竹中弘祐 Takenaka Kosuke

研究者番号	60432423
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2023年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 2019年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 2012年度 – 2018年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 助教 2008年度 – 2010年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 助教 2007年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 特任研究員
審査区分/研究分野	研究代表者材料加工・組織制御工学 / 材料加工・処理 / 小区分26050:材料加工および組織制御関連研究代表者以外材料加工・処理 / 理工系 / 複合材料・表界面工学 / プラズマ科学
キーワード	研究代表者酸化亜鉛 / ミストCVD / 大気圧非平衡プラズマ / 機能性表面 / ガスセンサー / プラズマ支援プロセス / ガスセンサ / 微粒子 / 有機材料 / PEEK … もっと見る / 構造部材 / 表面改質 / マルチマテリアル / 透明導電膜 / プラズマ反応機構 / 有機 / 表面処理 / 機能性材料 / 有機/プラズマ反応機構 / 超低電位プラズマ / 有機系材料 / 表面改質・加工 / プラズマ処理・レーザー加工 … もっと見る研究代表者以外プラズマ加工 / 低侵襲治療 / 生体分子 / 医療・福祉 / プラズマ生成・制御 / プラズマ医療 / 高速製膜 / 反応性制御 / 反応性プラズマＰＶＤ製膜プロセス / 無機／有機積層 / 無機／有機界面 / 無機/有機積層 / 無機/有機界面 / 酸化物半導体 / 低温形成 / 半導体薄膜 / 反応性製膜 / 低損傷プロセス / 高周波プラズマ / 粒子改質 / 液中プラズマ隠す

微小液滴を用いたプラズマ支援による３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成技術の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中弘祐
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  大阪大学
物理・化学的機能性付与による高機能有機材料表面形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中弘祐
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  材料加工・組織制御工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧非平衡プラズマを用いた表面ナノ構造を制御した酸化亜鉛薄膜形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中弘祐
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  材料加工・組織制御工学
- 研究機関
  大阪大学
反応性製膜プロセスの高効率超高速化に向けた新しい原子層堆積プラズマＰＶＤ法の創成
- 研究代表者
  
  節原裕一
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  複合材料・表界面工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧非平衡プラズマ用いた高品質酸化亜鉛薄膜の低温高速形成法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中弘祐
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  大阪大学
高度時空間制御による生体適合放電生成の基盤確立と革新的医療プラズマ源の創成
- 研究代表者
  
  節原裕一
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2016
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
高密度プラズマ反応制御による酸化物半導体薄膜の低温高品質形成法の開発と膜特性評価
- 研究代表者
  
  節原裕一
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  大阪大学
プラズマー無機/有機ナノ表界面の複合反応解明による新しい機能制御積層技術の開発
- 研究代表者
  
  節原裕一
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  大阪大学
超低電位プラズマを用いた高機能な有機系材料表面の創製と評価研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中弘祐
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2010
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  大阪大学
高周波誘導結合による新しい液中プラズマ生成法の開発と粒子処理プロセスの開拓
- 研究代表者
  
  節原裕一
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学

[雑誌論文] Control of reactive oxygen and nitrogen species production in liquid by nonthermal plasma jet with controlled surrounding gas2016
- 著者名/発表者名
  T. Ito, G. Uchida, A. Nakajima, K. Takenaka, Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 1S ページ: 01AC06-01AC06
- DOI
  10.7567/jjap.56.01ac06
- NAID
  210000147376
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Process controllability of inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition for the fabrication of a-InGaZnOx channel TFTs2016
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, K. Nakata, H. Otani, S. Osaki, G. Uchida, Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 1S ページ: 01AA18-01AA18
- DOI
  10.7567/jjap.55.01aa18
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[雑誌論文] Influence of voltage pulse width on the discharge characteristics in an atmospheric dielectric-barrier-discharge plasma jet2016
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 1S ページ: 01AH03-01AH03
- DOI
  10.7567/jjap.55.01ah03
- NAID
  210000146000
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Effects of nonthermal plasma jet irradiation on the selective production of H2O2 and NO2- in liquid water2016
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka, T. Kawasaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 120 号: 20 ページ: 203302-203302
- DOI
  10.1063/1.4968568
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-16H03895, KAKENHI-PROJECT-25820113
[雑誌論文] Low-temperature formation of amorphous InGaZnOx films with inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Hirofumi Otani, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54 号: 6S2 ページ: 06GC02-06GC02
- DOI
  10.7567/jjap.54.06gc02
- NAID
  210000145321
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[雑誌論文] Influence of He Gas Flow Rate on Optical Emission Characteristics in Atmospheric-Dielectric Plasma Jet2015
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Plasma Sci.
  
  巻: 43 号: 3 ページ: 734-744
- DOI
  10.1109/tps.2014.2387064
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Atmospheric-Pressure Gas-Breakdown Characteristics with a Radio-Frequency Voltage2015
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Nanosci. Nanotechnol.
  
  巻: 15 号: 3 ページ: 2192-2196
- DOI
  10.1166/jnn.2015.10233
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Dynamic Properties of Helium Atmospheric Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet2015
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Nanosci. Nanotechnol.
  
  巻: 15 号: 3 ページ: 2324-2329
- DOI
  10.1166/jnn.2015.10232
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Low-temperature formation of a-IGZO films with inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Hirofumi Otani, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[雑誌論文] Effects of gas flow on oxidation reaction in liquid induced by He/O2 plasma-jet irradiation2015
- 著者名/発表者名
  A. Nakajima, G. Uchida, T. Kawasaki, K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, K. Takenaka, M. Shiratani, and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 118 号: 4 ページ: 043301-043301
- DOI
  10.1063/1.4927217
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820113, KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009
[雑誌論文] Gas Flow Rate Dependence of the Discharge Characteristics of a Plasma Jet Impinging Onto the Liquid Surface2015
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  巻: 43 号: 12 ページ: 4081-4087
- DOI
  10.1109/tps.2015.2488619
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-24340143
[雑誌論文] Plasma Interaction with Organic Molecules in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine2015
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki, H. Abe, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Nanosci. Nanotechnol.
  
  巻: 15 号: 3 ページ: 2120-2124
- DOI
  10.1166/jnn.2015.10230
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Atmospheric-Pressure Plasma Interaction with Soft Materials as Fundamental Processes in Plasma Medicine2015
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Nanosci. Nanotechnol.
  
  巻: 15 号: 3 ページ: 2115-2119
- DOI
  10.1166/jnn.2015.10229
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Effects of discharge voltage waveform on the discharge characteristics in a helium atmospheric plasma jet2015
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 117 号: 15 ページ: 1533011-6
- DOI
  10.1063/1.4918546
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Analysis of Dynamic Discharge Characteristics of Plasma Jet Based on Voltage and Current Measurements Using a Metal Plate2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  巻: 43 号: 11 ページ: 3821-3826
- DOI
  10.1109/tps.2015.2482998
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Effect of Driving Voltage Frequency on the Discharge Characteristics in Atmospheric Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet2014
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 53 号: 11S ページ: 11RA08-11RA08
- DOI
  10.7567/jjap.53.11ra08
- NAID
  210000144622
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2014
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Phys. : Conf. Ser.
  
  巻: 518 ページ: 12018-12018
- DOI
  10.1088/1742-6596/518/1/012018
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-26420738
[雑誌論文] Molecular-structure variation of biomolecules irradiated with atmospheric-pressure plasma through plasma/liquid interface2014
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 54 号: 1S ページ: 01AF04-01AF04
- DOI
  10.7567/jjap.54.01af04
- NAID
  210000144756
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 未定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 未定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2014
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
- 雑誌名
  
  J. Phys. : Conf. Ser.
  
  巻: 518 ページ: 12019-12019
- DOI
  10.1088/1742-6596/518/1/012019
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-26420738
[雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition of Zinc Oxide Films Using Solution of Zinc Acetate2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 1S ページ: 01AC11-01AC11
- DOI
  10.7567/jjap.52.01ac11
- NAID
  210000141759
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Plasma-Enhanced Reactive Magnetron Sputtering Assisted with Inductively Coupled Plasma for Reactivity- Controlled Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Films2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara and Akinori Ebe
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NB05-11NB05
- DOI
  10.7567/jjap.52.11nb05
- NAID
  210000143099
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[雑誌論文] Plasma interaction with Zn nano layer on organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation2013
- 著者名/発表者名
  Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Surface and Coatings Technology
  
  巻: 228 ページ: S271-S275
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2012.05.126
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
[雑誌論文] Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Masaru Hori
- 雑誌名
  
  MRS Proc.
  
  巻: 1598
- DOI
  10.1557/opl.2013.1155
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108002, KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 掲載確定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[雑誌論文] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid through Plasma/Liquid Interface2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NE04-11NE04
- DOI
  10.7567/jjap.52.11ne04
- NAID
  210000143115
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-ORGANIZER-24108001, KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Characterization of Inductivity Coupled RF Plasmas for Plasma-Assisted Mist CVD of ZnO films2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 379 ページ: 12031-12031
- DOI
  10.1088/1742-6596/379/1/012031
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Low-Temperature Deposition of Zinc Oxide Film by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 51 号: 8S1 ページ: 08HF05-08HF05
- DOI
  10.1143/jjap.51.08hf05
- NAID
  210000141095
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Effects of Irradiation with Ions and Photons in Ultraviolet-Vacuum Ultraviolet Regions on Nano-Surface Properties of Polymers Exposed to Plasmas2012
- 著者名/発表者名
  Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 51 号: 1S ページ: 01AJ02-01AJ02
- DOI
  10.1143/jjap.51.01aj02
- NAID
  210000140089
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
[雑誌論文] Low-Temperature Growth of Zinc Oxide Films from Zinc Acetate Solution Using Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Transactions of the Materials Research Society of Japan
  
  巻: 37 ページ: 173-176
- NAID
  130003399076
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Investigation of chemical bonding states at interface of Zn/organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation2012
- 著者名/発表者名
  Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 523 ページ: 15-19
- DOI
  10.1016/j.tsf.2012.05.061
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
[雑誌論文] フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ－ソフトマテリアル相互作用の解析2011
- 著者名/発表者名
  趙研, 節原裕一, 竹中弘祐, 白谷正治, 関根誠, 堀勝
- 雑誌名
  
  高温学会誌
  
  巻: 37 ページ: 289-297
- NAID
  10030167027
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[雑誌論文] フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析2011
- 著者名/発表者名
  趙研, 節原裕一, 竹中弘祐, 白谷正治, 関根誠, 堀勝
- 雑誌名
  
  高温学会誌
  
  巻: 37 ページ: 289-297
- NAID
  10030167027
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[雑誌論文] Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer2010
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: Vol.518 ページ: 6320-6324
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Combinatorial Analysis of Plasma-Surface Interactions of Polyethyleneterephthalate with X-ray Photoelectron Spectroscopy2010
- 著者名/発表者名
  K.Takenaka, Y.Setsuhara, K.Cho, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer,2010
- 著者名/発表者名
  Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 518
  
  ページ: 6320-6324
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Combinatorial Analysis of Plasma-Surface Interactions of Polyethyleneterephthalate with X-ray Photoelectron Spectroscopy2010
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: Vol.49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Low-damage surface modification of polymethylmethacrylate with argon.oxygen mixture plasmas driven by multiple low-inductance antenna units,2010
- 著者名/発表者名
  Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikenaga, S.Zaima,
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 518
  
  ページ: 3561-3565
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Plasma Surface Treatment of Polymers with Inductivity Coupled RF Plasmas Driven by Low inductance Antenna Units,2009
- 著者名/発表者名
  Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, A.Ebe, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikeitaga, H.Kondo, O.Nakatsuka, S.Zaima
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 518
  
  ページ: 1006-1011
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics : Conference Series
  
  巻: (Accepted)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
- 雑誌名
  
  Journal of Physics : Conference Series
  
  巻: (Accepted)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[産業財産権] プラズマ発生装置及びこれを用いたプラズマ生成方法2017
- 発明者名
  節原裕一，内田儀一郎，竹中弘祐
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-068320
- 出願年月日
  2017-03-30
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma-assisted mist chemical vapor deposition for formation of 3D nanostructured oxide thin films2024
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Susumu Toko and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  ISPlasma 2024/IC-PLANTS 2024/APSPT-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] Plasma-assisted Mist CVD for Formation of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films2023
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Susumu Toko and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  Joint Conference of Global Plasma Forum and 24th Workshop on Fine Particle Plasmas (WFPP24)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD2023
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Susumu Toko and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  ISPlasma 2023 / IC-PLANTS 2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成2022
- 著者名/発表者名
  竹中　弘祐，都甲　将，内田　儀一郎，江部　明徳、節原　裕一
- 学会等名
  第38回九州・山口プラズマ研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] Low-temperature formation of functional oxide materials with plasma-assisted reactive processes2022
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, S. Toko and Y. Setsuhara
- 学会等名
  第32回日本MRS年次大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] プラズマ支援ミストCVDによる３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析2022
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐，都甲将，節原裕一
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials2021
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] 反応性プラズマプロセスによる酸化物半導体薄膜形成2021
- 著者名/発表者名
  竹中　弘祐，都甲　将，節原　裕一
- 学会等名
  2021 (令和3)年度第3回表面改質技術研究委員会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K04711
[学会発表] Plasma Surface Modification towards Application of Polymers to Biomaterials2019
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  Materials Researchmeeting 2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06859
[学会発表] Development of Plasma Surface Modification Technique towards Application of Polymers to Biomaterials2019
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setauhara, Kosuke Takenaka
- 学会等名
  4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06859
[学会発表] Functional thin film deposition using plasma-assisted reactive process2019
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Yuichi Setsuhara, Keisuke Ide and Toshio Kamiya
- 学会等名
  ICMASS2019 / iLIM-s
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06859
[学会発表] Development of functionalization techniques of organic material surfaces for functional materials2018
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setauhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida
- 学会等名
  3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06859
[学会発表] Functionalization of Organic Material Surfaces for Development of Functional Materials2017
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida
- 学会等名
  ICMaSS2017/iLIM-2
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06859
[学会発表] Characterization of atmospheric-pressure plasma jets and interaction with liquid for control of reactive species in plasma-activated aqueous solutions2017
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, J. Ikeda, Y. Mino, K. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Plasma Medical Science Innovation (ICPMSI) 2017
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2017-02-27
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma-Liquid Interactions with Atmospheric-Pressure Plasma Jets for Controlling Reactive Species in Plasma-Activated Aqueous Solutions2017
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, J. Ikeda, Y. Mino, K. Takenaka
- 学会等名
  The 3rd International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications
- 発表場所
  Hochiminh, Vietnam
- 年月日
  2017-01-11
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Effects of plasma-jet irradiation on the surface of liquid and its effects on ROS and RNS generations in bulk solution2016
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda, Y. Setsuhara
- 学会等名
  26th Annual meeting of MRS-Japan 2016
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-12-19
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure dielectric barrier discharge plasma jets for reactive interactions with materials2016
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, K. Kawabata, K. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC’2016)
- 発表場所
  Graz, Austria
- 年月日
  2016-05-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Control of ROS and RNS productions in liquid in atmospheric pressure plasma-jet system2016
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  69th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Bochum, Germany
- 年月日
  2016-10-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] SPATIO‐TEMPORAL BEHAVIORS OF ATMOSPHERIC‐PRESSURE PLASMA JETS FOR INVESTIGATION OF REACTIVE‐SPECIES PRODUCTION IN LIQUID2016
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, A. Nakajima, G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda
- 学会等名
  43rd IEEE International Conference on Plasma Science
- 発表場所
  Banff, Alberta, Canada
- 年月日
  2016-06-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Spatio-temporal Behaviors of Atmospheric-pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma Jets for Reactive Interactions with Materials2016
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka
- 学会等名
  9th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2016)
- 発表場所
  Graz, Austria
- 年月日
  2016-05-29
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 周辺雰囲気ガス制御型プラズマジェット照射による溶液中活性酸素･窒素種生成2016
- 著者名/発表者名
  内田　儀一郎, 中島　厚, 伊藤　泰喜, 竹中　弘祐, 節原　裕一
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Effects of surrounding gas flow on ROS and RNS productions in non-thermal plasma-jet system2016
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, A. Nakajima, K. Takenaka, J. Ikeda
- 学会等名
  6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
- 発表場所
  Bratislava, Slovakia
- 年月日
  2016-09-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Effects of plasma-irradiation distance on ROS and RNS productions in liquid2016
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka, T. Kawasaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara
- 学会等名
  6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
- 発表場所
  Bratislava, Slovakia
- 年月日
  2016-09-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Dynamical Behaviors and Plasma-Liquid Interactions of Atmospheric-Pressure Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jets2016
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka
- 学会等名
  The 2nd Asian International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications Major Topics: Plasma Technology for Agriculture, Bio and Medicine
- 発表場所
  Chiang Mai, Thailand
- 年月日
  2016-02-23
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Electrical discharge characteristics of atmospheric plasma jets2016
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2016)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2016-03-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成2016
- 著者名/発表者名
  節原　裕一, 中田　慶太郎, 佐竹　義且, 竹中　弘祐, 内田　儀一郎, 江部　明憲
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Spatio‐temporal behaviors of atmospheric‐pressure plasma jets for investigation of reactive‐species production in liquid2016
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, A. Nakajima, G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda
- 学会等名
  43rd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS 2016)
- 発表場所
  Banff, Canada
- 年月日
  2016-06-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Dynamical-Behavior Characterization of Atmospheric-Pressure Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jets for Control of Reactive Oxygen and Nitrogen Species in Liquid2016
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Taiki Ito, Kosuke Takenaka
- 学会等名
  15th International Conference on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2016-09-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Influence of Mist Size on Surface Structure of ZnO Films Deposited with Plasma Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2016
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setauhara
- 学会等名
  Visual-JW2016/iLIM-1
- 発表場所
  Hotel Hankyu Expo Park, Osaka, Japan
- 年月日
  2016-10-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Effects of plasma-irradiation distance on oxidation reaction in liquid induced by He/O2 plasma-jet irradiation2015
- 著者名/発表者名
  Atsushi Nakajima, Giichiro Uchida, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第25回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜
- 年月日
  2015-12-08
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Dynamical Characterizations of Atmospheric-Pressure Plasma Jets as Evaluation Protocols for Plasma Medicine2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida,, Kazufumi Kawabata Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka
- 学会等名
  The 21st Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Material
- 発表場所
  Yangyang, Korea
- 年月日
  2015-10-03
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma-Assisted Mist CVD for Formation of Textured ZnO Films : Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)
- 発表場所
  Nagasaki University, Nagasaki, Japan
- 年月日
  2015-12-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Control of discharge characteristics of a plasma jet by ambient gas-flow conditions2015
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第25回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜
- 年月日
  2015-12-08
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] プラズマ医療装置に求められている要素と世界動向2015
- 著者名/発表者名
  節原　裕一, 内田　儀一郎, 竹中　弘祐, 竹田　圭吾, 石川　健治, 堀　勝
- 学会等名
  第76回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-09-13
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Atmospheric-Pressure-Plasma Assisted Mist CVD of Zinc Oxide Films2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
- 発表場所
  Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju Island, Korea
- 年月日
  2015-09-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films Deposited with Plasma-Assisted Mist CVD2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第25回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜開港記念会館他
- 年月日
  2015-12-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Low-Temperature Formation of a-IGZO TFTs with ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Keitaro Nakata, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
- 学会等名
  The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- 年月日
  2015-09-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition of Zinc Oxide Films for Flexible Electronics2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
- 発表場所
  Hawaii Convention Center, Hawaii, USA
- 年月日
  2015-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響2015
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐，内田儀一郎, 節原裕一
- 学会等名
  第76回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Gas flow rate dependence of the production of reactive oxygen species in liquid by a plasma-jet irradiation2015
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2015-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-Temperature Growth of Zinc Oxide Films by Atmospheric-Pressure Plasma-Assisted Mist CVD2015
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 5th International Conference on Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials (ICCCI 2015)
- 発表場所
  Kurashiki Royal Art Hotel, Kurashiki, Japan
- 年月日
  2015-07-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Discharge characteristics in atmospheric plasma jets produced in various gas flow patterns2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2015-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Effects of discharge voltage waveform on discharge characteristics in a helium atmospheric plasma jet2015
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- 年月日
  2015-09-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 大気圧非平衡プラズマ照射による液中ラジカル生成の制御2015
- 著者名/発表者名
  内田　儀一郎, 竹中　弘祐, 節原　裕一
- 学会等名
  応用物理学会九州支部特別講演会
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2015-04-27
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] プラズマ医療のための大気圧放電プラズマの時空間制御2015
- 著者名/発表者名
  内田　儀一郎, 竹中　弘祐, 節原　裕一
- 学会等名
  新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」＋「統合的神経機能の制御を標準とした糖鎖の作動原理解明」合同公開シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-08-05
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 非平衡プラズマジェットの動的放電特性2015
- 著者名/発表者名
  内田　儀一郎, 竹中　弘祐, 節原　裕一, 川崎　敏之, 古閑　一憲, 白谷　正治
- 学会等名
  第21回プラズマ新領域研究会「プラズマ流の可視化」
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2015-10-03
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge characteristics of a helium atmospheric plasma jet impinging onto the liquid surface2015
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- 年月日
  2015-09-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] ICP-Enhanced Sputter Deposition for Reactivity Control and Low-Temperature Formation of a-IGZO Films2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Yoshikatsu Satake, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
- 学会等名
  9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2015-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition of a-IGZO Films for Thin Film Transistor Applications2015
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
- 学会等名
  9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)
- 発表場所
  Nagasaki, Japan
- 年月日
  2015-12-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] プラズマ支援反応性スパッタ製膜プロセスによるIGZO薄膜デバイス低温形成2015
- 著者名/発表者名
  節原　裕一, 陶山　悠太郎, 中田　慶太郎, 竹中　弘祐, 内田　儀一郎, 江部　明憲
- 学会等名
  第27回酸化物半導体討論会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2015-05-18
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] 液面に入射するプラズマジェットの放電特性2015
- 著者名/発表者名
  内田　儀一郎, 中島　厚, 竹中　弘祐, 古閑　一憲, 白谷　正治, 節原　裕一
- 学会等名
  第76回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 大気圧He/O2プラズマジェット照射による液中活性酸素種生成に及ぼすガス流パターンの効果2015
- 著者名/発表者名
  中島　厚, 内田　儀一郎, 川崎　敏之, 古閑　一憲, Thapanut Sarinont, 天野　孝昭, 竹中　弘祐, 白谷　正治, 節原　裕一
- 学会等名
  第76回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge characteristics of plasma jet operated in gas-mixture system for plasma biomedicine2014
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International workshop on control of fluctuation of plasma processes
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Effects of gas-mixing structure on discharge properties of atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine2014
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma Irradiation Effects on Properties of ZnO Films Prepared with Plasma-Assisted Mist-CVD2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  ISPlasma 2014/IC-PLANTS 2014
- 発表場所
  Meijo University, Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma-Enhanced Reactivity- Controlled Sputter Deposition Process for Low-Temperature Formation of Semiconductor Films2014
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai, Soichiro Osaki
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP- 8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Properties of ZnO Film Deposited by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性2014
- 著者名/発表者名
  節原　裕一, 竹中　弘祐, 大崎　創一郎, 陶山　悠太郎, 大谷　浩史, 金井　厚毅, 江部　明憲
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] RF plasma sources for PECVD and soft-material processes2014
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
- 学会等名
  The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Properties of ICP-Enhanced Reactive Sputter Discharge for Formation of Advanced Semiconductor Films2014
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Soichiro Osaki, Yutaro Suyama, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] 気液界面を介した大気圧非平衡プラズマと液体中有機物との相互作用2014
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐、宮崎敦史、川端一史、内田儀一郎、阿部浩也、節原裕一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] 低ダメージプロセスに向けたプラズマ技術－フレキシブルデバイスからプラズマ医療－2014
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 竹中弘祐, 内田儀一郎
- 学会等名
  日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第138回定例研究会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2014-06-02
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition Process for Low-Temperature Formation of Semiconductor Films2014
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai, Soichiro Osaki
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma Irradiation Effects on Properties of ZnO Films Prepared with Plasma-Assisted Mist-CVD2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014)
- 発表場所
  Meijo University, Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Discharge Characteristics of Plasma Jet Operated in Gas-Mixture System for Plasma Biomedicine2014
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Molecular Structural Change of Soft Materials via Irradiation with Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Spatial profiles of emission spectra from atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine2014
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara and Masaru Hori
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Optical Emission Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Biomedicine2014
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, and Masaru Hori
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 低ダメージプロセスに向けたプラズマ技術－フレキシブルデバイスからプラズマ医療－2014
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 竹中弘祐, 内田儀一郎
- 学会等名
  日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第138回定例研究会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2014-06-02
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Molecular-Structure Variation of Soft Material Irradiated with Atmospheric-Pressure Plasma Jet2014
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Properties of ICP-Enhanced Reactive Sputter Discharge for Formation of Advanced Semiconductor Films2014
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Soichiro Osaki, Yutaro Suyama, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials in Air and Liquid2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Masaru Hori
- 学会等名
  3rd International Symposium for Plasma Biosciences (ISPB2013-3)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] DC-Voltage Gas-Breakdown Characteristics at Atmospheric Pressure for Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Designing Plasma-Enhanced Magnetron Sputtering with Low-Inductance Antenna Modules2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  The 6th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2013)
- 発表場所
  Gifu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Surface Structure Control of ZnO Films by Plasma-Assisted Mist-CVD2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition for Formation of Textured Zinc Oxide Thin films2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  1st Japan-Taiwan workshop on Materials Design and Joining
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性2013
- 著者名/発表者名
  節原裕一、竹中弘祐、大谷浩史、金井厚毅、江部明憲
- 学会等名
  第60回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  厚木
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Properties of Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet for Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-Temperature Formation of Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofimi Ohtani, Akinori Ebe
- 学会等名
  第30回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  浜松
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] Deposition of Textured Zinc Oxide Thin films Using Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Symposium on Interfacial Joining and Surface Technology (IJST2013)
- 発表場所
  Icho Kaikan, Osaka University, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma-Biomaterials Interaction Analysis as a Basis of Fundamental Processes in Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
- 学会等名
  5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2013-01-28
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Advanced reactive sputter deposition system enhanced with ICPs driven by new type of low- inductance antenna modules2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
- 学会等名
  International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2013)
- 発表場所
  Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials:SPSM-26
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Kyushu University, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Surface Structure Analysis of Zinc Oxide Thin films Deposited by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第23回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜開港記念会館他
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Structure Control of ZnO Film Surface Using Plasma-Assisted Mist CVD2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第30回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  浜松
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Atmospheric-Pressure Plasma Interaction with Soft Materials as Fundamental Processes in Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka , Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition Processes for Low-Temperature Formation of IGZO TFT2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  35th International Symposium on Dry Process (DPS2013)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第26回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  九州大学百年講堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Surface Structure Analysis of Zinc Oxide Thin films Deposited by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第23回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜開港記念会館他
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka and Masaru Hori
- 学会等名
  2013 JSAP-MRS Joint Symposia
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Characteristics of Atmospheric Pressure Discharge and Interactions with Soft Materials2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka
- 学会等名
  The 16th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
- 発表場所
  Okazaki, Japan
- 年月日
  2013-01-25
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Formation of Textured Zinc Oxide Thin films by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials:SPSM-26
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Kyushu University, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第26回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  九州大学百年講堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Control Capability of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Inner Type Low-Inductance Antenna Modules2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Hirofumi Otani, Atsuki Kanai, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  第23回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第30回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  浜松
- 年月日
  2013-01-21
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Atmospheric-Pressure Gas-Breakdown Characteristics with RF and UHF Voltage for Plasma Medicine2013
- 著者名/発表者名
  Giichiro Uchida, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara,
- 学会等名
  International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-Temperature Formation of Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofimi Ohtani, Akinori Ebe
- 学会等名
  第30回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  浜松
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] プラズマ医療の基礎過程としての気液界面を介したプラズマと液体中有機物との相互作用2013
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐、節原裕一
- 学会等名
  第60回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-27
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputtering with Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Formation of Thin Film Devices2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] プラズマ支援ミストCVDによる微小凹凸構造を有した酸化亜鉛薄膜形成2013
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐,節原裕一
- 学会等名
  第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御2013
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 竹中弘祐, 大谷浩史, 金井厚毅, 大崎創一郎, 江部明憲
- 学会等名
  第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition with New Type of Low-Inductance Antenna Modules for High-Rate and Large-Area Deposition of Functional Films2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Formation of Textured Zinc Oxide Thin films by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第26回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  九州大学百年講堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Controllability of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition Process with ICPs Sustained by Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soishiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26)
- 発表場所
  福岡
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Degradation of methylene blue in aqueous solution via plasma exposure through gas/liquid interface2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12), The third Asia-Europe Physics Summit (ASEPS3)
- 発表場所
  Chiba Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Advanced reactive sputter deposition system enhanced with ICPs driven by new type of low-inductance antenna modules2013
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2013)
- 発表場所
  Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2013
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials:SPSM-26
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Kyushu University, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Effect of Plasma Irradiation on Interfacial Nano Layers in Inorganic / Organic Hybrid Structures2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] Plasma-Assisted Mist CVD for Formation of Zinc Oxide Film as Transparent Conducting Oxide2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2012)
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタ低温形成技術の開発2012
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 趙研, 大地康史, 竹中弘祐, 江部明憲
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] Process Control Capabilities of ICP-Enhanced Sputter Discharge for Reactive Large-Area Deposition of Functional Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
- 学会等名
  The 15th Korea-Japan Workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2012-06-08
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma-Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Inductance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Yasufumi Ohchi, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  13th International Conference on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いた長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発2012
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐, 節原裕一, 江部明憲
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  松山
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials as a Basis for Plasma Medicine2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
- 学会等名
  International Workshop on Advanced Plasma Technology for Green Energy and Biomedical Applications (APT2012)
- 発表場所
  Chiang Mai, Thailand,
- 年月日
  2012-08-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Development of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Deposition of Silicon Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  34th International symposium on Dry Process
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜の形成と表面形状評価2012
- 著者名/発表者名
  竹中　弘祐, 奥村　祐介, 節原　裕一
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  松山
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Low-Temperature and Low-Damage Plasma Processing of Inorganic/Organic Hybrid Materials for Development of Flexible Electronics2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  5th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structural Metallic and Inorganic Materials
- 発表場所
  Aichi, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] ICP-Enhanced Reactive Processes with Low-Inductance Antenna2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe
- 学会等名
  The 5th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2012)
- 発表場所
  Aichi, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Radio Frequency Plasma Generation over Water Surface at Saturated Water Vapor Pressure2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2012-09-23
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-Temperature and High-Rate Deposition of Crystalline Zinc Oxide Films by Plasma-Enhanced Mist Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Process Control Capabilities Of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition With New Type Of Low-Inductance-Antenna Driven ICP For Large-Area Formation Of Semiconductor Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Akinori Ebe
- 学会等名
  Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] nvestigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine2012
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
- 学会等名
  11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2012-10-02
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Process Control Capabilities of ICP-Enhanced Sputter Discharge for Reactive Large-Area Deposition of Functional Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  The 15th Korea-Japan Workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics
- 発表場所
  Seoul, Korea(招待講演)
- 年月日
  2012-06-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna2012
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, A. Ebe
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2012)
- 発表場所
  愛知県春日井市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] Plasma-Assisted Mist CVD for Low-Temperature and High-Rate Formation of Zinc Oxide Films2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The Fourth International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials (ICCCI 2012)
- 発表場所
  Kurashiki, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma Interactions with Soft-Materials as a Basis of Fundamental Processes for Plasma Medicine2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
- 学会等名
  The 2nd International Symposium for Plasma Biosciences
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2012-08-12
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Yuichi Setsuhara, Yasufumi OhchiKen Cho, Kosuke Takenaka, Akinori EbePlasma-Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Induetance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Yasufumi OhchiKen Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  13th International Conference on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Water Plasma Interactions in Solution2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka
- 学会等名
  First International Symposium on Advanced Water Science and Technology (ISAWST-1)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2012-11-11
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Control Capabilities of Reactive Sputter Deposition Process via ICPs Driven by Low-Inductance Antenna for Large-Area Formation of Thin Film Devices2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  65th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Texas, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜の低温・高速形成2012
- 著者名/発表者名
  竹中　弘祐, 節原　裕一
- 学会等名
  第28回九州・山口プラズマ研究会
- 発表場所
  大分
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma- Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Inductance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Yasufumi Ohchi, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  13th International Conference on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Inductively Coupled Plasma-Assisted Mist CVD for Low Temperature and High Rate Deposition of ZnO Films2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  34th International symposium on Dry Process
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] Plasma-Assisted Mist CVD with Inductively-Coupled RF Plasma Source for ZnO Film Formation2012
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760597
[学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタ低温形成技術の開発2012
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 趙研, 大地康史, 竹中弘祐, 江部明憲
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Ken Cho,Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  4th International Symposi凵m on Advanced PlasmaScience and its Applications (ISPIasma 2012)
- 発表場所
  Aichi, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Process Control Capabilities Of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition With New Type Of Low-Inductance-Antenna Driven ICP For Large-Area Formation Of Semiconductor Films2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Akinori Ebe
- 学会等名
  Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
- 発表場所
  Kyoto, Japa
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Control Capabilities of Reactive Sputter Deposition Process via ICPs Driven by Low-Inductance Antenna for Large-Area Formation of Thin Film Devices2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  65th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Texas, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Characterization of Inductively-Coupled RF Plasmas with Inner-Type Low-Inductance Antennas and Application to Plasma-Assisted Reactive Sputter Deposition2011
- 著者名/発表者名
  Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第21回日本MRS学術シンポジウム
- 発表場所
  横浜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] 埋め込み型低インダクタンスアンテナを用いたプラズマ支援反応性スパッタリング法により作製したa-IGZO膜の特性評価2011
- 著者名/発表者名
  大地康史, 趙研, 竹中弘祐, 節原裕一, 江部明憲
- 学会等名
  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念特別シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2011-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Development of Low-Damage Reactive Sputter Deposition Processes with Inner-Type Low Inductance Antenna2011
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, A. Ebe
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  金沢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices2011
- 著者名/発表者名
  K. Cho, K. Takenaka, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
- 学会等名
  33rd International symposium on Dry Process
- 発表場所
  京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656465
[学会発表] 埋込型低インダクタンスアンテナによるプラズマ生成技術の開発と大面積・低ダメージ反応性プロセスへの応用2011
- 著者名/発表者名
  節原裕一, 趙研, 竹中弘祐, 江部明憲
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Development of Low-Damage Reactive Sputter Deposition Processes with lnner-Type Low Inductance Antenna2011
- 著者名/発表者名
  Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  Ishikawa, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360325
[学会発表] Effects of Photoemissions in UV and VUV Regions on Nano-Surface Structures of Soft Materials during Plasma Processes2010
- 著者名/発表者名
  K.Cho, K.Takenaka, Y.Setsuhara, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori
- 学会等名
  7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63)
- 発表場所
  Maison de la Chimie, Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] X線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析-UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響-2010
- 著者名/発表者名
  趙研、節原裕一、竹中弘祐、白谷正治、関根誠、堀勝
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学文教キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機/有機ハイブリッド積層構造の形成2010
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐
- 学会等名
  応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] X線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析-UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響-2010
- 著者名/発表者名
  趙研, 節原裕一, 竹中弘祐
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学文教キャンパス(長崎県)
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスの開発に向けたX線光電子分光法を用いたプラズマ-ポリマー相互作用の解析2010
- 著者名/発表者名
  趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝、池永英司、中塚理、財満鎭明
- 学会等名
  第27回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  横浜市開港記念会館
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機/有機ハイブリッド積層構造の形成2010
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐、趙研、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] 低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析2010
- 著者名/発表者名
  趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760587
[学会発表] Optical Emission Analysis of Water Vapor Plasmas2008
- 著者名/発表者名
  Shogo Kawajiri, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan, (2008.12.09-2008.12.13)
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2008-12-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19654090
[学会発表] RF plasma sources for PECVD and soft-material processes
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, S. Osaki, K. Takenaka and A. Ebe
- 学会等名
  The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2014-04-01 – 2014-04-05
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials in Air and Liquid
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, A. Miyazaki, K. Takenaka, H. Abe and M. Hori
- 学会等名
  5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
- 発表場所
  Nara, Japan
- 年月日
  2014-05-18 – 2014-05-23
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 気液界面を介した大気圧非平衡プラズマ照射が液体中のアミノ酸へ与える影響
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐, 内田儀一郎, 川端一史, 中島厚, 阿部浩也, 節原裕一
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会, (.3.11-14)
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge Characteristics and Interaction with Soft Materials in Vacuum, Air and Liquid
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, A. Miyazaki and K. Takenaka
- 学会等名
  14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2014-09-15 – 2014-09-19
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Spatial and Temporal Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
- 学会等名
  2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, USA
- 年月日
  2014-11-30 – 2014-12-05
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Deposition of Oxide Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Takenaka, Y. Suyama, S. Osaki and A. Ebe
- 学会等名
  Plasma Conf. 2014
- 発表場所
  新潟
- 年月日
  2014-11-18 – 2014-11-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Characteristics of Reactive Particle Production in Atmospheric Pressure DBD Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
- 発表場所
  Nara, Japan
- 年月日
  2014-05-18 – 2014-05-23
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure discharges
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  The 20th Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2015-01-27 – 2015-01-29
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge Characteristics and Dynamics of Atmospheric Pressure Plasmas for Plasma Medicine
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata and K. Takenaka
- 学会等名
  19th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  Gunsan, Korea
- 年月日
  2014-06-07 – 2014-06-08
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid through Gas/liquid Interface via Atmospheric-Pressure Plasma
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, K. Kawabata, A. Nakajima, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 学会等名
  7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-26 – 2015-03-30
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Influence of Voltage Pulse Width on Discharge Characteristics in Dbd Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
- 学会等名
  The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-16 – 2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐，内田儀一郎，節原裕一
- 学会等名
  第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] 大気圧高周波放電プラズマの動的特性
- 著者名/発表者名
  内田儀一郎, 竹中弘祐, 川端一史, 節原裕一
- 学会等名
  第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-Temperature Formation of a-IGZO Films by ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, S. Osaki, Y. Suyama, K. Takenaka and G. Uchida
- 学会等名
  Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Effect of Plasma Excitation Frequency on the Discharge Characteristics of Atmospheric Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  Plasma Conf. 2014
- 発表場所
  新潟
- 年月日
  2014-11-18 – 2014-11-21
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Spatial and Temporal Properties of Atmospheric-Pressure Dbd Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-16 – 2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Low-temperature Formation of a-IGZO Films with ICP-enhanced Reactive Sputter Deposition
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, Y. Sutama, K. Nakata, K. Takenaka, G. Uchida and A. Ebe
- 学会等名
  7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th Int. Conf. on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-26 – 2015-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] ミストプラズマCVDを用いた透明導電酸化物薄膜の形成
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐、節原裕一
- 学会等名
  平成26年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会
- 発表場所
  東北大学青葉台キャンパス
- 年月日
  2014-09-25 – 2014-09-26
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Interactions of Atmospheric Pressure Non-equilibrium-Plasma with Organic Materials through Gas/Liquid Interface
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 学会等名
  5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
- 発表場所
  Nara, Japan
- 年月日
  2014-05-18 – 2014-05-23
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 大気圧プラズマジェット放電特性に及ぼす放電電圧パルス幅の効果
- 著者名/発表者名
  内田儀一郎, 竹中弘祐, 川端一史, 節原裕一
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma Interactions with Mist in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  第24回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜開港記念会館他
- 年月日
  2014-12-10 – 2014-12-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Frequency Dependence of Atmospheric-Pressure Discharge Generation
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, USA
- 年月日
  2014-11-30 – 2014-12-05
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Process Controllability of ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition for Low-Temperature Formation of IGZO TFT
- 著者名/発表者名
  Y. Setsuhara, K. Takenaka, G. Uchida and A. Ebe
- 学会等名
  36th Int. Symp. on Dry Process (DPS2014)
- 発表場所
  YOKOHAMA, Japan
- 年月日
  2014-11-27 – 2014-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630335
[学会発表] Temporal Behavior of Reactive Particle Production in DBD Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, K. Takeda, K. Ishikawa, M. Hori and Y. Setsuhara
- 学会等名
  Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Deposition of zinc oxide films with atmospheric-pressure plasma-assisted mist CVD
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  ISPlasma 2015 / IC-PLANTS 2015
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-26 – 2015-03-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Dynamic Properties of Atmospheric Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine
- 著者名/発表者名
  K. Kawabata, G. Uchida, K. Takenaka and Y. Setsuhara
- 学会等名
  第24回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜
- 年月日
  2014-12-10 – 2014-12-12
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma/biomolecules Interaction in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, K. Kawabata, A. Nakajima, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 学会等名
  The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-16 – 2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Plasma Interactions with Biological Molecules in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation through Gas/Liquid Interface
- 著者名/発表者名
  K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
- 学会等名
  Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Deposition of Zinc Oxide Film Using Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Plasma
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW 2014)
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2014-11-26 – 2014-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Formation of Zinc Oxide Films Deposited by Plasma-Assisted Mist CVD for Transparent Conducting Oxide Application
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
- 学会等名
  2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2015-01-09 – 2015-01-10
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420738
[学会発表] Discharge Characteristics of Atmospheric Pressure Plasma Jet Operated under Various Gas Conditions
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
- 学会等名
  第24回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜
- 年月日
  2014-12-10 – 2014-12-12
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge Characteristics of Atmospheric RF Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-03-26 – 2015-03-30
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] 気液界面を介した大気圧非平衡プラズマと生体分子との相互作用
- 著者名/発表者名
  竹中弘祐, 川端一史, 宮崎敦史, 阿部浩也, 内田儀一郎, 節原裕一
- 学会等名
  第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge Characteristics and Radical Generation in Dielectric Barrier Discharge
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2014-09-15 – 2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003
[学会発表] Discharge Properties and Radical-Generation Chracteristics in DBD Plasma Jet
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
- 学会等名
  14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering,
- 発表場所
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- 年月日
  2014-09-15 – 2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-24108003

1. 節原裕一 (80236108)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 169件
2. 内田儀一郎 (90422435)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 99件
3. 阿部浩也 (50346136)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
4. 小野亮 (90323443)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 小田哲治 (90107532)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 川崎敏之

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
7. 堀勝

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

竹中 弘祐 Takenaka Kosuke

研究課題

研究成果

共同研究者

微小液滴を用いたプラズマ支援による３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成技術の確立研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

物理・化学的機能性付与による高機能有機材料表面形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

大気圧非平衡プラズマを用いた表面ナノ構造を制御した酸化亜鉛薄膜形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

反応性製膜プロセスの高効率超高速化に向けた新しい原子層堆積プラズマＰＶＤ法の創成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

大気圧非平衡プラズマ用いた高品質酸化亜鉛薄膜の低温高速形成法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高度時空間制御による生体適合放電生成の基盤確立と革新的医療プラズマ源の創成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高密度プラズマ反応制御による酸化物半導体薄膜の低温高品質形成法の開発と膜特性評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマー無機/有機ナノ表界面の複合反応解明による新しい機能制御積層技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超低電位プラズマを用いた高機能な有機系材料表面の創製と評価研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高周波誘導結合による新しい液中プラズマ生成法の開発と粒子処理プロセスの開拓

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Control of reactive oxygen and nitrogen species production in liquid by nonthermal plasma jet with controlled surrounding gas2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Process controllability of inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition for the fabrication of a-InGaZnOx channel TFTs2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Influence of voltage pulse width on the discharge characteristics in an atmospheric dielectric-barrier-discharge plasma jet2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

竹中弘祐 Takenaka Kosuke