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孫 栄硯  SUN RONGYAN

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50963451
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連 / 0301:材料力学、生産工学、設計工学、流体工学、熱工学、機械力学、ロボティクス、航空宇宙工学、船舶海洋工学およびその関連分野
研究代表者以外
大区分C
キーワード
研究代表者
窒化ガリウム(GaN) / プラズマ援用研磨 / プラズマ援用研磨法 / 紫外光援用スラリーレス電気化学機械研磨法 / GaN / 固定砥粒
研究代表者以外
パワー半導体 / スラリーレス研磨 / 難加工材料 / ワイドギャップ半導体 / 超精密加工 / プラズマ
  • 研究課題

    (4件)
  • 研究成果

    (41件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  GaN基板向けスラリーレス高効率無歪加工プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      孫 栄硯
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  GaN基板に対するスラリーフリーな高能率無歪一貫加工プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      孫 栄硯
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2024
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ援用研磨プロセスによる単結晶GaN基板の高能率無歪加工研究代表者

    • 研究代表者
      孫 栄硯
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2023
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 審査区分
      0301:材料力学、生産工学、設計工学、流体工学、熱工学、機械力学、ロボティクス、航空宇宙工学、船舶海洋工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究

    • 研究代表者
      山村 和也
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 審査区分
      大区分C
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing2023

    • 著者名/発表者名
      Liu Nian、Sugimoto Kentaro、Yoshitaka Naoya、Yamada Hideaki、Sun Rongyan、Arima Kenta、Yamamura Kazuya
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 49 号: 11 ページ: 19109-19123

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2023.03.038

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [雑誌論文] Effects of polishing pressure and sliding speed on the material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Nian、Sugimoto Kentaro、Yoshitaka Naoya、Yamada Hideaki、Sun Rongyan、Kawai Kentaro、Arima Kenta、Yamamura Kazuya
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 124 ページ: 108899-108899

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2022.108899

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03754, KAKENHI-PROJECT-21J11028, KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 砥石定盤を用いたGaNウエハの高能率加工プロセスの開発(第2報)-AFMを用いた摩擦力の評価-2024

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,孫栄硯,田口茉奈,髙梨慎也,永橋潤司,山村和也
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13233
  • [学会発表] ナノグラフェン上での長方形状構造を呈するSTM像の第一原理計算に基づく考察2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築-ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質-2023

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,北出隼人,陶通,永橋潤司,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] Highly-efficient plasma-assisted polishing technique with auto-dressing2023

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, A. Nozoe, J. Nagahashi, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      23rd International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13233
  • [学会発表] Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments2023

    • 著者名/発表者名
      K. Arima, Z. Ma, T. Takeuchi, R. Hashimoto, R. Sun, K. Yamamura
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Origin of Rectangular-like Lattice on Nanographene in STM Images Unveiled by First-Principles Calculations2023

    • 著者名/発表者名
      J. Li, K. Inagaki, R. Sun, K. Yamamura, K. Arima
    • 学会等名
      48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Investigation of Plasma Gas for Modifying Gallium Nitride in Plasma-assisted Polishing2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohnishi, T. Tao, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究-プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング-2023

    • 著者名/発表者名
      杉原聡太,杉本健太郎,董佳遠,孫栄硯,有馬健太,王俊沙,須賀唯知,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] High-efficiency lapping of gallium nitride wafers using a fixed diamond lapping plate2023

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, H. Kitade, Y. Ohnishi, J. Nagahashi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13233
  • [学会発表] グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察-グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察-2023

    • 著者名/発表者名
      李君寰,稲垣耕司,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 数値制御PCVMによる反応焼結SiC材の高精度形状創成-非球面形状の加工精度評価-2023

    • 著者名/発表者名
      能登樹,須場健太,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築-ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質-2023

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,北出隼人,陶通,永橋潤司,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13233
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第 2 報)-2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について-2023

    • 著者名/発表者名
      Dong Jiayuan,杉本健太郎,杉原聡太,孫栄硯,有馬健太,山村和也,須賀唯知,Wang Junsha
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 水蒸気プラズマを用いたGaNウエハの表面改質2023

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,陶通,孫栄硯,大久保雄司,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築-ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質-2023

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,北出隼人,陶通,永橋潤司,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Highly-efficient plasma-assisted polishing technique with auto-dressing2023

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, A. Nozoe, J. Nagahashi, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      23rd International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] Optimization of modification conditions used in plasma assisted polishing for improving the material removal rate of Gallium nitride2022

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] 砥石定盤を用いたGaNウエハのラップ加工2022

    • 著者名/発表者名
      北出隼人, 永橋潤司, 孫栄硯, 山村和也
    • 学会等名
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第9回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF4プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-2022

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-2022

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第14報)-PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関-2022

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Processing characteristics of quartz crystal in plasma chemical vaporization machining using argon or helium as the carrier gas2022

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) (2022.3.27@Virtual Conference) 91-95.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築-ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質-2022

    • 著者名/発表者名
      大西雄也,北出隼人,陶通,永橋潤司,孫栄硯,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K20410
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出- 光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,川合健太郎,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Si 表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出-光電子検出量の脱出角依存性の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      東知樹,孫栄硯,山村和也,有馬健太
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Elucidation of plasma-assisted polishing mechanism through evaluating the adhesion force between diamond abrasive and AlN wafer2022

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Optimization of modification conditions used in plasma assisted polishing for improving the material removal rate of Gallium nitride2022

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ダイヤモンド砥粒を用いたプラズマ援用研磨による窒化ガリウム基板の高能率研磨2022

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 数値制御プラズマCVMによるWolterミラーマンドレルの高精度加工2022

    • 著者名/発表者名
      須場健太,山本有悟,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也,丸山龍治,曽山和彦,林田洋寿
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討 -2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,劉念,吉鷹直也,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2022年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Polishing characteristics of AlN ceramics in plasma-assisted polishing using diamond grinding stone with different abrasive particle sizes2022

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) (2022.3.27@Virtual Conference) 91-95.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)2022

    • 著者名/発表者名
      杉本健太郎,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2022年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] 窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-2021

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発2021

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Study on the oxidation characteristics of reaction-sintered silicon carbide using vacuum Ar-based O2 plasma for plasma-assisted polishing2021

    • 著者名/発表者名
      T. Tao, R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-2021

    • 著者名/発表者名
      孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] Consideration on suppression of grinding stone components adhesion in dry polishing with the aid of surface modification by fluorine-based plasma2021

    • 著者名/発表者名
      R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
    • 学会等名
      The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • [学会発表] プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-2021

    • 著者名/発表者名
      陶通,孫栄硯,川合健太郎,有馬健太,山村和也
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H05005
  • 1.  山村 和也 (60240074)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 31件
  • 2.  有馬 健太 (10324807)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 29件

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