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岡本 大  Okamoto Dai

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50612181
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 富山県立大学, 工学部, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2023年度: 富山県立大学, 工学部, 准教授
2015年度 – 2020年度: 筑波大学, 数理物質系, 助教
2014年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・電子機器
研究代表者以外
電子・電気材料工学
キーワード
研究代表者
MOSFET / シリコンカーバイド / チャネル移動度 / 炭化ケイ素 / 界面準位 / MOSFET / 炭化珪素 / 熱酸化 / ゲート酸化膜 / 界面準位密度 … もっと見る / SiC / しきい値変動 / SiC MOSFET / 酸化膜信頼性 / 信頼性 / MOS界面 / チャージポンピング / NBTI / しきい値電圧変動 / MOS界面 / パワーデバイス / パッシベーション / ボロン … もっと見る
研究代表者以外
MOS界面 / 電子・電気材料 / pMOS / p型MOS / 超接合 / パワーデバイス / 炭化ケイ素 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 研究成果

    (62件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  フッ素添加熱酸化法による高移動度・高信頼性SiC MOSFETの開発研究代表者

    • 研究代表者
      岡本 大
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      富山県立大学
  •  SiCパワーデバイスの高信頼化に向けたNBTI現象の理解と抑制指針の提示研究代表者

    • 研究代表者
      岡本 大
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      富山県立大学
      筑波大学
  •  新規前駆体熱酸化手法によるSiC絶縁膜界面制御技術の開発とトランジスタ応用研究代表者

    • 研究代表者
      岡本 大
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      筑波大学
  •  低損失p型SiC超接合パワーMOSFETの基盤技術開発

    • 研究代表者
      矢野 裕司
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      筑波大学
  •  新規界面原子導入による高移動度SiC MOSFET作製技術の確立研究代表者

    • 研究代表者
      岡本 大
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      筑波大学
      独立行政法人産業技術総合研究所

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2014 その他

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Accurate determination of threshold voltage shift during negative gate bias stress in 4H-SiC MOSFETs by fast on-the-fly method2021

    • 著者名/発表者名
      Sakata Hiroki、Okamoto Dai、Sometani Mitsuru、Okamoto Mitsuo、Hirai Hirohisa、Harada Shinsuke、Hatakeyama Tetsuo、Yano Hiroshi、Iwamuro Noriyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 6 ページ: 060901-060901

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abff38

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [雑誌論文] Conduction mechanisms of oxide leakage current in p-channel 4H-SiC MOSFETs2020

    • 著者名/発表者名
      Nemoto Hiroki、Okamoto Dai、Zhang Xufang、Sometani Mitsuru、Okamoto Mitsuo、Hatakeyama Tetsuo、Harada Shinsuke、Iwamuro Noriyuki、Yano Hiroshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 4 ページ: 044003-044003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab7ddb

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [雑誌論文] Impact of oxide thickness on the density distribution of near-interface traps in 4H-SiC MOS capacitors2018

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57

    • NAID

      210000149219

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [雑誌論文] Analysis of fast and slow responses in AC conductance curves for p-type SiC MOS capacitors2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Karamoto, X. Zhang, D. Okamoto, M. Sometani, T. Hatakeyama, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57

    • NAID

      210000149221

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [雑誌論文] Characterization of Near-Interface Traps at 4H-SiC Metal-Oxide-Semiconductor Interfaces Using a Modified Distributed Circuit Model2017

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, R. Kosugi, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 10 号: 6 ページ: 064101-064101

    • DOI

      10.7567/apex.10.064101

    • NAID

      210000135889

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [雑誌論文] Improved Channel Mobility in 4H-SiC MOSFETs by Boron Passivation2014

    • 著者名/発表者名
      D. Okamoto, M. Sometani, S. Harada, R. Kosugi, Y. Yonezawa, and H. Yano
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: 35 号: 12 ページ: 1176-1178

    • DOI

      10.1109/led.2014.2362768

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26820136
  • [学会発表] SiF4添加酸化によるSiO2/4H-SiC 構造における界面準位密度の低減2023

    • 著者名/発表者名
      高林 知輝, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      令和5年度(2023年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03974
  • [学会発表] pチャネルSiC MOSFETにおけるCharge Pumping電流のチャネル長依存性2023

    • 著者名/発表者名
      田口 雄大, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第10回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03974
  • [学会発表] SiC MOSFETのSplit CV特性を説明する等価回路モデルの検討2023

    • 著者名/発表者名
      酒井 彰人, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      令和5年度(2023年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03974
  • [学会発表] pチャネルSiC MOSFETにおけるストレス印加・緩和時のしきい値電圧不安定性評価2023

    • 著者名/発表者名
      小橋 明希斗, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      令和5年度(2023年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03974
  • [学会発表] Understanding Negative Bias Temperature Instability in 4H-SiC MOSFETs by Fast Threshold Voltage Measurements2022

    • 著者名/発表者名
      Dai Okamoto, Mitsuru Sometani, Hirohisa Hirai, Mitsuo Okamoto, Tetsuo Hatakeyama
    • 学会等名
      2022 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] SiC MOSFETにおけるCharge pumping電流の素子形状依存性2022

    • 著者名/発表者名
      石塚 巧真、岡本 大、染谷 満、平井 悠久、岡本 光央、畠山 哲夫
    • 学会等名
      令和4年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] On-the-fly charge pumpingの温度依存性測定によるSiC MOSFETのNBTI特性の解析2021

    • 著者名/発表者名
      岡野 夏樹, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      令和3年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] 改良高速On-the-fly法によるSiC MOSFETのNBTI評価2021

    • 著者名/発表者名
      坂田 大輝, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 原田 信介, 畠山 哲夫, 矢野 裕司, 岩室 憲幸
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第8回講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] On-the-fly Charge Pumping法によるSiC MOSFET NBTI劣化メカニズムの解析2021

    • 著者名/発表者名
      岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 原田 信介, 畠山 哲夫
    • 学会等名
      第26回 電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] Negative Bias Temperature Instability in 4H-SiC MOSFETs Investigated by On-the-fly Methods2021

    • 著者名/発表者名
      Dai Okamoto, Mitsuru Sometani, Hirohisa Hirai, Mitsuo Okamoto, Tetsuo Hatakeyama
    • 学会等名
      IEEE International Meting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] SiC pチャネルMOSFETの正孔輸送機構の解析2020

    • 著者名/発表者名
      岡本 大, 周 星炎, 張 旭芳, 染谷 満, 岡本 光央, 畠山 哲夫, 原田 信介, 岩室 憲幸, 矢野 裕司
    • 学会等名
      第25回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] 改良高速On-the-fly法によるSiC MOSFETの正確なNBTI評価2020

    • 著者名/発表者名
      坂田 大輝, 岡本 大, 染谷 満, 平井 悠久, 岡本 光央, 原田 信介, 畠山 哲夫, 矢野 裕司, 岩室 憲幸
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第7回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04574
  • [学会発表] SiC pチャネルMOSFETの正孔輸送機構の解析2020

    • 著者名/発表者名
      岡本大, 周星炎, 張旭芳, 染谷満, 岡本光央, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理- 第25回研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Influence of Interface Traps on Split C-V Characteristics of 4H-SiC MOSFETs2020

    • 著者名/発表者名
      Gyozen Sai, Dai Okamoto, Noriyuki Iwamoro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] On-the-flyチャージポンピング法によるSiC MOSFET 負バイアスストレス時の界面トラップ生成解析2020

    • 著者名/発表者名
      岡本 大, 染谷 満, 坂田 大輝, 張 旭芳, 松谷 優汰, 畠山 哲夫, 岡本 光央, 原田 信介, 矢野 裕司, 岩室 憲幸
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] Different Behaviors of Interface Traps for p-type 4H-SiC MOS Capacitors with Wet and Nitrided Gate Oxides2019

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, Hiroshi Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Threshold Voltage Instability in p-channel 4H-SiC MOSFETs Investigated by Non-relaxation Method2019

    • 著者名/発表者名
      D. Okamoto, H. Nemoto, X. Zhang, X. Zhou, M. Somenati, M. Okamoto, S. Harada, T. Hatakeyama, N. Iwamuro, H, Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETのチャネルドリフト移動度の導出と散乱機構の解明2019

    • 著者名/発表者名
      周星炎, 岡本大, 張旭芳, 染谷満, 岡本光央, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] Interface Characterization of Nitrided a- and m-Face 4H-SiC MOS Structures Using Distributed Circuit Mode2019

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理- 第24回研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Threshold Voltage Instability in p-channel 4H-SiC MOSFETs Investigated by Non-relaxation Method2019

    • 著者名/発表者名
      Dai Okamoto, Hiroki Nemoto, Xufang Zhang, Xingyan Zhou, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Shinsuke Harada, Tetsuo Hatakeyama, Noriyuki Iwamuro, Hiroshi Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Accurate Channel Mobility Extraction and Scattering Mechanisms in 4H-SiC p-Channel MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      Xingyan Zhou, Dai Okamoto, Xufang Zhang, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, Hirosi Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Analysis of three-level charge pumping characteristics of 4H-SiC MOSFETs considering near-interface traps2019

    • 著者名/発表者名
      Yuta Matsuya, Xufang Zhang, Dai Okamoto, Noriyuki Iwamuro, Hiroshi Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Conduction mechanism of hole leakage current in 4H-SiC MOSFETs under high negative gate bias2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nemoto, Dai Okamoto, Xufang Zhang, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, Hiroshi Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Accurate Channel Mobility Extraction and Scattering Mechanisms in 4H-SiC p-Channel MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      X. Zhou, D. Okamoto, X. Zhang, M. Sometani, M. Okamoto, S. Harada, N. Iwamuro, H. Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETにおける酸化膜正孔リーク電流伝導機構の解析2019

    • 著者名/発表者名
      根本宏樹, 岡本大, 張旭芳, 染谷満, 岡本光央, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETのチャネルドリフト移動度の導出と散乱機構の解明2019

    • 著者名/発表者名
      周星炎, 岡本大, 張旭芳, 染谷満, 岡本光央, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 高速緩和なし法によるpチャネル4H-SiC MOSFETのしきい値電圧変動評価2019

    • 著者名/発表者名
      坂田大輝, 岡本大, 染谷満, 岡本光央, 原田信介, 畠山哲夫, 根本宏樹, 張旭芳, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETにおける酸化膜正孔リーク電流伝導機構の解析2019

    • 著者名/発表者名
      根本宏樹, 岡本大, 張旭芳, 染谷満, 岡本光央, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 高速緩和なし法によるpチャネル4H-SiC MOSFETのしきい値電圧変動評価2019

    • 著者名/発表者名
      坂田大輝, 岡本大, 染谷満, 岡本光央, 原田信介, 畠山哲夫, 根本宏樹, 張旭芳, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 界面近傍酸化膜トラップを考慮した4H-SiC MOSFETの3レベルチャージポンピング特性の解析2019

    • 著者名/発表者名
      松谷優汰, 張旭芳, 岡本大, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 界面近傍酸化膜トラップを考慮した4H-SiC MOSFETにおける3レベルチャージポンピング特性の解析2019

    • 著者名/発表者名
      松谷優汰,張旭芳,岡本大,岩室憲幸,矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Different Behaviors of Interface Traps for p-type 4H-SiC MOS Capacitors with Wet and Nitrided Gate Oxides2019

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, D. Okamoto, M. Sometani, S. Harada, N. Iwamuro, H. Yano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] Mobility limiting mechanisms in p-channel 4H-SiC MOSFETs investigated by Hall-effect measurements2018

    • 著者名/発表者名
      X. Zhou, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, X. Zhang, N. Iwamuro, H. Yano
    • 学会等名
      12th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] Difference of NIT Density Distribution in 4H-SiC MOS Interfaces for Si- and C-faces2018

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理- 第23回研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Analysis of leakage current conduction mechanisms in thermally grown oxides on p-channel 4H-SiC MOSFETs2018

    • 著者名/発表者名
      H. Nemoto, D. Okamoto, M. Sometani, Y. Kiuchi, T. Hatakeyama, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano,
    • 学会等名
      12th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Hall効果測定によるpチャネル4H-SiC MOSFETのチャネル輸送機構の解明2018

    • 著者名/発表者名
      周星炎,岡本大,畠山哲夫,染谷満,原田信介,岡本光央,張旭芳,岩室憲幸,矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第5回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Hall効果測定によるpチャネル4H-SiC MOSFETのチャネル輸送機構の解明2018

    • 著者名/発表者名
      周星炎,岡本大,畠山哲夫,染谷満,原田信介,岡本光央,張旭芳,岩室憲幸,矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第5回講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14653
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETにおける酸化膜リーク電流伝導機構の解析2018

    • 著者名/発表者名
      根本宏樹,岡本大,染谷満,木内祐治,岡本光央,畠山哲夫,原田信介,岩室憲幸,矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第5回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] pチャネル4H-SiC MOSFETにおける酸化膜リーク電流伝導機構の解析2018

    • 著者名/発表者名
      根本宏樹, 岡本大, 染谷満, 木内祐治, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Mobility limiting mechanisms in p-channel 4H-SiC MOSFETs investigated by Hall-effect measurements2018

    • 著者名/発表者名
      X. Zhou, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, X. Zhang, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      12th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Impact of passivation treatments on channel mobility for p-channel 4H-SiC MOSFETs2018

    • 著者名/発表者名
      X. Zhou, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, Y. Karamoto, X. Zhang, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] コンダクタンス法によるp型SiC MOS界面の高速及び低速応答準位の解析2017

    • 著者名/発表者名
      唐本祐樹, 張旭芳, 岡本大, 染谷満, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第4回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Impact of Oxide Thickness on the Density Distribution of Near-interface Traps in 4H-SiC MOS Capacitors2017

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      2017 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology - (2017IWDTF)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 4H-SiC MOS 界面におけるNIT 密度分布の膜厚依存性2017

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第4回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] コンダクタンス法によるp型SiC MOSキャパシタ界面特性の解析2017

    • 著者名/発表者名
      唐本祐樹, 張旭芳, 岡本大, 染谷満, 畠山哲夫, 原田信介, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Verification of Modified Distributed Circuit Model for Near-Interface Traps in 4H-SiC MOS Interface2017

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Ryoji Kosugi, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理- 第22回研究会
    • 発表場所
      東レ研修センター(静岡県・三島市)
    • 年月日
      2017-01-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Analysis of Fast and Slow Responses of Interface Traps in p-type SiC MOS Capacitors by Conductance Method2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Karamoto, X.Zhang, D. Okamoto, M. Sometani, T. Hatakeyama, S. Harada, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      2017 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology - (2017IWDTF)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Verification of density distribution of near-interface traps in 4H-SiC MOS capacitors with different oxide thicknesses2017

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 窒化したp 型SiC MOS キャパシタにおける反転層の形成2016

    • 著者名/発表者名
      唐本祐樹, 岡本大, 原田信介, 染谷満, 畠山哲夫, 小杉亮治, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第3回講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県・つくば市)
    • 年月日
      2016-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] A Distributed Model for Near-Interface Traps in 4H-SiC MOS Capacitors2016

    • 著者名/発表者名
      X. F. Zhang, D. Okamoto, T. Hatakeyama, M. Sometani, S. Harada, R. Kosugi, N. Iwamuro, and H. Yano
    • 学会等名
      47th IEEE Semiconductor interface Specialist Conference (SISC2016)
    • 発表場所
      San Diego (USA)
    • 年月日
      2016-12-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] A Distributed Model for Near-Interface Traps in 4H-SiC MOS Capacitors2016

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Ryoji Kosugi, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 窒化したp型SiC MOSキャパシタにおける反転層の形成2016

    • 著者名/発表者名
      唐本祐樹, 岡本大, 原田信介, 染谷満, 畠山哲夫, 小杉亮治, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] Quantitative estimation of near-interface traps with distributed circuit model for 4H-SiC MOS capacitors2016

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Dai Okamoto, Tetsuo Hatakeyama, Mitsuru Sometani, Shinsuke Harada, Ryoji Kosugi, Noriyuki Iwamuro, and Hiroshi Yano
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第3回講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県・つくば市)
    • 年月日
      2016-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] 直列抵抗を考慮したインピーダンス測定によるSiC MOS界面解析2016

    • 著者名/発表者名
      岡本大, 張旭芳, 畠山哲夫, 染谷満, 原田信介, 小杉亮治, 岩室憲幸, 矢野裕司
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04326
  • [学会発表] B導入による高移動度4H-SiC MOSFETの作製と界面トラップ評価

    • 著者名/発表者名
      岡本 大,染谷 満,原田信介,小杉亮治,米澤喜幸,矢野裕司
    • 学会等名
      第20回ゲートスタック研究会ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理-
    • 発表場所
      東レ研修センター (静岡県 三島市)
    • 年月日
      2015-01-29 – 2015-01-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26820136
  • [学会発表] Demonstration of High Channel Mobility in 4H-SiC MOSFETs by Utilizing Boron-Doped Gate Oxide

    • 著者名/発表者名
      D. Okamoto, M. Sometani, S. Harada, R. Kosugi, Y. Yonezawa, and H. Yano
    • 学会等名
      45th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC)
    • 発表場所
      San Diego (CA, USA)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26820136
  • 1.  矢野 裕司 (40335485)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 38件
  • 2.  岩室 憲幸 (50581203)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 37件

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