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菅原 実  SUGAWARA Minoru

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50008504
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1995年度: 八戸工業大学, 工学部, 教授
1988年度 – 1990年度: 群馬大学, 工学部, 教授
1986年度: 群大, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子材料工学 / 応用物理学一般
キーワード
研究代表者
RF放電 / オプトガルバノ効果 / 負イオン / 高周波放電 / シランプラズマの診断 / 探針法 / Plasma Diagnostics / r.f.Discharge / Plasma Polymerization / Elementary Processes in Plasmas … もっと見る / Plasma Chemistry / Plasma Processing / Plasma / 非平衡プラズマ / プラズマ診断 / r.f.放電 / プラズマ重合 / プラズマ素過程 / プラズマ化学 / プラズマプロセス / プラズマ / SF_6ガス放電 / モンテ・カルロシミュレーション / 低周波放電 / シランプラズマの診断法 / 複探針 / 単探針 / フォトンカウンテング法 / ダブルプルーブ法 / イオンシース / イオン電導 / 低気圧放電 / フォトカウンティング法 / ダブルプロ-ブ法 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 共同研究者

    (13人)
  •  RF放電電極シース内のイオン電導機構研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 実
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      八戸工業大学
  •  反応性非平衡RFプラズマの診断研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 実
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      群馬大学
  •  反応性非平衝RFプラズマの診断研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 実
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      群馬大学
  •  非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 実
    • 研究期間 (年度)
      1984 – 1986
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      群馬大学
  • 1.  石川 稜威男 (00020446)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  松沢 秀典 (40006234)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  菅ノ又 伸治 (50020425)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  小林 祥男 (10042582)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  板谷 良平 (90025833)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  土手 敏彦 (20087422)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  真瀬 寛 (30007611)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  佐藤 徳芳 (40005252)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  大内 幹夫 (90057258)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  松岡 昭男 (70114197)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  岡田 富男 (10111395)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  内田 喜之
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  UCHITA Yoshiyuki
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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