鎌滝晋礼 KAMATAKI KUNIHIRO

研究者番号	60582658
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度 – 2025年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 2018年度 – 2022年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 助教 2016年度 – 2017年度: 九州大学, 基幹教育院, 助教 2013年度: 九州大学, 学内共同利用施設等, 助教 2011年度 – 2013年度: 九州大学, 基幹教育院, 助教 2011年度: 九州大学, 基幹研究院, 助教 2010年度: 九州大学, 高等教育開発推進センター, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分14030:プラズマ応用科学関連 / 科学教育 / プラズマ科学研究代表者以外中区分14:プラズマ学およびその関連分野 / プラズマエレクトロニクス / 理工系
キーワード	研究代表者プラズマCVD / プラズマプロセス / ナノ粒子成長 / プラズマ / 放電手法制御 / プラズマ制御 / 任意波形電圧放電 / 変調放電 / 時空間揺動 / 反応性プラズマ … もっと見る / 反応生プラズマ / 電場揺動 / 機械学習 / PIC-MCC / AM変調放電 / ナノ粒子生業 / 電場 / 実験教材 / アクティブ・ラーニング / 教材開発 / 科学実験 / 演示実験授業 / アクティブラーニング / プラズマ科学 / 相互作用型演示実験講義 / 物理教育 / アクティブラーニング型授業 / 科学教育 / ナノ粒子のサイズ分布 / ナノ粒子密度の二次元分布 / ナノ粒子サイズの二次元分布 / ナノ界面 / 時空間解析 / プラズマ応用 / 高速度カメラ / 二次電池 / 構造解析 / 揺らぎ / 相互作用 / 時空間構造 … もっと見る研究代表者以外プラズマプロセス / ゆらぎ / ナノ粒子 / EDA / 一般則 / 膜形成 / 機械学習 / 成膜機構 / シース電場揺らぎ / 光ピンセット / エッチング / 高アスペクト比 / 高感度電場計測 / 微粒子プラズマ / 高アスペクト比エッチング / シース電場ゆらぎ / 光捕捉 / 2体問題 / 微粒子トラップ / 帯電量導出 / 電場揺動計測 / 電場計測 / 光捕捉微粒子 / 帯電量 / 微粒子 / プラズマシース / 超高感度プラズマ電場計測 / 光ピンセット法 / ３Ｄプリンティング / 第３世代太陽電池 / 電子・電気材料 / ３Dプリンティング / 電気・電子材料 / プラズマ / 揺らぎ / ボトムアッププロセス / トップダウンプロセス / コンビナトリアル摂動解析 / ボンドエンジニアリング / 相互作用 / ナノ界面制御 / プラズマ局所反応場隠す

プラズマプロセスによる膜形成の一般則の統合研究
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2028
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分14:プラズマ学およびその関連分野
- 研究機関
  九州大学
放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用研究代表者
- 研究代表者
  
  鎌滝晋礼
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
  九州大学
プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分14:プラズマ学およびその関連分野
- 研究機関
  九州大学
時空間的電場振動中のナノ粒子成長に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  鎌滝晋礼
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
  九州大学
基礎教育から専門教育をつなぐ新しい実用的プラズマ科学実験教材の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  鎌滝晋礼
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  科学教育
- 研究機関
  九州大学
プラズマを用いたナノ粒子精密配置制御の学術基盤創成
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマエレクトロニクス
- 研究機関
  九州大学
プラズマ揺らぎとナノ界面特性揺らぎの相互作用ダイナミックス研究代表者
- 研究代表者
  
  鎌滝晋礼
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
ナノ粒子含有プラズマによるナノ界面ボンドエンジニアリングの創生
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2013
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  九州大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Prediction by a hybrid machine learning model for high-mobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method2023
- 著者名/発表者名
  Kamataki Kunihiro、Ohtomo Hirohi、Itagaki Naho、Lesly Chawarambawa Fadzai、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Yamashita Naoto、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 134 号: 16 ページ: 163301-163301
- DOI
  10.1063/5.0160228
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K17752, KAKENHI-PROJECT-22K03586, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-23K20953
[雑誌論文] Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition2023
- 著者名/発表者名
  Kamataki Kunihiro、Sasaki Yusuke、Nagao Iori、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Yamashita Naoto、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Materials Science in Semiconductor Processing
  
  巻: 164 ページ: 107613-107613
- DOI
  10.1016/j.mssp.2023.107613
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03586, KAKENHI-PROJECT-23K03368
[雑誌論文] Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication2023
- 著者名/発表者名
  Otomo Hiroshi、Nagao Iori、Kamataki Kunihiro、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 967 ページ: 51-56
- DOI
  10.4028/p-6v9abp
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[雑誌論文] Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma2022
- 著者名/発表者名
  Otaka Michihiro、Arima Toshiaki、Lai Jiansyun、Ikeda Kizuki、Kamataki Kunihiro、Yamashita Naoto、Okumura Takamasa、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  MRS Advances
  
  巻: 7 号: 31 ページ: 918-922
- DOI
  10.1557/s43580-022-00306-2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03586, KAKENHI-PROJECT-20H00142
[雑誌論文] Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma2022
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, D.Nagamathu, T.Yang, K.Abe, A.Yamamoto, I.Nagao, T.Arima, M.Otaka, Y.Yamamoto, D.Yamashita, T.Okumura, N.Yamashita, N.Itagaki, K.Koga, and M.Shiratani
- 雑誌名
  
  AIP Advances
  
  巻: 12 号: 8 ページ: 085220-085220
- DOI
  10.1063/5.0097691
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[雑誌論文] Raman spectral analysis of theas-deposited a-C:H films prepared by CH4+Ar plasma CVD2022
- 著者名/発表者名
  Shinjiro Ono, Sung Hwa Hwang,Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Naoto Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Jun-Seok Oh, Susumu Takabayashi, Tatsuyuki Nakatani
- 雑誌名
  
  MRS Advances
  
  巻: 7 号: 30 ページ: 718-718
- DOI
  10.1557/s43580-022-00310-6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[雑誌論文] One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges2022
- 著者名/発表者名
  I.Nagao,K.Kamataki1,A.Yamamoto,M.Otaka,Y.Yamamoto,D.Yamashita,N.Yamashita,T.Okumura,N.Itagaki,K.Koga,M.Shiratani
- 雑誌名
  
  MRS Advances
  
  巻: 7 号: 31 ページ: 911-911
- DOI
  10.1557/s43580-022-00417-w
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[雑誌論文] Comparison between Ar+CH4 cathode and anode coupling chemical vapor depositions of hydrogenated amorphous carbon films2021
- 著者名/発表者名
  Hwang Sung-Hwa、Iwamoto Ryosuke、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakatani Tatsuyuki、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 729 ページ: 138701-138701
- DOI
  10.1016/j.tsf.2021.138701
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
[雑誌論文] Size and flux of carbon nanoparticles synthesized by Ar+CH4 multi-hollow plasma chemical vapor deposition2020
- 著者名/発表者名
  Hwang Sung-Hwa、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 109 ページ: 108050-108050
- DOI
  10.1016/j.diamond.2020.108050
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
[雑誌論文] Low-stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles fabricated by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition2020
- 著者名/発表者名
  Hwang Sung-Hwa、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakatani Tatsuyuki、Shiratani Masaharu
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 59 号: 10 ページ: 100906-100906
- DOI
  10.35848/1347-4065/abbb20
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
[雑誌論文] Time of Flight Size Control of Carbon Nanoparticles Using Ar+CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition Method2020
- 著者名/発表者名
  Hwang Sung Hwa、Koga Kazunori、Hao Yuan、Attri Pankaj、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu、Oh Jun-Seok、Takabayashi Susumu、Nakatani Tatsuyuki
- 雑誌名
  
  Processes
  
  巻: 9 号: 1 ページ: 2-2
- DOI
  10.3390/pr9010002
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
[雑誌論文] Spatial-Structure of Fluctuation of Amount of Nanoparticles in Amplitude-Modulated VHF Discharge Reactive Plasma2019
- 著者名/発表者名
  (1)Ren Zhou, Kunihiro Kamataki, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunoni Koga and Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Plasma and Fusion Research
  
  巻: 14 号: 0 ページ: 4406120-4406120
- DOI
  10.1585/pfr.14.4406120
- NAID
  130007723651
- ISSN
  1880-6821
- 年月日
  2019-09-09
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[雑誌論文] Effects of Gas Pressure on Size Distribution and Structure of Carbon Nanoparticles Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharged Plasma Chemical Vapor Deposition2019
- 著者名/発表者名
  Sung Hwa Hwang, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Plasma and Fusion Research
  
  巻: -
- NAID
  130007723652
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[雑誌論文] 初年次学生における電磁気学の理解を深めるプラズマ実験授業2017
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 雑誌名
  
  第66回九州地区大学一般教育研究協議会議事録
  
  巻: 66 ページ: 77-81
- NAID
  40021533900
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[雑誌論文] 課題協学科目による初年次学生の動機づけと学習観への影響　1つの授業実践の事例から2017
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 雑誌名
  
  基幹教育紀要
  
  巻: 3 ページ: 33-46
- NAID
  120005981122
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[雑誌論文] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015
- 著者名/発表者名
  R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
- 雑誌名
  
  Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP
  
  巻: 60
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[雑誌論文] Effects of electrode structure on characteristics of multi-hollow discharges2015
- 著者名/発表者名
  Y. Torigoe, K. Keya, S. Toko, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
- 雑誌名
  
  Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP
  
  巻: 60
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Koga, K.Kamataki, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, and N.Itagaki
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 53巻ページ: 10201-10201
- NAID
  210000143213
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Spatial Profile of Flux of Dust Particles Generated Due to Interaction between Hydrogen Plasmas and Graphite Target2014
- 著者名/発表者名
  Mizuki Tateishi, Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Naoko Ashikawa, Suguru Masuzaki, Kiyohiko Nishimura, Akio Sagara
- 雑誌名
  
  JPS Conf. Proc.
  
  巻: 1 ページ: 15020-15020
- DOI
  10.7566/jpscp.1.015020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Correlation between Nanoparticle Growth and Plasma Parameters in Low Pressure Reactive VHF Discharge Plasmas2014
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Kazunori Koga
- 雑誌名
  
  JPS Conf. Proc.
  
  巻: 1 ページ: 15083-15083
- DOI
  10.7566/jpscp.1.015083
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, K. Koga, K. Kamataki, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, and N. Itagaki
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 53 号: 1 ページ: 10201-10201
- DOI
  10.7567/jjap.53.010201
- NAID
  210000143213
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-ORGANIZER-21110001, KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013
- 著者名/発表者名
  Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NA07-11NA07
- DOI
  10.7567/jjap.52.11na07
- NAID
  210000143093
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013
- 著者名/発表者名
  Y.Kim, T.Matsunaga, K.Nakahara, H.Seo, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
- 雑誌名
  
  Surf. Coat. Technol.
  
  巻: Vol.228
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013
- 著者名/発表者名
  Y.Kim, K.Hatozaki, Y.Hashimoto, G.Uchida, K.Kamataki, N.Itagaki, H.Seo, K.Koga, and M.Shiratani
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: Vol.52
- NAID
  210000143093
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] The reduction of charge recombination and performance enhancement by the surface modification of Si quantum dot-sensitized solar cell2013
- 著者名/発表者名
  Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Electrochimica Acta
  
  巻: 87 ページ: 213-217
- DOI
  10.1016/j.electacta.2012.09.087
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013
- 著者名/発表者名
  Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 雑誌名
  
  Surf. Coat. Technol.
  
  巻: 228 ページ: S550-S553
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2012.04.029
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005, KAKENHI-ORGANIZER-21110001
[雑誌論文] Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013
- 著者名/発表者名
  K. Koga, M. Tateishi, K. Nishiyama, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, Akiko Sagara, the LHD Experimental Group
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NA08-11NA08
- DOI
  10.7567/jjap.52.11na08
- NAID
  210000143094
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Observation of nanoparticle growth process using a high speed camera2013
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 雑誌名
  
  ISPC 21 Proceedings
  
  巻: - ページ: 264-264
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries2013
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, Y. Kanemitsu, D. Ichida, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
- 雑誌名
  
  ISPC 21 Proceedings
  
  巻: - ページ: 212-212
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] the LHD Experimental Group, Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013
- 著者名/発表者名
  K.Koga, M.Tateishi, K.Nishiyama, G.Uchida, K.Kamataki, D.Yamashita, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Muzaki, K.Nishimura, Akiko Sagara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: Vol.52
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2012
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Daisuke Yamashita, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: Vol.523 ページ: 76-76
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] The Optical Analysis and Application of Size-controllable Si Quantum Dots Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting
  
  巻: 426 ページ: 313-318
- DOI
  10.1557/opl.2012.890
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Effects of crystalline nanoparticle incorporation on growth, structure, and properties of microcrystalline silicon films deposited by plasma CVD2012
- 著者名/発表者名
  Yeonwon Kim, Takeaki Matsunaga, Kenta Nakahara ,Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki , Naho Itagaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 523 ページ: 29-33
- DOI
  10.1016/j.tsf.2012.06.023
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] In-situ Measurements of Cluster Volume Fraction in Silicon Thin Films Using Quartz Crystal Microbalances2012
- 著者名/発表者名
  Yeonwon Kim, Kosuke Hatozaki, Yuji Hashimoto, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 雑誌名
  
  Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting
  
  巻: 1426 ページ: 307-311
- DOI
  10.1557/opl.2012.839
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] In situ analysis of size dispersion of nano-particles in reactive plasmas using two dimensional laser light scattering method2012
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, Y. Morita, M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida and N. Itagaki
- 雑誌名
  
  Journal of Instrumentation (JINST)
  
  巻: Vol. 7 号: 04 ページ: C04017-C04017
- DOI
  10.1088/1748-0221/7/04/c04017
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408, KAKENHI-ORGANIZER-21110001
[雑誌論文] Impacts of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Growth of Nanoparticles in Reactive Plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: Vol.4 ページ: 100501-100501
- NAID
  10029790770
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Conference 2011
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[雑誌論文] Effects of Amplitude Modulation of rf Discharge Voltage on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas2010
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
- 雑誌名
  
  Proc.of IEEE TENCON 2010
  
  ページ: 1943-1947
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Highly sensitive electric field vector measurements using an optically trapped fine particle2023
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, T. Sato, K. Kamataki, S. W. Fitriani，K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga
- 学会等名
  Global Plasma Forum
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 放電電圧変調波形が高周波容量結合プラズマに与える影響：PIC-MCC シミュレーション2023
- 著者名/発表者名
  長尾伊織，山本祐馬，佐藤優志，鎌滝晋礼，山下尚人, 奥村賢直，木山治樹，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] 任意電圧波形放電による容量結合プラズマにおける重畳周波数の効果：PIC-MCCモデル2023
- 著者名/発表者名
  頼建勳, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication2023
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, H. Ohtomo, I. Nagao, K. Kamataki
- 学会等名
  IWOPA4
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(4)2023
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 井口恒聖, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Effects of lower discharge frequency on ion energy distribution function in dual frequency plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo method2023
- 著者名/発表者名
  J. Lai, T. Arima, M. Otaka, K. Ikeda, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] 任意波形放電による水素化アモルファスカーボン成膜：イオンフラックスが膜質に与える影響2023
- 著者名/発表者名
  脇田大地，大高真寛，池田築，頼建勲，大友洋，鎌滝晋礼，山下直人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治，進藤崇央，松土龍夫
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Measurement of fluctuation of electric field in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers2023
- 著者名/発表者名
  TomaSato,SakyoOkunaga,KunihiroKamataki,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  7thInternationalConferenceonAdvancesinFunctionalMaterials(AFM2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Effects of tailored voltage waveform discharges on deposition of hydrogenated amorphous carbon films by CH4/Ar capacitively coupled plasma2023
- 著者名/発表者名
  M. Otaka, H. Otomo, K. Ikeda, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Hybrid machine learning model prediction for high mobility amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering2023
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  MRM2023/IUMRS-ICA2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] PECVD を用いた a-C:H 成膜における添加希ガス種における成膜機構の違い2023
- 著者名/発表者名
  池田築, 大高真寛，大友洋，脇田大地，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央，松土龍夫
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Investigation of particle charge and interparticle interaction in a plasma2023
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマ中帯電微粒子の相互作用に関する研究2023
- 著者名/発表者名
  井口恒聖、佐藤斗真、奥永冴京、鎌滝晋礼、富田健太郎、Pan Yiming、山下大輔、奥村賢直、板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治
- 学会等名
  2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Control of ion trajectory in high aspect ratio trenches by using amplitude modulated rf discharges2023
- 著者名/発表者名
  Nagao, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Optical tweezers technique for electric field strength and fluctuation measurements in plasma using a fine particle2023
- 著者名/発表者名
  T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマ中に浮遊する微粒子の帯電量の新評価法2023
- 著者名/発表者名
  井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 任意波形放電を用いた水素化アモルファスカーボン膜の膜質制御2023
- 著者名/発表者名
  大高真寛,大友洋, 池田築, 頼建勲, 脇田大地, 鎌滝晋礼, 山下直人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)2023
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼,佐藤斗真,富田健太郎,PanYiming,山下大輔,山下尚人,奥村賢直,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Effects of Ne mixing on plasma enhanced chemical vapor deposition of a-C:H films using CH4/Ar/Ne capacitively coupled discharges2023
- 著者名/発表者名
  K. Ikeda, M. Otaka, H. Otomo, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo
- 学会等名
  ICPIG2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03368
[学会発表] Predictions for High Quality Amorphous ITO(In2O3:Sn) Film Formation via Hybrid Machine Learning Model2023
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 16th International NANO 4.0 Convergence Technology Symposium
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル2023
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Electric fields measurement using an optical trapped charged particle in Ar plasma2022
- 著者名/発表者名
  KunihiroKamataki,TomaSato,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  第32回日本MRS
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers2022
- 著者名/発表者名
  KunihiroKamataki,TomaSato,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  23rdWorkshoponFineParticlePlasma
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Investigation of Position Fluctuation of a Fine Particle Trapped with Laser Tweezers in Ar Plasma2022
- 著者名/発表者名
  TomaSato,SakyoOkunaga,KunihiroKamataki,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  2022 MRS spring meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Measurement of the charge on single fine particle in plasma2022
- 著者名/発表者名
  KunihiroKamataki,TomaSato,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  第32回日本MRS
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)2022
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼,佐藤斗真,富田健太郎,PanYiming,山下大輔,山下尚人,奥村賢直,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Development of measurement of two-dimensional distribution of strength of electrical field with high spatial resolution using optical trapped particle in plasma2022
- 著者名/発表者名
  KunihiroKamataki,SakyoOkunaga,TomaSato,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  2022 MRS spring meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma2022
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  The 39th Symposium on Plasma Processing/The 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 光ピンセット技術を用いたプラズマ中微粒子への作用力の絶対値校正2022
- 著者名/発表者名
  佐藤斗真, 奥永冴京, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第24回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 光捕捉微粒子による超高感度電場計測2022
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  令和３年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測2022
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人,奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Optical tweezers technique for electric field measurements in Ar plasmas using a fine particle2022
- 著者名/発表者名
  TomaSato,KunihiroKamataki,KentaroTomita,PanYiming,DaisukeYamashita,TakamasaOkumura,NahoItagaki,KazunoriKoga,MasaharuShiratani
- 学会等名
  6thAsia-PacificConferenceonPlasmaPhysics(AAPPS-DPP2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers2022
- 著者名/発表者名
  KunihiroKAMATAKI,TomaSATO,KentaroTOMITA,PanYIMIN,DaisukeYAMASHITA,NaotoYAMASHITA,TakamasaOKUMURA,NahoITAGAKI,KazunoriKOGA,MasaharuSHIRATANI
- 学会等名
  ICRP-11/GEC2022
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Effect of rf bias on properties of amorphous silicon oxide films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition2021
- 著者名/発表者名
  Akihiro Yamamoto, Kohei Abe, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga1, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  MRM2021, Materials Research Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma2021
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga
- 学会等名
  DPS2021, 42nd International Symposium on Dry Process
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] SiH4+N2 プラズマによる SiNx の低温高品質成膜2021
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼 , 佐々木勇輔 , 奥村賢直，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  シリコンテクノロジー分科会第227回研究集会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Ion Energy Distribution Function in DC Pulse biased Capacitively Coupled Plasma Discharge by using Particle-In-Cell/Monte Carlo Collision Model2021
- 著者名/発表者名
  Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  MRM2021, Materials Research Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] PIC-MCCMを用いた平行平板容量結合プラズマに対する放電周波数依存性に関する研究2021
- 著者名/発表者名
  陶陽，阿部滉平，鎌滝晋礼，山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第 25 回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Arプラズマ中の光捕捉微粒子への作用力の研究2021
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼,奥永冴京, 岩本亮介, 富田健太郎, P.Yiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマCVD中飛行時間によるカーボンナノ粒子サイズ制御2021
- 著者名/発表者名
  古閑一憲, S. H. Hwang, Y. Hao, P. Attir, 奥村賢直，鎌滝晋礼，板垣奈穂, 白谷正治
- 学会等名
  日本物理学会第76回年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Better step coverage of TEOS-PECVD SiO2 films realized by amplitude modulation of RF discharge voltage2021
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, S. Tahara, Y. Mizokami, Y. Miyata, K. Tabuchi, T. Tanikuni, S. Hiyama, K. Nagahata
- 学会等名
  DPS2021, 42nd International Symposium on Dry Process
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Predictive analytics in plasma process using machine learning tools and techniques2021
- 著者名/発表者名
  Kunhiro KAMATAKI, Chen Feiyu, Tao Yang, Sakyo Okunaga, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  1st Workshop on Artificial Intelligence in Plasma Science - Satellite Workshop of EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Calibration of force acting on an optically trapped particle in Ar plasma2021
- 著者名/発表者名
  S. Okunaga, T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N.Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Materials Research Meeting 2021 (MRM2021）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Investigation of growth suppression mechanism of nanoparticles through amplitude modulation discharge method in TEOS plasma2021
- 著者名/発表者名
  Kunihiro. Kamataki, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Investigation of 2D electric field measurements in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers2021
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, S. Okunaga, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Materials Research Meeting 2021 (MRM2022）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Electric Field Measurements in Ar plasmas using a Fine Particle Trapped with Optical Tweezers2021
- 著者名/発表者名
  S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  ISPlasma2021/IC-PLANTS2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Study on growth of nanoparticle in TEOS plasma-CVD using amplitude modulation discharge method2021
- 著者名/発表者名
  K.Abe, A.Yamamoto, I.Nagao, M.Otaka, D.Yamashita, K.Kamataki, T.Okumura, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
- 学会等名
  5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics(AAPPS-DPP2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 2D electric field measurements in Ar plasmas using a fine particle trapped with optical tweezers2021
- 著者名/発表者名
  S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, Y. Pan, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Plathinium 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Developing Prediction of Key Process Parameters of Plasma CVD for Fabricating a-Si:H Solar Cells through Boosting Technique2021
- 著者名/発表者名
  Chen Feiyu, Kunihiro Kamataki, Tao Yang, Sakyo Okunaga, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  MRM2021, Materials Research Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Study on measurement of strength and fluctuation of electrical field using optical trapped particle in Ar plasma2021
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, S. Okunaga, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] N2/SiH4 flow rate ratio dependence of nanoparticle incorporation in SiNx films deposited by plasma CVD2021
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, Y. Sasaki, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga
- 学会等名
  MRM2021, Materials Research Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 平行平板容量結合高周波放電プラズマのAM変調周波数依存性に関するPIC-MCCシミュレーション2021
- 著者名/発表者名
  長尾伊織，阿部滉平，山本晃大，鎌滝晋礼，山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第 25 回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 振幅変調放電プラズマ中の光捕捉微粒子の挙動に関する研究2021
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, Pan Yiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 任意波形励起プラズマ CVD 法による a-C:H 膜質の制御2021
- 著者名/発表者名
  岩本亮介, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Measurement of Radial and Vertical Electric Field in Capacitively Coupled Plasma2021
- 著者名/発表者名
  Tao Yang, Daiki Nagamatsu, Kunihiro Kamataki, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  MRM2021, Materials Research Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Particle-In-Cellモンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション2021
- 著者名/発表者名
  阿部滉平, 山本晃大, 長尾伊織, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和3年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Study of Position Fluctuation of a Fine Particle Trapped with Laser Tweezers in Ar Plasma2021
- 著者名/発表者名
  T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Materials Research Meeting 2021 (MRM2021）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] ナノ粒子取り込みによる SiNx の低温プラズマ CVD 製膜2021
- 著者名/発表者名
  佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Low temperature fabrication of SiO2 films using capacitively coupled TEOS plasma2020
- 著者名/発表者名
  Y. Sasaki, T. Yoshida, K. Abe, K. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 21st Workshop on Fine Particle Plasmas
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] PECVD における任意電圧波形を用いた a-C:H 成膜2020
- 著者名/発表者名
  永松大樹, 岩本亮介, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第31回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] PIC-MCCMを用いたCCPにおけるIEDに関する研究2020
- 著者名/発表者名
  阿部滉平, 陶陽, 岩本亮介, 佐々木勇輔, 吉田知晃, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第28回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 低温環境下におけるプラズマCVDによる高品質保護膜の作製2020
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 吉田知晃, 佐々木勇輔, 阿部滉平, 岩本亮介, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  日本物理学会 2020年秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] アルゴンプラズマ中光捕捉微粒子への作用力の校正2020
- 著者名/発表者名
  奥永冴京, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, Pan Yiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治,
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] TEOSプラズマCVDを用いたSiO2膜の形成:基板バイアス電圧依存性2020
- 著者名/発表者名
  山本晃大, 吉田智晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第26回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] マルチホロー放電プラズマ CVDを用いて作製したカーボンナノ粒子輸送量に対する電極基板間距離の効果2020
- 著者名/発表者名
  古閑一憲,　S. H. Hwang,　奥村賢直,　Y. Hao,　山下大輔,　松尾かよ,　板垣奈穂,　鎌滝晋礼,　白谷正治
- 学会等名
  2020年度(第73回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 容量結合プラズマCVD法によるSiO2膜の低温製膜2020
- 著者名/発表者名
  佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第25回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Future prospects of Plasma-nano interface (Invited)2020
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki
- 学会等名
  Satellite meeting of AAPPS-DPP2020：Workshop on cutting-edge of plasma applications
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマCVDにおけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係2020
- 著者名/発表者名
  白谷正治, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 吉田知晃, 佐々木勇輔, 阿部滉平
- 学会等名
  第37回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Study on Film Deposition Process using Spatial Profiles of Plasma Parameters and Nanoparticles in Reactive Plasma2020
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, T. Yoshida, Y. Sasaki, K. Abe, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 22st Workshop on Fine Particle Plasmas
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたアルゴンプラズマの等電場面計測2020
- 著者名/発表者名
  奥永冴京, 岩本亮介, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, PanYiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films2020
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Tomoaki Yoshida, Yusuke Sasaki, Kohei Abe, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
- 学会等名
  AAPPS-DPP2020 e-conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 光ピンセットによる捕捉微粒子の揺動解析2020
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 奥永冴京, 岩本亮介, 富田健太郎, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Information on electric field deduced using a fine particle trapped with laser tweezers in Ar plasma2020
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, S. Okunaga, K. Tomita, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Ar+CH4 マルチホロー放電プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子のフラックスに対する熱泳動力の効果2020
- 著者名/発表者名
  郭源, 吉川大智, 黄成和, 古閑一憲, 白谷正治, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 奥村賢直
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第29回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子制御によるSiNx膜の低温作製2020
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 吉田知晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 永石翔太, 岩本亮介, 山下大輔，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  日本物理学会第75回年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] プラズマCVDを用いたa-Si：H堆積薄膜中のSi-H/Si-H2結合形成の活性化エネルギー2020
- 著者名/発表者名
  古閑一憲, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 白谷正治
- 学会等名
  日本物理学会 2021年秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films2020
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki
- 学会等名
  4th Asia Pacific Conference on Plasma Physics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] CCPにおける径方向電場Eyの計測の試み2020
- 著者名/発表者名
  陶陽, 岩本亮介, 阿部滉平, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第30回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係2020
- 著者名/発表者名
  吉田知晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山本晃大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第27回支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00142
[学会発表] プラズマに関する学生実験が受講者の動機付けに与える影響2019
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼，大友洋, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] Developing Prediction of Amorphization Condition Models from Sputter Deposition Experimental Results by Machine Learning Method2019
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, S. Muraoka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Materials Research Meeting 2019 (MRM2019）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Low Temperature Fabrication of Low Hydrogen Content SiN films in a Multi-Hollow Discharge Plasma CVD2019
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, S. Nagaishi, Y. Sasaki, H. Hara, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  XXXIV ICPIG & ICRP-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Investigation of Impact of Plasma Fluctuation Driven by Amplitude Modulated VHF Discharge on Growth of Nanoparticles in Reactive Plasma2019
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, R. Iwamoto, H. Tanaka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  Materials Research Meeting 2019 (MRM2019）
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Low temperature fabrication of passivation films by plasma enhanced CVD2019
- 著者名/発表者名
  Kunihiro KAMATAKI
- 学会等名
  7th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2020& 4th International Symposium on Energy Research and Application
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Predictive insight based on grey box analysis of plasma process data2019
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  2nd International Conference on Data-Driven Plasma Science(ICDDPS2019)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Study on Relationship between Growth of Nanoparticles and Plasma Fluctuation due to Amplitude Modulated Discharge Voltage in Capacitively Coupled Reactive Plasma2019
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, R. Zhou, H. Ohtomo, R. Iwamoto, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  XXXIV ICPIG & ICRP-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Investigation of Spatiotemporal Structure of Fluctuation Related with Nanoparticle Growth in Amplitude-Modulated VHF Discharge Reactive Plasma2019
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Ryosuke Iwamoto, Hayate Tanaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Developing Prediction of Key Plasma Processing Parameter from Small Data of Experimental Results by Machine Learning Method2019
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] Deposition Control of Carbon Nanoparticles Synthesized by Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method2019
- 著者名/発表者名
  S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] AM変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長揺動に関する時空間情報解析2019
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 田中颯,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子生成制御2019
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 永石翔大, 佐々木勇輔, 原尚志, 岩本亮介, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第36回プラズマ・核融合学会年会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K03809
[学会発表] 反応性プラズマにおけるプラズマ揺らぎとナノ粒子揺らぎの関係2018
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  第45回西日本放電懇談会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Effects of CH4 Concentration on Size of Carbon Nano-Particles Formed in Multi-hollow Discharge Plasma2018
- 著者名/発表者名
  H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  6th UK-Japan Engineering Education League Workshop 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] A deep insight of plasma-nanoparticle interaction2018
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki and Masaharu Shiratani
- 学会等名
  19th International Congress on Plasma Physics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] プラズマ科学を用いた教育2018
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  第45回西日本放電懇談会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] 知識伝達型授業における部分的AL導入の効果～初年次教育における物理授業を一例として～2018
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  日本物理学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] Motion analysis of inter-particle interactions of three fine particles in Ar plasma2018
- 著者名/発表者名
  H.Ohtomo, R.Zhou, D.Yamashita, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga, and M.Shiratani
- 学会等名
  40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Spatial-Structure of Density Fluctuation of Nanoparticles in Amplitude Modulated Capactively Coupled Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Ren Zhou, Kunihiro Kamataki, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Size and Structure Control of Carbon Nano-particles Synthesized by Multi-hollow Discharge Plasma CVD Method2018
- 著者名/発表者名
  S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
- 学会等名
  28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子量揺らぎの構造解析2018
- 著者名/発表者名
  周靭,鎌滝晋礼,大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Growth Kinetics of Carbon Nano Particles Generated in an Ar/CH4 Multi-Hollow Discharge Plasmas2018
- 著者名/発表者名
  H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Effects of DC Bias Voltage on Deposition of Carbon Nano Particles Synthesized by Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma2018
- 著者名/発表者名
  S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
- 学会等名
  The 3rd Asian Applied Physics Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Arプラズマ中微粒子の相互作用の評価2018
- 著者名/発表者名
  大友洋，周靭，山下大輔，鎌滝晋礼，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] 反応性プラズマにおけるプラズマ揺らぎとラジカルとナノ粒子成長の関係2018
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 周靭, 大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Analysis of Inter-particle Interactions of Two Fine Particles in Ar Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Ohtomo, Ren Zhou, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
- 学会等名
  JP-KO dust workshop 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] CH4+Arマルチホロー放電プラズマで生成したカーボンナノ粒子の基板堆積に対するガス流量の影響2018
- 著者名/発表者名
  H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] プラズマCVDによるSiN製膜時のクラスターの混入が膜物性へ与える影響2018
- 著者名/発表者名
  永石翔大, 佐々木勇輔, 田中和真, 原尚志, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Effects of Gas Pressure on Size of Carbon Nanoparticles Prepared by Methane Plasma Process2018
- 著者名/発表者名
  H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Impact of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Spatial Profile of Nanoparticle Characteristics in Reactive Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Kunihiro Kamataki, Ren Zhou, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu ShirataniKazunori Koga, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] アクティブラーニング型授業が学習者に与える効果~初年次物理学を通じた学習動機付け、学習観、理解度に注目して~2018
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 安永和央, 矢山英樹
- 学会等名
  教育心理学会第60回総会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] 科学実験が文系学部学生の専門教育過程に与える影響2017
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  大学教育学会第39回大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] 初年次学生における電磁気学の理解を深めるプラズマ実験授業2017
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  第66回九州地区大学教育研究協議会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] 初年次における文系学部学生への科学実験授業の影響2016
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  第65回九州地区大学教育研究協議会
- 発表場所
  鹿児島県鹿児島市
- 年月日
  2016-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] 科学的思考力育成のための文系学生に対する科学実験の展開2016
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  日本科学教育学会第40回年会
- 発表場所
  大分県大分市
- 年月日
  2016-08-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] Active Learning based on Science Experiments to Improve Scientific Literacy2016
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki
- 学会等名
  18th International Conference on Physics Education(ICPE2016)
- 発表場所
  Shingapore
- 年月日
  2016-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K16308
[学会発表] Modulation frequency dependence of bispectrum of laser light scattering intensity from nanoparticles formed in reactive plasmas2014
- 著者名/発表者名
  T. Ito, D. Yamashita, H. Seo, K. KamatakiI, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  67th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Raleigh Convention Center, North Carolina
- 年月日
  2014-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Effects of amplitude modulated VHF discharge on coupling between plasmas and nanoparticles2014
- 著者名/発表者名
  K. Koga, T. Ito, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
- 学会等名
  24th International Toki Conference
- 発表場所
  Ceratopia Toki, Toki-city, Gifu
- 年月日
  2014-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26246036
[学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications2014
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, K.Kamataki
- 学会等名
  The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
- 年月日
  2014-01-21
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation2014
- 著者名/発表者名
  K.Koga, Y.Morita, K.Kamataki, D.Yamashita, N.Itagaki, G.Uchida, and M.Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka
- 年月日
  2014-02-03
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Fluctuation in Plasma Processes2013
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo
- 学会等名
  The 6th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2013)
- 発表場所
  Gero Synergy Center, Japan
- 年月日
  2013-02-03
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 振幅変調放電プラズマ中のナノ粒子成長初期におけるナノ粒子量の時空間分布2013
- 著者名/発表者名
  古閑一憲, 森田康彦, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
- 学会等名
  2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学，厚木市
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles with/without Amplitude Modulation in Reactive Plasmas2013
- 著者名/発表者名
  KUNIHIRO KAMATAKI, YASUHIKO MORITA,KAZUNORI KOGA, GIICHIRO UCHIDA, NAHO ITAGAKI, HYUNWOONG SEO AND MASAHARU SHIRATANI
- 学会等名
  ISPlasma2013
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Observation of growth of nano-particles using a high speed camera2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  The 15th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
- 発表場所
  Sungkyunkwan University, Korea
- 年月日
  2012-06-07
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] A simplified model of a relationship between plasma fluctuation and size distribution of nanoparticles formed in reactive plasmas2012
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
- 学会等名
  13th Workshop on Fine Particle Plasma
- 発表場所
  National Institute for Fusion Science, Japan
- 年月日
  2012-12-08
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Control of size distribution of nanoparticles produced in reactive plasmas2012
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki
- 学会等名
  Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
- 発表場所
  Kyoto University ROHM Plaza, Japan
- 年月日
  2012-10-03
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 放電電力変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長の時空間構造の観測2012
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会　第29回年会
- 発表場所
  春日クローバープラザ，春日市
- 年月日
  2012-11-27
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] A Theoretical Model of a Relationship between Plasma Fluctuation and Nanostructure Fluctuation2012
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
- 学会等名
  International Union of Material Research Societies International Conference on Electronic Material 2012
- 発表場所
  PACIFICO YOKOHAMA, Japan
- 年月日
  2012-09-24
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Optical Trapping of Single Fine Particle in Plasmas for study of interactions between a fine particle and plasmas2012
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Satoshi Kitazaki, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
- 学会等名
  NANOSMAT 2012
- 発表場所
  AquaPalace Hotel in Prague, Czech Republic
- 年月日
  2012-09-19
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] High Capacity Li Ion Battery Anodes Using Silicon Carbide Nanoparticles Produced by Double Multi-Hollow Discharge Plasma CVD2012
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki, M. Shiratani, T. Ishihara, H. Nagano, Y. Morita, K. Kuwahara, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
- 学会等名
  IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Impacts of plasma fluctuation on nanostructure formation using plasmas2012
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Koga
- 学会等名
  The Third International Symposium on Plasma Nanoscience
- 発表場所
  Johor, Malaysia and Nanyang Technological University,シンガポール
- 年月日
  2012-02-29
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 反応性プラズマ中でのナノ粒子成長の時空間分布2012
- 著者名/発表者名
  森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部第16回支部大会
- 発表場所
  九州大学筑紫地区総合研究棟，春日市
- 年月日
  2012-12-22
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス2012
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, Hyunwoong Seo, 白谷正治
- 学会等名
  第28回九州・山口プラズマ研究会
- 発表場所
  由布院倶楽部, 由布市
- 年月日
  2012-11-10
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Interaction between amplitude modulated reactive plasmas and nanoparticles growth in the plasmas2012
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, M.Shiratani
- 学会等名
  The 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
- 発表場所
  中部大学,春日井市
- 年月日
  2012-03-07
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス2012
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼、森田康彦、古閑一憲、内田儀一郎、板垣菜穂、Hyunwoong Seo、白谷正治
- 学会等名
  第28回九州・山口プラズマ研究会
- 発表場所
  大分, 日本
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Observation of Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas with Discharge Power Modulation2012
- 著者名/発表者名
  KAMATAKI Kunihiro, MORITA Yasuhiko, KOGAKazunori, UCHIDA Giichiro, ITAGAKI Naho, YAMASHITA Daisuke and SHIRATANI Masaharu
- 学会等名
  第29回プラズマ核融合学会年会
- 発表場所
  福岡, 日本
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] 高周波放電のAM変調によるナノ粒子サイズ分布の制御2011
- 著者名/発表者名
  白谷正治, 鎌滝晋礼, 西山雄士, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂
- 学会等名
  平成23年度(第64回)電気関係学会九州支部連合大会
- 発表場所
  佐賀大学本庄キャンパス,佐賀市
- 年月日
  2011-09-27
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Two dimensional laser light scattering to deduce size and density of nanoparticles in plasmas2011
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida
- 学会等名
  Laser Aided Plasma Diagnostic conference (LAPD15)
- 発表場所
  ShineVille Resort,済州島(韓国)
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Multi-hollow discharge plasma CVD : Si deposition2011
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Kamataki
- 学会等名
  the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2011)
- 発表場所
  Queen's University Belfast, Belfast (英国)(プレナリー講演)
- 年月日
  2011-08-29
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Impacts of Plasma Fluctuations in Reactive Plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki
- 学会等名
  BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S & T
- 発表場所
  Dalian, China
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Three growth modes of nanoparticles generated in reactive plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K.Koga, K.Kamataki, S.Nunomura, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratanil, U.Czarnetzki
- 学会等名
  DPG Spring Meeting of the Section AMOP (SAMOP)
- 発表場所
  University of Stuttgart,シュトゥットガルト(ドイツ)
- 年月日
  2011-03-15
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Control of size distribution of nanoparticles in reactive plasmas by using AM rf discharges2011
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga
- 学会等名
  12th Workshop on Fine Particle Plasmas
- 発表場所
  核融合科学研究所,土岐市
- 年月日
  2011-11-27
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県立音楽堂,金沢市
- 年月日
  2011-11-24
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Impacts of Plasma Fluctuations on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki , H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani
- 学会等名
  the XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases(ICPIG) Conference
- 発表場所
  Belfast, England
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] プラズマCVD中におけるナノ粒子成長に対するプラズマ揺らぎの効果2011
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治
- 学会等名
  プラズマエレクトロニクス文科会20周年記念特別シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学野依記念学術交流会館,名古屋市
- 年月日
  2011-10-22
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Impacts of Plasma Fluctuations on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K. Kamataki , H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani
- 学会等名
  the 図 : 気相プラズマ揺らぎによる、ナノ粒子成長の減衰とナノ粒子サイズと密度の変化 XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG) Conference
- 発表場所
  Belfast, England
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2011
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
- 学会等名
  第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
- 発表場所
  大阪大学銀杏会館,吹田市
- 年月日
  2011-07-19
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Impacts of Plasma Fluctuations in Reactive Plasmas2011
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki
- 学会等名
  BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T(招待講演)
- 発表場所
  Dalian, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Plasma Fluctuations in Pristine and Reactive Plasmas2010
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki
- 学会等名
  The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
- 発表場所
  Jeju, Korea(Invited Talk)
- 年月日
  2010-07-08
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Plasma Fluctuations2010
- 著者名/発表者名
  K.Kamataki
- 学会等名
  2010 International Workshop on Plasma Applications
- 発表場所
  九州大学伊都キャンパス
- 年月日
  2010-06-04
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する電力摂動の効果2010
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼、宮田大嗣、古閑一憲、内田儀一郎、板垣奈穂、山下大輔、松崎秀文、白谷正治
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎県長崎市
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Manipulation of Nano-objects Uusing Plasmas for a Plasma Nano-factory2010
- 著者名/発表者名
  M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
- 学会等名
  The 11th Asia Pacific Physics Conference
- 発表場所
  Shanghai, China
- 年月日
  2010-11-14
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 基礎プラズマと反応性プラズマにおけるプラズマ揺動制御に関する研究2010
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼
- 学会等名
  第37回西日本放電懇談会
- 発表場所
  福岡県日田市
- 年月日
  2010-08-09
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Infrared Laser Manipulation of Single Fine Particle Levitated at Plasma/Sheath Boundary
- 著者名/発表者名
  D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
- 発表場所
  Makuhari, Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Observation of nanoparticle growth process using high speed camera
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, K. Koga, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, D. Yamashita and M. Shiratani
- 学会等名
  21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
- 発表場所
  Cairns, Australia
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] プラズマ中に光捕捉した単一微粒子を用いたプラズマと界面の相互作用評価
- 著者名/発表者名
  伊東鉄平, 森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Observation of Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas with Discharge Power Modulation
- 著者名/発表者名
  KAMATAKI Kunihiro, MORITA Yasuhiko, KOGA Kazunori, UCHIDA Giichiro, ITAGAKI Naho YAMASHITA Daisuke and SHIRATANI Masaharu
- 学会等名
  第29回プラズマ核融合学会年会
- 発表場所
  福岡、日本
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Coupling between radicals in plasmas and nanoparticle growth in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation
- 著者名/発表者名
  K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani
- 学会等名
  18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Combinatorial evaluation of optical properties of crystalline Si nanoparticle embedded Si films deposited by a multi-hollow discharge plasma CVD method
- 著者名/発表者名
  Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles with/without Amplitude Modulation in Reactive Plasmas
- 著者名/発表者名
  KUNIHIRO KAMATAKI, YASUHIKO MORITA,　KAZUNORI KOGA, GIICHIRO UCHIDA, NAHO ITAGAKI, HYUNWOONG SEO AND MASAHARU SHIRATANI
- 学会等名
  ISPlasma2013
- 発表場所
  Nagoya,Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in reactive plasmas
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
- 学会等名
  The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering　(AEPSE2013)
- 発表場所
  Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス
- 著者名/発表者名
  鎌滝晋礼、森田康彦、古閑一憲、内田儀一郎、板垣菜穂、Hyunwoong Seo、白谷正治
- 学会等名
  第28回九州・山口プラズマ研究会
- 発表場所
  大分、日本
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23740408
[学会発表] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, and K. Koga
- 学会等名
  21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
- 発表場所
  Cairns, Australia
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子成長のバイスペクトル解析
- 著者名/発表者名
  森田康彦, 伊東鉄平, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲 , 白谷正治
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子量空間分布の変調周波数依存性
- 著者名/発表者名
  森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Plasma Etching of Single Fine Particle Trapped By Optical Tweezers
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, D. Yamashita, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] マルチホロー放電プラズマCVDにおけるa-Si:H膜中クラスター混入量に対する振幅変調放電の効果
- 著者名/発表者名
  都甲将, 橋本優史, 金光善徳, 鳥越祥宏, 徐鉉雄, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部第17回支部大会
- 発表場所
  佐世保工業高等専門学校
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Effects of plasma incident angle of dust production due to interactions between hydrogen plasmas and carbon wall
- 著者名/発表者名
  M. Tateishi, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group d, S. Bornholdte, H. Kersten
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
- 発表場所
  Makuhari, Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Analysis of fluctuation of Ar metastable density and nanoparticle amount in capacitively coupled discharges with amplitude modulation
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長とプラズマ揺らぎ
- 著者名/発表者名
  白谷正治, 古閑一憲, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Correlation between Plasma Fluctuation and Nanoparticle Amount in Initial Growth Phase in Reactive Plasmas with Amplitude Modulation
- 著者名/発表者名
  K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
- 学会等名
  14th Workshop on Fine Particle Plasmas
- 発表場所
  National Institute for Fusion Science, Toki, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Band gap control of nc-Si thin films deposited multi-hollow discharge plasma CVD
- 著者名/発表者名
  Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Evaluation of Interactions between Plasmas and Interface using Optically Trapped Single Fine Particle
- 著者名/発表者名
  T. Ito, Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, and M. Shiratani
- 学会等名
  18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Raman spectroscopy of a fine particle optically trapped in plasma
- 著者名/発表者名
  D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki
- 学会等名
  The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] High Pressure Nonthermal Methane Plasmas for Nanoparticle Production
- 著者名/発表者名
  K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
- 発表場所
  Makuhari, Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] ナノ粒子含有振幅変調放電プラズマ中のAr準安定原子密度
- 著者名/発表者名
  白谷正治, 古閑一憲, 森田康彦, 伊東鉄平, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
- 学会等名
  日本物理学会　第69回年次大会
- 発表場所
  東海大学
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Combinatorial plasma CVD of Si nanoparticle composite films for band gap control
- 著者名/発表者名
  Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
- 発表場所
  Makuhari, Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Transport of nanoparticles produced in reactive plasmas using a positively-biased collector
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
- 学会等名
  The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
- 発表場所
  Makuhari, Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga
- 学会等名
  International Conference on Surface Engineering
- 発表場所
  Haeundae Grand Hotel, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Selective removal of clusters in silane plasmas by cluster eliminating filter
- 著者名/発表者名
  Y. Hashimoto, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Bispectrum analysis of nanoparticle growth in reactive dusty plasmas
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
- 学会等名
  18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Effects of Amplitude Modulation on Stability of Hydrogenated Amorphous Silicon Films Deposited using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method
- 著者名/発表者名
  Y. Torigoe,Y. Hashimoto, S. Toko, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  2014 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
- 発表場所
  NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation
- 著者名/発表者名
  K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Nanoparticle amount in reactive plasmas with amplitude modulation detected by twodimensional laser light scattering method
- 著者名/発表者名
  T. Ito, Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Production of SiC nanoparticles for Li-ion battery applications by using a high pressuremulti-hollow discharge plasma CVD
- 著者名/発表者名
  G. Uchida, D. Ichida, Y. Kanemitsu, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Ishihara, M. Shiratani
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] ハイスピードカメラを用いたナノ粒子成長プロセスの観測
- 著者名/発表者名
  伊東鉄平, 森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
- 学会等名
  第7回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
- 発表場所
  国立中央青少年交流の家, 静岡
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Carbon Nanostructure formed by high pressure methane plasmas
- 著者名/発表者名
  K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Amplitude modulation frequency dependence of nanoparticle amount in plasmas
- 著者名/発表者名
  Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
- 学会等名
  The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
- 発表場所
  Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005
[学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in amplitude modulated　capacitively coupled reactive plasmas
- 著者名/発表者名
  M. Shiratani, K. Koga, Y. Morita, S. Iwashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
- 学会等名
  23rd Annual Meeting of MRS-JAPAN 2013
- 発表場所
  Yokohama Port Opening Plaza, Japan
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-21110005

1. 白谷正治 (90206293)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 156件
2. 古閑一憲 (90315127)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 99件
3. 内田儀一郎 (90422435)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 75件
4. 布村正太 (50415725)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 徐鉉雄 (00618499)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 55件
6. 板垣奈穂 (60579100)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 77件
7. 小林達哉 (30733703)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 石川健治 (60417384)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 富田健太郎 (70452729)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 29件
10. 奥村賢直

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件
11. 内田諭

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

鎌滝 晋礼 KAMATAKI KUNIHIRO

研究課題

研究成果

共同研究者

プラズマプロセスによる膜形成の一般則の統合研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

時空間的電場振動中のナノ粒子成長に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

基礎教育から専門教育をつなぐ新しい実用的プラズマ科学実験教材の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマを用いたナノ粒子精密配置制御の学術基盤創成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマ揺らぎとナノ界面特性揺らぎの相互作用ダイナミックス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ粒子含有プラズマによるナノ界面ボンドエンジニアリングの創生

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Prediction by a hybrid machine learning model for high-mobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Raman spectral analysis of theas-deposited a-C:H films prepared by CH4+Ar plasma CVD2022

著者名/発表者名

雑誌名

鎌滝晋礼 KAMATAKI KUNIHIRO

[雑誌論文] 課題協学科目による初年次学生の動機づけと学習観への影響　1つの授業実践の事例から2017