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江田 弘  EDA Hiroshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60007995
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1996年度 – 2007年度: 茨城大学, 工学部, 教授
1993年度: 茨城大学, 工学部, 教授
1989年度 – 1990年度: 茨城大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作・生産工学 / 機械工作 / 生産工学・加工学
研究代表者以外
機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学 / 知能機械学・機械システム / 機械力学・制御
キーワード
研究代表者
超磁歪材料 / 電子顕微鏡 / アクチュエータ / 超磁歪効果 / センサ / 超精密位置決め / Shape based pattern matching / Tool path generation / Force feedback control / Pixel coordinates … もっと見る / Mechanical / control / Vision sensing / Egg cell / Micro Manipulation system / クローン技術 / 画素座標 / 細胞操作 / 自動化 / ビジュアルセンシング制御 / 形状ベースマッチング / ツールパス生成 / 力覚フィードバック / 画素座標系 / 機械座標系 / 制御 / ビジュアルセンシング / 卵細胞 / マイクロマニピュレーション / Grinding / Fixed abrasives / Alignment control / Ultraprecision positioner / Giant magnetostrictive material / Silicon wafer / 省エネ / 局所クリーンルーム / 研削加工 / 固定砥粒 / 姿勢制御 / 微小位置決め装置 / シリコンウエハ / ACTUATOR / IMAGE PROCESSING / MAN-MACHINE-INTERFACE / MANIPULATOR / MICRO FABRICATION / MICRO MANIFACTURING / MICRO MACHINING / ELECTRON MICROSCOPE / マン-マシンインターフェイス / マンーマシンインターフェイス / 画像処理 / マン-マシン-インターフェイス / マニピュレータ / マイクロファブリケーション / マイクロマニファクチャリング / マイクロマシニング / MICRO SCRATCHING / LAPPING, POLISHING / GRINDING / MICRO PLASTICITY / DUCTILE-MODE MACHINING / MAGNETISM, ELECTRON AND OPTICAL COMPONENT / MULTIPURPOSE MACHINE TOOL / GLASS / サブナノメータ加工 / 動画観察 / 引っかき試験機 / き裂なし加工 / セラミックス / ガラス / 微小引っかき実験 / 研磨 / 研削 / 微小塑性領域 / 延性モード加工 / 磁気・電子・光学部品 / 多目的加工機械 / ガラス材料 / sintered giant magnetostrictive material / actuator / Tb-Dy-Fe alloy / giant magnetostrictive torque sensor / 3 dimension vibration sensor / high band width giant magnetostrictive material / giant magnetostrictive pump / giant magnetostrictive material / 超磁歪焼結材料 / Tb-Dy-Fe合金 / 超磁歪トルクセンサ / 超磁歪ポンプ / 3次元振動センサ / ダイナミカルシステム / 薄板積層デバイス / 磁場中粉末成形 / 広帯域超磁歪材料 / エッチング / き裂 / 塑性変形 / 引っかき / セメンタイト / 炭素鋼 / 遠隔監視装置 / アクチュエーター / トモグラフィ / 地球環境 / 加速度センサー / H∞制御理論 / フイードバック制御 / 構造物制振機構 / 振動解析 / Sub-angstrom-meter / 超加工機械 / Ni.Cu.Cの超精密加工 / 水素無含有表面創成 / 超精密加工表面創成 / 超冷中性子反射鏡・回折鏡 / 超冷中性子貯臓チャンバ / トモブラフィ-開発 / デバイス / Tb_<0.3>Dy_<0.7>Fe_<1.8>Mn_<0.2>Co_<0.2> / 超磁歪アクチュエ-タ / 超磁歪希土類合金 / 磁気回路設計 / 希土類合金 / Tb_×Dy_<(1-y)>Fe_2(Mn.Co) … もっと見る
研究代表者以外
加工変質層 / ECM / CAM / 化学・機械融合加工 / Residual stress / Defect free / Chemo-Mechanical Grinding / Power devices / Damaged layer / Fixed abrasive technology / Extremely thin Si wafer / 完全表面 / 固定砥流加工技術 / 残留応力 / 無歪み / パワー・デバイス / 固定砥粒加工技術 / 極薄Siウエハ / Meso-micro mechanical machining / Desktop Machine / Micro EDM / Micro cutting / Multifunction / Non-Simaterial / Micro-machining / メゾーマイクロ・メカニカル・マニュファクチャリング / メゾ-マイクロ・メカニカル・マニュファクチャリング / デスクトップ・マシン / マイクロ・EDM / マイクロ・カッティング / マルチ・ファンクション / 非シリコン材料 / マイクロ・マシンニング / MOLECULAR DYNAMICS / WORK AFFECTED LAYER / STRAIN RATE / PLASTIC WAVE / PLASTIC FLOW / GRINDING / ULTRA PRECISION MACHINING / SUPER HIGH-SPEED MACHINING / 表面性状 / 風損 / 砥石 / 分子動力学 / ひずみ速度 / 塑性波 / 塑性流動 / 研削 / 超精密加工 / 超高速加工 / layered manufacturing / Multi-axis machining / NURBS interpolation / hardware acceleration / subdivision surface / Mold manufacturing / 積層造形法 / 多軸加工 / NURBS補間 / ハードウェアの利用 / 細分割曲面 / 金型加工 / Rare-earth Alloy / Thermal Expansion / Smart Material / Actuator / Positioner / Positioning Device / Giant Magnetostrictive Material / 微動機構 / 力検出 / フィードバック制御 / 熱補償制御 / 位置決めアクチュエータ / 希土類合金 / 熱膨張 / 機能性材料 / アクチュエータ / ポジショナ / 位置決め装置 / 超磁歪材料 / 平坦度 / 分散補償器 / CMG / 極薄ウエハ / 単結晶シリコン / エタロン / キーワード / 複合材料 / セルフセンシング / 光ファイバー / 形状記憶合金 / 圧電アクチュエータ / システム融合設計 隠す
  • 研究課題

    (18件)
  • 研究成果

    (236件)
  • 共同研究者

    (38人)
  •  CMGによる超高速光通信用可変分散補償器コア要素エタロンの加工技術に関する研究

    • 研究代表者
      周 立波
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究

    • 研究代表者
      周 立波
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  不錆高強度の鋼炭化物適用のマイクロファブリケーションの萌芽研究研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  卵細胞操作用自動マイクロマニピュレーションシステムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  複合超精密マイクロマシンニングシステムと中核技術の開発

    • 研究代表者
      周 立波
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  インテリジェント材料・流体システムに関する国際会議の企画調査

    • 研究代表者
      谷 順二
    • 研究期間 (年度)
      2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      東北大学
  •  高・低温環境対応テレメータ式超磁歪加速度センサの企画調査-地球環境モニタリング-研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  金型加工のスキルレス化のための基盤ソフトウェア構築に関する研究

    • 研究代表者
      乾 正知
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  600m/s超高速・ナノメータオーダ超精密加工機械の開発に関する研究

    • 研究代表者
      清水 淳
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      地域連携推進研究費
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  超磁歪アクチュエータ・センサー適用の構造物制振機構とデバイスの創作研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  磁気・電子・光学部品ガラスのサブナノメータ加工システムと多目的加工機械の創作研究研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  熱補償フィードバック型コンパクトファインポジショナの開発に関する研究

    • 研究代表者
      山本 佳男
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東海大学
      茨城大学
  •  広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  超冷中性子による超精密加工表面の表面性状・構成元素の同時分析に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      茨城大学
  •  超磁歪アクチュエ-タのAC特性評価に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      茨城大学
  •  超磁歪アクチュエ-タに関する研究-新素材の開発とデバイスへの応用-研究代表者

    • 研究代表者
      江田 弘
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      茨城大学

すべて 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] マイクロマシン技術総覧/「第I編第2章第7節:磁歪」,「第III編第3章第2節:超磁歪アクチュエータ」,「第IV編第1章第3節:マイクロアクチュエータの応用」分担2003

    • 著者名/発表者名
      江田弘, 周立波(共著)
    • 総ページ数
      753
    • 出版者
      産業技術サービスセンター
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [図書] Micro Machine Technology Pandect (in Japanese)2003

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Eda, Libo Zhou (coauthor)
    • 出版者
      Sangyo Technology service center
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [図書] ものづくり機械の原理2002

    • 著者名/発表者名
      江田弘, 他多数
    • 総ページ数
      184
    • 出版者
      日刊工業新聞社出版
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [図書] Machining Data File2002

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Eda
    • 出版者
      Technical Research Institute, Japan Society for the Promotion of Machine Industry
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [図書] 加工技術データファイル(基礎編,研削研磨加工)2002

    • 著者名/発表者名
      江田 弘
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      (財)機械振興協会 技術研究所
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [図書] Principle of Machining tools2002

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Eda (coauthor & editor)
    • 出版者
      The Nikkan Kogyo Shimbun LTD.
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Fundamental Research on Generation of Nanostructure by Means of Local Anodic Oxidation2009

    • 著者名/発表者名
      Yumetaka Suehisa, Toshiaki Aoki, Jun Shimizu, Libo Zhou and Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 389-390

      ページ: 424-429

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on Improvement of Material Removal Rate in Chemo-mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer2009

    • 著者名/発表者名
      J. Sasaki, T. Tsumga, B. SoltaniH, T. Mitsuta, Y.B. Tian, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda, Y. Tashiro, H. Iwase and S. Kamiya
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 389-390

      ページ: 13-17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on Improvement of Material Removal Rate in Chemo-mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer2009

    • 著者名/発表者名
      J. Sasaki, T. Tsuruga, B. Soltani., H, T. Mitsuta, Y.B. Tian, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda, Y. Tashiro, H. Iwase, S. Kamiya
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vols.389-390

      ページ: 13-17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on reaction mechanism of Si and pure CeO_2 for chemical-mechanical-grinding process2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kamiya, H. Iwase, K. Kishita, L. Zhou, H. Eda, Y. Yoshida
    • 雑誌名

      J.of Vacuum Science and Technology B Vol.27, No.3

      ページ: 1496-1502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Fundamental Study on Influence of Surface Topography on Photocatalytic Reaction2009

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Azusawa, Yuta Ishii, Jun Shimizu, Libo Zhou and Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 389-390

      ページ: 417-423

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on reaction mechanism of Si and pure CeO_2 for chemical-mechanical-grinding process2009

    • 著者名/発表者名
      Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Keisuke Kishita, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Yuji Yoshida
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B 27/3

      ページ: 1496-1502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Adhesion Effect on Material Removal and Tool Wear in Diamond Grinding of Silicon Wafer2008

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Hidemitsu Okabe
    • 雑誌名

      Tribology Online Vol.3, No.5

      ページ: 248-253

    • NAID

      130000067618

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史, 岡部秀光, 江田弘
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 52/10

      ページ: 601-606

    • NAID

      10021923685

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析2008

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 周立波, 山本武幸, 津村貴史, 岡部秀光, 江田弘
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 Vol.52, No.10

      ページ: 601-606

    • NAID

      10021923685

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Adhesion Effect on Material Removal and Tool Wear in Diamond Grinding of Silicon Wafer2008

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Hidemitsu Okabe
    • 雑誌名

      Tribology Online 3/5

      ページ: 248-253

    • NAID

      130000067618

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Effect of Grinding Wheel Stiffness on Nannarinding Process2008

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Abrasive Technology 1/3・4

      ページ: 316-326

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Effect of Grinding Wheel Stiffness on Nanogrinding Process2008

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int'l J.of Abrasive Technology Vol.1, No.3/4

      ページ: 316-326

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer2007

    • 著者名/発表者名
      L. Zhou, B. S. Hosseini, T. Tsuruga, J. Shimizu, H. Eda, S. Kamiya, H. Iwase, Y. Tashiro
    • 雑誌名

      Int.J.Abrasive Technology Vol.1, No.1

      ページ: 94-105

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of large size silica glass substrate2007

    • 著者名/発表者名
      Takeshi SHIINA, Libo ZHOU, Zhongjun QIU, Takeyuki YAMAMOTO, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceeding of 4th LEM21

      ページ: 65-68

    • NAID

      130007890884

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int. J. Manufacturing Science & Technology (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on Path Control Scheme for Vision Guided Micro Manipulation System2007

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka OJIMA, Hiroyuki ASANO, Genki SHIMIZU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU and Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceeding of 4th LEM21

      ページ: 605-608

    • NAID

      130007891031

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Development of On-machine 3D Measuring System for Large Size Si Wafer Thinning Process2007

    • 著者名/発表者名
      T. Mitsuta, B. Soltani, T. Tsuruga, J. Sasaki, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT2007

      ページ: 75-81

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発2007

    • 著者名/発表者名
      仇 中軍, 周 立波, 尾嶌裕隆, 江田 弘, 今井 亨, 山田昌隆
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 5/51

      ページ: 285-289

    • NAID

      10020137378

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on Thinning Process of Large Size Si wafer2007

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuruga, B. Soltani, J. Sasaki, T. Mitsuta, J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT2007

      ページ: 67-73

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding2007

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Tashiro, Masaaki Kenmochi, Bahman Soitani, Tatsuya Tsuruga, Libo Zhou, Jun Shimizu and Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceeding of 4th LEM21

      ページ: 69-72

    • NAID

      130007890888

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano-Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int. J. Manufacturing Science & Technology 1/9

      ページ: 69-75

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer2007

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Bahman Soltani Hosseini, Tatsuya Tsuruga, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase and Yoshiaki Tashiro
    • 雑誌名

      Int. J. Abrasive Technology 1/1

      ページ: 94-105

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Fundamental Study on Cleavage-Cutting of Silicon Wafer by Ultra-Short Pulsed Laser2007

    • 著者名/発表者名
      Atsushi HAGIYA, Takeyuki YAMAMOTO, Hirotaka OJIMA, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU and Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceeding of 4th LEM21

      ページ: 879-882

    • NAID

      130007890953

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Simulation and Experimental Study on Nanoscracthig of Silicon Wafer2007

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Hidemotsu Okabe, Takashi Tsumura, Yumetaka Suehisa, Libo Zhou and Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceedings of Int'l Conference on Tribology in Manufacturing Process (ICTMP) 2007

      ページ: 307-310

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Study on Nanomachining Process of Si Wafer using an Atomic Force Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      Jun SHIMIZU, Takashi TSUMURA, Yumetaka SUEHISA, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceeding of 4th LEM21

      ページ: 153-156

    • NAID

      130007890917

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-2007

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int.J.Manufacturing Science & Technology Vol.9, No.1

      ページ: 69-75

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] 3D Data Acquisition and Configuration by Means of Binocular Stereopsis2007

    • 著者名/発表者名
      H. Otsuka, Y. Myrakami, Z. Qiu, H. Ojima, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 35th International MATADOR Conference

      ページ: 393-396

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of AFM/FFM Surface Observation: Influence of Probe Tip Shape2007

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou and H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 35th International MATADOR Conference

      ページ: 271-274

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [雑誌論文] Defect-free Favrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 55・1

      ページ: 313-316

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006

    • 著者名/発表者名
      Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
    • 雑誌名

      Proceedings of 1lth International Conference on Precision Engineering (ICPE)

      ページ: 309-303

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006

    • 著者名/発表者名
      Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
    • 雑誌名

      Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering(ICPE)

      ページ: 309-313

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Visual Feedback Control of a Micro Lathe2006

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Ojima, Katsuhiro Saito, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 11th International conference on Precision engineering (ICPE)

      ページ: 133-137

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on subsurface damage generated in ground Si wafer2006

    • 著者名/発表者名
      Soltani Hossini Bahman, Libo Zhou, Tsuruga Tatsuya, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Sumio Kamiya, Hisao Iwase
    • 雑誌名

      Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering (ICPE)

      ページ: 309-313

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] 顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発2006

    • 著者名/発表者名
      石川友彦, 江田 弘, 周 立波, 清水淳, 尾嶌裕隆, 山本佳男, 川上辰男
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 50・6

      ページ: 318-323

    • NAID

      10019172718

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 1/55

      ページ: 313-316

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Defect-free Fabrication for Single Crystal Silicon Substrate by Chemo-Mechanical Grinding2006

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Eda, J.Shimizu, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 55・1

      ページ: 313-316

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Experimental and Simulation Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer2006

    • 著者名/発表者名
      H.Okabe, T.Tsumura, J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 379-384

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Path control scheme for vision guided micro manipulation system2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Asano, Tomohiko Ishikawa, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Zhongjun Qiu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 11th International Conference on Precision Engineering(ICPE)

      ページ: 321-322

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Vibration-Assisted Micro and Nanocutting : Influences of Vibration, Acceleratin and Velocity2006

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing 1・1

      ページ: 105-116

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 3rd Asia Int.Conf.on Tribology (ASIATRIB 2006)

      ページ: 525-526

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process2006

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizul, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 373-378

    • NAID

      40015624684

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Experimental and Simulation Research Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer2006

    • 著者名/発表者名
      H.Okabe, T.Tsumura, J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 379-384

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Vision Controlled Bio-Cell Manipulation System2006

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Zhongjun QIU, Tomohiko ISHIKAWA, Tatsuo KAWAKAMI, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Int. J. Manufacturing Technology and Management 9・1/2

      ページ: 130-143

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Microstructural Analysis for Si wafer after CMG Process2006

    • 著者名/発表者名
      Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Tetsuya Nagaike, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Shun'ichirn Kimura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 367-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proc. of 3rd Asia Int. Conf. on Tribology(ASIATRIB 2006)

      ページ: 525-526

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Anisotropic Friction at an Atomic-Scale2006

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proc. of 3rd Asia Int. Conf. on Tribology (ASIATRIB 2006)

      ページ: 525-526

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Study on Structure Transformation of Si Wafer in Grinding Process2006

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Makoto Yamaguchi, Jun Shimizu1, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 373-378

    • NAID

      40015624684

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Microstructural Analysis for Si wafer after CMG Process2006

    • 著者名/発表者名
      Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Tetsuya Nagaike, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Shun-ichiro Kimura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 367-372

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Microstructural Analysis for Si wafer after CMG Process2006

    • 著者名/発表者名
      Sumio Kamiya, Hisao Iwase, Tetsuya Nagaike, Libo Zhou, Hiroshi Eda, Shun'ichiro Kimura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 329

      ページ: 367-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Vibration Assisted Cutting - Effect of Vibration Parameter -2005

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Hidekazu Tanaka, Libc Zhou, Hirotaka Ojima, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2

      ページ: 861-864

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process (Surface and Sub-surface Analysis of Si Wafer Produced by CMG)2005

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Y.Kumagai, J.Shimizu, H.Eda, S.Kamiya, H.Iwase, S.Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2

      ページ: 889-892

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] A Novel Fixed Abrasive Process: Chemo-Mechanical Grinding Technology2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6

      ページ: 441-451

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarization (Integrated model for simulation of planarization process)2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6

      ページ: 490-503

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Effects of Tool Stiffness and Infeed Scheme on Planarization, (Integrated model for simulation of planarization process)2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6

      ページ: 490-503

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation2005

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
    • 雑誌名

      Synopsis of Int. Tribology Conference 349

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報:固定砥粒によるφ300mmSiウエハの完全表面創成-2005

    • 著者名/発表者名
      周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・4

      ページ: 466-470

    • NAID

      10015505910

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Elementary Process of Coating by High-Temperature and High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of Droplet)2005

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • 雑誌名

      J.JSME Trans.C (in Japanese) 71(701)

      ページ: 298-303

    • NAID

      110004728867

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] A Novel Fixed Abrasive Process : Chemo-Mechanical Grinding Technology2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      International Journal of Manufacturing Technology and Management 7・5/6

      ページ: 441-451

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation,2005

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
    • 雑誌名

      Synopsis of Int.Tribology Conference

      ページ: 349-349

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Establishment of an analytical model)2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Hitomi Ohkubo, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      J.JSME Trans.C (in Japanese) 72(701)

      ページ: 725-730

    • NAID

      110006264589

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の扁平過程と原子挙動)2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 71・701

      ページ: 298-303

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development and Evaluation of CMG Wheels made by Electrophoretic Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Isao Toita, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Society of Abrasive Technology 3/55

      ページ: 130-133

    • NAID

      10017285120

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報 : 固定低位によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-2005

    • 著者名/発表者名
      周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・4

      ページ: 466-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Siウエハの Chemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第2報 : 固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-2005

    • 著者名/発表者名
      周立波, 清水淳, 江田弘, 木村俊一郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・4

      ページ: 466-470

    • NAID

      10015505910

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 (液滴の偏平過程と原子挙動)2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 71・701

      ページ: 298-303

    • NAID

      110006264528

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Development of a Vision Guided Lathe2005

    • 著者名/発表者名
      Katsuhiro SAITO, Hirotaka OJIMA, Libc ZHOU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 3

      ページ: 1229-1234

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の偏平過程と原子挙動)2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 71・701

      ページ: 298-303

    • NAID

      110006264528

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical Grinding of Si Wafer, 2^<nd> Report : Generation of Defect free surface on Φ300mm Si Wafer2005

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Shun'ichiro Kimura
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Society of Precision Engineering 4/71

      ページ: 466-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005

    • 著者名/発表者名
      周立波, 大久保瞳, 清水淳, 江田弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 71・702

      ページ: 725-730

    • NAID

      110006264589

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Patterned Si Wafer (Improvements in accuracy of simulation model)2005

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Okubo, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Leading Edge Manufacturing in 21 Century 2

      ページ: 883-890

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005

    • 著者名/発表者名
      周立波, 大久保瞳, 清水淳, 江田弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 71・702

      ページ: 725-730

    • NAID

      110006264589

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Friction Process in AFM/FFM Surface Observation2005

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda, H.Ojima
    • 雑誌名

      Synopsis of Int. Tribology Conference

      ページ: 349-349

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] 電気泳動法によるCMG砥石の開発とその性能評価2005

    • 著者名/発表者名
      周 立波, 戸井田勲, 清水 淳, 江田 弘
    • 雑誌名

      加工学会誌 50・3

      ページ: 130-133

    • NAID

      10017285120

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] パターンウエハの平坦化シミュレーション(モデルの理論構築)2005

    • 著者名/発表者名
      周 立波, 大久保瞳, 清水 淳, 江田 弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 71・702

    • NAID

      110006264589

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析(液滴の扁平過程と原子挙動)2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 大村悦二, 小林圭史, 清島祥一, 江田 弘
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 71・701

      ページ: 298-303

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (Spain)

      ページ: 1999-2008

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 4th euspen International conference (Scotland/UK)

      ページ: 113-114

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining,2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 113-114

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 257-258

      ページ: 21-26

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, K.Nishida, Z.Qiu, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 165-166

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology(REWAS'2004). Spain

      ページ: 1999-2008

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology

      ページ: 457-461

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] [Introduction of Laboratory] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, H.Ojima, T.Yamamoto
    • 雑誌名

      J.JSAT (in Japanese) Vol.70(9)

      ページ: 1165-1166

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (Liege, Belgium)

      ページ: 387-394

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese J.of Tribology 49・3

      ページ: 223-232

    • NAID

      10013113666

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Tribology Vol.49(3)

      ページ: 223-232

    • NAID

      10013113666

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diameter Optical Components2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.257-258

      ページ: 101-106

    • NAID

      110002512005

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Zhongjun Qiu, Keisuke Nishida, Tomohiko Ishikawa, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4^<th> International Workshop on Microfactories (Shanhai/China)

      ページ: 152-159

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diamond Optical Components2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 257-258

      ページ: 101-106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (REWAS'2004), Spain

      ページ: 1999-2008

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] マイクロ・ナノトライボロジーにおける分子動力学 シミュレーションの適用2004

    • 著者名/発表者名
      江田 弘, 清水 淳
    • 雑誌名

      トライボロジスト 49・6

      ページ: 466-472

    • NAID

      10013113666

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 1st Int'l Conference on Positioning Technology (Shizuoka/Japan)

      ページ: 457-461

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 113-114

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 113-114

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT 2004

      ページ: 393-396

    • NAID

      110002512007

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories

      ページ: 152-159

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology(REWAS'2004) Spain

      ページ: 1999-2008

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diameter Optical Components2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 257-258

      ページ: 101-106

    • NAID

      110002512005

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.257-258

      ページ: 21-26

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004) Liege, Belgium

      ページ: 387-394

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Automated Cell Manipulation System by Use of Visual Information2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories

      ページ: 152-159

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Simulation on Planrization Process of Device Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT 2004

      ページ: 393-396

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Application of Molecular Dynamics Simulation in Micro/Nano Tribology2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Journal of Japanese Society of Tribologists (in Japanese) Vol.49(6)

      ページ: 466-472

    • NAID

      10013113666

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Z.Qio, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology

      ページ: 457-461

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of the 3rd Int. Conf.and Exhibition on Design and Production of Dies and Molds 7th Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology, (ISAAT 2004), Turkey

      ページ: 393-396

    • NAID

      110002512007

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 4th euspen International conference, Glasgow, UK

      ページ: 113-114

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004), Liege, Belgium

      ページ: 387-394

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004). Liege, Belgium

      ページ: 387-394

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT 2004

      ページ: 393-396

    • NAID

      110002512007

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Axisymmetric Aspherical Form Generation for Large Diamond Optical Components2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 257-258

      ページ: 101-106

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Z.Qiu, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu.H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 1st Int'l Conference on Precision Technology

      ページ: 457-461

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qio, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 165-166

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Micro Manipulation System for Bio-applications2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, K.Nishida, Z.Qio, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 4th euspen International conference (Scotland,/UK)

      ページ: 165-166

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Manipulation System for Bio-applications2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qio J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th euspen International conference

      ページ: 165-166

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, H.Ojima, T.Yamamoto
    • 雑誌名

      [Introduction of Laboratory] Database of leading-edge processing technology (JSPE) (in Japanese)

      ページ: 30-31

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories, China

      ページ: 152-159

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Ultra High-Acceleration and Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 257-258

      ページ: 21-26

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Micro Manipulation System for Bio-applications2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, K.Nishida, Z.Qiu, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 4th euspen International conference, Glasgow, UK

      ページ: 165-166

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of ISAAT 2004 (Bursa/Turkey)

      ページ: 393-396

    • NAID

      110002512007

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Recycling Type Filtration Machine by Means of Solid-Liquid Automation Separation System for Machining Fluids2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the Global Symposium on Recycling, Waste Treatment and Clean Technology (REWAS'2004), Spain

      ページ: 1999-2008

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Finish Grinding Conditions for Optimum Physical Properties and Metallurgic Structure in High-Temperature Rolling of Stainless Steels2004

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, Y.Tomita, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of the 2nd Int.Conf.on Thermomechanical Processing of Steels (TMP 2004), Liege, Belgium

      ページ: 387-394

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004) (Osaka) 042.pdf(CD-ROM)

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Z.Qiu, K.Nishida, T.Ishikawa, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Workshop on Microfactories

      ページ: 152-159

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization of Patterned Si Wafer, (Establishment of an Analysis Model)2004

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Hitomi Ohkubo, Jun Shimizu, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Transaction of the Japan Society of Mechanical Engineers, C Edition 702/71

      ページ: 725-730

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Development of Cell Manipulation System under Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Z.Qiu, L.Zhou, K.Nishida, J.Shimizu, H.Eda, T.Ishikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 1st Int'l Conference on Positioning Technology

      ページ: 457-461

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.Int.Thermal Spray Conf.,(ITSC'2004),Osaka

      ページ: 7-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation on Planarization Process of Device Wafer, Proc.of the 3rd Int.Conf. and Exhibition on Design and Production of Dies and Molds2004

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, H.Ohkubo, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      7th Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology, (ISAAT 2004), Turkey

      ページ: 393-396

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, E.Ohmura, Y.Kobayashi, S.Kiyoshima, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.Int.Thermal Spray Conf., (ITSC'2004), Osaka (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Material Removal Mechanism Beyond Plastic Wave Propagation Rate2003

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Akihito Muroya, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Precision Engineering 27,2

      ページ: 109-116

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism, -Behaviors of Zero Wear-Wear transition Region -2003

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Hiroshi Eda, Libo Zhou
    • 雑誌名

      Tribologist (in Japanese) Vol.48(9)

      ページ: 741-751

    • NAID

      10011734712

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process2003

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, S.Kawai, S.Kimura, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of Int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Niigata

      ページ: 316-321

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎研究,第1報:鋼の微少引っかきに及ぼす第2相合金の影響2003

    • 著者名/発表者名
      谷山久法, 江田弘, 清水淳, 周立波, 中沢由加里, 佐藤潤一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 47,5

      ページ: 263-268

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism -Behaviors of Zero-Wear Transition Regions -2003

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
    • 雑誌名

      Japanese J.of Tribology 48(5)

      ページ: 437-452

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Multifunctional Micro-Machining System and its Applications2003

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Y.Yaguchi, T.Fuji, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.238-239

      ページ: 3-8

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Material Removal Mechanism beyond Propagation Speed of Plastic Wave2003

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Tanaka, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of Int.Conf.on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (LEM21), Niigata

      ページ: 309-315

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Material Removal Mechanism Beyond Plastic Wave Propagation Rate2003

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Jun Shimizu, Akihito Muroya, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Precision Engineering Vol.27(2)

      ページ: 109-116

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] φ300シリコンウエハ超精密研削加工シミュレーション2003

    • 著者名/発表者名
      佐川克雄, 江田弘, 周立波, 清水淳, 白石昌武
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 47,8

      ページ: 440-445

    • NAID

      10011753390

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Biological-Micro-Manipulation System in Scanning Electron Microscope2003

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, T.Ishikawa, Y.Tomita, Y.Yamamoto, L.Zhou, T.Kawakami, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), Nagoya

      ページ: 211-214

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Three Dimensional Kinematical Analyses for Surface Grinding of Large Scale Substrate2003

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Kazuhiro SHINOHARA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Precision Engineering Vol.27(2)

      ページ: 175-184

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Multifunctional Micro-Machining System and Applications2003

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Y.Yaguchi, T.Fujii, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 238-239

      ページ: 15-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Three Dimensional Kinematical Analyses for Surface Grinding of Large Scale Substrate2003

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Kazuhiro SHINOHARA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Precision Engineering 27,2

      ページ: 175-184

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel - Plastic Flow Mechanism of Ferrite and Cementite Phase -2003

    • 著者名/発表者名
      H.Taniyama, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, J.Sato
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 238-239

      ページ: 3-8

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Manipulation of the Universal Rotational Mechanism for Biological Application2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ishikawa, H.Eda, Y.Yamamoto, K.Kawakami, L.Zhou, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 Int'l Symposium on Microelectronics and Human Science, Nagoya, Oct.(IEEE Robotics & Automation 2003)

      ページ: 215-220

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Basic research on microfabrication applied to metal particles, -1^<st> report : Effect of second phase in steels on microscratching -2003

    • 著者名/発表者名
      Hisanori Taniyama, Hiroshi Eda, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yukari Nakazawa, Jun'ichi Sato
    • 雑誌名

      J.JSAT (in Japanese) Vol.47(5)

      ページ: 263-268

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] すべり摩擦・摩耗機構の分子動力学解析-ゼロ摩耗-摩耗遷移領域の挙動-2003

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 江田 弘, 周 立波
    • 雑誌名

      トライボロジスト 48,9

      ページ: 741-751

    • NAID

      10011734712

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 巨大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発,-φ300Siウエハ超加工機械の中核技術-2003

    • 著者名/発表者名
      江田 弘, 中野博民, 近藤 良, 周 立波, 森 輝夫, 清水 淳
    • 雑誌名

      精密工学会誌 69,1

      ページ: 100-104

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Biological-Micro-Manipulation System in Scanning Electron Microscope2003

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, T.Ishikawa, Y.Tomita, Y.Yamamoto, L.Zhou, T.Kawakami, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 Int'l Symposium on Microelectronics and Human Science,(IEEE Robotics & Automation 2003)

      ページ: 211-214

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Process2003

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, S.Kawai, S.Kimura, J.Shimizu, H.EDA
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on LEM21 (Niigata)

      ページ: 316-321

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Development of Atomic Level GMM Positioning/Alignment System for Driving a Gigantic Weight Spindle, -Core Technology for Advanced φ300mm Si Wafer Ultraprecision Machine Tool -2003

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi EDA, Hirotami NAKANO, Ryou KONDO, Libo ZHOU, Teruo MORI, Jun SHIMIZU
    • 雑誌名

      J.JSPE (in Japanese) Vol.69(1)

      ページ: 100-104

    • NAID

      110001373477

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero Wear-Wear Transition Regions -2003

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
    • 雑誌名

      Japanese J.of Tribology 48・5

      ページ: 437-452

    • NAID

      10011734712

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [雑誌論文] Simulation of ultra precision grinding of φ300 Si wafer2003

    • 著者名/発表者名
      Katsuo Sagawa, Hiroshi Eda, Libo Zhou, Jun Shimizu, Masatake Shiraishi
    • 雑誌名

      J.JSAT (in Japanese) Vol.47(8)

      ページ: 440-445

    • NAID

      10011753390

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Manipulation of the Universal Rotational Mechanism for Biological Application2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ishikawa, H.Eda, Y.Yamamoto, T.Kawakami, L.Zhou, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 Int.Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), Nagoya

      ページ: 215-220

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Experimental Investigation of Micro Scratching on Two Phases Alloy Steel -Plastic Flow Mechanism of the Ferrite and Cementite Phase -2003

    • 著者名/発表者名
      H.Taniyama, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, J.Sato
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.238-239

      ページ: 15-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Material Removal Mechanism beyond Propagation Speed of Plastic Wave2003

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on LEM21 (Niigata)

      ページ: 309-315

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Synthesis and Characterization of c-Axis Oriented Apatite Aggregates2003

    • 著者名/発表者名
      K.Ohta, M.Kikuchi, J.Tanaka, H.Eda
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 240-242

      ページ: 517-520

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Sliding Friction and Wear Mechanism - Behaviors of Zero-Wear Transition Regions -2003

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou
    • 雑誌名

      Japanese J.of Tribology 48,5

      ページ: 437-452

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (IMCC 2002), China (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 3D Kinematic Analysis of Large Scale Substrate Surface Grinding.2002

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Kazuhiro SHINOHARA, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Proceedings of ASPE 2002 Annual Meeting

      ページ: 140-143

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (IMCC 2002), China (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      J.Materials Processing Technology Vol.129(1-3)

      ページ: 34-40

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 熱・電・磁場附加による工具機能の改善に関する研究2002

    • 著者名/発表者名
      周立波, 福田勇夫, 清水淳, 江田弘, 加藤明彦, 谷山久法
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 46,10

      ページ: 507-510

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer2002

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda
    • 雑誌名

      Journal of Materials Processing Technology 129,1-3

      ページ: 34-40

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM/FFM Surface Observation2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 2^<nd> Asia Int.Conf.on Tribology, Korea

      ページ: 61-62

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Cutting tool performance enhanced with thermal/electrical/magnetic processing2002

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Isao FUKUDA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA, Akihiko KATO, Hisanori TANIYAMA
    • 雑誌名

      J.JSAT (in Japanese) Vol.46(10)

      ページ: 506-509

    • NAID

      10010081510

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Crystal Dependence in Micro Scratching of Carbon Steel -Groove Formation of Cementite and Ferrite Phases -2002

    • 著者名/発表者名
      H.Taniyama, H.Eda, J.Sato, J.Shimizu, L.Zhou
    • 雑誌名

      Proc.of 2^<nd> Asia Int.Conf.on Tribology Korea

      ページ: 197-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] 3D Kinematical Analysis of Large Scale Substrate Surface Grinding2002

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, J.Shimizu, K.Shinohara, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of American Society for Precision Engineering 2002 Annual Meeting, USA

      ページ: 140-143

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of Si wafer, -1^<st> Report : Development of CMG Wheel -2002

    • 著者名/発表者名
      Libo ZHOU, Shinji KAWAI, Masayuki HONDA, Jun SHIMIZU, Hiroshi EDA, Kazuaki YAKITA
    • 雑誌名

      J.JSPE (in Japanese) Vol.68(12)

      ページ: 1559-1563

    • NAID

      110001373342

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Chemo-Mechanical-Grinding2002

    • 著者名/発表者名
      Libo Zhou, Yuji Yoshida, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Machine and Tool (in Japanese) Vol.46(5)

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] [Introduction of Laboratory] Micro Machining and Fabrication Laboratory, Department of Systems Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University2002

    • 著者名/発表者名
      H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, T.Yamamoto
    • 雑誌名

      J.JSAT (in Japanese) Vol.46(5)

      ページ: 230-231

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of the Contact Process in AFM Surface Observations2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Tribotest Journal 9,2

      ページ: 101-115

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM/FFM Surface Observation2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.ASIATRIB2002, Korea

      ページ: 61-62

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002

    • 著者名/発表者名
      Jun SHIMIZU, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      Journal of Materials Processing Technology 129,1-3

      ページ: 19-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究-第1報:CMG砥石の開発-2002

    • 著者名/発表者名
      周立波, 河合真二, 本田将之, 清水淳, 江田弘, 焼田和明
    • 雑誌名

      精密工学会誌 68,12

      ページ: 1559-1563

    • NAID

      110001373342

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002

    • 著者名/発表者名
      Jun SHIMIZU, Libo ZHOU, Hiroshi EDA
    • 雑誌名

      J.Materials Processing Technology Vol.129(1-3)

      ページ: 19-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Simulation and Experimental Analysis of Super High-Speed Grinding of Ductile Material2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda
    • 雑誌名

      Proc.of 10th Int.Manufacturing Conf.in China (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Contact Process in AFM Surface Observations2002

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.ZHOU, H.EDA
    • 雑誌名

      Tribotest Journal Vol.9(2)

      ページ: 101-115

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Crystal Dependence in Micro Scratching of Carbon Steel - Groove Formation on Pearlite -2002

    • 著者名/発表者名
      H.Taniyama, H.Eda, J.Sato, J.Shimizu, L.Zhou
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.ASIATRIB2002, Korea

      ページ: 197-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding -Influence of Tool Stiffness-

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int. J. Manufacturing Science & Technology, (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 -第2報:固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-

    • 著者名/発表者名
      周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 (掲載待ち)

    • NAID

      10015505910

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [雑誌論文] SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 -第2報:固定砥粒によるφ300mm Siウエハの完全表面創成-

    • 著者名/発表者名
      周立波, 清水淳, 江田弘, 木村伸一郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 (掲載待ち)

    • NAID

      10015505910

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Nano Grinding-Influence of Tool Stiffness-

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Hiroshi Eda
    • 雑誌名

      Int.J.Manufacturing Science & Technology, Key Engineering Materials (to be published)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 工作物表面加工方法2009

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車 (株)
    • 取得年月日
      2009-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Attitude control device and precision machining apparatus2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-04-27
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Precision machining apparatus and precision machining method2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-08-06
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Attitude control device and precision machining apparatus2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-09-01
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Attitude control device and precision machining apparatus2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-06-20
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Precision machining apparatus and precision machining method2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-06-24
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] Attitude control device and precision machining apparatus2007

    • 発明者名
      神谷純生, 岩瀬久雄, 長池哲也, 江田弘, 周立波
    • 権利者名
      トヨタ自動車(株)
    • 取得年月日
      2007-10-10
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [産業財産権] 精密加工方法2005

    • 発明者名
      江田弘, 周立波, 神谷純生, 岩瀬久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2005-107821
    • 出願年月日
      2005-04-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2005

    • 発明者名
      江田弘, 周立波, 神谷純生, 岩瀬久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2005-226419
    • 出願年月日
      2005-08-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-380782
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [産業財産権] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • 権利者名
      茨城大学, トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-379810
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬
    • 権利者名
      茨城大学, トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-380782
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [産業財産権] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-379810
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • 発明者名
      江田弘, 周立波, 神谷純生, 岩瀬久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-379810
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • 発明者名
      江田弘, 周立波, 神谷純生, 岩瀬久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-380782
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-380782
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360061
  • [産業財産権] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • 権利者名
      トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-379810
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656033
  • [産業財産権] 精密加工装置および精密加工方法2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • 権利者名
      茨城大学, トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-380782
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [産業財産権] 姿勢制御装置および精密加工装置2004

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬
    • 権利者名
      茨城大学, トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2004-379810
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [産業財産権] 工作物表面加工方法2003

    • 発明者名
      江田 弘, 周 立波, 神谷 純生, 岩瀬 久雄
    • 権利者名
      茨城大学, トヨタ自動車
    • 産業財産権番号
      2003-371192
    • 出願年月日
      2003
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [産業財産権] 微細操作用マイクロマニピュレータ2003

    • 発明者名
      齋藤 浩之, 周 立波, 江田 弘, 川上 辰男, 石川 友彦, 太田 一史
    • 権利者名
      茨城大学
    • 産業財産権番号
      2003-047341
    • 出願年月日
      2003
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14350065
  • [学会発表] 化学作用を模擬したシリコンウエハ研削・研磨加工の分子動力学シミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      明治大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 細胞操作用マイクロマニピュレータの最適経路生成に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      尾嶌裕隆, 土屋大基, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      明治大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Study on Reaction Mechanism of Si and pure CeO_2 for CMG Process2008

    • 著者名/発表者名
      S Kamiya, H. Iwase, K. Kishita, L. Zhou, H. Eda, Y. Yoshida
    • 学会等名
      The 1st International Conference on Nanomanufacturing
    • 発表場所
      Singapore
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 光触媒膜に関する基礎的研究-表面性状の影響-2008

    • 著者名/発表者名
      梓沢慶介, 石井勇多, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      明治大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] シリコンウエハ研削における凝着の影響の分子動力学シミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 江田弘, 周立波
    • 学会等名
      トライボロジー会議2008春
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 超短パルスレーザによる単結晶ダイヤモンド加工に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      精密工学会・第15回学生会員卒業研究発表
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2008-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] ステレオ法による三次元計測および形状データ構築2008

    • 著者名/発表者名
      大塚春樹, 笹本侑弥, 尾嶌裕隆, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      明治大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Simulation and Experimental Study on Nanoscracthig of Silicon Wafer2007

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, H. Okabe, T. Tsumura, Y. Suehisa, L. Zhou, H. EDA
    • 学会等名
      Proceedings of Int'l Conference on Tribology in Manufacturing Process (ICTMP) 2007
    • 発表場所
      Yokohama/Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 大口径Siウェハ加工プロセスの評価技術に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      ソルタニ・ホセイニ・バーマン, 光田孝仁, 佐々木淳一, 敦賀達也, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      ABTEC2007
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Research on CMG of large size silica glass substrate2007

    • 著者名/発表者名
      T. Shina, L. Zhou, Z.J Qiu, T. Yamamoto, J. Shimizu, H. Eda
    • 学会等名
      Proceeding of LEM21
    • 発表場所
      Fukuoka/Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元2007

    • 著者名/発表者名
      笹本侑弥, 大塚春樹, 周 立波, 尾嶌裕隆, 清水 淳, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] プローブ陽極酸化を用いたSi基板上のナノ構造の創成に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      青木俊暁, 陶久夢高, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Tashiro, M. Kenmochi, B. Soitani, T. Tsuruga, L. Zhou, J. Shimizu, H. Eda
    • 学会等名
      Proceeding of LEM21
    • 発表場所
      Fukuoka/Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Study on Nanomachining Process of Si Wafer using an Atomic Force Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      J. SHIMIZU, T. TSUMURA, Y. SUEHISA, L. ZHOU, H. EDA
    • 学会等名
      Proceeding of LEM21
    • 発表場所
      Fukuoka/Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Siウエハのナノ引っかきによるナノ構造創成の検討2007

    • 著者名/発表者名
      津村貴史, 大谷健太郎, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] ポテンシャルパラメータ制御を施したシリコンウエハ研削の分子動力学シミュレーションーシミュレーションモデルの提案-2007

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 岡部秀光, 周 立波, 江田弘
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      旭川高専
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 石英ガラスのCMG加工に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      土屋大基, 椎名剛志, 周 立波, 山本武幸, 清水 淳, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 分子動力学シミュレーションによる摩擦異方性の微視的解析2007

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 江田 弘, 周 立波
    • 学会等名
      トライボロジー会議2007春
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2007-05-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 金型の微細加工に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      川瀬大智, 山本武幸, 周 立波, 清水淳.江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-加工パラメータの陽極酸化パターンに及ぼす影響-2007

    • 著者名/発表者名
      陶久夢高, 青木俊暁, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      旭川高専
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] TiO2膜の基本特性に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      梓沢慶介, 石井勇多, 清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 工具剛性がナノ研削に及ぼす影響の分子動力学シミュレーション2007

    • 著者名/発表者名
      清水 淳, 周 立波, 江田 弘
    • 学会等名
      ABTEC2007
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      溝口高史, 萩谷淳史, 山本武幸, 周 立波, 清水 淳, 江田 弘
    • 学会等名
      日本機械学会茨城講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Development of On-machine 3D Measuring System for Large Size Si Wafer Thinning Process, Advances in Abrasive technology X2007

    • 著者名/発表者名
      T. Mitsuta, B. Soltani, T. Tsuruga, J. Sasaki, L. Zhou, J. Shimizu, H. Eda
    • 学会等名
      Proceedings of ISAAT2007
    • 発表場所
      Detroit/USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] Study on Thinning Process of Large Size Si wafer, Advances in Abrasive technology X2007

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuruga, B. Soltani, J. Sasaki, T. Mitsuta, J. Shimizu, L. Zhou, H. Eda
    • 学会等名
      Proceedings of ISAAT2007
    • 発表場所
      Detroit/USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • [学会発表] 研削加工におけるSiウエハの構造変化2007

    • 著者名/発表者名
      周 立波, 清水 淳, 江田 弘, Han Huang
    • 学会等名
      ABTEC2007
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360056
  • 1.  清水 淳 (40292479)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 198件
  • 2.  周 立波 (90235705)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 187件
  • 3.  山本 佳男 (20272114)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  中野 博民 (90257329)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  尾嶌 裕隆 (90375361)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 15件
  • 6.  乾 正知 (90203215)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  田村 祐二 (80007624)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  神谷 純生
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 7件
  • 9.  仇 中軍
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  山本 武幸 (40396594)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 18件
  • 11.  馬 書根 (20250988)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  鈴木 宏正 (40187761)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  前川 克廣 (20126329)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  森重 功一 (90303015)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  近藤 良 (90186867)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  山中 一雄 (90125807)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  住谷 秀保 (30206594)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  大村 悦二 (90144435)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  谷 順二 (30006192)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  荒井 賢一 (40006268)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  古屋 泰文 (20133051)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  神山 新一 (80006171)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  松本 英治 (71036548)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  谷山 久法 (80110211)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  岩瀬 久雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 7件
  • 26.  山下 輝樹
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  田代 芳章
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 28.  田 業氷
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 24件
  • 29.  稲垣 正寿
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  渡部 和
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  川上 辰男
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 32.  石川 友彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 13件
  • 33.  館 義雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  稲村 正寿
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  飯田 克彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  QIO Zhongjun
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 37.  太田 一史
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  木村 俊一郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件

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