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李 雲龍  LI Yunlong

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50260419
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1998年度: 東北大学, 工学部, 助手
1997年度: 国際電気(株), 仙台研究所・半導体プロセス開発センター, 主任研究員
1994年度 – 1996年度: 東北大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ理工学
研究代表者以外
プラズマ理工学
キーワード
研究代表者
スパッタリング制御 / 永久磁石付き円筒形RF電極 / シース電圧制御 / 大口径プラズマ / マグネトロン型高周波放電プラズマ / 自己バイアス制御 / 円筒型多極磁場電極 / マグネトロン放電プラズマ
研究代表者以外
大口径プラズマ / 変形マグネトロン放電 … もっと見る / 高周波プラズマ / plasma processing / RF discharge / 高周波放電 / ECRプラズマ / 均一プラズマ / プラズマプロセス / 負イオン / ion-energy control / electron energy control / high-density plasma / uniform plasma / large-diameter plasma / magnetron discharge / マグネトロン放電 / 大面積プロセス / LC共振放電 / マグネットリング / 変形マグネトロン型放電 / プラズマプロセシング / イオンエネルギー制御 / 電子エネルギー制御 / 高密度プラズマ / 大面積プラズマ / Light emission spectroscopy / Radical measurment / plasma materials processing / Modified magnetron discharge / ECR plasma / RF plasma / Large-area uniform plasma / Large-diameter plasma / 発光分光法 / ラジカル計測 / プラズマ材料プロセス / 大面積均一プラズマ / high energy electron / low electron temperature / dissociative attachment / negative H ion / vibrational excitation / Electron temperature control / 励起 / 解離 / 電子付着 / 解離再結合 / 負イオンプラズマ / 水素プラズマ / 電子エネルギー / 高エネルギー電子 / 低電子温度 / 解離付着 / 水素負イオン / 振動励起 / 電子温度制御 / Plasma processing / Radical / Inductively Coupled Plasma / Helicon Wave / Magnetron-Typed Plasma / RF Plasma / ECR Plasma / Uniform Plasma / Plasma / ラジカル / 誘導結合プラズマ / ヘリコン波 / マグネトロン型プラズマ / RFプラズマ / Production of New Materials with Unique Functions / Plasma Processing / Negative Ion / Dust Plasma / Production of C_<60> Plasma / C_<60>生成 / 新物質創製 / ダストプラズマ / C_<60>プラズマ生成 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 共同研究者

    (10人)
  •  高周波放電プラズマにおけるスパッタリング制御研究代表者

    • 研究代表者
      李 雲龍
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  プラズマプロセス用大面積プラズマ源の開発

    • 研究代表者
      佐藤 徳芳
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      東北大学
  •  変形マグネトロン型プラズマ源の開発

    • 研究代表者
      佐藤 徳芳
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

    • 研究代表者
      佐藤 徳芳
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      東北大学
  •  電子温度制御による高効率負イオン生成

    • 研究代表者
      飯塚 哲
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  高周波放電プラズマ大面積化研究代表者

    • 研究代表者
      李 雲龍
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  C_<60>プラズマ生成法の確立とその応用

    • 研究代表者
      佐藤 徳芳
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  • 1.  飯塚 哲 (20151227)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  佐藤 徳芳 (40005252)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  畠山 力三 (00108474)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  平田 孝道 (80260420)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  CHOI DukーIn
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  CHANG HongーY
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  石黒 静児 (10193301)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  安藤 晃 (90182998)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  犬竹 正明 (90023738)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  CHUNG Hong-Young
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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