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豊田 浩孝  Toyoda Hirotaka

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70207653
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 名古屋大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 名古屋大学, 工学研究科, 教授
2016年度 – 2018年度: 名古屋大学, 工学研究科, 教授
2012年度 – 2015年度: 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2009年度 – 2011年度: 名古屋大学, 工学研究科, 教授
2007年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る
2006年度: 名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教授
2004年度 – 2005年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授
2000年度 – 2003年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教授
2001年度: Nagoya University, Department of Electrical Engineering, Associate Professor
2000年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授
1997年度 – 1999年度: 名古屋大学, 工学研究科, 講師
1997年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師
1992年度 – 1996年度: 名古屋大学, 工学部, 講師
1988年度 – 1990年度: 名古屋大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / プラズマ理工学 / プラズマエレクトロニクス / 小区分14030:プラズマ応用科学関連
研究代表者以外
プラズマ理工学 / 小区分14020:核融合学関連 / プラズマ科学
キーワード
研究代表者
マイクロ波プラズマ / 大気圧プラズマ / 廃棄物処理 / 低温形成 / 多結晶シリコン / 誘導結合プラズマ / 高密度プラズマ / マイクロ波 / 弱減圧プラズマ / プラズマ液体相互作用 … もっと見る / 液体プラズマ相互作用 / プラズマCVD / プラズマ加工 / damage-free film / flat surface film / multilaver film / mass spectrometry / high energy particle / magnetron sputter / ダメージフリー / 平坦膜 / 多層膜 / 質量分析 / 高エネルギー粒子 / マグネトロンスパッタ / beam experiment / silicon dioxide / selective etching / fluorocarbon / ビーム実験 / 酸化シリコン / 選択エッチング / フロロカーボン / large area deposition / high speed deposition / high-density plasma / lower temperature deposition / inductively-coupled plasma / poly-crystalline silicon / 大面積堆積 / 高速堆積 / low temperature deposition / ultraviolet transmission spectroscopy / radical diagnostics / polycrystalline silicon / appearance mass spectrometry / inductively coupled plasma / amorphus silicon / 水素化アモルファスシリコン / シランプラズマ / ラジカル計測 / 紫外透過分光法 / 出現質量分析法 / アモルファスシリコン / oxygen gettering / Hydrogen recycling / Lithium coating / Nuclear fusion / 酸素ゲッタリング / 水素リサイクリング / リチウムコーティング / 核融合 / 表面処理 / 長尺プラズマ / 均一プラズマ / 表面波 / スパッタ / 大気圧プラズ / 発光分光 / 電子密度計測 / 電界計測 / シュタルク効果 … もっと見る
研究代表者以外
プラズマプロセス / hydrogen recycling / 水素リサイクリング / エッチング / マイクロ波放電 / silicon oxidation / liquid crystal display / large area plasma / slot antenna / surface wave plasma / シリコン酸化 / スロットアンテナ / 表面波プラズマ / Plasma Process / 膜堆積 / XPS / イオンビーム / 中性ラジカル / CVD / プラズマ・壁相互作用 / 大口径プラズマ / oxygen gettering / decaborane / boron coating / 酸素ゲッタリング / デカボラン / ボロンコーティング / plasma CVD / surface magnetic field / plasma etching / 反応性プラズマ / 多極磁場 / 表面磁場 / プラズマCVD / プラズマエッチング / 粒子輸送 / 熱輸送 / 核融合炉 / ダイバータ / 液体金属 / Double Plasma / Glow Discharge / Microwave Discharge / Electron Beam / Ion Beam / Thin Film / ダブルプラズマ / グブルプラズマ / グロー放電 / 電子ビーム / 機能性薄膜 / micro-crystalline silicon / solar cell / microwave discharge / 液晶デイスプレイ / 液晶ディスプレス / 微結晶シリコン / 液晶ディスプレイ / 太陽電池 / 大面積プラズマ / oxygen radical / poly-silicon / electron energy distribution function / 表面加熱 / 体積加熱 / 酸素ラジカル / ポリシリコン / 液晶 / 電子エネルギー分布関数 / Fluorocarbon plasma / Debye length / Dispersion relation / Sheath / Dielectric tube / Surface wave resonance / Plasma absorption probe / パワー吸収スペクトル / フロンプラズマ / シース / 表面波 / 分散関係 / プラズマ吸収プローブ / 堆積膜 / 電子密度 / Radical desorption / Wall control / Ion bombardment / RF bias / plasma-wall interaction / Silicon dioxide / Etching / ラジカル脱離 / 壁制御 / RFバイアス / シリコン酸化膜 / 経時変化 / クリーニング / イオン衝撃 / silicon / ion beam / neutral radical / surface reaction / etching / plaasma processing / プロズマプロセス / シリコン / 表面反応 / lithium hydroxide / lithium hydride / tritium / hydrogen desorption / wall pumping / low-Zmaterial coating / lithium / 水酸化リチウム / 水素化リチウム / 昇温脱離 / 水素脱離 / 壁排気 / 低Z材コーティング / リチウム / ECR plasma / impurity control / rithium coating / first wall conditioning / ECRプラズマ / 不純物制御 / リチウムコーティング / 第一壁コンディショニング / indium-tin-oxide film / Faraday shield / helicon plasma / inductively coupled plasma / high density plasma / plasma process / 電子ビーム不安定 / 電子密度測定 / 誘導型RF放電 / シリコン・エッチング / 高周波プラズマ / 誘導型RF / 永久磁石 / アンテナ電磁界 / ラジカル / ファラデシールド / ITO薄膜 / 選択ドライエッチング / ヘリコン波プラズマ / ITO膜 / ファラデーシールド / ヘリコンプラズマ / 誘導結合型プラズマ / 高密度プラズマ / nuclear fusion / diborane / boronization / 不純物 / シボラン / デガボラン / 核融合 / ジボラン / ボロニゼーション / plasma-surface interaction / fragmentation / radio frequency discharge / multi-dipole field / plasma processing / 電子ビ-ム / デポジション / プラズマ・表面相互作用 / フラグメンテ-ション / 高周波放電 隠す
  • 研究課題

    (23件)
  • 研究成果

    (203件)
  • 共同研究者

    (24人)
  •  核融合炉の液体金属流プラズマ対向壁における熱・粒子輸送に関する研究

    • 研究代表者
      増崎 貴
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14020:核融合学関連
    • 研究機関
      核融合科学研究所
  •  気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14030:プラズマ応用科学関連
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  液中化学活性種寿命の革新的計測手法の創出研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2017
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  メートル長高密度大気圧マイクロ波プラズマ生成とその物理過程の解明研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  ターゲットを均一に利用する無磁場マイクロ波スパッタ製膜研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  大気圧プラズマ密度計測の高精度化研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  膜堆積に強い電子密度の新測定法と超精密プラズマ制御への応用

    • 研究代表者
      中村 圭二
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      中部大学
  •  高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用

    • 研究代表者
      中村 圭二
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      中部大学
      名古屋大学
  •  高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  リチウム膜による水素の選択排気法の開発

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  定常化研究における第一壁のコンディショニング法

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  リチウムコーティングとプラズマ・表面過程の基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      豊田 浩孝
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  ボロニゼーションによる粒子制御の最適化

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  超微細プロセス用低エネルギ-粒子ビ-ム源の開発

    • 研究代表者
      管井 秀郎 (菅井 秀郎)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      名古屋大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ2019

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝、鈴木陽香
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: Vol.88No.2 ページ: 101-104

    • NAID

      130007709464

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [雑誌論文] 液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成2018

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 61(3) ページ: 113-118

    • NAID

      130006476138

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [雑誌論文] Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment2018

    • 著者名/発表者名
      Kensuke Sasai, Kazuki Keyamura, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.57No.6

    • NAID

      210000149131

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [雑誌論文] Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow2018

    • 著者名/発表者名
      Hikaru Senba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.58No.SA

    • NAID

      210000135214

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [雑誌論文] Enhancement of Liquid Treatment Efficiency by Microwave Plasma under Flow-Induced Reduced Pressure2017

    • 著者名/発表者名
      Michiko Ito, Tomohiro Takahashi, Sho Takitou, Seigo Takashima, Norio Nomura, Tominori Kitagawa, Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56

    • NAID

      210000147442

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [雑誌論文] An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge2017

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki1and Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 2 ページ: 026201-026201

    • DOI

      10.7567/jjap.56.026201

    • NAID

      210000148431

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [雑誌論文] Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Takaba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 49 ページ: 295202-295202

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [雑誌論文] Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave2015

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AH09-01AH09

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01ah09

    • NAID

      210000146006

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [雑誌論文] New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure2015

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 8

    • NAID

      210000137441

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [雑誌論文] 酸化物ターゲットを用いたRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動2014

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Society of Japan

      巻: Vol. 57No.3 ページ: 80-83

    • NAID

      130003394506

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [雑誌論文] 酸化物ターゲットを用いたRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動2014

    • 著者名/発表者名
      豊田 浩孝
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: 57, No.3 ページ: 80-83

    • NAID

      130003394506

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [雑誌論文] A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink2013

    • 著者名/発表者名
      H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, H. Toyoda and M. Hori
    • 雑誌名

      Journal of Physics : ConferenceSeries

      巻: 441 ページ: 12019-12019

    • DOI

      10.1088/1742-6596/441/1/012019

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [雑誌論文] スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御2008

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝
    • 雑誌名

      真空 51(4)(印刷中)

    • NAID

      10021157266

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Suppression of High-Energy Backscattered Particles in Magnetron Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke, Takagi, Hirotaka, Toyodaand, Hideo, Sugai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46(12)

      ページ: 7865-7869

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakashita, Y. Takagi, T. Kato, H. Toyoda, S. Iwata, S. Tsunashima, H. Sugai
    • 雑誌名

      Transaction of Materials Research Society of Japan 32(2)

      ページ: 481-484

    • NAID

      130007922833

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Suppression of High-Energy Backscattered Particles in Magnetron Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Takagi, Hirotaka Toyoda and Hideo Sugai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46(12)

      ページ: 7865-7869

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakashita, Y. Takagi, T. Kato, H. Toyoda, S. Iwata, S. Tsunashima and H. Sugai
    • 雑誌名

      Transaction of Materials Research Society of Japan 32(2)

      ページ: 481-484

    • NAID

      130007922833

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Generation processes of super high energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda, H. Sugai
    • 雑誌名

      Vacuum 80

      ページ: 581-587

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Generation processes of super high energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Takagi, Y.Sakashita, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Vacuum 80

      ページ: 581-587

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Slot-Excited Surface Wave Plasma for Giant Scale Processing2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sugai, Y.Nojiri, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 雑誌名

      Proceedings of 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Slot-Exited Surface Wave Plasma for Giant Scale Processing2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sugai, Y.Nojiri, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 雑誌名

      Proceedings of 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Numberical Simulation of Energetic Species in a VHF-DC Magnetron Plasma and Comparison with Experiments2006

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, Y.Sakashita, Y.Takagi, H.Sugai
    • 雑誌名

      Abstract of 6th International Conference on Reactive Plasmas, Matsushima, Japan

      ページ: 255-256

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Dependence of GMR in Co/Cu Multilayers on Sputtering Conditions2006

    • 著者名/発表者名
      C.C.Chen, S.Iwata, S.Tsunashima, H.Toyoda, H.Sugai et al.
    • 雑誌名

      Abstract of 6th International Conference on Reactive Plasmas, Matsushima, Japan

      ページ: 689-690

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Energy Control of Backscattered Rare Gas Atoms by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputtering (Invited)2006

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda, Hideo Sugai
    • 雑誌名

      Proc. The 17th Symposium of The Materials Research Society of Japan, International Session, Tokyo, Japan

      ページ: 174-174

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Energetic Particle Reduction on Substrate in Cylindrical Magnetron Sputter System2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Takagi, Y.Sakashita, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Abstract of 6th International Conference on Reactive Plasmas, Matsushima, Japan

      ページ: 767-768

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Dependences of Giant Magnetoresistance in Co/Cu Multilayers on Sputtering Conditions2006

    • 著者名/発表者名
      C.C.Chen, S.Iwata, S.Tsunashima, H.Toyoda, H.Sugai et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45(10)

      ページ: 8466-8468

    • NAID

      10018340234

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [雑誌論文] Evidence of Direct SiO_2 Etching by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment2005

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, I.Murakami, H.Sugai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 97・1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Gas Feed Position Control for High-Quality μc-Si Film Deposition at High Speed in Surface Wave Plasma2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Hotta, T.Okayasu, Y.Takanishi, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proceedings of 5th International Symposium on Dry process

      ページ: 297-298

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Diagnostics of Surface Wave Plasmas for Giant Materials Processing2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugai, Y.Nojiri, T.Ishijima, E.Stamatc, H.Toyoda
    • 雑誌名

      Abstracts of 17th International Symposium on Plasma Chemistry

      ページ: 56-57

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Evidence of Direct SiO_2 Etching by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment2005

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, I.Murakami, H.Sugai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 97・1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Diagnostics of Surface Wave Plasmas for Giant Materials Processing2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugai, Y.Nojiri, T.Ishijima, E.Stamate, H.Toyoda
    • 雑誌名

      Abstracts of 17th International Symposium on Plasma Chemistry

      ページ: 56-57

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Beam Study on the Si and SiO_2 Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, H.Morishima, R.Fukute, Y.Hod, I.Murakami, H.Sugai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 95・5

      ページ: 5172-5179

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Influence of Dielectric Window Material and Pumping Speed on Silicon Film Crystallinity Deposited by Surface Wave Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hotta, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Symposium on Dry Process

      ページ: 63-66

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Experiment Evidence of SiO_2 Etching by Co-Incidence of Fluorocarbon Molecule and Energetic Ar Ion Beam2004

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proc.International Symposium on Dry Process ‘04

      ページ: 47-50

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] High Speed Deposition of μc-Si and Large Grain Poly-Si Films by Surface-Wave Excited H_2/SiH_4 Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      T.Toyoda, Y.Hotta, H.Sugai
    • 雑誌名

      Abstracts of 15th Symposium of Materials Research Society of Japan

      ページ: 138-138

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Experiment Evidence of SiO_2 Etching by Co-Incidence of Fluorocarbon Molecule and Energetic Ar Ion Beam2004

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proc.International Symposium on Dry Process '04

      ページ: 47-50

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Chemical Reactivity of Fluorocarbon Molecules on SiO_2/Si Surface under Co-Incidence with Energetic Argon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Abstracts Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology/Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 368-368

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Beam Study on the Si and SiO_2_Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, H.Morishima, R.Fukute, Y.Hori, I.Murakami, H.Sugai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 95・5

      ページ: 5172-5179

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Chemical Reactivity of Fluorocarbon Molecules on SiO_2/Si Surface under Co-Incidence with Energetic Argon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Abstracts Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology / Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 368-368

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Impurity Release and Suppression in Deposition of Nano-Micro and Poly-crystalline Sillicon Films by a Surface-Wave Excited Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, S.Somiya, Y.Hotta, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proceedings of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision

      ページ: 17-17

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Beam Study on the Si and SiO_2 Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, H.Morishima, R.Fukute, Y.Hori, I.Murakami, H.Sugai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 95・5

      ページ: 5172-5179

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Suppression and Oxygen Impurity Incorporationinto Silicon Films Prepared from Surface-Wave Excited H_2/SiH_4 Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      S.Somiya, H.Toyoda, Y.Hotta, H.Sugai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43, No.11A

      ページ: 7696-7700

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Suppression and Oxygen Impurity Incorporation into Silicon Films Prepared from Surface-Wave Excited H_2/SiH_4 Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      S.Somiya, H.Toyoda, Y.Hotta, H.Sugai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43・11A

      ページ: 7696-7700

    • NAID

      10014030844

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15204053
  • [雑誌論文] Observation of SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecules and Energetic Argon Ions2004

    • 著者名/発表者名
      N.Takada, H.Toyoda, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proc.Int.COE Forum on Plasma Science and Technology

      ページ: 209-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Observation of SiO_2 Surface Irradiated by Fluorocarbon Neutrals and Energetic Ion Beam2003

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, N.Takada, H.Sugai
    • 雑誌名

      Proc.Int.Sympo.Dry Process '03

      ページ: 259-264

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [雑誌論文] Observation of Etching Reactions on SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecule and Ion Beam (Invited)2003

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda
    • 雑誌名

      26th Int.Conf.on Phenomena in Ionized Gases

      ページ: 137-138

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15540474
  • [産業財産権] スパッタ成膜装置2013

    • 発明者名
      笹井建典、豊田浩孝
    • 権利者名
      東海ゴム工業株式会社、名古屋大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-015453
    • 出願年月日
      2013-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system2024

    • 著者名/発表者名
      Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi, Takanori Murase, Sho Nakagawa, Yuto Yanagihara, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      Abstract of ISPlasma2024/IC-PLANTS2024
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] 気体流による減圧形成を応用した放電易化におけるノズル電極の構造検討2023

    • 著者名/発表者名
      小川泰那, 中林賢二, 鈴木陽香, 豊田浩孝
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] 高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション2023

    • 著者名/発表者名
      中林 賢二,小川 泰那,鈴木 陽香, 豊田 浩孝
    • 学会等名
      電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] 流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子合成における生成性能評価2023

    • 著者名/発表者名
      柚木健吾, 鈴木陽香, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid2023

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      13th Asia European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure2023

    • 著者名/発表者名
      Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] Microwave plasma source development and applications from low pressure to atmospheric pressure2022

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      6th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] マイクロ波プラズマ技術による大気圧プラズマ生成と液体処理2022

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝
    • 学会等名
      第16回日本電磁波エネルギー応用学会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid2022

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      11th International Conference on Reactive Plasmas/75th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22481
  • [学会発表] メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測2019

    • 著者名/発表者名
      小間 浩嗣、 小池 洋右、 鈴木 陽香、 豊田 浩孝、
    • 学会等名
      SPP-36/SPMS-32、 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析 A Systematic Analysis of Modified Waveguide Structure for Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Source via Simulations2019

    • 著者名/発表者名
      チュー マン・フン、鈴木 陽香、 豊田 浩孝
    • 学会等名
      SPP-36/SPMS-32、 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Baba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma2019

    • 著者名/発表者名
      Manh Hung Chu,Haruka Suzuki ,Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure2019

    • 著者名/発表者名
      Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technolog
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscop2019

    • 著者名/発表者名
      Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測2019

    • 著者名/発表者名
      馬場 賀己,鈴木陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Time-resolved microscopic measurement of cross-sectional structure of slot excited atmospheric pressure microwave plasma スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda 馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝
    • 学会等名
      SPP-36/SPMS-32、 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 長尺大気圧マイクロ波プラズマ生成と表面処理の応用2019

    • 著者名/発表者名
      豊田浩孝
    • 学会等名
      表面技術協会 第139回講演大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy2019

    • 著者名/発表者名
      Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理2019

    • 著者名/発表者名
      小間 浩嗣 ,杉山 敦士 ,鈴木 陽香,本田 剛 ,豊田 浩
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application-2018

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, H. Suzuki Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama
    • 学会等名
      JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測2018

    • 著者名/発表者名
      馬場賀己, 鈴木陽香,豊田浩孝
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] スロット励起マイクロ波プラズマを用いた水蒸気プラズマ処理プロセス/Water Vapor Plasma Treatment Process using Slot-Excited Microwave Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木陽香、豊田浩孝
    • 学会等名
      第28回 日本MRS年次大会, 28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布2018

    • 著者名/発表者名
      小池 洋右,田村 宥人,鈴木 陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木陽香、豊田浩孝
    • 学会等名
      プラズマ核融合学会 第35回年会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Meter-scale atmospheric-pressure microwave plasma for molecular gas processes2018

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      19th International Congress on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Meter-scale atmospheric pressure microwave line plasma and its applications.2018

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda
    • 学会等名
      Xth INTERNATIONAL WORKSHOP on MICROWAVE DISCHARGES: Fundamentals and Applications
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis2018

    • 著者名/発表者名
      S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 40th International Symposium on Dry Process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] A coaxial-waveguide microwave plasma source for in-line treatment of large volume liquid2018

    • 著者名/発表者名
      Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測2018

    • 著者名/発表者名
      BAE Hansin,小池洋右,小間浩嗣,鈴木陽香,豊田浩孝
    • 学会等名
      プラズマ核融合学会 第35回年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成2018

    • 著者名/発表者名
      藤村 昇平, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge2018

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
    • 学会等名
      71st Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Shota Ishikaw, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The 40th International Symposium on Dry Process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測2018

    • 著者名/発表者名
      小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制2018

    • 著者名/発表者名
      小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測2017

    • 著者名/発表者名
      堤和紀,滝藤奨,藤村昇平, 鈴木陽香,豊田浩孝
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Development of Microwave Plasma Sources and its Application to Materials Processing2017

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      27th Annual Meeting of MRS-Japan 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木 陽香,田村 宥人,猪俣 弥雄起, 伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2017-01-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上2017

    • 著者名/発表者名
      堤和紀,滝藤奨,藤村昇平, 伊藤美智子,高島成剛,鈴木陽香,豊田浩孝
    • 学会等名
      第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2017-01-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure2017

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・春日井市)
    • 年月日
      2017-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価2017

    • 著者名/発表者名
      石川 翔太、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      田村 宥人,鈴木 陽香,猪俣 弥雄起, 伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2017-01-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Power Absorption Mechanism of Atmospheric Microwave Line Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, Y. Koike, Y. Tamura, Y. Baba, and H. Toyoda
    • 学会等名
      DPS2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Shielding of plasma jets from ambient air by water flow certain2017

    • 著者名/発表者名
      Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2017-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O 2/TEOS2017

    • 著者名/発表者名
      S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, and H. Toyoda
    • 学会等名
      IUMRS-ICAM 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Microwave plasma production inside the micro-gap with metergap with meter -scale length2017

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki and H. Toyoda
    • 学会等名
      IWM 2017
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討2017

    • 著者名/発表者名
      田村 宥人 ,猪俣 弥雄起 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木 陽香 ,小池 洋右 , 田村 宥人 , 馬場 賀己 , 豊田 浩孝
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成2017

    • 著者名/発表者名
      仙波 輝 , 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure2017

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda
    • 学会等名
      IUMRS-ICAM 2017
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Introduction to Plasma Production - from Breakdown to Plasma Sustainment -2017

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・春日井市)
    • 年月日
      2017-03-01
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討2017

    • 著者名/発表者名
      小池 洋右、田村 宥人、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO22017

    • 著者名/発表者名
      Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・春日井市)
    • 年月日
      2017-03-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment2017

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 22th KJ workshop
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測2017

    • 著者名/発表者名
      堤 和紀 ,藤村 昇平, 鈴木 陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構2017

    • 著者名/発表者名
      田村 宥人, 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木陽香 ,田村宥人 ,猪俣弥雄起 ,関根誠 ,堀勝 ,豊田浩孝
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上2017

    • 著者名/発表者名
      藤村 昇平、堤 和紀、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Production of long-scale atmospheric pressure microwave plasma2017

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      AAPPS-DPP2017
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Power absorption of atmospheric-pressure microwave-line-plasma2017

    • 著者名/発表者名
      HIROTAKA TOYODA, HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, YOSUKE KOIKE, YOSHIKI BABA
    • 学会等名
      GEC2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査2017

    • 著者名/発表者名
      藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成2017

    • 著者名/発表者名
      石川 翔太,鈴木 陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Introduction to Plasma Production - from Breakdown to Plasma Sustainment -2017

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2017-03-01
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      小池 洋右,田村 宥人,馬場 賀己,鈴木 陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure2017

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda
    • 学会等名
      ICPIG 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution2016

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, T. Takaba, H. Suzuki
    • 学会等名
      7th International Workshop on Plasma Spectroscopy
    • 発表場所
      名鉄犬山ホテル(愛知県・犬山市)
    • 年月日
      2016-06-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] Development of microwave plasma sources and its applications2016

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Gyeongju (Korea)
    • 年月日
      2016-09-28
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成2016

    • 著者名/発表者名
      田村 宥人,鈴木 陽香,伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      豊田工業高等専門学校
    • 年月日
      2016-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system2016

    • 著者名/発表者名
      HIROTAKA TOYODA, MASAKI YAMAMOTO, HARUKA SUZUKI
    • 学会等名
      69th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Bochum (Germany)
    • 年月日
      2016-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用2016

    • 著者名/発表者名
      豊田 浩孝
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2016-11-29
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] High-speed -camera observation of plasma behavior in atmospheric-pressure microwave line plasma2016

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, H. Ito, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda
    • 学会等名
      7th International Workshop on Plasma Spectroscopy
    • 発表場所
      名鉄犬山ホテル(愛知県・犬山市)
    • 年月日
      2016-06-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path2016

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Gyeongju (Korea)
    • 年月日
      2016-09-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成2016

    • 著者名/発表者名
      鈴木陽香 ,田村宥人 ,伊藤仁 ,関根誠 ,堀勝 ,豊田浩孝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成2016

    • 著者名/発表者名
      山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上2016

    • 著者名/発表者名
      滝藤 奨、伊藤 美智子 、高島 成剛、野村 記生、北川 富則、豊田 浩孝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13710
  • [学会発表] スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD2016

    • 著者名/発表者名
      山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 (東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] 100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure2016

    • 著者名/発表者名
      HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      69th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Bochum (Germany)
    • 年月日
      2016-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] 大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用2016

    • 著者名/発表者名
      豊田 浩孝
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2016-11-29
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Plasma -enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS2016

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The 38th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2016-11-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03893
  • [学会発表] Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process2015

    • 著者名/発表者名
      HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      9th International Conference on Reactive Plasmas / 68rd Gaseous Electronics Conference / 33th Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii (U.S.A.)
    • 年月日
      2015-10-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI AND HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      ISPlasma2015/IC-PLANTS2015
    • 発表場所
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • 年月日
      2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木 陽香,中野 優,伊藤 仁,関根誠,堀 勝,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] 大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木陽香, 中野優, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第32回プラズマ・核融合学会 年会
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma2015

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討2015

    • 著者名/発表者名
      山本 匡毅,鈴木 陽香,豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition2014

    • 著者名/発表者名
      Hagihara, T. Noda and H. Toyoda
    • 学会等名
      8^<th> Int. Conf. on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] プラズマ技術とその産業応用2014

    • 著者名/発表者名
      豊田 浩孝
    • 学会等名
      プラズマ技術講演会 第51回プラズマが拓くものづくり研究会
    • 発表場所
      ポートメッセなごや(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2014-10-23
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      T. Hagihara, T. Noda and H. Toyoda
    • 学会等名
      2014 Int. Sympo. on Plasma and Its Application to Nitride and Nanomaterials
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure2014

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine and Masaru Hori
    • 学会等名
      67th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Marriott City Center and Raleigh Convention Center (Raleigh, North Carolina, USA)
    • 年月日
      2014-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Plasma Science for Future Nanotechnology2014

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      The GRDC Symposium 2014
    • 発表場所
      Konkuk University (Seoul, Korea)
    • 年月日
      2014-11-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] 狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成2014

    • 著者名/発表者名
      中野優, 鈴木陽香, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      Toki Messe (Niigata, Japan)
    • 年月日
      2014-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      T. Noda and H. Toyoda
    • 学会等名
      35^<th> Int. Sympo. Dry Process
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition with Surface-wave Excited Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Noda and H. Toyoda
    • 学会等名
      66^<th> Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Princeton, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測2012

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京)
    • 年月日
      2012-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Eemporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      犬山国際観光センター(愛知)
    • 年月日
      2012-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Temporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      犬山国際観光センター(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      TAKUYA MURASE, TATSUO ISHIJIMA HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      4th International Symposium On Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学(愛知)
    • 年月日
      2012-03-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測2012

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知)
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Influence of microwave electric field on Hβbroadening in atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, T. Murase and T. Ishijima
    • 学会等名
      64th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Utah(USA)
    • 年月日
      2011-11-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time and Space Resolved Measrement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H Toyoda, A Kamata, T Murase, T Ishijima.
    • 学会等名
      The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2011-01-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Space and Time Resolved Measurement of Electric Fleld in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A Kamata, T Ishijima, H Toyoda.
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Plasma Nano Technology & Science
    • 発表場所
      高山文化会館(岐阜県)
    • 年月日
      2011-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Space-and Time-Resolved Measurement of Electric Field in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      高山文化会館(岐阜)
    • 年月日
      2011-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Influence of microwave electric field on H_β broadening in atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, T.Murase, T.Ishijima
    • 学会等名
      64th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Utah (USA)
    • 年月日
      2011-11-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, T. Murase, T. Ishijima
    • 学会等名
      The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics(招待講演)
    • 発表場所
      Deajeon(Korea)
    • 年月日
      2011-07-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川音楽堂(石川)
    • 年月日
      2011-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time-and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, Y Kinoshita, H. Kawauchi, K. Yoshida, and H. Toyoda
    • 発表場所
      Dalian(China)
    • 年月日
      2011-07-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波ププズマ生成過程の観察2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学(三重県)
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time and Space Resolved Measurement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, T. Ishijima
    • 学会等名
      The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学(福岡)
    • 年月日
      2011-01-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県)
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of H_β Spectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A.Kamata, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Belfast (Northern Ireland)
    • 年月日
      2011-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time-and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A.Kamata, T.Ishijima, Y.Kinoshita, H.Kawauchi, K.Yoshida, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Dalian (China)
    • 年月日
      2011-07-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of HυSpectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Belfast(Northern Ireland)
    • 年月日
      2011-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマ生成過程の観察2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学(三重)
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda, Takuya Murase, Tasuo Ishijima
    • 学会等名
      The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Deajeon (Korea)(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,楊海鵬,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川)
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,楊海鵬,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川)
    • 年月日
      2010-02-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening2010

    • 著者名/発表者名
      H Toyoda, A Kamata, T Murase, T.Ishijima.
    • 学会等名
      The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium
    • 発表場所
      New South Wales(Australia)
    • 年月日
      2010-12-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 楊海鵬, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2010-02-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 楊海鵬, 石島達天 豊田浩孝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening2010

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, and T. Ishijima
    • 学会等名
      The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium
    • 発表場所
      New SouthWales(Australia)
    • 年月日
      2010-12-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time Resolved Measurement of HβEmission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A. Kamata, H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      名城大学(愛知)
    • 年月日
      2010-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知)
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Time Resolved Measurement of H_β Emission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A.Kamata, H.Yang, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      名城大学(名古屋市)
    • 年月日
      2010-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Temporal variation of plasma density in atmosphericpressure pulsed-microwave plasma2009

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, H.Yang, T.Ishijima
    • 学会等名
      62nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs(NY, USA)
    • 年月日
      2009-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Temporal variation of plasma density in atmospheric pressure pulsed-microwave plasma2009

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, H. Yang, T. Ishijima
    • 学会等名
      62nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs(NY, USA)
    • 年月日
      2009-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響2009

    • 著者名/発表者名
      楊海鵬、石島達夫、豊田浩孝
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山)
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Temporal Variation of Hydrogen Atom Spectrum Emitted from Pulsed Microwave Plasma under Atmospheric Pressure2009

    • 著者名/発表者名
      H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The 31th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan Exhibition & Convention Center(Busan, Korea)
    • 年月日
      2009-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Temporal Variation of Hydrogen Atom Spectrum Emitted from Pulsed Microwave Plasma under Atmospheric Pressure2009

    • 著者名/発表者名
      H.Yang, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 31th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan Exhibition & Convention Center(Susan, Korea)
    • 年月日
      2009-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響2009

    • 著者名/発表者名
      楊海鵬、石島達失、豊田浩孝
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21540509
  • [学会発表] Suppression of High-Energy Backscattered Species in Magnetron Sputter Plasma with Cylindrical Cathode2007

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka, Toyoda, Yusuke, Takagiand, Hideo, Sugai
    • 学会等名
      60th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Arlington, USA
    • 年月日
      2007-10-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [学会発表] Suppression of High-Energy Backscattered Species in Magnetron Sputter Plasma with Cylindrical Cathode2007

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda, Yusuke Takagi and Hideo Sugai
    • 学会等名
      60th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Arlington, Virginia, USA
    • 年月日
      2007-10-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540489
  • [学会発表] 低圧環境下における無磁場マイクロ波プラズマ生成と応用

    • 著者名/発表者名
      野田 智紀,中坊 将人,豊田 浩孝
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda
    • 学会等名
      66th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Westin Hotel (Princeton, New Jersey, USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] 低圧環境下における高密度マイクロ波プラズマの生成

    • 著者名/発表者名
      野田 智紀,中坊 将人,豊田 浩孝
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学(愛知県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Meter-Scale Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Using Sub-Millimeter-Gap Slot

    • 著者名/発表者名
      HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      66th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Westin Hotel (Princeton, New Jersey, USA)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma

    • 著者名/発表者名
      SUGURU NAKANO, HARUKA SUZUKI, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI AND HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      Meijo University (Nagoya, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Surface-Wave Excited Plasma Produced in Low Pressures

    • 著者名/発表者名
      T. Noda, M. Nakabo and H. Toyoda
    • 学会等名
      6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      下呂交流会館(岐阜県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma

    • 著者名/発表者名
      Toshiya Hagihara, Tomonori Noda and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      Meijo University (Nagoya, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Meter -Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Waveby

    • 著者名/発表者名
      Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ICRP-8/SPP-3
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center (Fukuoka, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System for Dielectric Film Deposition

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Noda, and Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      35th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel (Jeju, Korea)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Production of High-Uniform Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure

    • 著者名/発表者名
      HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO,HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI AND HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      Meijo University (Nagoya, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Design of Meter-Scale Compact Microwave Antenna Structure by Electromagnetic Simulation

    • 著者名/発表者名
      SHOGO KONDO, KENSUKE SASAI, NORIHARU TAKADA AND HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      Meijo University (Nagoya, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition

    • 著者名/発表者名
      Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Hirotaka Toyoda
    • 学会等名
      ICRP-8/SPP-3
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center (Fukuoka, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada and H. Toyoda
    • 学会等名
      Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
    • 発表場所
      Sungkyunkwan University (Suwon, Korea)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • [学会発表] Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition with Surface-Wave Excited Plasma

    • 著者名/発表者名
      T. Noda,T. Hagihara, H. Toyoda
    • 学会等名
      66th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Westin Hotel ( Princeton, New Jersey, USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Production of Surface-Wave Excited Plasma in Low Pressures

    • 著者名/発表者名
      T.Noda, M. Nakabo and H. Toyoda
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654189
  • [学会発表] Production of high-density meter-length plasma with metal-covered slot antenna

    • 著者名/発表者名
      N. Takada, S. Kondo, S. Nakano, K. Sasai and H. Toyoda
    • 学会等名
      ICRP-8/SPP-3
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center (Fukuoka, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286079
  • 1.  管井 秀郎 (40005517)
    共同の研究課題数: 15件
    共同の研究成果数: 21件
  • 2.  中村 圭二 (20227888)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  石島 達夫 (00324450)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 44件
  • 4.  鈴木 陽香 (80779356)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 63件
  • 5.  高須賀 誠一
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  佐々木 浩一 (50235248)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  松岡 良輔 (10308819)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  池澤 俊治郎 (60065282)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  近藤 道雄 (30195911)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  永津 雅章 (20155948)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  増崎 貴 (80280593)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  浜地 志憲 (60761070)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  北川 雅俊
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  田村 宥人
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 19件
  • 15.  山本 匡毅
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 16.  猪俣 弥雄起
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 7件
  • 17.  小池 洋右
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 19件
  • 18.  馬場 賀己
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 13件
  • 19.  石川 翔太
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 20.  TOYODA Naoki
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  GHANASHEV Ivan
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  IVAN Ghanashev
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  西谷 幹彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  神田 稔
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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