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大津 康徳  OHTSU Yasunori

研究者番号 50233169
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-9501-547X
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 佐賀大学, 理工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2018年度 – 2024年度: 佐賀大学, 理工学部, 教授
2016年度 – 2017年度: 佐賀大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2011年度 – 2013年度: 佐賀大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2007年度: 佐賀大学, 理工学部, 准教授
2002年度 – 2006年度: 佐賀大学, 理工学部, 助教授
2001年度: 佐賀大学, 理工学部, 講師
1994年度 – 1995年度: 佐賀大学, 理工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / 小区分14010:プラズマ科学関連 / 中区分14:プラズマ学およびその関連分野 / プラズマ理工学
研究代表者以外
プラズマ理工学 / 人文・社会系 / 理工系
キーワード
研究代表者
ナノ構造体 / 負イオン / 2次電子放出係数 / 2次電子放出係数 / 高密度プラズマ / 容量結合型放電 / メッシュ電極 / ナノサイズ構造体 / クーロン力 / ヘリウム … もっと見る / 低速電子放出 / イオン・イオンプラズマ / レーザ光脱離法 / 高周波ハイブリッドプラズマ / 高出力負イオン源 / 新規ホロー磁化放電 / 高密度水素プラズマ / ホロー磁化放電 / ハイブリッドプラズマCVD / 誘導結合型プラズマ / 容量結合型プラズマ / ホロー放電 / 負イオン源 / 電子放出 / ナノウォール / 高周波磁化ホロー放電 / 静電プローブ / 磁界閉じ込め効果 / ガス圧力 / 非アルカリ金属 / リングホロー磁化放電 / ネオリングホロー磁化放電 / PIC-MCC法 / イオン飽和電流 / スモラッコウスキー効果 / ネオリングホロ―磁化放電 / ホロー陰極放電 / 高密度プラズマ源 / プラズマ応用 / 低気圧高密度プラズマ / ネオ磁場構造 / ホロー効果 / リング状ホロー磁化放電 / 高密度均一プラズマ / スパッタリング / 高速アッシング / ネオ磁場配位リングホロー磁化放電 / ハイブリッドリングホロ-放電 / 粒子シミュレーション / 容量結合プラズマ / ガンマ作用 / 多重リング状ホロー電極 / 容量結合放電 / ホロー陰極効果 / ハイブリッドリングホロー放電 / ガス温度 / 商用周波数 / 誘電体 / 大気圧バリア放電 / プラズマ照射 / 撥水性 / 表面改質 / 生体模擬材料 / 低融点材料 / バリア放電 / 大気圧室温プラズマ / 高密度 / 容量結合型高周波放電 / 酸化物電極 / 二次電子放出係数 / 光源 / スパッタリングプラズマ源 / チタン酸ストロンチウム / 酸化マグネシウム / 酸化物 / レーザ光散乱法 / ラングミュアプローブ / 微粒子 / フィラメント / 電子ビーム発生器 / 凝集成長 / スパッタ法 / 電位構造 / レーザー光散乱法 / 浮遊微粒子 / 電子ビーム … もっと見る
研究代表者以外
Hole parameter / Ion energy distribution / Ion temperature / Simulated divertor plasma / High angular resolution analyzer / イオン2次元速度空間構造 / ホールパラメータ / イオンエネルギー分布 / イオン温度 / 模擬ダイバータプラズマ / 高角度分解能アナライザ / negative ion / annular slot antenna / ring-shaped permanent magnet / uniform plasma / high density plasma / large diameter plasma / 負イオン / リング状永久磁石 / 円環スロットアンテナ / 均一密度プラズマ / 高密度プラズマ / 大面積プラズマ / チタン酸ストロンチウム / 二酸化チタン / 酸化マグネシウム / オージェ中和理論 / 誘電体バリア放電 / 2次電子放出 / 撥水・親水性 / ポリマー表面処理 / プラズマテレビ / ペニング効果 / 放電開始電圧 / 強誘電体 / 高2次電子放出 / マイクロプラズマ / 通信 / 加熱 / 体験型理科教室 / 教材 / 創造性教育 / 電子レンジ / 創造性育成 / 事前調査 / 生徒目線の教材 / 科学教材 / 電気を通さないもの / 電気を通すもの / 電磁波 / 携帯電話 / 真空 / 磁石 / プラズマ / 独創性 / 創造性 / 生徒体験型 / 理科教材 / 科学的創造性 / 磁力線 / 太陽風 / 永久磁石 / 地磁気 / オーロラ 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 研究成果

    (150件)
  • 共同研究者

    (11人)
  •  らせんステップ型低速電子高放出によるヘリウムのイオン・イオンプラズマ生成研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分14:プラズマ学およびその関連分野
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  高出力負イオン源実現に向けた新規ホロー磁化放電による高密度水素プラズマの生成研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14010:プラズマ科学関連
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  スモラッコウスキー効果によるネオリングホロー磁化放電の確立と負イオン生成研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分14010:プラズマ科学関連
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  低気圧高密度均一プラズマ源のためのネオ磁場配位型リングホロー磁化放電の新展開研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  ハイブリッドリングホロー放電の確立と大面積高密度均一プラズマ源への応用研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  高2次電子放出・強誘電体酸化物電極による高圧気体マイクロプラズマ低エネルギー生成

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  電子レンジ・携帯電話にみる電磁波体験型科学創造性育成法の開発

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      人文・社会系
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  新医療福祉機器を目指した大気圧室温プラズマ生成研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  生徒体験型オーロラ実験に関する教材開発

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      人文・社会系
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  酸化物電極容量結合型放電による高効率高密度プラズマ生成とその展開研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  高角度分解能アナライザによる模擬ダイバータプラズマイオン2次元速度空間構造解析

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  電子ビーム注入による浮遊微粒子の空間分布制御研究代表者

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学
  •  大直径ウエハエッチング用円環スロットアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      佐賀大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] Characteristics of Novel Rotational Magnetron Sputtering Plasma Sources with Various Magnet Arrangements for Target Utilization Saving Resources2022

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, M. Amzad Hossain and J. Schulze
    • 総ページ数
      30
    • 出版者
      Nova Science Publishers
    • ISBN
      9798886973310
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [図書] 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術(第2巻)2021

    • 著者名/発表者名
      穂積、大津 他24名
    • 総ページ数
      280
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー
    • ISBN
      9784864282505
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [図書] ZnO Thin Films: Properties, Performance and Applications Chapter 6 Development of Novel RF Sputtering Plasma Source and Preparation of Al-Doped ZnO Thin Films for Transparent Conductive Oxide Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu and Takashi Sumiyama
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      NOVA Science Publishers
    • ISBN
      9781536160864
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [図書] 1.Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      IntechOpen
    • ISBN
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [図書] エレクトロニクス・エネルギー分野における超撥水・超親水化技術2012

    • 著者名/発表者名
      矢嶋, 大津, 他
    • 出版者
      (株)技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [図書] Preparation of Zirconium Oxide Thin Film by Plasma Coating Method and its Hydrohobic Nature in Zirconium Characteristics, Technology and Performance2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 出版者
      Nova Science Publisher, Inc. New York
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [図書] エレクトロニクス・エネルギー分野における超撥水・超親水化技術2012

    • 著者名/発表者名
      矢嶋、大津、他39名
    • 総ページ数
      418
    • 出版者
      株式会社 技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [図書] Preparation of Zirconium Oxide Thin Film by Plasma Coating Method and its Hydrophobic Nature in Zirconium -Charactertistics, Technology and Performance,2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, D.R.Mylinari, M.Nagai, J.Benavente, G.Maccauro et al
    • 総ページ数
      138
    • 出版者
      Nova Science Publisher, Inc. New York
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Spatial structures of rf?ring-shaped magnetized sputtering plasmas with two facing cylindrical ZnO/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> targets2023

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Hara Kousuke、Imoto Shoma、Schulze Julian、Yasunaga Takeshi、Ikegami Yasuyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SI ページ: SI1007-SI1007

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acc7aa

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678, KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [雑誌論文] Spatial distributions of the ion flux in a capacitive hydrogen RF discharge using a hollow cathode with double toroidal grooves enclosed by magnets2023

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Hiwatashi Hokuto、Schulze Julian
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SL ページ: SL1017-SL1017

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acdb7f

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678, KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [雑誌論文] Temporal evolution of the ion flux to the target in rotational RF multi-magnetron plasma2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Koya Yasuda, and Julian Schulze
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol.A

      巻: 40 号: 5 ページ: 053006-053006

    • DOI

      10.1116/6.0001994

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [雑誌論文] Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> ? ZnO targets2022

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Sakata Godai、Schulze Julian、Yasunaga Takeshi、Ikegami Yasuyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SI ページ: SI1005-SI1005

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac4a01

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [雑誌論文] Properties of AZO thin films prepared by stationary and rotating RF magnetized plasma sputtering source2022

    • 著者名/発表者名
      Hossain Md. Amzad、Patwary Md Abdul Majed、Rahman Md. Mustafizur、Ohtsu Yasunori
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 号: 1 ページ: 015224-015224

    • DOI

      10.1063/5.0064434

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization2022

    • 著者名/発表者名
      Koya Yasuda, Yasunori Ohtsu and Julian Schulze
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 202 ページ: 111184-111184

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2022.111184

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [雑誌論文] Preparation of Water-Repellent Film on a Plastic Plate by Unbalanced Radio-Frequency Magnetron Plasma Sputtering Using PTFE Target for a Next-Generation Automobile Window2021

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Ino Yuta、Fujio Yuki、Tabaru Tatsuo、Yasunaga Takeshi、Ikegami Yasuyuki
    • 雑誌名

      Plasma Chemistry and Plasma Processing

      巻: 41 号: 6 ページ: 1631-1646

    • DOI

      10.1007/s11090-021-10204-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation2021

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Imoto Shoma、Takemura Shunya、Schulze Julian
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 193 ページ: 110531-110531

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2021.110531

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Characteristics of a rotational windmill-shaped radio frequency magnetron sputtering plasma for effective target utilization2020

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Nakashima Takahiro、Tanaka Rei、Schulze Julian
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 181 ページ: 109593-109593

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2020.109593

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Development of rotational maze-shaped RF magnetron plasma for successful target utilization and thin-film preparation2020

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Tanaka Rei、Nakashima Takahiro
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SA ページ: SAAB01-SAAB01

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abb758

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Spatial structure of radio-frequency capacitive discharge plasma with ring-shaped hollow electrode using Ar and O2 mixture gases2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Masaya Takasaki and Julian Schulze
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 35 ページ: 355202-355202

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab2862

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Treatment of a polycarbonate plate for a next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering using a PVDF target2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu , Yusuke Takada, Kosei Sugawara, Yuki Fujio, and Tatsuo Tabaru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SE ページ: SEED03-SEED03

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab0c72

    • NAID

      210000156088

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Observation of ring-shaped pulsed DC discharge plasma source using single pole magnet setups for material processing2019

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain, M. A. Majed Patwary, M. M. Rahman Bhuiyan, Yutaro Nakamura, Kosei Sugawara & Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      Radiation Effects and Defects in Solids Incorporating Plasma Science and Plasma Technology

      巻: 174 号: 5-6 ページ: 380-396

    • DOI

      10.1080/10420150.2019.1596105

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [雑誌論文] Outer Ring-Shaped Radio Frequency Magnetized Plasma Source for Target Utilization in Specific Area2018

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain and Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 46 号: 8 ページ: 2894-2900

    • DOI

      10.1109/tps.2018.2850352

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] RF magnetized ring-shaped plasma for target utilization obtained with circular magnet monopole arrangement2018

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain and Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 57 号: 1S ページ: 01AA05-01AA05

    • DOI

      10.7567/jjap.57.01aa05

    • NAID

      210000148531

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Performance of a Gyratory Square-Shaped Capacitive Radio Frequency Discharge Plasma Sputtering Source for Materials Processing2017

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu and Tatsuo Tabaru
    • 雑誌名

      Plasma Chem Plasma Process

      巻: 37 号: 6 ページ: 1663-1677

    • DOI

      10.1007/s11090-017-9847-1

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] RF Magnetized Ring-Shaped Plasma for Uniform Cu Target Utilization by Circular Magnets Monopole Arrangement2017

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain and Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      Proc. ISPlasma 2017

      巻: 9

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Surface treatment of silicon wafer by atmospheric pressure plas ma jet with a tungsten rod coated by C22017

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu and Kenta Nagamatsu
    • 雑誌名

      Proc. ISPlasma 2017

      巻: 9

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] PRotational cross-shaped magnetized radio-frequency sputtering plasma source for uniform circular target utilization2017

    • 著者名/発表者名
      Tsubasa Ide, Md. Amzad Hossain, Yutaro Nakamura and Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films

      巻: 35 号: 6

    • DOI

      10.1116/1.4999221

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Spatial structure of radio frequency ring-shaped magnetized discharge sputtering plasma using two facing ZnO/Al2O3 cylindrical targets for Al-doped ZnO thin film preparation2017

    • 著者名/発表者名
      Takashi Sumiyama, Takaya Fukumoto, Yasunori Ohtsu, and Tatsuo Tabaru
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 7 号: 5

    • DOI

      10.1063/1.4983851

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Electrical and Structural Properties of Copper Thin Films Deposited by Novel RF Magnetized Plasma Sputtering with Gyratory Square-Shaped Arrangement by Bar Permanent Magnets2016

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain and Yasunori Ohtsu
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society 69th Annual Gaseous Electronics Conference

      巻: 61

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] High-density radio-frequency magnetized plasma sputtering source with rotational square-shaped arrangement of rod magnets for uniform target utilization2016

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain, T. Ide, K. Ikari, Y. Ohtsu
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 128 ページ: 219225-219225

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2016.03.035

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Spatial structure of plasma density and electron temperature in capacitive RF discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths2016

    • 著者名/発表者名
      J. Schulze, E. Schuengel, N. Matsumoto, Y. Ohtsu
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society 69th Annual Gaseous Electronics Conference

      巻: 61

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Capacitive radio frequency discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths to enhance the plasma density and lateral uniformity2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, N. Matsumoto, J. Schulze and E. Schuengel
    • 雑誌名

      PHYSICS OF PLASMAS,

      巻: 23 号: 3 ページ: 033510-033510

    • DOI

      10.1063/1.4943964

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [雑誌論文] Production of radio frequency magnetron plasma by monopole arrangement of magnets for target uniform utilization2014

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, M.Shigyo, M.Akiyama, T.Tabaru
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 101 ページ: 403-407

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge plasma for low-pressure plasma processing2014

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, J.Eguchi and Y.Yahata
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 101 ページ: 46-52

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2013.07.029

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge plasma for low-pressure plasma processing2014

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, J.Eguchi, Y.Yahata
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 101 ページ: 46-52

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Production of High-Density Radio Frequency Plasma Source by Ring-Shaped Hollow-Cathode Discharge at Various Trench-Shapes2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo and T.Takeuchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci., Special Issue on Ion sources

      巻: 41 号: 8 ページ: 1856-1862

    • DOI

      10.1109/tps.2012.2222053

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Criteria of radio-frequency ring-shaped hollow cathode discharge using H2 and Ar gases for plasma processing2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu and Y.Kawasaki
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys

      巻: 113 号: 3

    • DOI

      10.1063/1.4776220

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Production of high-density radio frequency plasma source by ring-shaped hollow-cathode discharge at various trench-shapes, IEEE Trans2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo, T.Takeuchi
    • 雑誌名

      Plasma Sci., Special Issue on Ion sources

      巻: 41 ページ: 1856-1862

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Production of low electron temperature plasma and coating of carbon-related water repellent films on plastic plate2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu and K.Kihara
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci., Special Issue on Carbon-Related Materials Processing by Plasma Technologies

      巻: 40 号: 7 ページ: 1809-1814

    • DOI

      10.1109/tps.2012.2194513

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Influence of trench shape of ring-shaped hollow electrode on high-density capacitive coupled plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo, T.Takeuchi
    • 雑誌名

      Proc. Plasma Conference 2011

      巻: 22P027-O

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Influence of trench shape of ring-shaped hollow electrode on high-density capacitive coupled plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo, T.Takeuchi
    • 雑誌名

      Proc. Plasma Conference

      巻: 22P027-O ページ: 1-2

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [雑誌論文] Production of dielectric barrier discharge microplasmas at various oxides with high secondary electron emission and high dielectric constanat2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu and H. Fujita
    • 雑誌名

      Proc. of The 4th International Workshop on Microplasmas 無

      ページ: 57-58

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] PLASMA TREATMENT OF POLYMER MATERIAL BY DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE WITH MESH ELECTRODE2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, K. Kawaguchi and H. Fujita
    • 雑誌名

      Proc. of The 4th International Workshop on Microplasmas 無

      ページ: 112-113

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] Plasma characteristics of atmospheric microplasma produced by high secondary electron-emission-material2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu and H. Fujita
    • 雑誌名

      Proc. of 18th International Symposium on Plasma Chemistry (CD-ROM)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] Influence of dielectric material on atmospheric barrier discharge plasma using noble gases2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, N.Yamasaki, H.Fujita
    • 雑誌名

      Proceedings of The 24 Symposium on Plasma Processing

      ページ: 191-192

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] Microplasma generation beyond atmospheric pressure by dielectric barrier discharge with high secondary-electron-emission oxides2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, K.Eura, H.Fujita
    • 雑誌名

      Proceedings of 13^<th> Asian Conference on Electrical Discharge (CD-ROM)

      ページ: 1-4

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] Breakdown characteristics of atmospheric pressure microplasma produced by dielectric barrier discharge with high-secondary-electron-emission oxides2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, K.Eura, H.Fujita
    • 雑誌名

      Proceedings of 3^<rd> International Workshop on Microplasma

      ページ: 68-68

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] 電子レンジ・携帯電話にみる電磁波体験型科学創造性育成法の開発2006

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
    • 雑誌名

      科学研究費補助金特定領域研究「新世紀型理数科系教育の展開研究」研究項目A02(論理的思考力や創造性・独創性を育むための教育内容や指導方法・教材等の研究」平成14-18年度研究成果報告書

      ページ: 359-368

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17011057
  • [雑誌論文] 身近な家電・情報機器による電磁波体験型創造性育成教材2006

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也, 馬原俊治, 馬原由美子
    • 雑誌名

      日本科学教育学会第30回年会論文集 30

      ページ: 438-438

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17011057
  • [雑誌論文] 2006リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告2006

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也, 藤崎寿一
    • 雑誌名

      応用物理教育 30・2

      ページ: 89-91

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17011057
  • [雑誌論文] Ar/0_2 gas pressure dependence of atomic concentration of zirconia prepared by zirconium pulse arc PBII&D2006

    • 著者名/発表者名
      K.Yukimura, H.Yoshinaga, Y.Ohtsu, H.Fujita, K.Nakamura, X.Ma
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B : Beam Interactions with Materials and Atoms Vol.242

      ページ: 318-320

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Influences of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, T.Shimazoe, T.Misawa, H.Fujita
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 545-549

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [雑誌論文] 2005年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告:キミは未来の科学者だ!〜サイエンスマジック〜2005

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也, 藤崎寿一
    • 雑誌名

      応用物理教育 29・2

      ページ: 43-46

    • NAID

      10016952524

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17011057
  • [雑誌論文] 2004年度リフレヅシュ理科教室報告:九州支部佐賀会場のリフレッシュ理科教室〜台所にひそむ科学〜2005

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也, 藤崎寿一
    • 雑誌名

      応用物理 74・5

      ページ: 640-641

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17011057
  • [雑誌論文] Preparation of zirconium oxide thin film using inductively coupled oxygen plasma sputtering2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, M.Egami, H.Fujita, K.Yukimura
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol. Vol.196

      ページ: 81-84

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Influence of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, T.Shimazoe, T.Misawa, H.Fujita
    • 雑誌名

      Abstract of 7^<th> Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 17^<th> Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 432-432

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] 2004年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告2004

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
    • 雑誌名

      応用物理教育 28・2

      ページ: 33-35

    • NAID

      10014063678

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [雑誌論文] Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Applied Physic Letter 85・21

      ページ: 4875-4877

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [雑誌論文] Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Applied Physic Letter 85・21

      ページ: 4875-4877

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15684011
  • [雑誌論文] High ozone generation with a high-dielectric constant material2004

    • 著者名/発表者名
      M.Toyofuku, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・7

      ページ: 4368-4372

    • NAID

      10013317821

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Influence of substrate biasing on (Ba,Sr)TiO_3 films prepared by electron cyclotron resonance plasma sputtering2004

    • 著者名/発表者名
      T.Matsumoto, A.Niino, Y.Ohtsu, T.Misawa, A.Yonesu, H.Fujita, S.Miyake
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・3

      ページ: 1144-1148

    • NAID

      10012715477

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15684011
  • [雑誌論文] 2003年度リフレッシュ理科教室報告「佐賀でのリフレッシュ理科教室」-身忻なもので楽しもう-2004

    • 著者名/発表者名
      藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
    • 雑誌名

      応用物理 73・5

      ページ: 654-655

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [雑誌論文] Measurement of ion temperature in magnetized inductively coupled plasma with external helical antenna2004

    • 著者名/発表者名
      I.Mihaila, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Physic Letters A 327

      ページ: 327-331

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Measurement of ion temperature in magnetized inductively coupled plasma with external helical antenna2004

    • 著者名/発表者名
      I.Mihaila, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Physic Letters A 327

      ページ: 327-331

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [雑誌論文] Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Applied Physic Letter 85・21

      ページ: 4875-4877

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Influence of substrate biasing on (Ba,Sr)TiO_3 films prepared by electron cyclotron resonance plasma sputtering2004

    • 著者名/発表者名
      T.Matsumoto, A.Niino, Y.Ohtsu, T.Misawa, A.Yonesu, H.Fujita, S.Miyake
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・3

      ページ: 1144-1148

    • NAID

      10012715477

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16654096
  • [雑誌論文] Influence of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, T.Shimazoe, T.Misawa, H.Fujita
    • 雑誌名

      Abstract of 7^<th> Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 17^<th> Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 432-432

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15684011
  • [雑誌論文] High ozone generation with a high-dielectric constant material2004

    • 著者名/発表者名
      M.Toyofuku, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・7

      ページ: 4368-4372

    • NAID

      10013317821

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15684011
  • [雑誌論文] Influence of substrate biasing on (Ba,Sr)TiO_3 films prepared by electron cyclotron resonance plasma sputtering2004

    • 著者名/発表者名
      T.Matsumoto, A.Niino, Y.Ohtsu, T.Misawa, A.Yonesu.H.Fujita, S.Miyake
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・3

      ページ: 1144-1148

    • NAID

      10012715477

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [雑誌論文] Measurement of ion temperature in magnetized inductively coupled plasma with external helical antenna2004

    • 著者名/発表者名
      I.Mihaila, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Physic Letters A 327

      ページ: 327-331

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15684011
  • [雑誌論文] High ozone generation with a high-dielectric constant material2004

    • 著者名/発表者名
      M.Toyofuku, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・7

      ページ: 4368-4372

    • NAID

      10013317821

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15020250
  • [産業財産権] プラズマ処理装置2016

    • 発明者名
      大津康徳
    • 権利者名
      佐賀大学、神港精機㈱
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-06-22
    • 取得年月日
      2016-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [産業財産権] プラズマ処理装置2012

    • 発明者名
      大津康徳、加々見丈二、川下安司、竹内達也
    • 権利者名
      国立大学法人佐賀大学、神港精機㈱
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-06-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [産業財産権] プラズマ処理装置2012

    • 発明者名
      大津康徳, 加々見丈二, 川下安司, 竹内達也
    • 権利者名
      国立大学法人佐賀大学, 神港精機(株)
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-06-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Enhancement of high-density hydrogen-plasma production using cylindrical-shaped hollow cathode at a lower H2 gas pressure by multi-cusp magnetic fields2024

    • 著者名/発表者名
      Md Hasibul Islam, Takeshi Uchida and Yasunori Ohtsu
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Enhancement of high-density hydrogen-plasma production using cylindrical-shaped hollow cathode at a lower H2 gas pressure by multi-cusp magnetic fields2024

    • 著者名/発表者名
      Md Hasibul Islam, Takeshi Uchida and Yasunori Ohtsu
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678
  • [学会発表] Characteristics of RF hybrid-plasma using hydrogen gas2024

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru and Julian Schulze
    • 学会等名
      Proc. ISPlasma2024//IC-PLANTS2024/APSPT-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Characteristics of RF hybrid-plasma using hydrogen gas2024

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru and Julian Schulze
    • 学会等名
      roc. ISPlasma2024//IC-PLANTS2024/APSPT-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678
  • [学会発表] 円筒対向ターゲットを用いたリング状磁化スパッタ装置の開発とAZO薄膜合成2023

    • 著者名/発表者名
      大津康徳
    • 学会等名
      日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第173回定例研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Design of rotational RF magnetron sputtering plasma and its characteristics for target utilization saving resources2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Otsu, Md. Amzad Hossain, Julian Schulze
    • 学会等名
      76th Annual Gaseous Electronics Conference, Bulletin of the American Physical Society
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678
  • [学会発表] 高周波ハイブリッド放電による高密度水素プラズマ生成2023

    • 著者名/発表者名
      大津康徳、田原竜夫
    • 学会等名
      2022年度第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 円筒対向ターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマ生成に及ぼす磁石配置の影響2023

    • 著者名/発表者名
      近藤文太、大津康徳
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Production of high-density hydrogen plasma by RF magnetized hollow cathode discharge with magnet2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, T. Uchida, R. Kuno and J. Schulze
    • 学会等名
      Proc. 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Production of high-density hydrogen plasma by RF magnetized hollow cathode discharge with magnet2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, T. Uchida, R. Kuno and J. Schulze
    • 学会等名
      Proc. 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678
  • [学会発表] Production of radio-frequency hybrid-discharge plasma using hydrogen gas for thin film preparation2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Otsu and Tatsuo Tabaru
    • 学会等名
      Bulletin of the American Physical Society, 76th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 永久磁石を用いた高周波磁化ホロー陰極放電による高密度水素プラズマ生成とその空間分布の計測2023

    • 著者名/発表者名
      内田武志、大津康徳
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 小型マグネトロンプラズマのアレー状配置型高周波マグネトロンスパッタ源に及ぼす磁石位置の影響2023

    • 著者名/発表者名
      升永 龍之介、大津 康徳
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Design of rotational RF magnetron sputtering plasma and its characteristics for target utilization saving resources2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Otsu, Md. Amzad Hossain, Julian Schulze
    • 学会等名
      6th Annual Gaseous Electronics Conference, Bulletin of the American Physical Society
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Production of radio-frequency hybrid-discharge plasma using hydrogen gas for thin film preparationの計測2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Otsu and Tatsuo Tabaru
    • 学会等名
      Bulletin of the American Physical Society, 76th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17678
  • [学会発表] フッ素樹脂ターゲットを用いた高周波マグネトロンプラズマの空間分布計測2023

    • 著者名/発表者名
      久野凌平、大津康徳、安永 健、池上 康之
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] ターゲット有効利用のための小型マグネトロンプラズマのアレー状配置型高周波マグネトロンスパッタ源の開発2022

    • 著者名/発表者名
      升永龍之介、大津康徳
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Spatial structures of rf ring-shaped magnetized sputtering plasma with two facing cylindrical ZnO/ Al2O3 targets2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, K. Hara, S. Imoto, J. Schulze, T. Yasunaga, Y. Ikegami
    • 学会等名
      Proc. of 43rd International Symposium on Dry process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Spatial distributions of hydrogen RF discharge plasma using a hollow cathode with double toroidal grooves combined with magnets2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Hokuto Hiwatashi and Julian Schulze
    • 学会等名
      Proc. 11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 対向円筒型AZOターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマの空間分布とAZO薄膜合成2022

    • 著者名/発表者名
      井本将真、大津康徳
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 佐賀大学プラズマエレクトロニクス研究室のご紹介2022

    • 著者名/発表者名
      大津康徳、井本将真、内田武志、升永龍之介
    • 学会等名
      SEMICON JAPAN2022
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 高密度水素プラズマ生成のための永久磁石を用いた高周波磁化ホロー陰極放電装置の開発2022

    • 著者名/発表者名
      内田武志、大津康徳
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3-ZnO targets2021

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, G. Sakata, J. Schulze, T. Yasunaga and Y. Ikegami
    • 学会等名
      42th International Symposium on Dry Process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 対向円筒型 AZO ターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマの空間分布2021

    • 著者名/発表者名
      井本将真 , 原光佑, 大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第 25 回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] ターゲット有効利用のための磁石回転型マグネトロンスパッタ装置の開発2021

    • 著者名/発表者名
      安田洸也、大津康徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 円筒対向ターゲットスパッタのための高周波リング状ホロー磁化プラズマの生成2021

    • 著者名/発表者名
      井本将真、大津康徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 小型マグネトロンプラズマを組み合わせた回転型アレー状高周波マグネトロンスパッタプラズマの開発2021

    • 著者名/発表者名
      安田洸也, 大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第 25 回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築と ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成2020

    • 著者名/発表者名
      井野 雄太、大津 康徳、安永 健、池上 康之
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 対向円筒型ターゲットを用いた高周波プラズマスパによる透明導電膜の合成とその空間分布2020

    • 著者名/発表者名
      坂田豪大,大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] アンバランスマグネトロンスパッタによるポリカーボネート板へのPTFE撥水性膜合成及び評価2020

    • 著者名/発表者名
      井野雄太、大津康徳、安永健、池上康之、田原竜夫、藤尾侑輝
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] Development of rotational maze-shaped RF magnetron plasma for successful target utilization and the thin film preparation2020

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Rei Tanaka and Takahiro Nakashima
    • 学会等名
      ISPlasma2020/IC-PLANTS2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 高周波マグネトロンスパッタにおける回転型新規磁石配置によるターゲット浸食分布の改善2020

    • 著者名/発表者名
      安田洸也、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] ターゲット有効利用のための新規磁石配置による回転型高周波マグネトロンスパッタリング装置の開発2020

    • 著者名/発表者名
      安田 洸也、大津 康徳
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] ターゲット利用率向上 を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発 とその評価2019

    • 著者名/発表者名
      田中 黎、大津 康徳、中嶋 崇博
    • 学会等名
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 高周波マグネトロンスパッタリングによる金属板表面へのPVDF薄膜合成2019

    • 著者名/発表者名
      安田洸也,井野雄太,大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第23回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] アンバランスマグネトロンスパッタによる次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成2019

    • 著者名/発表者名
      井野雄太,安田洸也,大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第23回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, K. Kawabata, K. Aso and J. Schulze
    • 学会等名
      2019 International Symposium on Dry Process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成のための高周波マグネトロンスパッタ装置の開発2019

    • 著者名/発表者名
      井野 雄太、大津 康徳、安田 洸也
    • 学会等名
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマの生成と分光特性2019

    • 著者名/発表者名
      本田 進之介、大津 康徳、井野 雄太、福永 悠人
    • 学会等名
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 回転迷路型高周波マグネトロンスパッタ装置の開発とその評価2019

    • 著者名/発表者名
      田中黎,中嶋崇博,大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第23回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマアッシングの酸素濃度依存性と分光特性2019

    • 著者名/発表者名
      本田進之介,井野雄太,福永悠人,大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第23回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03784
  • [学会発表] 3.低気圧水素ガスにおけるホロー陰極効果と磁場閉 じ込めを用いた高密度水素プラズマの計測2018

    • 著者名/発表者名
      麻生和希、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第22回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 1.高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドフィルムの高速アッシング2018

    • 著者名/発表者名
      本田進之介、井野雄太、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第22回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 6.Treatment of polycarbonate plate for next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering with an arrangement of cylindrical magnets2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, Y. Takada, K. Sugawara, Y. Fujio and T. Tabaru
    • 学会等名
      Proc. of 40th anniversary International Symposium on Dry Process (DPS2018), 40, 151-152
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 9.ホロー陰極効果と磁場閉じ込め効果を用いた低気圧高密度水素プラズマ源の生成2018

    • 著者名/発表者名
      麻生和希、大津康徳
    • 学会等名
      2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 8.アルゴン酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドアッシングの特性2018

    • 著者名/発表者名
      本田進之介、大津康徳
    • 学会等名
      2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] Ar-O2混合ガスを用いた高周波プラズマの空間構造2017

    • 著者名/発表者名
      高崎 雅也、大津 康徳、Julian Schulze
    • 学会等名
      2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 酸素ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドアッシングの高速化2017

    • 著者名/発表者名
      本田進之介、高崎雅也、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 低気圧高密度プラズマ生成のための高周波磁化ホロー放電電極の開発2017

    • 著者名/発表者名
      麻生 和希、大津 康徳
    • 学会等名
      2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 高周波磁化ホロー放電電極を用いた低気圧高密度水素負イオンの生成2017

    • 著者名/発表者名
      川端圭志、麻生和希、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] ホロー電極を用いたAr-O2混合高周波プラズマの空間構造2017

    • 著者名/発表者名
      高崎雅也、本田進之介、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] Outer Circular Ring-Shaped RF Magnetized Plasma for Specific Area Target Utilization by Magnetic Monopole Arrangement2017

    • 著者名/発表者名
      Md. Amzad Hossain and Yasunori Ohtsu
    • 学会等名
      44th International Conference on Plasma Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] ホロー電極と磁石を用いた低気圧高密度水素プラズマの生成2017

    • 著者名/発表者名
      麻生和希、川端圭志、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 円筒型AZO対向ターゲットを用いた高周波スパッタプラズマの空間構造2016

    • 著者名/発表者名
      福元喬也、住山貴史、大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第20回支部大会
    • 発表場所
      州大学伊都キャンパス
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 角形磁石を用いた回転型十字磁化プラズマスパッタリング装置の開発と銅ターゲット均一利用2016

    • 著者名/発表者名
      井手 翼、中村優太朗、大津康徳、田原竜夫、本村大成
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2016-10-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 対向円筒型ターゲットを用いたリング状磁化放電スパッタによる低抵抗AZO薄膜合成2016

    • 著者名/発表者名
      住山貴史、福元喬也、大津康徳、田原竜夫、本村大成
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価2016

    • 著者名/発表者名
      高田祐輔、菅原光星、大津康徳
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2016-10-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] 対向円筒型ターゲットを用いたRF磁化放電スパッタによるAZO透明導電薄膜合成2016

    • 著者名/発表者名
      住山貴史、福本喬也、大津康徳、田原竜夫、本村大成
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2016-10-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05634
  • [学会発表] Characteristics of capacitively coupled collisional plasma with RF ring-shaped hollow cathode2014

    • 著者名/発表者名
      N.Matsumoto, Y.Ohtsu
    • 学会等名
      ICRP-8/SPP-31
    • 発表場所
      福岡国際会議場
    • 年月日
      2014-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] リング状ホロー電極を用いた容量結合型衝突プラズマの特性2013

    • 著者名/発表者名
      松本直樹, 大津康徳
    • 学会等名
      2013年(平成25年度)応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2013-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Production of High-Density RF Plasma Using Ring-Shaped Hollow Cathode for Material Processing2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 学会等名
      5th International Workshop on Plasma Scientech for All Something (PLASAS-5)
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Production of high-density RF plasma using ring-shaped hollow cathode for material processing2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 学会等名
      5th International Workshop on Plasma Scientech for All Something (PLASA-5)
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] アルゴン・水素混合ガスを用いた 高周波リング状ホロ-放電プラズマ特性2012

    • 著者名/発表者名
      大津康徳、川﨑裕次郎、武田賢治
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] 単極磁場配位型RFマグネトロンスパッタによるターゲット利用率改善2012

    • 著者名/発表者名
      大津康徳、執行正和、三沢達也
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      豊橋科学技術大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Numerical simulation of rf capacitive coupled plasma with ring-shaped hollow cathode2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 学会等名
      2nd AISC International Symposium
    • 発表場所
      神戸
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] ホロー効果を用いたプラズマプロセス装置におけるプラズマ密度のガス圧力依存性2012

    • 著者名/発表者名
      松本直樹, 大津康徳
    • 学会等名
      IEEE 主催 2012年度第2回学生研究発表会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2012-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Wood surface treatment by atmospheric RF capacitively coupled plasma jet2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu and M.Z.Hassan
    • 学会等名
      Proc. The 7th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] アルゴン・水素混合ガスを用いた高周波リング状ホロー放電プラズマ特性2012

    • 著者名/発表者名
      大津康徳, 川崎裕次郎, 武田賢治
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Wood Surface Treatment by Atmospheric RF Capacitively Coupled Plasma Jet", Proc.2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu and M.Z.Hassan
    • 学会等名
      The 7th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] High-density RF plasma by hollow cathode for plasma processing2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 学会等名
      4st International Workshop on Plasma Scientech for All Something(Plasas-4)(招待講演)
    • 発表場所
      北京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] High-density RF plasma by hollow cathode for plasma processing2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu
    • 学会等名
      4st International Workshop on Plasma Scientech for All Something (Plasas-4)
    • 発表場所
      中国北京
    • 年月日
      2011-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Inactivation of bacillus subtilis by atmospheric barrier discharge plasma2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohtsu, Y. Misazaki, T. Misawa and H. Fujita
    • 学会等名
      The 25th Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Yamaguchi
    • 年月日
      2008-01-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030012
  • [学会発表] リング状ホロー電極を用いた容量結合型衝突プラズマの特性

    • 著者名/発表者名
      松本直樹、大津康徳
    • 学会等名
      2013年(平成25年度)応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] Characteristics of capacitively coupled collisional plasma with RF ring-shaped hollow electrode

    • 著者名/発表者名
      N.Matsumoto and Y.Ohtsu
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31)
    • 発表場所
      福岡国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] ホロー効果を用いたプラズマプロセス装置におけるプラズマ密度のガス圧依存性

    • 著者名/発表者名
      松本直樹、大津康徳
    • 学会等名
      IEEE主催2012年度第2回学生研究発表会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • [学会発表] ホロー陰極効果による高速製膜用高密度容量結合型プラズマ装置の開発

    • 著者名/発表者名
      松本直樹、大津康徳
    • 学会等名
      第21回電子情報通信学会九州支部学生講演会
    • 発表場所
      熊本大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540577
  • 1.  藤田 寛治 (10038086)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 19件
  • 2.  三沢 達也 (70346873)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 10件
  • 3.  栃谷 元 (00264143)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  田原 竜夫 (10357478)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 5.  生島 貴之
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  田原 達夫
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 7.  シュルツ ジュリアン
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 8.  ホッサイン マハムッド アムザッド
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 9.  住山 貴史
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 10.  井手 翼
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 11.  中村 優太朗
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件

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