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福澤 剛  FUKUZAWA Tsuyoshi

ORCIDORCID連携する *注記
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福沢 剛  フクザワ ツヨシ

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研究者番号 70243904
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外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 北九州工業高等専門学校, 生産デザイン工学科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2003年度 – 2004年度: 北九州工業高等専門学校, 電気電子工学科, 助教授
2001年度 – 2002年度: 北九州工業高等専門学校, 講師
1999年度 – 2000年度: 北九州工業高等専門学校, 電気工学科, 講師
1998年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究科, 助手
1996年度 – 1998年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 助手
1994年度 – 1995年度: 九州大学, 工学部, 助手
1992年度: 九州大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ理工学 / 応用物理学一般 / プラズマ科学
研究代表者以外
応用物理学一般 / プラズマ理工学 / 応用物理学一般
キーワード
研究代表者
微粒子 / クラスタ / メタンプラズマ / 高周波放電 / シランプラズマ / 閾値光電子放出法 / イオン電流 / 電子電流 / プラズマ / 軌道制限理論 … もっと見る / イオンエネルギー / プラズマエッチング / 核融合プラズマ / イオンシース / パルス高周波放電法 / その場測定 / 光イオン化 / 光脱離 / 微小微粒子 / クラスター / ナノ微粒子 / 短寿命ラジカル / プラズマCVD / 変調高周波放電 / 電子親和力 / 光脱離法 / 静電プローブ法 … もっと見る
研究代表者以外
シランプラズマ / 微粒子 / ダスト / silane plasma / アモルファスシリコン / 凝集 / dust / plasma CVD / particles / プラズマCVD / パーティクル / シリコン / 光電子放出 / 光電離 / クラスター / レーザ散乱法 / プラズマプロセス / レーザ偏光散乱法 / 変調高周波放電法 / amorphous silicon / photo-detachment / photo-ionization / photoemission / particle / cluster / サブナノ微粒子 / 光脱離 / アモルファスシロコン / 光電子脱離 / coagulation / high frequency plasma / discharge frequency dependence / VHFプラズマ / 放電周波数 / 高周波プラズマ / 放電周波数依存性 / plasma process / polarization / simultaneous / two demensional measurement / laser-light-scattering / その場測定 / 屈折率 / バ-ティクル / 偏光 / その場計測 / 2次元計測 / レーザ散乱 / LASER SCATTERING METHOD / DUSTY PLASMA / RF DISCHARGE / AMORPHOUS SILICON / PARTICLE / POWDER / PARTICULATE / SILANE PLASMA / 負イオン / ラジカル / rf放電 / ミ-散乱 / 散乱比法 / 水素化アモルファシスシリコン / 高周波放電 / 微粒子プラズマ / パウダー / 微結晶 / 超分子 / プラスマCVD / Si微粒子 / 走査型電子顕微鏡 / プラズマCVD法 / 帯電凝集 隠す
  • 研究課題

    (12件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  新しいクラスタ検出法によるメタンプラズマ中炭化水素クラスタの成長過程観察研究代表者

    • 研究代表者
      福澤 剛 (福沢 剛)
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      北九州工業高等専門学校
  •  メタンプラズマ中に発生する炭化水素クラスタの検出研究代表者

    • 研究代表者
      福澤 剛
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      北九州工業高等専門学校
  •  イオンシース及びプラズマ中での単一微粒子挙動の研究研究代表者

    • 研究代表者
      福澤 剛
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      北九州工業高等専門学校
  •  シリコン系超分子の作製と構造抑制に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学
  •  その場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      福澤 剛
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学
  •  新しいその場測定法によるナノメータサイズ微粒子の成長機構に関する実験的研究研究代表者

    • 研究代表者
      福澤 剛
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場測定法の開発

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学
  • 1.  渡辺 征夫 (80037902)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  川崎 仁晴 (10253494)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  白谷 正治 (90206293)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  近藤 郁
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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