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毎田 修  Maida Osamu

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40346177
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2023年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
2016年度 – 2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
2012年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
2011年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 … もっと見る
2009年度 – 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
2006年度: 大阪大学, 大学院工業研究科, 助手
2003年度 – 2004年度: 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 小区分30010:結晶工学関連 / 計測工学
研究代表者以外
薄膜・表面界面物性 / 結晶工学
キーワード
研究代表者
ダイヤモンド / 半導体物性 / 欠陥評価 / 格子欠陥 / 電子・電気材料 / ワイドギャップ半導体 / ワイドギャップ / 結晶欠陥 / 非輻射欠陥 / 光散乱 … もっと見る / プラズマCVD / アモルファスシリコン / 太陽電池 / スピンオン法 / 固定電荷 / 閾値電圧 / MOS / SiO_2 / セシウム / ゲート絶縁膜 / MOSFET / フラットバンド電位 … もっと見る
研究代表者以外
マイクロ波プラズマCVD / CVDダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD / p型ダイヤモンド / n型ダイヤモンド / 軟X線検出器 / 紫外線検出器 / 成膜装置 / CVD成膜装置 / p型半導体 / CVD成膜装置 / p型半導体 / CVD製膜装置 / 不純物ドーピング / ワイドギャップ半導体 / ダイヤモンドパワーデバイス / ダイヤモンド検出器 / 不純物伝導 / 自立膜 / 放射線検出器 / 微斜面基板 / 燐ドープダイヤモンド / ホウ素ドープダイヤモンド / 不純物バンド伝導 / パワーデバイス / 粒子検出器 / 燐ドープ / ホウ素ドープ / 微斜面(001)基板 / 応答速度 / 増幅機能 隠す
  • 研究課題

    (9件)
  • 研究成果

    (116件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  非輻射型欠陥生成機構の解明によるダイヤモンド半導体デバイスの特性改善研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ダイヤモンド半導体結晶の非輻射型欠陥生成メカニズム解明によるデバイス特性の改善研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ダイヤモンド半導体結晶の非輻射型欠陥の生成機構の解明とその制御研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高濃度不純物ドープ縮退ダイヤモンド層の巨大クラスター化とその高機能デバイス応用

    • 研究代表者
      伊藤 利道
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      結晶工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ダイヤモンド半導体評価のための高感度非輻射欠陥評価系の開発研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高品質CVDダイヤモンドを用いた高機能電子デバイス開発の基礎研究

    • 研究代表者
      伊藤 利道
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  巨大増幅機能を有する高感度ダイヤモンド検出器の開発

    • 研究代表者
      伊藤 利道
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  セラミック微粒子分散構造による非晶質シリコン太陽電池の高効率化研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ゲート絶縁膜中固定電荷によるMOSFETのしきい値制御研究代表者

    • 研究代表者
      毎田 修
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2004 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書

  • [図書] 太陽光利用最前線

    • 著者名/発表者名
      毎田 修
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760234
  • [雑誌論文] Characterization of deep interface states in SiO2/B-doped diamond using the transient photocapacitance method2022

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, D. Kanemoto, and T. Hirose
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 741 ページ: 139026-139026

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2021.139026

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [雑誌論文] Development of Highly-Sensitive Transient Photocapacitance Mesurement System for Deep Defects in Boron-Doped Diamond (100) Films2018

    • 著者名/発表者名
      Miyawaki Kenta、Yamashita Ryosuke、Kodama Taishi、Maida Osamu
    • 雑誌名

      Future of Electron Devices on IEEE Xplore Digital Library

      巻: - ページ: 1-2

    • DOI

      10.1109/imfedk.2018.8581973

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [雑誌論文] Characterization of Deep Defects in Boron-Doped CVD Diamond Films Using Transient Photocapacitance Method2017

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processsing

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [雑誌論文] Improvement on p-type CVD diamond semiconducting properties by fabricating thin heavily-boron-doped multi-layer clusters isolated each other in unintentionally boron-doped diamond layer2017

    • 著者名/発表者名
      Maida Osamu、Tabuchi Tomohiro、Ito Toshimichi
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 480 ページ: 51-55

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2017.10.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262, KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [雑誌論文] Behavior of nitrogen-related luminescence centers in laser-cut single-crystalline diamond under irradiation with keV electron beam2017

    • 著者名/発表者名
      Maruoka Kenji、Naito Taiki、Maida Osamu、Ito Toshimichi
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2 号: 43 ページ: 2355-2360

    • DOI

      10.1557/adv.2017.414

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262, KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [雑誌論文] Characterization of Deep Defects in Boron-Doped CVD Diamond Films Using Transient Photocapacitance Method2017

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 印刷中 ページ: 203-206

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.12.001

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262, KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [雑誌論文] Survey meter combining CVD diamond and silicon detectors for wide range of dose rates and high accumulated doses2012

    • 著者名/発表者名
      H. Sato, A. Yamaguchi, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Radiation Meas

      巻: Vol.47 ページ: 266-271

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Survey meter combining CVD diamond and silicon detectors for wide range of dose rates and high accumulated doses2012

    • 著者名/発表者名
      H.Sato
    • 雑誌名

      Radiation Measurements

      巻: Vol.47 号: 4 ページ: 266-271

    • DOI

      10.1016/j.radmeas.2012.02.011

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011, KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [雑誌論文] Sensitivity improvement of γ-ray detector fabricated with self-standing CVD diamond by attaching heavy element film2012

    • 著者名/発表者名
      H. Sato, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Diam. Relat. Mater.

      巻: Vol.29 ページ: 2-7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Hall data analysis of heavily boron-doped CVD diamond films using a model considering an impurity band well separated from valence bands2011

    • 著者名/発表者名
      M. Aono, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Diam. Relat. Mater

      巻: Vol.20 ページ: 1357-1362

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Reduced influences of the HPHT substrates on the electronic quality of homoepitaxial CVD diamond layers and on their ultraviolet detector performance2011

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, H. Sato, M. Kanasugi, S. Iguchi, T. Ito
    • 雑誌名

      Diam. Relat. Mater.

      巻: Vol.20 ページ: 242-245

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Reduced influences of the HPHT substrates on the electronic quality of homoepitaxial CVD diamond layers and on their ultraviolet detector performance2011

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 20 ページ: 242-245

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Reduced influences of the HPHT substrates on the electronic quality of homoepitaxial CVD diamond layers and on their ultraviolet detector performance2011

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, H. Sato, M. Kanasugi, S. Iguchi and T. Ito
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: Vol.20 号: 2 ページ: 242-245

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2010.12.016

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [雑誌論文] Improvement in low-voltage performance of surface-electrode soft-X-ray detectors composed of undoped homo- epitaxial CVD/HPHT Ib diamond layers2010

    • 著者名/発表者名
      M. Kanasugi, Y. Iwakaji, T. Yamamoto, O. Maida, Y. Takeda, Y. Saitoh, T. Ito
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. Methods Phys. Research A

      巻: Vol.621 ページ: 650-655

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Self-standing device-quality single-crystalline diamond films on vicinal (001) surfaces fabricated using micro- wave-plasma chemical-vapor-deposition method2010

    • 著者名/発表者名
      S. Iguchi, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.518

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Characterization of diamond ultraviolet detec-tors fabricated with high-quality single- crystal- line chemical vapor deposition films2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Iwakaji, M. Kanasugi, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: Vol.94

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of ultra-violet detectors using high-quality CVD diamond films2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Iwakaji, M. Kanasugi, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters (発表予定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Characterization of substrate off-angle effects for high-quality homoepitaxial CVD diamond films2008

    • 著者名/発表者名
      O. Maida
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials 17

      ページ: 435-439

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] High-quality diamond films grown at high deposition rates using high-power-density MWPCVD method with conventional quartz-type chamber2008

    • 著者名/発表者名
      T. Nakai, O. Maida and T. Ito
    • 雑誌名

      Applied Surface Science (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Characterization of the soft-X-ray detectors fabricated with high-quality CVD diamond thin films2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Iwakaji, M. Kanasugi, O. Maida, Y. Takeda, Y. Saitoh and T. Ito
    • 雑誌名

      Applied Surface Science (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] High-quality diamond films grown at high deposition rates using high-power-density MWPCVD method with conventional quartz-type chamber2008

    • 著者名/発表者名
      T. Nakai, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Applied Surface Science Vol. 254

      ページ: 6281-6284

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Characterization of the soft-X-ray detectors fabricated with high-quality CVD diamond thin films2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Iwakaji, M. Kanasugi, O. Maida, Y. Takeda, Y. Saitoh, T. Ito
    • 雑誌名

      Applied Surface Science Vol. 254

      ページ: 6277-6280

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Characterization of substrate off-angle effects for high-quality homoepitaxial CVD diamond films2008

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, H. Miyatake, T. Teraji, T. Ito
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials Vol. 17

      ページ: 435-439

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Characterization of substrate off-angle effects for high-quality homoepitaxial CVD diamond films2008

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, H. Miyatake, T. Teraji and T. Ito
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials 17(印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] High-quality diamond films grown at high deposition rates using high-power-density MWPCVD method with conventional quartz-type chamber2007

    • 著者名/発表者名
      T. Nakai, K. Arima, O. Maida, T. Ito
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth Vol. 309

      ページ: 134-139

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Al_2O_3微粒子を用いた光閉じ込め構造を有するa-Si太陽電池の作製2007

    • 著者名/発表者名
      毎田 修
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn. 50

      ページ: 534-536

    • NAID

      10019750174

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760234
  • [雑誌論文] High-quality diamond films grown at high deposition rates using high-power-density MWPCVD method with conventional quartz-type chamber2007

    • 著者名/発表者名
      T. Nakai, K. Arima, O. Maida and T. Ito
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 309

      ページ: 134-139

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [雑誌論文] Interface states for HfO_2/Si structure observed by x-ray photoelectron spectroscopy measurements under bias2006

    • 著者名/発表者名
      Osamu MAIDA
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 89

      ページ: 122112-122112

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760234
  • [雑誌論文] Control of flat band voltage of Si-based metal-oxide semiconductor diodes by inclusion of cesium ions in silicon dioxide2004

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, K.Tanaka, O.Maida, H.Kobayashi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 85

      ページ: 2806-2808

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760221
  • [雑誌論文] Postoxidation annealing treatments to improve Si/ultrathin SiO_2, characteristics formed by nitric acid oxidation2004

    • 著者名/発表者名
      Asuha, L.Yueh-Ling, 0.Maida, M.Takahashi, H.Kobayashi
    • 雑誌名

      Journal of the Electrochemical Society 151

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15760221
  • [雑誌論文] Al_2O_3微粒子を用いた光閉じ込め構造を有するa-Si太陽電池の作製

    • 著者名/発表者名
      毎田 修
    • 雑誌名

      真空 (発表予定)

    • NAID

      10019750174

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760234
  • [学会発表] Ir/sapphire基板上ヘテロエピタキシャル成長(001)面ダイヤモンド膜の断面SEM像に見られる縞状コントラストの分析2023

    • 著者名/発表者名
      望月 梧生, 毎田 修, 金 聖祐, 加藤 学, 小山 浩司, 本田 達也, 市川 修平, 小島 一信
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] Large Area Heteroepitaxial Diamond for High-End Applications2023

    • 著者名/発表者名
      K. Koyama, K. Hitomi, M. Nogami, T. Onodera, S.W. Kim, O. Maida
    • 学会等名
      7th International Conference on Advanced Electromaterials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] Ir/sapphire 基板上ヘテロエピタキシャル成長(001)面ダイヤモンド膜の結晶品質評価2023

    • 著者名/発表者名
      望月梧生, 毎田修, 金聖祐, 加藤学, 小山浩司, アンジェフリ, 市川修平, 小島一信
    • 学会等名
      第37回ダイヤモンドシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] ホモエピタキシャル成長ホウ素ドープダイヤモンド半導体結晶の深い欠陥準位評価2022

    • 著者名/発表者名
      毎田 修, 市川 修平, 小島一信
    • 学会等名
      第42回ナノテスティングシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] Characterization of deep level defects in boron-doped (001) and (111) diamond films2022

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, S. Ichikawa, and K. Kojima
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] Characterization of Semiconductor Crystals Based on Omnidirectional Photoluminescence (ODPL) Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Kojima, S. Ichikawa, O. Maida, K. Shima, and S. Chichibu
    • 学会等名
      241st ECS Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] Characterization of deep level defects in boron-doped (001) and (111) diamond films2022

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, S. Ichikawa, and K. Kojima
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] ホモエピタキシャル成長ホウ素ドープダイヤモンド半導体結晶の深い欠陥準位評価2022

    • 著者名/発表者名
      毎田 修, 市川 修平, 小島一信
    • 学会等名
      第42回ナノテスティングシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] 時間分解2光子光電子分光法を用いた表面再結合寿命の直接評価2022

    • 著者名/発表者名
      市川 修平, 毎田 修, 小島 一信
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] 時間分解2光子光電子分光法を用いた表面再結合寿命の直接評価2022

    • 著者名/発表者名
      市川 修平, 毎田 修, 小島 一信
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04951
  • [学会発表] Characterization of Semiconductor Crystals Based on Omnidirectional Photoluminescence (ODPL) Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Kojima, S. Ichikawa, O. Maida, K. Shima, and S. Chichibu
    • 学会等名
      241st ECS Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] SiO2/ホウ素添加CVDダイヤモンド界面の過渡光容量法を用いた界面準位評価2021

    • 著者名/発表者名
      毎田 修, 児玉 大志, 兼本 大輔,廣瀬 哲也
    • 学会等名
      2021年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] Transient photocapacitance measurement for characterization of deep level defects in boron-doped (001) and (111) diamond films2021

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Kodama, D. Kanemoto and Tetsuya Hirose
    • 学会等名
      9th International Symposium on Surface Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] 過渡光容量分光法による (111)ホウ素ドープCVDダイヤモンド薄膜の結晶欠陥評価2021

    • 著者名/発表者名
      毎田 修, 児玉 大志, 兼本 大輔, 廣瀬 哲也
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] 高濃度ホウ素ドープダイヤモンド多層膜クラスター構造の作製とその評価2020

    • 著者名/発表者名
      毎田 修,兼本 大輔,廣瀬 哲也
    • 学会等名
      2020年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] ホウ素添加ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜の過渡光容量法を用いた結晶欠陥評価2020

    • 著者名/発表者名
      毎田 修,兼本 大輔,廣瀬 哲也
    • 学会等名
      2020年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] 過渡光容量分光法を用いたボロンドープダイヤモンド薄膜の非輻射欠陥評価2019

    • 著者名/発表者名
      毎田修,兼本大輔,廣瀬哲也
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] (111)ダイヤモンド基板上ホモエピタキシャル成長におけるメタン濃度2019

    • 著者名/発表者名
      毎田修,兼本大輔,廣瀬哲也
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Transient photocapacitance measurement for characterization of deep defects in B-doped diamond films2019

    • 著者名/発表者名
      Osamu Maida and Ryosuke Yamashita
    • 学会等名
      21th International Vacuum Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] (111)ダイヤモンド基板上ホモエピタキシャル成長におけるメタン濃度2019

    • 著者名/発表者名
      毎田修,兼本大輔,廣瀬哲也
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] Transient photocapacitance measurement for characterization of deep defects in B-doped diamond films2019

    • 著者名/発表者名
      Osamu Maida and Ryosuke Yamashita
    • 学会等名
      21th International Vacuum Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05293
  • [学会発表] 過渡光容量分光法を用いたボロンドープダイヤモンド薄膜の非輻射欠陥評価2019

    • 著者名/発表者名
      毎田修,兼本大輔,廣瀬哲也
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] 高温高圧合成ダイヤモンド基板上のホモエピタキシャルCVD成長段階で形成されるCVDダイヤモンド単結晶基板中の結晶欠陥の抑制2018

    • 著者名/発表者名
      丸岡憲史、毎田修、伊藤利道
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会(2018年春季)、早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Characterization of the high-quality CVD diamond films for quantum information device2018

    • 著者名/発表者名
      O. Maida and T. Ito
    • 学会等名
      Advanced Materials World Congress 2018
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] ダイヤモンド(111)基板ホモエピタキシャル成長における基板オフ方位及びメタン濃度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      児玉 大志,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Development of highly-sensitive transient photocapacitance mesurement system for deep defects in boron-doped diamond (100) films2018

    • 著者名/発表者名
      K. Miyawaki, R. Yamashita, T. Kodama, T. Hori and O. Maida
    • 学会等名
      The 2018 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Characterization of deep level defects in boron-doped (100) and (111) diamond films using transient photocapacitance method2018

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori and T. Kodama
    • 学会等名
      29th International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] ダイヤモンド(111)基板ホモエピタキシャル成長における基板オフ方位及びメタン濃度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      児玉大志、毎田修、伊藤利道
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会(2018年春季)、早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Characterization of the high-quality CVD diamond films for quantum information device2018

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Ito
    • 学会等名
      Advanced Materials World Congress 2018, Singapore,
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] SiOxハードマスクを用いた高アスペクト比ダイヤモンドエッチングプロセス2017

    • 著者名/発表者名
      別府 晟多,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] 酸素終端CVDダイヤモンド (001) 微斜面における超音波処理効果2017

    • 著者名/発表者名
      川端 直人,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] ホウ素添加ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜の過渡光容量法を用いた結晶欠陥評価2017

    • 著者名/発表者名
      児玉 大志,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] 単結晶ダイヤモンドのレーザー切断(001)面におけるkeV電子線照射及び水素プラズマ照射効果2017

    • 著者名/発表者名
      丸岡 憲史,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] CVDダイヤモンド検出器のkeV電子に対する検出特性における信号電流増幅現象2017

    • 著者名/発表者名
      福島 慎市,清水 彰人,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Behavior of nitrogen-related luminescence centers in laser-cut single-crystalline diamond under irradiation of keV electron beam2017

    • 著者名/発表者名
      K. Maruoka, T. Naito, O. Maida, T. Ito
    • 学会等名
      2017 MRS Spring Meeting, Arizona, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] 単結晶ダイヤモンドのレーザー切断(001)面におけるkeV電子線照射及び水素プラズマ照射効果2017

    • 著者名/発表者名
      丸岡 憲史,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] ホウ素添加ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜の過渡光容量法を用いた結晶欠陥評価2017

    • 著者名/発表者名
      児玉 大志,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] SiOxハードマスクを用いた高アスペクト比ダイヤモンドエッチングプロセス2017

    • 著者名/発表者名
      別府 晟多,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Behavior of nitrogen-related luminescence centers in laser-cut single-crystalline diamond under irradiation of keV electron beam2017

    • 著者名/発表者名
      K. Maruoka, T. Naito, O. Maida and T. Ito
    • 学会等名
      2017 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Improvement on p-type CVD diamond semiconducting properties by fabricating thin heavily-boron-doped multi-layer clusters isolated each other2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Tabuchi and T. Ito
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Characterization of Deep Defects in Boron-Doped CVD Diamond Films Using Transient Photocapacitance Method2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 学会等名
      7th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces / International SiGe Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-06-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Improvement on p-type CVD diamond semiconducting properties by fabricating thin heavily-boron-doped multi-layer clusters isolated each other2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Tabuchi and T. Ito
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2016-08-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Characterization of Deep Defects in Boron-Doped CVD Diamond Films Using Transient Photocapacitance Method2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 学会等名
      7th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-06-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] 単結晶ダイヤモンドのレーザー切断(001)面における電気伝導性及びCLスペクトルの表面処理依存性2016

    • 著者名/発表者名
      丸岡 憲史,内藤 大樹,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟コンベンションセンター(新潟市)
    • 年月日
      2016-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] Transient photocapacitance study of deep-level defects in boron-doped diamond films2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 発表場所
      Montpellier, France
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Transient photocapacitance study of deep-level defects in boron-doped diamond films2016

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, T. Hori, T. Kodama and T. Ito
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 発表場所
      Montpellier, France
    • 年月日
      2016-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03557
  • [学会発表] 単結晶ダイヤモンドのレーザー切断(001)面における電気伝導性及びCLスペクトルの表面処理依存性2016

    • 著者名/発表者名
      丸岡 憲史,内藤 大樹,毎田 修,伊藤 利道
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06262
  • [学会発表] Micro- wave-plasma chemical-vapor-deposition homo- epitaxial processes suitable for heavily P-doped diamond films on vicinal (001) surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      S. Tada,H. Nishio, O. Maida, T. Ito
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conf. on Plasma Sci. and Technol.
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2012-10-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] ホウ素ドープ単結晶CVDダイヤモンドの高濃度ドープ領域における特性評価II2012

    • 著者名/発表者名
      森玲央奈, 毎田修, 伊藤利道
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Growth of phsphorus-doped homoepitaxial CVD diamond on vicinal(001) substrates2011

    • 著者名/発表者名
      H. Nishio, O. Maida and T. Ito
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films
    • 発表場所
      Kyoto(Japan)
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Improvement on P-type performance of CVD diamond by isolating thin heavily-boron-doped layer as innumerable islands2011

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, M. Aono and T. Ito
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films
    • 発表場所
      Kyoto(Japan)
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Improvement on p-type performance of CVD diamond by isolating thin heavily-boron-doped layer as innumerable islands2011

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, M. Aono, T. Ito
    • 学会等名
      15th Intl. Conf. on Thin Films
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] ホウ素ドープ単結晶CVDダイヤモンドの高濃度ドープ領域における特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      森玲央奈, 伊藤利道, 毎田修
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Improvement on P-type performance of CVD diamond by isolating thinheavily-boron-doped layer as innumerable islands2011

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films
    • 発表場所
      京都テルサ(京都府)
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Improvement on P-type performance of CVD diamond by isolating thin heavily-boron-doped layer as innumerable islands2011

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films
    • 発表場所
      京都テルサ(京都府)
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] (001)微斜面基板上の高濃度燐ドープダイヤモンドのMWPCVD成長における基板温度の適正化2011

    • 著者名/発表者名
      多田周平, 毎田修, 伊藤利道
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] (001)微斜面基板上の燐ドープCVDダイヤモンド薄膜におけるホモエピタキシャル成長プロセスの適正化2011

    • 著者名/発表者名
      西尾晴樹, 毎田修, 伊藤利道
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Hall data analysis of heavily-boron-doped CVD diamond films based on a two-type carrier model and their application to improvement on p-type performance of CVD diamond2010

    • 著者名/発表者名
      M. Aono, O. Maida and T. Ito
    • 学会等名
      21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
    • 発表場所
      Budapest(Hungary)
    • 年月日
      2010-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Effectiveness of (001) vicinal substrates on fabrication of high-quality diamond films using high-power-density microwave-plasma chemical-vapor-deposition method2010

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      The 5th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai
    • 年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Investigation of diamond radiation detectors combined with heavy elements2010

    • 著者名/発表者名
      H. Sato, A. Yamaguchi, M. Maida, T. Ito
    • 学会等名
      21st European Conf. on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (Diamond 2010)
    • 発表場所
      Budapest, Hungary
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Growth and characterization of heavily phosphorus-doped homoepitaxial (001) diamond films grown using high-power-density MWPCVD method with a conventional quartz-tube chamber2010

    • 著者名/発表者名
      M. Maida, T. Hidaka, T. Ito
    • 学会等名
      4th Intl. Conf. on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2010)
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 年月日
      2010-05-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Fabrication of self-standing device-quality single-crystalline diamond films on vicinal (001) surfaces and its application to the high-energy photon detectors2010

    • 著者名/発表者名
      M.Aono, O.Maida, T.Ito
    • 学会等名
      21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
    • 発表場所
      Budapest(Hungary)
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Fabrication of self-standing device-quality single-crystalline diamond films on vicinal(001) surfaces and its application to the high-energy photon detectors2010

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, S. Iguchi, T. Igarashi, H. Sato and T. Ito
    • 学会等名
      21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
    • 発表場所
      Budapest(Hungary)
    • 年月日
      2010-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22760300
  • [学会発表] Carrier transport property of heavily boron-doped degenerate diamond single-crystalline thin layers etched with hydrogen plasma2010

    • 著者名/発表者名
      T. Kuki, O. Maida, T. Ito
    • 学会等名
      2012 Intl. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Kyoto. Japan
    • 年月日
      2010-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Growth and characterization of heavily phosphorus-doped homoepitaxial (001) diamond films grown using high-power-density MWPCVD method with a conventional quartz-tube chamber2010

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      The 4-th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2010)
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 年月日
      2010-05-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Reduced influences of the HPHT substrates on the electronic quality of homoepitaxial CVD diamond layers and on their UV detector performance2010

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      The 4-th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2010)
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 年月日
      2010-05-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Reduced influ- ences of the HPHT substrates on the electronic quality of homoepitaxial CVD diamond layers and on their UV detector performance2010

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, S. Iguchi, T. Ito
    • 学会等名
      4th Intl. Conf. on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2010)
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 年月日
      2010-05-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] 高温高圧合成基板によるホモエピタキシャルCVDダイヤモンド膜への影響評価とその低減2010

    • 著者名/発表者名
      毎田修
    • 学会等名
      第51回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      大阪大学, 吹田
    • 年月日
      2010-11-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Fabrication of self-standing device-quality single-crystalline diamond films on vicinal (001) surfaces and its application to the high-energy photon detectors2010

    • 著者名/発表者名
      O.Maida
    • 学会等名
      The 21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (Diamond 2010)
    • 発表場所
      Budapest, Hungary
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] Fabrication of self-standing device-quality single-crystalline diamond films on vicinal (001) surfaces and its application to the high-energy photon detectors2010

    • 著者名/発表者名
      O. Maida, S. Iguchi, T. Igarashi, H. Sato, T. Ito
    • 学会等名
      21st European Conf. on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (Diamond 2010)
    • 発表場所
      Budapest, Hungary
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246011
  • [学会発表] 高出力マイクロ波プラズマCVD法により作製したホモエピタキシャルダイヤモンド(001)微斜面薄膜の評価2009

    • 著者名/発表者名
      毎田修
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学、つくば市
    • 年月日
      2009-03-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] Fabrication and character- ization of ultra-violet detectors using high-quality CVD diamond films2008

    • 著者名/発表者名
      O. Maida
    • 学会等名
      The second international conference on new diamond and nano carbons 2008
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2008-05-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] Performance of stack-type soft-X-ray detectors fabricated with high-quality CVD diamond films2008

    • 著者名/発表者名
      O. Maida
    • 学会等名
      The fourth vacuum and surface sciences conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      Matsue, Japan
    • 年月日
      2008-10-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高出力マイクロ波プラズマCVD法によるホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の基板品質及びオフ角依存性2008

    • 著者名/発表者名
      川嶋慎也、宮武秀宇、有馬和也、毎田修、寺地徳之、伊藤利道
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学,千葉
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高品質CVDダイヤモンド薄膜を用いた軟X線・紫外線検出器の特性評価2008

    • 著者名/発表者名
      岩鍛治陽子、金杉将幸、毎田修、竹田幸治、斉藤祐児、伊藤利道
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学,千葉
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高品質CVDダイヤモンド積層構造におけるキャリア拡散制御2008

    • 著者名/発表者名
      金杉将幸、岩鍛治陽子、山元貴、毎田修、伊藤利道
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学,千葉
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高品質CVDダイヤモンド薄膜を用いた軟X線検出器の特性評価2007

    • 著者名/発表者名
      岩鍛治陽子、金杉将幸、毎田修、竹田幸治、斉藤祐児、伊藤利道
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学,北海道
    • 年月日
      2007-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] Characterization of phosphorus-doped homoepitaxial (100 )diamond films grown using high-power-density MWPCVD method with conventional quartz-tube chamber2007

    • 著者名/発表者名
      T. Nakai, O. Maida and T. Ito
    • 学会等名
      The Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 発表場所
      首都大学東京、東京
    • 年月日
      2007-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 石英管型低出力MWPCVD装置を用いた高電力密度化によるリンドープダイヤモンド薄膜の作製とその電気的特性の評価2007

    • 著者名/発表者名
      中井孝洋、毎田修、伊藤利道
    • 学会等名
      第48回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院大学,東京
    • 年月日
      2007-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高光閉じ込め構造を有するアモルファスシリコン太陽電池の特性評価2007

    • 著者名/発表者名
      毎田 修
    • 学会等名
      第48回 真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院大学
    • 年月日
      2007-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760234
  • [学会発表] Crystalline quality improvements of the homoepitaxial CVD diamond films on the vicinal substrates2007

    • 著者名/発表者名
      O. Maida
    • 学会等名
      The Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 発表場所
      首都大学東京、東京
    • 年月日
      2007-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] ホモエピタキシャルCVDダイヤモンド層からHPHT基板へのキャリアの長距離拡散制御2007

    • 著者名/発表者名
      毎田修
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学、つくば市
    • 年月日
      2007-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 高品質CVDダイヤモンド軟X線検出器の開発とその特性評価2007

    • 著者名/発表者名
      岩鍛治陽子、金杉将幸、毎田修、竹田幸治、斉藤祐児、伊藤利道
    • 学会等名
      第48回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院大学,東京
    • 年月日
      2007-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • [学会発表] 石英管型簡易装置を用いた高電力密度MWPCVD法によるリンドープダイヤモンド薄膜合成2007

    • 著者名/発表者名
      中井孝洋、毎田修、伊藤利道
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学,北海道
    • 年月日
      2007-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360018
  • 1.  伊藤 利道 (00183004)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 44件

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