing of Si Wafer using Potential Control2022
- 著者名/発表者名
  Norika Hashimura, Jun Shimizu, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] ナノスクラッチによるC面単結晶サファイア基板の加工特性の検討（単溝スクラッチにおける加工異方性）2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会第14回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 顕微Raman断層イメージング計測における測定データ品質指標の検討2022
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，黒田隼乃介，劉爍，柴教一郎，金子和暉，尾嶌裕隆，清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Micro Raman Tomographic Imaging on Laser Beam Internal Damage into Sapphire for Laser Cleaving Process2022
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Junnosuke KURODA, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  The 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO Pacific Rim, CLEO-PR 2022）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 第一原理電子構造計算によるRamanスペクトルシミュレーションを用いた結晶格子損傷状態の解析法の検討2022
- 著者名/発表者名
  黒田隼乃介, 小貫哲平, 金子和暉, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] hcp結晶の分子動力学解析結果を利用したc面サファイアのアブレシブ摩耗特性の評価2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，山本武幸
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議2022春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] シリコンCMPの分子動力学シミュレーション第１報：ポテンシャル制御に基づく化学的作用のモデル化2022
- 著者名/発表者名
  金子和暉，橋村紀香，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第７報）－テクスチャ表面の摩耗挙動－2022
- 著者名/発表者名
  大矢一輝，山本武幸，清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，深堀良彬
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Improvement of Tribological Properties by Surface Texturing Applying Vibration-Assisted Cutting2022
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu
- 学会等名
  International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2022)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Boundary Lubricity of Metal Surfaces Textured by Vibration-assisted Cuttin2022
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kazuki Ohya, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Kazuki Kaneko, Yoshiaki Fukahori
- 学会等名
  International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Study on Brittle-Ductile Transition in Grinding Process on Sapphire Wafer Using Micro-Raman Tomographic Imaging2022
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  The 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2022)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性－nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性－2022
- 著者名/発表者名
  三枝剣悟，林　王票，矢野直彦，清水　淳，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 微小振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターンの周期的配置による金属表面の乾式すべり特性2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第４報）－hcp 結晶のアブレシブ摩耗異方性－2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Study on Abrasive Wear Mechanism of C-plane Sapphire Using Nanoscratch Test and Molecular Dynamics Simulation of HCP Crystal2022
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kengo Saegusa
- 学会等名
  The 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第5報）－境界潤滑における油量の影響－2021
- 著者名/発表者名
  菊池晃太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第２報）－スライダの強度による影響に関する検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第３報）－hcp結晶の加工異方性に関する検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Observation on abrasive wear damages on engineering ceramics using micro-Raman tomography2021
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  Proceedings of 11st International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 局所静水圧が切削現象に及ぼす効果の分子動力学シミュレーション―転がり要素の適用―2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第5報）－境界潤滑における油量の影響－2021
- 著者名/発表者名
  菊池晃太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Friction and Wear Behaviors of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2021
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] hcp 結晶の分子動力学解析を用いたc 面サファイアのアブレシブ摩耗特性の考察2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，山本武幸
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議2021秋
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Localized Hydrostatic Pressure-Assisted Cutting with a Rolling Element2021
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Friction Characteristics of Metal Surfaces Textured by Vibrationassisted Cutting under Lubricated Environment2021
- 著者名/発表者名
  Daiki Hagio, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第６報）－境界潤滑におけるすべり速度の影響－2021
- 著者名/発表者名
  山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Micro Raman Tomographic Imaging on Laser Beam Internal Machining into Sapphire2021
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  the 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第５報）－境界潤滑における初歩的な検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水淳，山本武幸，菊池晃太，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議2021春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 工学的計測データ分析のための深層学習モデル開発の研究2021
- 著者名/発表者名
  木戸浦建吾、小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 振動援用切削によるテクスチャ表面の潤滑特性の評価2021
- 著者名/発表者名
  萩尾大輝，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第３報）ー塑性盛上りの除去による効果ー2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 中山智隆, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第１報）－酸化膜による影響に関する検討－2020
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 分子動力学シミュレーションによるhcp 結晶の変形・摩耗挙動の解析2020
- 著者名/発表者名
  矢野直彦, 林　旺票, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  18th International conference on Precision Engineering (ICPE2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第4報）－境界潤滑条件下における検討－2020
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 菊池晃太
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削によるテクスチャ表面の乾式すべり特性2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 菊池晃太
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第４報）－容積と面積密度の影響－2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議秋別府
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  18th International conference on Precision Engineering (ICPE2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第2報）ーテクスチャ面積密度の影響ー2019
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 中山智隆, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Surfaces by Vibration-Assisted Microcutting in Dry Sliding2019
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC 2019), Sendai
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 顕微Raman断層計測によるサファイア研削面損傷の評価2019
- 著者名/発表者名
  管駿輔, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  先進テクノフェアATF（Advanced Technology Fair）2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 放電付加加工による表面テクスチャの創成（第1報）―直線走査による単純テクスチャの創成―2019
- 著者名/発表者名
  小井沼陽希, 石井雅人, 川尻淳裕, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第３報）－塑性盛上り除去と被覆率の効果－2019
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議2019春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による切削性能への効果―2019
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 小松崎一気
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Investigation on high temperature grinding of mono-crystal sapphire wafer2018
- 著者名/発表者名
  Nao Sugano, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Ken Ishibashi, Mituru Kaneyasu
- 学会等名
  The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] ロータリー型インフィード平面研削メカニズムに関する研究－無線式動力計の開発と研削抵抗の評価－2018
- 著者名/発表者名
  石橋　憲, 月井裕太, 蛯名雄太郎, 周　立波, 清水　淳, 山本武幸, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2018)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] サファイアへの深部レーザ加工の検討2018
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水　淳, 周　立波
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による検討―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 芦野洸人, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] CFRP穴開け加工機および加工プロセスの開発2018
- 著者名/発表者名
  青柳晃太, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平
- 学会等名
  第19回高エネ研メカ・ワークショップ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] マイクロ切削による表面テクスチャがすべり時のなじみ過程に及ぼす影響―慣用および振動援用切削の比較―2018
- 著者名/発表者名
  中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] サファイアウエハの研削メカニズムに関する研究―盛り上がり係数が除去モードに及ぼす影響―2018
- 著者名/発表者名
  長谷川滉輔, 菅野直, 周立波, 清水淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  第26回茨城講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Rolling Element2018
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Kazuki Komatsuzaki
- 学会等名
  International Conference on Precision Engineering (ICPE2018), Kamakura
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Comparative investigation of subsurface damages induced on sapphire with different machining methods using micro Raman spectroscopy2018
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ke Wu, Kazuki Kamoshida, Piao Lin, Nao Sugano, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] CRFP穴あけ加工機および加工プロセスの開発2018
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆, 青柳晃汰, 宇野倫和, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Sliding Element2018
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018), Toronto, Canada
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による検討―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 芦野洸人, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Development of high efficiency CMG pellets for finishing mono-crystal sapphire2018
- 著者名/発表者名
  Jianbin Wang, Tomohito Maezaki, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議春東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Running-in Behavior of Mechanically Microtextured Metal Surfaces in Dry Sliding2018
- 著者名/発表者名
  Tomotaka Nakayama, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kouta Watanabe
- 学会等名
  The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018), Kamakura
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 単結晶サファイアウエハの湿式・乾式研削の比較2018
- 著者名/発表者名
  前崎智博, Wang Jianbin, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Cu-W細電極による微小放電堆積過程の検討2018
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 石井雅人, 小井沼陽希, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第2報）― 被覆率による影響 ―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議秋伊勢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Cross-sectional measurement of laser damage in sapphire using confocal micro Raman spectrometer2018
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Kazuki Kamoshida, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] C面サファイア基板のナノ引っかきに関する研究－hcp金属のナノ引っかきシミュレーションによる変形挙動の解析－2018
- 著者名/発表者名
  林旺票, 清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 矢野直彦
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2018)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発－微小切削実験と分子動力学解析－2017
- 著者名/発表者名
  清水淳，山本武幸，尾嶌裕隆，小貫哲平，周立波，市村浩貴
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学（矢上）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting Method2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Hiroto Ashino
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討―ナノインデント試験結果と酸化膜の影響を考慮したモデルによる検討―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジー学会　トライボロジー会議2017春東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討―FFMによる摩擦・摩耗実験とシミュレーションとの比較―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジー学会　トライボロジー会議2017秋香川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] The development of hybrid-feed system and technology of CFRP machining2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Takenouchi, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Teppei Onuki, Jun Shimizu
- 学会等名
  9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Cu-W細電極による微小放電堆積加工メカニズム2017
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 石井雅人, 高濱　到, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Raman analysis of machining qualities on ground surfaces of sapphire wafers2017
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ke Wu, Nao Sugano, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu1 and Libo Zhou
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Examination of Micro EDM Deposition Mechanism using Thin Cu-W Electrode2017
- 著者名/発表者名
  Masato Ishii, Itaru Takahama, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Study on the Effect of Grain Size Variation on Ground Surface Roughness2017
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Maezaki, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Masatomo Inui, Yutaro Ebina and Libo Zhou
- 学会等名
  7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Study on Nanoscratching of C-plane Sapphire Wafer2017
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima and Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of wireless dynamometer for rotary infeed surface grinding2017
- 著者名/発表者名
  Yuta Tsukii, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] ハイブリッド送り機構を用いたCFRP研削加工機の開発2017
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆, 竹之内大輔, 青柳晃汰, 周立波, 清水淳, 小貫哲平
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべり式冶具を用いた旋削実験―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周　立波, 芦野洸人
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Analysis of variance in optical inspections of wafer thickness2017
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting Method2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Hiroto Ashino
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Development of localized compressive hydrostatic stress-assisted cutting method: Examination by molecular dynamics simulation and microcutting experiment2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Keito Uezaki
- 学会等名
  euspen's 17th International Conference & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] The development of hybrid-feed system and technology of CFRP machining2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Takenouchi, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Jun Shimizu
- 学会等名
  The 9th International Conference on Leading Edge Manufacuturing in 21st Century
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] Study on micro EDM deposition in Ar atmosphere2016
- 著者名/発表者名
  Itaru Takahama, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  アクトシティ浜松
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討 ―ナノインデント試験を用いた二固体間ポテンシャル関数の導出―2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議(新潟 2016-10)
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Theoretical analysis on effects of grain size variation2016
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  19th Int’l Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2016)
- 発表場所
  Stockholm/Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Texturing of metal surface by using vibration-assisted microcutting2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  euspen's 16th International Conference & Exhibition
- 発表場所
  East Midlands Conference Centre, Nottingham, UK
- 年月日
  2016-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 研削シリコンウエハのナノ引っかき2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票, 周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学（姫路）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Stress analysis of LT wafer during grinding process2016
- 著者名/発表者名
  Wentong LU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Int’l Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] CFRP の穴あけ加工技術の開発2016
- 著者名/発表者名
  會田和樹, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平
- 学会等名
  第17回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  KEK３号館１階セミナーホール（茨城県つくば市）
- 年月日
  2016-04-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] Theoretical analysis on effects of grain size variation2016
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  19th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2016)
- 発表場所
  Stockholm/Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 振動援用切削によるサブミクロンスケールの表面テクスチャ加工2016
- 著者名/発表者名
  小島純弥，渡辺康太, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会関東支部・精密工学会　茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学（日立）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Stress analysis of LT wafer during grinding process2016
- 著者名/発表者名
  Wentong LU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] アルゴンガス中におけるマイクロ放電堆積に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  高濱　到, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  第17回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構（つくば）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第４報）－振動援用引っかき条件の微小化－2016
- 著者名/発表者名
  渡辺康太，山本武幸，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学（野田）
- 年月日
  2016-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測の誤差特性2016
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Cu-W電極を用いた微小放電堆積加工2016
- 著者名/発表者名
  高濱　到，石井雅人，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学（水戸）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements2016
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Yuki NEMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements2016
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Yuki NEMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  Int’l Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究‐第一報‐2016
- 著者名/発表者名
  根本祐気，小貫哲平，蛯名雄太郎，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] ハイブリッド送り機構を用いたCFRP加工技術の開発2016
- 著者名/発表者名
  會田和樹, 竹之内大輔, 尾嶌裕隆, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平, 山本武幸
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県水戸市）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06001
[学会発表] Fabrication and characterisation of nanoscale structures on Si wafer using nanoscratching and molecular dynamics simulation2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu
- 学会等名
  International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS2016)
- 発表場所
  Cordelier Campus of the University Pierr, Paris, France
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Texturing of metal surface by using vibration-assisted microcutting2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  euspen's 16th International Conference & Exhibition
- 発表場所
  East Midlands Conference Centre, Nottingham, UK
- 年月日
  2016-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference 2015
- 発表場所
  東京理科大学（葛飾）
- 年月日
  2015-09-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
- 発表場所
  Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-09-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Study on the Effects of Chemical Agents and Environment on Material Removal Rate in Sapphire Polishing2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  he 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] イメージングウェハ厚さ全面計測技術の開発2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第16回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構　つくば
- 年月日
  2015-04-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 振動援用引っかきによる表面微小テクスチャリング2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，岡山幸洋
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（春）
- 発表場所
  姫路商工会議所
- 年月日
  2015-05-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Machining quality controls in ultrashort pulse laser micromachining on lithium Niobate substrates2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou, Itaru Takahama, Kazuki Kamoshida
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工－簡単な表面テクスチャの創成－2015
- 著者名/発表者名
  山本武幸，薄憲司朗，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水　淳，周　立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（川内北）
- 年月日
  2015-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  The 18th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2015)
- 発表場所
  Jeju island, Korea
- 年月日
  2015-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference 2015
- 発表場所
  東京理科大学（葛飾）
- 年月日
  2015-09-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
- 発表場所
  Hyatt Regency, Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Molecular dynamics simulation of relationship between friction anisotropy and atomic-scale stick-slip phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 研削シリコンウエハ加工変質層のナノインデンテーション2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学（日吉）
- 年月日
  2015-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 振動援用切削による表面微小テクスチャ加工2015
- 著者名/発表者名
  渡辺康太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会関東支部主催「茨城講演会」
- 発表場所
  茨城大学工学部
- 年月日
  2015-08-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications (CMCEE)
- 発表場所
  Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Molecular dynamics simulation of relationship between friction anisotropy and atomic-scale stick-slip phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究‐第一報‐2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，根本祐気，蛯名雄太郎，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-06-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Relationship between Friction Anisotropy and Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  京都リサーチパーク
- 年月日
  2015-10-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-06-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Study on the Effects of Chemical Agents and Environment on Material Removal Rate in Sapphire Polishing2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-09-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 局所圧縮静水圧場の生成を伴う切削過程の分子動力学シミュレーション－工具形状の改良－2015
- 著者名/発表者名
  清水淳，植崎圭人，馬海東，宮田翔哉，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（川内北）
- 年月日
  2015-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 光スペクトラムアナライザを用いたウェハ厚さ計測2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Machining quality controls in ultrashort pulse laser micromachining on lithium Niobate substrates2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou, Itaru Takahama, Kazuki Kamoshida
- 学会等名
  he 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工－マイクロ溝加工の検討－2014
- 著者名/発表者名
  山本武幸，植崎圭人，岩井俊樹，小貫哲平，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学（鳥取）
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 薄シリコンウェハ検査における白色光干渉断層計と白色光分光厚さ計の比較検討2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第61回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] ウェハ極薄化加工におけるオンサイト厚さ計測技術2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第15回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構
- 年月日
  2014-04-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 振動援用引っかきによる掘起しを利用した表面微小テクスチャリング2014
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平，岡山幸洋
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（秋岩手）
- 発表場所
  アイーナいわて
- 年月日
  2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢
- 年月日
  2014-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 固定砥粒ダイヤモンド砥石構造のモデル化2014
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 分子動力学によるシリコンウエハ加工変質層のナノインデンテーションの解析2014
- 著者名/発表者名
  古牧允彦，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Development of Areal Wavelet Transform applying to 2D image2013
- 著者名/発表者名
  鈴木泰樹，尾嶌裕隆，周立波，清水淳，小貫哲平
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会国際フォーラム
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of Microtextured Photocatalytic Surface by Vibration-assisted Scratching2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  THERMEC 2013
- 発表場所
  Rio Hotel, Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 4H-SiC ウエハの鏡面研削加工技術2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 周立波, 清水淳, 成田潔
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2013
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] レーザアブレーション微細加工における材料除去と変質・損傷発生機構解明と制御2013
- 著者名/発表者名
  村山一平,小貫哲平,尾嶌裕隆,清水淳,周立波
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Control of the incubation effects in pulsed laser micro machining on ferroelectric lithium niobate substrates2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ippei Murayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  ホテル松島大観荘（宮城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] ダイヤモンド砥石における砥粒切れ刃の3次元分布2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎,杭偉,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,渡辺拓也
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第2報）－振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化－2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学（大岡山）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 脆性強誘電体材料(LiNbO3)への非熱的レーザアブレーション微細加工技術2013
- 著者名/発表者名
  村山一平, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水　淳, 周　立波
- 学会等名
  第14回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  筑波
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 高品位サファイアウエハの研削加工技術2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎,周立波, 清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2013
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] レーザアブレーション微細加工における材料除去と変質・損傷発生機構解明と制御2013
- 著者名/発表者名
  村山一平，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of Areal Wavelet Transform applying to 2D image2013
- 著者名/発表者名
  鈴木泰樹,尾嶌裕隆,周立波,清水淳,小貫哲平
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Yutaro EBINA, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  日本機械学会，6th Int’l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 薄ウェハデバイス加工・検査工程の研究開発‐反射分光計測技術をベースとした検査技術‐2013
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  STARCワークショップ
- 発表場所
  新横浜国際ホテル
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 高品位サファイアウエハの研削加工技術2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 周立　波, 清水　淳
- 学会等名
  砥粒加工学会、ABTEC2013
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用(第2報)-振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化-2013
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学(大岡山)
- 年月日
  2013-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 4H-SiC ウエハの鏡面研削加工技術2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 周　立波, 清水　淳, 成田　潔
- 学会等名
  砥粒加工学会、ABTEC2013
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる単結晶サファイアウェーハの平坦加工技術に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  田代芳章, 周立波, 清水淳, 三井義則, 篠田知顕
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2013
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  ホテル松島大観荘（宮城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第2報）－振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化－2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学（大岡山）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる単結晶サファイアウェーハの平坦加工技術に関する研究遊離砥粒方式に代替する新たなソリューションの提供2013
- 著者名/発表者名
  田代芳章, 周　立波, 清水　淳, 三井義則, 篠田知顕
- 学会等名
  砥粒加工学会、ABTEC2013
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用(第2報)-振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化-2013
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学(大岡山)
- 年月日
  2013-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Development of fixed diamond abrasive pellet for final finishing of monocrystallined sapphire wafers2013
- 著者名/発表者名
  Yoshiaki TASHIRO, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Noriaki SHINODA, Yoshinori MITSUI
- 学会等名
  Proceedings of 7th LEM21
- 発表場所
  Sendai/Japan (査読有,298-301)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Control of the incubation effects in pulsed laser micro machining on ferroelectric lithium niobate substrates2013
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Ippei MURAYAMA, Takeyuki YAMAMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 学会等名
  Proceedings of 7th LEM21
- 発表場所
  Sendai/Japan (査読有,67-70)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of fixed diamond abrasive pellet for final finishing of mono-crystallined sapphire wafers2013
- 著者名/発表者名
  Yoshiaki TASHIRO, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Noriaki SHINODA, Yoshinori MITSUI
- 学会等名
  日本機械学会，6th Int’l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第３報）－圧子の稜を用いた微小切削によるテクスチャパターンの複雑化－2013
- 著者名/発表者名
  山本武幸，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学（千里山）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Yutaro EBINA, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Proceedings of 6th LEM21
- 発表場所
  Sendai/Japan (査読有,79-84)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 脆性強誘電材料(LiNbO_3)への非熱的レーザアブレーション微細加工技術2013
- 著者名/発表者名
  村山一平,小貫哲平,尾嶌裕隆,清水淳,周立波
- 学会等名
  第14回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  筑波
- 年月日
  2013-04-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] ダイヤモンド砥石における砥粒切れ刃の3次元分布2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎，杭偉，周立波，清水淳小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，渡辺拓也
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション－シリコンウエハ-砥粒間の凝着の影響－2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 古牧允彦
- 学会等名
  砥粒加工学会、ABTEC2013
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション-シリコンウエハ/砥粒間の凝着の影響-2013
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 古牧允彦
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2013
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 反射分光式シリコンウェハ厚さ計で用いる短波長近赤外帯(SWIR)光学定数分散の検討2013
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、小野竜典、鈴木晃、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 掘起しの有効活用による表面微小テクスチャの創成2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（秋福岡）
- 発表場所
  アクロス福岡（福岡県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響-セリア砥粒による前加工面のナノスクラッチ実験-2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学(京田辺)
- 年月日
  2012-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 掘起しを利用した微小テクスチャ加工に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- 年月日
  2012-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] 定在音場における微粒子分級の一考案2012
- 著者名/発表者名
  伊藤拓哉，稲田智広，牛腸広人，周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械分門講演会
- 発表場所
  秋田県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 原子スケールのスティックスリップ現象を伴う摩擦におけるエネルギー散逸過程の分子動力学解析2012
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 学会等名
  日本機械学会第４回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 固定砥粒によるシリコンウエハの薄片化に関する加工技術2012
- 著者名/発表者名
  谷口博則,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆,呉天旭
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  秋田県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響2012
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，高野巧一郎
- 学会等名
  2012年度砥粒加工学会（ABTEC2012）
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響－セリア砥粒による前加工面のナノスクラッチ実験－2012
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学（京田辺）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 音響浮揚を用いた微粒子分級法に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  牛腸広人,伊藤拓哉,稲田智広,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第20回茨城講演会論文集
- 発表場所
  茨城大学 (11-114)
- 年月日
  2012-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 音響浮揚を用いた微粒子分級法に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  牛腸広人，伊藤拓哉，稲田智広，周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第20回茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学日立キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] ナノインデンテーションにおけるデータの解析手法2012
- 著者名/発表者名
  杭偉,周立波,清水淳,山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2012
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Si ウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響2012
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2012
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] ナノインデンテーションにおけるデータ解析手法2012
- 著者名/発表者名
  杭偉，周立波，清水淳，山本武幸
- 学会等名
  2012年度砥粒加工学会（ABTEC2012）
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 分子動力学によるすべり摩擦機構の解析-原子スケールのスティックスリップ現象におけるエネルギー散逸-2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議
- 発表場所
  室蘭工業大学
- 年月日
  2012-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 原子スケールのスティックスリップ現象を伴う摩擦におけるエネルギー散逸過程の分子動力学解析2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 原子スケールのスティックスリップ現象を伴う摩擦におけるエネルギー散逸過程の分子動力学解析2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] 定在音場における微粒子分級の一考案2012
- 著者名/発表者名
  伊藤拓哉,稲田智広,牛腸広人,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械分門講演会論文集
- 発表場所
  秋田県立大学 (265-266)
- 年月日
  2012-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 掘起しを利用した微小テクスチャ加工に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- 年月日
  2012-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 分子動力学によるすべり摩擦機構の解析－原子スケールのスティックスリップ現象におけるエネルギー散逸－2012
- 著者名/発表者名
  清水　淳
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議
- 発表場所
  室蘭工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 高野巧一郎, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 山本武幸, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(角間)
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2011
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
- 発表場所
  Hyatt Regency Perth, Australia
- 年月日
  2011-12-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] 微小切削テクスチャによる光触媒機能の向上に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 小林剛, 清水淳, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(角間)
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.SHIMIZU, W.OHSONE, H.OJIMA, T.ONUKI, L.ZHOU, T.YAMAMOTO
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  Int'l Tribology Conference 2011
- 発表場所
  Hiroshima, Japan
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  Int'l Tribology Conference 2011
- 発表場所
  Hiroshima, Japan
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, L.Zhou, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  Int'l Tribology Conference 2011
- 発表場所
  Hiroshima, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  大宮ソニックシティ
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  Int'l Tribology Conference 2011
- 発表場所
  広島国際会議場
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Image based defect detection Algorithm by use of wavelet transformation2011
- 著者名/発表者名
  Kaoru TAKAMORI, Hirotaka OJIMA, Libo ZHOU, Teppei ONUKI, Jun SHIMIZU and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Proceedings of 6thLEM21
- 発表場所
  Saitama/Japan (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Image based defect detection Algorithm by use of wavelet transformation2011
- 著者名/発表者名
  K.TAKAMORI, H.OJIMA, L.ZHOU, T.ONUKI, J.SHIMIZU, T.YAMAMOTO
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  Int'l Tribology Conference 2011
- 発表場所
  広島国際会議場
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  大宮ソニックシティ
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- 発表場所
  金沢大学(角間)
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2010
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
- 発表場所
  Hyatt Regency Perth (Australia)
- 年月日
  2010-12-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2010
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu
- 学会等名
  International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
- 発表場所
  Hyatt Regency Perth (Australia)
- 年月日
  2010-12-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2010
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  International Tribology Congress(ASIATRIB 2010)
- 発表場所
  Hyatt Regency Perth, Australia
- 年月日
  2010-12-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] CMG砥石の開発に関する研究2010
- 著者名/発表者名
  三上祐樹, 高橋秀典, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会・ATF2010
- 発表場所
  東京・PIO
- 年月日
  2010-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reactions Assisted Grinding with Control of Interatomic Potential Parameters2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  World Tribology Congress 2009 (WTC2009), Kyoto
- 発表場所
  国立京都国際会館(京都府)
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] 大口径薄片SiウエハのOn-machine 3D形状計測システムの開発第2報2009
- 著者名/発表者名
  野々村和隆, 小野真志, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  日本機械学会・茨城講演会
- 発表場所
  茨城県,筑波大学
- 年月日
  2009-08-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] シリコンウエハ研削における切込み回数の影響の分子動力学シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会2009年度学術講演会(ABTEC2009)
- 発表場所
  ものつくり大学(埼玉県)
- 年月日
  2009-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削・研磨現象の分子動力学シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 学会等名
  トライボロジー会議2009春
- 発表場所
  東京,国立オリンピック記念青少年総合センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Research on Enhancement of Photocatalystic Activities of Titanium Dioxide Film Surface by Generating Microcutting Grooves2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  大阪大学(大阪府)
- 年月日
  2009-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] Development of integrated cup grinding wheel for Si wafer thinning process2009
- 著者名/発表者名
  田業氷, 周立波, 佐藤悠, 清水淳, 山本武幸
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  中央大学後楽園キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 物理・化学作用によるSiC加工に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  三浦伸互, 周立波, 清水淳, 山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会・茨城講演会
- 発表場所
  茨城県,筑波大学
- 年月日
  2009-08-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Modeling and Analysis of Effects of Machine Tool Stiffness and Cutting Path Density on Infeed Surface Grinding of Silicon Wafer2009
- 著者名/発表者名
  L. Zhou, T. Mitsuta, J. Shimizu, T. Tajima
- 学会等名
  Advanced Materials Research
- 発表場所
  Gold Coast/Australia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] ポテンシャルパラメータ制御によるシリコンウエハ化学作用援用研削・研磨現象の分子動力学シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議2009春東京
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター(東京都)
- 年月日
  2009-05-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] CMGによるエタロン基板加工に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  佐藤悠, 田業氷, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  日本機械学会第48回学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] マイクロ加工による光触媒機能制御に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  岩手大学(岩手県)
- 年月日
  2009-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] Effects of Sodium Carbonate and Ceria Concentration on Chemo-Mechanical Grinding of Single Crystal Si Wafer2009
- 著者名/発表者名
  H. Takahashi, Y.B. Tian, J. Sasaki, J. Shimizu, L. Zhou, Y. Tashiro, H. Iwase, S. Kamiya
- 学会等名
  Advanced Materials Research
- 発表場所
  Gold Coast/Australia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Study on ultra-precision machining process of silicon-based etalon, -Effects of diamond grinding on breakage of ultra-thin etalon-2009
- 著者名/発表者名
  H. SATO, Y.B. TIAN, J. SHIMIZU, L. ZHOU
- 学会等名
  Proceedings of Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Kitakyushu/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Chemo-Mechanical Grinding by Controlling Interatomic Potential Parameters to Imitate Chemical Reaction2009
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto
- 学会等名
  Advanced Materials Research
- 発表場所
  Gold Coast/Australia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] シリコンウエハ研削における切込み回数の影響の分子動力学シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会・ABTEC2009
- 発表場所
  埼玉県・ものつくり大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 光触媒膜に関する基礎的研究(第2報)-マイクロ切削によるテクスチャリングの効果-2009
- 著者名/発表者名
  清水淳, 梓沢慶介, 北條敬之, 周立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  中央大学後楽園キャンパス
- 年月日
  2009-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] Study on ultra-precision machining process of silicon-based etalon, -Effects of diamond grinding on breakage of ultra-thin etalon-2009
- 著者名/発表者名
  Hisashi SATO, Yebing TIAN, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  Asian Symposium for Precision Engineering and Nanote chnology 2009
- 発表場所
  Kitakyushu/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] CMG (Chemo-mechanical grinding)砥石およびCMGプロセスの開発に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  高橋秀典, 佐々木淳一, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  日本機械学会第48回学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Research on Chemical Reaction Assisted Ultra-short Pulsed Laser Cleavage-cutting of Sillicon Wafer2009
- 著者名/発表者名
  Takashi Mizoguchi, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
- 発表場所
  Osaka/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] A Novel Single Step Thinning Process for Extremely Thin Si Wafers2009
- 著者名/発表者名
  Y.B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, H. Sato, R.K. Kang
- 学会等名
  Advanced Materials Research
- 発表場所
  Gold Coast/Australia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Influence of Two-dimensional Stick-slip Phenomenon on Atomic-scale Friction Anisotropy2009
- 著者名/発表者名
  清水淳
- 学会等名
  Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009 (ASPEN2009)
- 発表場所
  小倉ステーションホテル(福岡県)
- 年月日
  2009-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] 化学作用を模擬したシリコンウエハ研削・研磨加工の分子動力学シミュレーション2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  明治大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-反復と試料-プローブ間距離が陽極酸化パターンに及ぼす影響-2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 陶久夢高, 周立波, 山本武幸, 青木俊暁
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] シリコンウエハのナノスクラッチングに関する研究2008
- 著者名/発表者名
  川口恵理子, 陶久夢高, 清水淳, 周立波, 山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学日立キャンパス
- 年月日
  2008-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Observation of Surface Topography during Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process2008
- 著者名/発表者名
  田業氷, 佐藤悠, 佐々木淳一, 周立波, 清水淳, 山本武幸
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 光触媒膜に関する基礎的研究-表面性状の影響-2008
- 著者名/発表者名
  梓沢慶介, 石井勇多, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  明治大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] ステレオ法による三次元計測および形状データ構築2008
- 著者名/発表者名
  大塚春樹, 笹本侑弥, 尾嶌裕隆, 周立波, 清水淳, 江田弘
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  明治大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 電気・機械的手法によるナノ構造の創成に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  長良川国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] シリコンウエハ研削における凝着の影響の分子動力学シミュレーション2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 江田弘, 周立波
- 学会等名
  トライボロジー会議2008春
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] CMGによる大口径石英ガラスの研削加工2008
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 椎名剛志, 山本武幸, 田代芳章
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会
- 発表場所
  滋賀県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会
- 発表場所
  滋賀県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-反復と試料-プローブ問距離が陽極酸化パターンに及ぼす影響-2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 陶久夢高, 周立波, 山本武幸, 青木俊暁
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] シリコンウエハ研削における凝着の影響の分子動力学シミュレーション2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 江田弘, 周立波
- 学会等名
  (社)日本トライボロジー学会トライボロジー会議
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- 年月日
  2008-05-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] 大口径・高平坦・極薄Siウエハの評価及び加工技術に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  光田孝仁, 小野真志, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会
- 発表場所
  滋賀県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 高能率CMG砥石の開発2008
- 著者名/発表者名
  佐藤悠, 佐々木淳一, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学日立キャンパス
- 年月日
  2008-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 細胞操作用マイクロマニピュレータの最適経路生成に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆, 土屋大基, 周立波, 清水淳, 江田弘
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  明治大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 引っかきによるナノパターン創成に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 大谷健太郎
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会
- 発表場所
  滋賀県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 引っかきによるナノパターン創成に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 大谷健太郎
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  滋賀県立大学
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20656028
[学会発表] 原子間ポテンシャルパラメータの制御によるシリコンウエハ機械・化学研削の分子動力学シミュレーション2008
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会第21回計算力学講演会
- 発表場所
  琉球大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 超短パルスレーザによる単結晶ダイヤモンド加工に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  精密工学会・第15回学生会員卒業研究発表
- 発表場所
  明治大学
- 年月日
  2008-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 大口径薄片SiウエハのOn-Machine 3D形状計測システムの開発2008
- 著者名/発表者名
  小野真志, 光田孝仁, 周立波, 清水淳
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学日立キャンパス
- 年月日
  2008-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Simulation and Experimental Study on Nanoscracthig of Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, H. Okabe, T. Tsumura, Y. Suehisa, L. Zhou, H. EDA
- 学会等名
  Proceedings of Int'l Conference on Tribology in Manufacturing Process (ICTMP) 2007
- 発表場所
  Yokohama/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元2007
- 著者名/発表者名
  笹本侑弥, 大塚春樹, 周立波, 尾嶌裕隆, 清水淳, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding2007
- 著者名/発表者名
  Y. Tashiro, M. Kenmochi, B. Soitani, T. Tsuruga, L. Zhou, J. Shimizu, H. Eda
- 学会等名
  Proceeding of LEM21
- 発表場所
  Fukuoka/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Study on Nanomachining Process of Si Wafer using an Atomic Force Microscope2007
- 著者名/発表者名
  J. SHIMIZU, T. TSUMURA, Y. SUEHISA, L. ZHOU, H. EDA
- 学会等名
  Proceeding of LEM21
- 発表場所
  Fukuoka/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-加工パラメータの陽極酸化パターンに及ぼす影響-2007
- 著者名/発表者名
  陶久夢高, 青木俊暁, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  旭川高専
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 研削加工におけるSiウエハの構造変化2007
- 著者名/発表者名
  周立波, 清水淳, 江田弘, Han Huang
- 学会等名
  ABTEC2007
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Research on CMG of large size silica glass substrate2007
- 著者名/発表者名
  T. Shina, L. Zhou, Z.J Qiu, T. Yamamoto, J. Shimizu, H. Eda
- 学会等名
  Proceeding of LEM21
- 発表場所
  Fukuoka/Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 金型の微細加工に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  川瀬大智, 山本武幸, 周立波, 清水淳.江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] TiO2膜の基本特性に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  梓沢慶介, 石井勇多, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 工具剛性がナノ研削に及ぼす影響の分子動力学シミュレーション2007
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  ABTEC2007
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Siウエハのナノ引っかきによるナノ構造創成の検討2007
- 著者名/発表者名
  津村貴史, 大谷健太郎, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Study on Thinning Process of Large Size Si wafer, Advances in Abrasive technology X2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuruga, B. Soltani, J. Sasaki, T. Mitsuta, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda
- 学会等名
  Proceedings of ISAAT2007
- 発表場所
  Detroit/USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 大口径Siウェハ加工プロセスの評価技術に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  ソルタニ・ホセイニ・バーマン, 光田孝仁, 佐々木淳一, 敦賀達也, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  ABTEC2007
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] プローブ陽極酸化を用いたSi基板上のナノ構造の創成に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  青木俊暁, 陶久夢高, 清水淳, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] ポテンシャルパラメータ制御を施したシリコンウエハ研削の分子動力学シミュレーションーシミュレーションモデルの提案-2007
- 著者名/発表者名
  清水淳, 岡部秀光, 周立波, 江田弘
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  旭川高専
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 石英ガラスのCMG加工に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  土屋大基, 椎名剛志, 周立波, 山本武幸, 清水淳, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 分子動力学シミュレーションによる摩擦異方性の微視的解析2007
- 著者名/発表者名
  清水淳, 江田弘, 周立波
- 学会等名
  トライボロジー会議2007春
- 発表場所
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- 年月日
  2007-05-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 周立波, 清水淳, 江田弘
- 学会等名
  日本機械学会茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2007-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Development of On-machine 3D Measuring System for Large Size Si Wafer Thinning Process, Advances in Abrasive technology X2007
- 著者名/発表者名
  T. Mitsuta, B. Soltani, T. Tsuruga, J. Sasaki, L. Zhou, J. Shimizu, H. Eda
- 学会等名
  Proceedings of ISAAT2007
- 発表場所
  Detroit/USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360056
[学会発表] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  15th International conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢
- 年月日
  2014-07-22 – 2014-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Influence of surface integrity in silicon wafer thickness measurements by reflection spectroscopy
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  The 17th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2014)
- 発表場所
  Courtyard by Marriott King Kamehameha's Kona Beach Hotel, Kona, Hawaii Island, USA
- 年月日
  2014-09-22 – 2014-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 白色反射光計測によるウェハ厚さ測定における表面性状の影響
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005

1. 周立波 (90235705)

共同の研究課題数: 24件

共同の研究成果数: 507件
2. 尾嶌裕隆 (90375361)

共同の研究課題数: 20件

共同の研究成果数: 266件
3. 小貫哲平 (70400447)

共同の研究課題数: 15件

共同の研究成果数: 228件
4. 山本武幸 (40396594)

共同の研究課題数: 14件

共同の研究成果数: 222件
5. 江田弘 (60007995)

共同の研究課題数: 10件

共同の研究成果数: 198件
6. 中野博民 (90257329)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
7. 山本佳男 (20272114)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 神谷純生

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 6件
9. 仇中軍

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 馬書根 (20250988)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 近藤良 (90186867)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 乾正知 (90203215)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 谷山久法 (80110211)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 金子和暉 (60909216)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
15. 岩瀬久雄

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
16. 山下輝樹

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 田代芳章

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
18. 田業氷

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 41件
19. 稲垣正寿

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 渡部和

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 川上辰男

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
22. 石川友彦

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
23. 陸文通

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
24. 館義雄

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 稲村正寿

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 飯田克彦

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. QIO Zhongjun

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
28. 太田一史

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 木村俊一郎

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件

清水 淳 Shimizu Jun

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

実験結果を考慮した分子動力学解析の新たな試みによる弱点克服とトライボ現象の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

トライボ圧縮静水圧による局所的材料硬化を活用した高品位切削法の新開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

清水淳 Shimizu Jun