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平山 昌樹  HIRAYAMA Masaki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70250701
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2010年度 – 2014年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授
2002年度 – 2005年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教授
2002年度: 東北大学, 未来化学技術共同研究センター, 客員助教授
1998年度 – 2001年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
複合集積システム / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・電子機器 / 電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
電子・電気材料工学 / 電子デバイス・機器工学 / 理工系 / 工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
シリコン窒化膜 / マイクロ波プラズマ / STNO / microwave plasma / ラジアルラインスロットアンテナ / 強誘電体 / マイクロ波 / プラズマ / radial line slot antenna / direct oxidation … もっと見る / direct nitridation / silicon nitride / non volatile memory / high-k film / パリア膜 / 酸素ラジカル / バリア膜 / 有機金属ガス / LSI / ゲート絶縁膜 / 直接酸化 / 直接窒化 / 不揮発性メモリ / 強誘電体膜 / silicon nitride film / buffer layer / plasma oxidation / ferroelectric / high-density plasma / プロセス / 半導体 / 高誘電率膜 / 低誘電率層間絶縁膜 / O_2 / Kr / 低温プラズマ酸化 / バッファ層 / プラズマ酸化 / 高密度プラズマ / 保護膜 / 有機EL / プラズマCVD / マイクロ波励起高密度プラズマ / プリント配線基盤 / フェーズドアレーアンテナ / 低消費電力携帯端末 / BST / 高誘電率薄膜 / バランスドCMOS / PDA / 金属基板 / 誘電体アンテナ / フェーズドアレイアンテナ … もっと見る
研究代表者以外
LSI / SOI / 1 / BED / CVD / 陽極化成 / 気体分離配線 / プラズマプロセス / Microwave-excited high-density plasma / Channel mobility / System LSI / Room Temperature 5 step Cleaning / f noise / Balanced-CMOS / Si_3N_4 gate insulator / Si(110)surface / CMOS / Si(110) / マイクロ波励起高密度プラズマ / チャネル移動度 / システムLSI / 室温5工程洗浄 / fノイズ / Balanced-CMOS集積回路 / Si_3N_4ゲート絶縁膜 / Si(110)面 / back pump / gas distribution system / plasma process / microwave plasma / step-by-step investment / profitable mini-line / エッチング / 半導体生産 / クラスターツール / シャワープレート / RLSA / バックポンプ / ガス供給システム / マイクロ波プラズマ / 段階投資 / 小規模生産ライン / low frequency noise / trap level / interface / mutual conductance / gas-isolated-interconnects / Ta metal gate / 金属基板 / 銅配線 / 無水HF / BPSG / 低周波ノイズ / トラップ準位 / 界面 / FD-SOI MOSFET / 相互コンダクタンス / Ta メタルゲート / LSI Design / Real-Time Processing / Face Recognition / Image Compression / Codebook Spectrum / Vector Quantization / チャネル多重 / 話者認識 / 顔認識 / パケットSS-CDMA方式 / 近似同期CDMA方式 / フレキシブルワイヤレスネットワーク / 高精細静止画像圧縮 / 高精度トランジスタモデリング / システムオンチップ / SS-CDMAフレキシブルワイヤレスネットワーク / 高速情報処理 / LSI設計 / 実時間処理 / 顔画像認識 / 画像圧縮 / コードブック空間情報処理 / ベクトル量子化 / metal-substrate SOI / high-permittivity gate insulator / metal gate / gas isolated interconnect / エピタキシャル / 多孔質シリコン / シリサイド反応 / Xeプラズマ / ウルトラクリーンプロセス / 金属基板SOI / 3次元構造 / シリサイド / ラフネス / 面方位 / シリコン表面平坦化 / MOSトランジスタ / 半導体製造装置 / 半導体製造プロセス / MOSFET / シリコン 隠す
  • 研究課題

    (10件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  原子オーダ平坦な界面を有する3次元立体構造トランジスタの製造プロセスに関する研究

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2014
    • 研究種目
      特別推進研究
    • 審査区分
      理工系
      工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  仕事関数制御透明電極を用いたトップエミッション超高寿命高効率有機ELディスプレイ研究代表者

    • 研究代表者
      平山 昌樹
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  フェーズドアレーアンテナと金属基板マイクロ波デバイスを用いた超低消費電力携帯端末研究代表者

    • 研究代表者
      平山 昌樹
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高速瞬時処理回路・アルゴリズム

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      平山 昌樹
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      複合集積システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  動作周波数10GHzを実現する極限超高速高集積金属基板SOI集積回路

    • 研究代表者
      大見 忠弘
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      平山 昌樹
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  • 1.  大見 忠弘 (20016463)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  小谷 光司 (20250699)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  須川 成利 (70321974)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  伊野 和英
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  後藤 哲也 (00359556)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  諏訪 智之 (70431541)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  坪内 和夫 (30006283)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  三浦 道子 (70291482)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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