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近藤 英一  KONDOH Eiichi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70304871
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2017年度 – 2024年度: 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授
2014年度 – 2016年度: 山梨大学, 総合研究部, 教授
2011年度 – 2013年度: 山梨大学, 医学工学総合研究部, 教授
2010年度 – 2011年度: 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授
2009年度: 山梨大学, 医学工学総合研究部, 教授 … もっと見る
2007年度 – 2008年度: 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授
2006年度: 山梨大学, 大学院医学工学総合研究部, 助教授
2003年度 – 2005年度: 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助教授
2002年度: 山梨大学, 工学部, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 理工系
研究代表者以外
小区分21030:計測工学関連 / 光工学・光量子科学 / 応用光学・量子光工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
超臨界流体 / エリプソメトリ / zinc oxide / supercritical fluids / 薄膜堆積 / 集積回路配線 / 二酸化炭素 / 常温接合 / 配線金属 / ナノインデンテーション … もっと見る / Cu表面 / エッチング / 貴金属 / 貴金属エッチング / 発光デバイス / 酸化亜鉛 / porous silicon / 超臨界CO2流体 / 多孔質シリコン / エリプソメーター / ポーラスシリコン / ruthenium / platinum / copper / thin films / 薄膜 / 集積回路 / ナノピラー / ナノマシン / NEMS / 電界放出素子 / Ru / Pt / ZnO / Cu / 生物摸倣 / 金属錯体 / メタライズ / 配線 / 粘菌 / 撮像エリプソメトリ / 弾性表面波 / 面計測 / ゆらぎ / 選択堆積 / 凝集 / 多層吸着 / 形状敏感 / 超臨界流 / 機能性高密度流体 / ボトムアップ / 自己整合 / ナノ構造 / その場観測 / 多孔質薄膜 / 吸着 / スーパーミクロ細孔 / エリプソメトリー / 埋め込み / 薄膜体積 / ナノ空間 / 超臨界液体 … もっと見る
研究代表者以外
反射型イメージング光学系 / ミュラー行列顕微鏡 / 光散乱 / エリプソメトリー解析 / 光学モデル / 物質判定 / 解像度 / 顕微鏡 / ミューラー行列 / 反射・透過モード計測 / エリプソメトリー顕微鏡 / 裏面反射 / 空間分解能 / エリプソ顕微鏡 / 散乱計測 / ラフな表面 / 2次元計測 / polarization / scattering / 偏光指紋 / 偏光 / 散乱モデル / 光計測 / 偏光計測 / エッチン / 触媒 / シリコン / マイクロ加工 / ナノ加工 / 触媒・化学プロセス / 微細配線技術 隠す
  • 研究課題

    (14件)
  • 研究成果

    (283件)
  • 共同研究者

    (12人)
  •  ミューラー行列偏光指紋顕微鏡~撮像と微細構造・物性同時評価の高速・高精度化~

    • 研究代表者
      金 蓮花
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      山梨大学
  •  次世代集積回路配線と液体/金属接面in-situ計測:どこまでわかりどう使うか?研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      山梨大学
  •  ミューラー行列顕微鏡の創製

    • 研究代表者
      金 蓮花
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      山梨大学
  •  超臨界CO2流体を用いた難プラズマエッチング材料の熱化学ドライエッチング研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      山梨大学
  •  ナノSi結晶とワイドギャップ半導体の複合化プロセスの開発とデバイス提案研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  偏光指紋による物体同定のための光学モデル化およびその応用

    • 研究代表者
      金 蓮花
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      光工学・光量子科学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  物体の偏光指紋の構築及びその応用

    • 研究代表者
      金 蓮花
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  生物の最適ネットワーク構造探索機能を利用した超高バンド幅集積回路配線形成の試み研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  ゆらぎ撮像エリプソメトリによる超臨界流体薄膜プロセスのマルチスケール制御研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  触媒作用を利用したシリコンへの微細配線形成技術の開発

    • 研究代表者
      松村 道雄
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超高密度流体中での動的溶解度制御を利用した形状敏感型自己整合ナノプロセス研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      山梨大学
  •  超臨界エリプソメトリーで切り開く形状敏感ナノデバイスプロセス創製研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  超臨界流体を利用した超高速・低環境負荷型新規薄膜形成技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      山梨大学
  •  超臨界流体を利用した配線形成技術の研究研究代表者

    • 研究代表者
      近藤 英一
    • 研究期間 (年度)
      2002
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      山梨大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 半導体・MEMSのための超臨界流体2012

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 総ページ数
      227
    • 出版者
      コロナ社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [図書] 超臨界流体技術の開発と応用2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 出版者
      CMC出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [図書] 薄膜ハンドブック2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 出版者
      オーム社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [図書] 最近の化学工学58超臨界流体技術の実用化最前線2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 出版者
      化学工業社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [図書] 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理2005

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 総ページ数
      226
    • 出版者
      共立出版
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Reflection and transmission ellipsometry measurement under incoherent superposition of light2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kitamura, S. Mogi, T. Muranaka, K. Arimoto, E. Kondoh, L. Jin, and B. Gelloz
    • 雑誌名

      Proc. SPIE

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Maximum thickness determinable by imaging ellipsometry2023

    • 著者名/発表者名
      Jin Lianhua、Kitamura Yoriatsu、Kondoh Eiichi、Gelloz Bernard
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 10 ページ: 108003-108003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acff31

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [雑誌論文] Characterization of thin films from reflection and transmission ellipsometric parameters2022

    • 著者名/発表者名
      Jin Lianhua、Mogi Sota、Muranaka Tsutomu、Kondoh Eiichi、Gelloz Bernard
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 1 ページ: 018004-018004

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac42af

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Influence of Plasma Surface Treatment of Polyimide on the Microstructure of Aluminum Thin Films2022

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi
    • 雑誌名

      Coatings

      巻: 12 号: 3 ページ: 334-334

    • DOI

      10.3390/coatings12030334

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] Thin layer growth on cobalt surface in solutions simulating slurry chemistry for chemical mechanical polishing2022

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi、Takeuchi Shota、Jin Lianhua、Koshino Ryota、Hamada Satomi、Hiyama Hirokuni
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SJ ページ: SJ1003-SJ1003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac6219

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [雑誌論文] Lateral ellipsometry resolution for imaging ellipsometry measurement2021

    • 著者名/発表者名
      Jin Lianhua、Kondoh Eiichi、Iizuka Yuki、Otake Motoyuki、Gelloz Bernard
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 5 ページ: 058003-058003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abf5ac

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Synthesis and Characterization of Ni-Pt Alloy Thin Films Prepared by Supercritical Fluid Chemical Deposition Technique2021

    • 著者名/発表者名
      Sudiyarmanto Sudiyarmanto、Kondoh Eiichi
    • 雑誌名

      Nanomaterials

      巻: 11 号: 1 ページ: 151-151

    • DOI

      10.3390/nano11010151

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] 超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積2020

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan

      巻: 406 ページ: 91-93

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] ミュラー行列の数値解析による多素子列偏光システムにおける各素子の偏光特性の抽出2020

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,春日翔貴,近藤英一,高和宏行
    • 雑誌名

      光学

      巻: 49 ページ: 289-295

    • NAID

      40022348796

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Design of a spectroscopic imaging ellipsometer2020

    • 著者名/発表者名
      Lianhua Jin, Makoto Uehara, Takashi Iwao, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE

      巻: 11523 ページ: 9-9

    • DOI

      10.1117/12.2574762

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid2020

    • 著者名/発表者名
      Naoto Takura、Jin Lianhua、Kondoh Eiichi、Gelloz Bernard
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 98 号: 2 ページ: 131-137

    • DOI

      10.1149/09802.0131ecst

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] 超臨界流体と微細プロセス2020

    • 著者名/発表者名
      KONDOH Eiichi
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 86 号: 9 ページ: 671-674

    • DOI

      10.2493/jjspe.86.671

    • NAID

      130007897029

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 年月日
      2020-09-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] エリプソメトリック顕微鏡 ~斜め観測用顕微鏡の設計とその応用~2020

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,上原 誠,ジェローズ ベルナール,近藤 英一
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 86 ページ: 533-536

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [雑誌論文] Cu Wiring Fabrication by Supercritical Fluid Deposition for MEMS Devices2019

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi
    • 雑誌名

      -

      巻: -

    • DOI

      10.5772/intechopen.81636

    • ISBN
      9781789852950, 9781789852967
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Facile and Efficient Gas-Phase Pressure-Controlled Thermal Functionalization of Nanocrystalline Porous Silicon with 1-Hexene2019

    • 著者名/発表者名
      Gelloz Bernard、Iriyama Takuma、Takura Naoto、Kondoh Eiichi、Jin Lianhua
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 8 号: 9 ページ: R109-R113

    • DOI

      10.1149/2.0051909jss

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [雑誌論文] Photoetching of Porous Silicon Nanostructures in Hydrofluoric Acid Using Monochromatic Light2018

    • 著者名/発表者名
      Gelloz B.、Fuwa H.、Kondoh E.、Jin L.
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 7 号: 12 ページ: P730-P735

    • DOI

      10.1149/2.0121812jss

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327, KAKENHI-PROJECT-16K04898
  • [雑誌論文] 超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積2018

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan

      巻: 25 ページ: 431-436

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] 超臨界流体を用いた薄膜堆積・微細埋め込みと関連技術2018

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      機能材料

      巻: 38

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Oxygen-assisted platinum etching in supercritical carbon dioxide fluids using hexafluoroacetylacetone2018

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi、Ogihara Yuta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 7S2 ページ: 07ME01-07ME01

    • DOI

      10.7567/jjap.57.07me01

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Polarization characteristics of diffraction scattering from metal rough surface2017

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, T. Takaguchi, E. Kondoh and B. Gelloz
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 421 ページ: 565-570

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2016.10.142

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K04898, KAKENHI-PROJECT-16H04327, KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [雑誌論文] Removal of organic template of mesoporous organosilicate thin films using supercritical carbon dioxide fluids2017

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi、Segawa Koki、Watanabe Mitsuhiro、Jin Lianhua、Zhang Liping、Baklanov Mikhail R.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 7S2 ページ: 07KF02-07KF02

    • DOI

      10.7567/jjap.56.07kf02

    • NAID

      210000148111

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Structures of Cu surfaces developing in benzotriazole solutions: Effect of pH2017

    • 著者名/発表者名
      Kondoh Eiichi、Kawakami Tatsuya、Watanabe Mitsuhiro、Jin Linhua、Hamada Satomi、Shima Shohei、Hiyama Hirokuni
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 7S2 ページ: 07KH01-07KH01

    • DOI

      10.7567/jjap.56.07kh01

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Extracting calibrated parameters from imaging ellipsometric measurement2017

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, T. Tanaka, E. Kondoh, B. Gelloz, and M. Uehara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 11 ページ: 116602-116602

    • DOI

      10.7567/jjap.56.116602

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K04898, KAKENHI-PROJECT-16H04327, KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [雑誌論文] 各種金属酸化物のCu/ガラス密着向上層としての利用2017

    • 著者名/発表者名
      林 知里 渡邉 満洋 近藤 英一
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 68 ページ: 723-726

    • NAID

      130007492283

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Rotatable Offner imaging system for ellipsometric measurement2017

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, T. Tanaka, E. Kondoh, B. Gelloz, K. Sano, I. Fujio, Y. Kajiyama, and M. Uehara
    • 雑誌名

      Rev. Sci. Instrum.

      巻: 88 号: 1 ページ: R1-R6

    • DOI

      10.1149/2.0321612jss

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694, KAKENHI-PROJECT-16K04898
  • [雑誌論文] DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY2017

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology

      巻: None ページ: 60-64

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Extraction of polarization properties of the individual components of a layered system by using spectroscopic Mueller matrix analysis2016

    • 著者名/発表者名
      Lianhua Jin Daichi Kobayashi Eiichi Kondoh Hiroyuki Kowa Bernard Gelloz
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 24 号: 9 ページ: 9757-9765

    • DOI

      10.1364/oe.24.009757

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327, KAKENHI-PROJECT-16K04898
  • [雑誌論文] In situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in benzotriazole-hydrogen peroxide solutions2016

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh Tatsuya Kawakami Mitsuhiro Watanabe Lianhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 6S3 ページ: 1-6

    • DOI

      10.7567/jjap.55.06jg03

    • NAID

      210000146736

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Ellipsometric measurement of particle-spiked wafer surfaces2016

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh Hayato Kotagiri Mitsuhiro Watanabe Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
    • 雑誌名

      Proceedings of 2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT)

      巻: - ページ: 188-190

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [雑誌論文] Polarization characteristics of scattered light from macroscopically rough surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, K. Yamaguchi, M. Watanabe, S. Hira, E. Kondoh, and B. Gelloz
    • 雑誌名

      Optical Review

      巻: 22 号: 4 ページ: 511-520

    • DOI

      10.1007/s10043-015-0117-2

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [雑誌論文] Correction of the large retardation window effect for ellipsometry measurements by using quasi-Newton method2015

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, S. Kasuga, E. Kondoh, and B. Gelloz
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 54 号: 10 ページ: 2703-2709

    • DOI

      10.1364/ao.54.002991

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] In Situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, Y. Wakako, K. Takizawa, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 571 ページ: 532-537

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2014.05.017

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] Correction of large birefringent effect of windows for in-situ ellipsometry measurements2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 39 号: 6 ページ: 1549-1552

    • DOI

      10.1364/ol.39.001549

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] General window correction method for ellipsometry measurements2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, S. Kasuga, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Opt. Express

      巻: 22 号: 23 ページ: 27811-27820

    • DOI

      10.1364/oe.22.027811

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon2013

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, E. Kondoh, T. Oya, B. Gelloz
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 545 ページ: 357-360

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2013.08.034

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560388, KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] Fast Imaging Ellipsometer Using a LiNbO3 Electrooptic Crystal2013

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, R. Yagi, K. Takizawa, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 3R ページ: 036702-036702

    • DOI

      10.7567/jjap.52.036702

    • NAID

      210000141901

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] 超臨界流体を利用した生体組織のメタライズ2013

    • 著者名/発表者名
      近藤英一、望月裕文、渡辺満洋
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 第64巻8号

    • NAID

      10031190987

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [雑誌論文] In-situ Spectroscopic Ellipsometry of the Cu Deposition Process from Supercritical Fluids : Evidence of an Abnormal Surface Layer Formation2012

    • 著者名/発表者名
      Takuya Sasaki, Yukihiro Tamegai, Takahiro Ueno, Mitsuhiro Watanabe, Lianhua Jin, and Eiichi Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.51

    • NAID

      210000140633

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Birefringence Polarimeter Using Dual LiNbO3 Electrooptic Crystal Modulators2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saitou, M. N. Bin, H. Kowa , N. Umeda, K. Takizawa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51/082201 号: 8R ページ: 1-5

    • DOI

      10.1143/jjap.51.082201

    • NAID

      210000141033

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656250, KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] In-situ spectroscopic ellipsometry of Cu deposition process from supercritical fluids ―An evidence for an abnormal surface layer formation―2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki, Y. Tamegai, T. Ueno, M. Watanabe, L. Jin, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 5S ページ: 05EA02-05EA02

    • DOI

      10.1143/jjap.51.05ea02

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] 有機結晶の偏光特性を利用した新しい教材2012

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,大矢 敏史,高和 宏行,近藤 英一
    • 雑誌名

      応用物理教育

      巻: 36 ページ: 21-26

    • NAID

      10031140483

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [雑誌論文] Behavi or of Surface Acoustic Wave Resonators in Supercritical CO_22011

    • 著者名/発表者名
      Shoji Kakio, Katsuhiro Hayashi, Eiichi Kondoh, and Yasuhiko Nakagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.50 号: 7S ページ: 07HD08-07HD08

    • DOI

      10.1143/jjap.50.07hd08

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Theoretical Analysis for the Fast Birefringence Measurement System using Dual Electro-optic Crystal Modulators2011

    • 著者名/発表者名
      L.Jin, Y.Masamura, E.Kondoh, H.Kowa, K.Takizawa
    • 雑誌名

      Journal of the Japanese Society for Experimental Mechanics

      巻: 11

    • NAID

      10029700434

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] In situ ellipsometry of porous low-dielectric constant films in supercritical carbon dioxide2011

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 88 ページ: 623-626

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Theoretical Analysis for the Fast Birefringence Measurement System using Dual Electro-optic Crystal Modulators2011

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, Y. Masamura, E. Kondoh, H. Kowa, and K. Takizawa
    • 雑誌名

      Journal of the Japanese Society for Experimental Mechanics

      巻: Vol.11 ページ: 198-203

    • NAID

      10029700434

    • URL

      http://www.jstage.jst.go.jp/article/jjsem/11/Special_Issue/11_Special_Issue_s_198/_pdf

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] In-situ ellipsometry of porous low-dielectric constant films in supercritical carbon dioxide2011

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh and Shosaku Aruga
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: Vol.88 号: 5 ページ: 623-626

    • DOI

      10.1016/j.mee.2010.05.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Initial Cu Growth in Cu-Seeded and Ru-Lined Narrow Trenches for Supercritital Fluid Cu Chemical Deposition2010

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] 超臨界流体での化学的薄膜堆積-なぜ被覆性・充填性に優れているのか-2010

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 61(8) ページ: 566-570

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Kinetics of Deposition of Cu Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions from a F-Free Copper(II) -Diketone Complex2009

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Matsubara, Michiru Hirose, Kakeru Tamai, Yukihiro Shimogaki, and Eiichi Kondoh
    • 雑誌名

      J. Electrochem. Soc. 156, 6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions2009

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, K. Nagano,C. Yamamoto, J. Yamanaka
    • 雑誌名

      Microelectronics Engineering 86

      ページ: 902-905

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討2009

    • 著者名/発表者名
      松原正弘、近藤英一
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 60 号: 8 ページ: 533-539

    • DOI

      10.4139/sfj.60.533

    • NAID

      10025395854

    • ISSN
      0915-1869, 1884-3409
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions2009

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 雑誌名

      Microelectronics Engineering 86

      ページ: 902-905

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [雑誌論文] Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling in Cu Thin Film Growth from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh and Junpei Fukuda
    • 雑誌名

      Journal of Supercritical Fluids, accepted for publication 44

      ページ: 466-474

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026005
  • [雑誌論文] Deposition of zinc Oxide Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Kenji Sasaki, Yoichi Nabetani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Deposition of zinc oxide thin films in supercritical carbon dioxide solutions2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Kenji Sasaki, Yoichi Nabetani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 1, 6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling in Cu Thin Film Growth from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh and Junpei Fukuda,
    • 雑誌名

      Journal of Supercritical Fluids, accepted for publication 44

      ページ: 466-474

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Condensation and cleaning of an organometallic copper compound to/from porous low-dielectric constant thin films in super critical carbon dioxide2008

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, E. Ukai, S. Aruga
    • 雑誌名

      Physica status solidi (c) 5

      ページ: 1219-1222

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] ,Condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxid2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Shosaku Aruga, and Eiichi Ukai
    • 雑誌名

      physica status solidi c 5

      ページ: 1219-1222

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxid2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Shosaku Aruga, and Eiichi Ukai
    • 雑誌名

      physica status solidi c 5

      ページ: 1219-1222

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026005
  • [雑誌論文] Conformal Deposition and Gap-Filling of Copper into Ultranarrow Patterns by Supercritical Fluid Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Momose, Masakazu Sugiyama, Eiichi Kondoh, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Jasco report2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      超臨界流体中薄膜エリプソメトリ

      ページ: 18-21

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxide2008

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, E. Ukai, and S. Aruga
    • 雑誌名

      physica status solidi c, 5

      ページ: 1219-1222

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Conformal Deposition and Gap-Filling of Copper into Ultranarrow Patterns by Supercritical Fluid Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Momose , Masakazu Sugiyama, EiichiKondoh, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling in Cu Thin Film Growth from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh and Junpei Fukuda
    • 雑誌名

      Journal of Supercritical Fluids 44

      ページ: 466-474

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Reduction of thin oxidized copper films using a hot-filament hydrogen radical source2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, M. Fukasawa, and T. Ojimi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuume Science and Technology 25

      ページ: 415-420

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] 超臨界流体を利用した薄膜形成技術とMEMS・NEMS 応用2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      Material Stage Vol.7, No.5

      ページ: 21-24

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] How to deliver a high-frequency clock over 100GHz using common BEOL technologies2006

    • 著者名/発表者名
      H.Kato, T.Kobori, K.Watanabe, Y.Kodaira, E.Kondoh, T.Akitsu, H.Kato
    • 雑誌名

      Proc. Adv. Metallization Conf. 2005

      ページ: 165-165

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] A noise-free and jitterless cavity system to distribute clocks over 10GHz2006

    • 著者名/発表者名
      H.Kato, T.Kohori, E.Kondoh, T.Akitsu
    • 雑誌名

      IEEE Trasn. On Microwave Theory and Techniques 54

      ページ: 3960-3960

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Nanostructure formation using supercritical fluids2006

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Michiru Hirose, Eiichi Ukai
    • 雑誌名

      Proceedings of the 8th Internatilanl Symposium on Supercritical Fluids

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] 超臨界流体を利用した薄膜形成技術2006

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      表面技術 57

      ページ: 695-695

    • NAID

      10020609638

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] 表面技術協会,超臨界流体を利用した薄膜形成技術2006

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      表面技術 Vol.57, No.10

      ページ: 695-700

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [雑誌論文] Deposition of Cu thin films from supercritical carbon dioxide using hexafluoroacetylacetnatecopper2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, K.Shigama
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 491

      ページ: 228-234

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44,7B

      ページ: 5799-5802

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.44, No.7B

      ページ: 5799-5802

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Characteristics of Copper Deposition in a Supercritical CO2 Fluid2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Cu thin films from supercritical carbon dioxide using hexafluoroacetylacetnatecopper2005

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, K.Shigama
    • 雑誌名

      Thin Solid Films Volume 491, Issues 1-2

      ページ: 228-234

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Nanoscale Deposition in Supercritical Fluids, Cu Metallization Process and Barrier Metal Deposition Possibility2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Hishikawa, K.Shigama
    • 雑誌名

      Proc. Advanced Metallization Conference 2003

      ページ: 583-588

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Direct Deposition of Cu Barrier Stacks on Dielectric/Nonconductive Layers using Supercritical CO22004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Hishikawa, M.Yanagihara, K.Shigama
    • 雑誌名

      Proc. 2004 IEEE International Interconnect Technology Conference

      ページ: 33-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Control of selective and blanket ruthenium film deposition chemistry in supercritical CO2 fluid chemical deposition2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc. 2004 International Microprocess and Nanotechnology Conference

      ページ: 48-49

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Cu and Ru thin films in deep nanotrenches/holes using supercritical carbon dioxide2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics, E.Kondoh, Barrier/Copper Direct Deposition Vol.43, No.6B

      ページ: 3928-3933

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Direct Deposition of Cu Barrier Stacks on Dielectric/Nonconductive Layers using Supercritical CO22004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Hishikawa, M.Yanagihara, K.Shigama
    • 雑誌名

      Proc.2004 IEEE International Interconnect Technology Conference

      ページ: 33-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] ossibility using Supercritical Carbon Dioxide Fluid (invited)2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc.21st International VLSI Multilevel Interconnection Conference (Sep 30/Oct 1, Hawaii)

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] 超臨界流体を利用した半導体微細加工2004

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      クリーンテクノロジー 14,No.6

      ページ: 55-58

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Cu and Ru thin films in deep nanotrenches/holes using supercritical carbon dioxide2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43,6B

      ページ: 3928-3933

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Barrier/Copper Direct Deposition Possibility using Supercritical Carbon Dioxide Fluid (invited)2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc. 21st International VLSI Multilevel Interconnection Conference

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Control of selective and blanket ruthenium film deposition chemistry in supercritical CO2 fluid chemical deposition2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc.2004 International Microprocess and Nanotechnology Conference

      ページ: 48-49

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Direct Deposition of CuBarrier Stacks on Dielectric/Nonconductive Layers using Supercritical CO22004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Hishikawa, M.Yanagihara, K.Shigama
    • 雑誌名

      Proc. 2004 IEEE International Interconnect Technology Conference

      ページ: 33-35

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of Cu and Ru thin films in deep nanotrenches/holes using supercritical carbon dioxide2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics. 43

      ページ: 3928-3933

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Barrier/Copper Direct Deposition Possibility using Supercritical Carbon Dioxide Fluid2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc. 21st International VLSI Multilevel Interconnection Conference (Sep 30/Oct 1, Hawaii)

      ページ: 17-18

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] 超臨界流体を利用した超微細加工2004

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 雑誌名

      日本機械学会誌 107

      ページ: 45-45

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Nanoscale Deposition in Supercritical Fluids, Cu Metallization Process and Barrier Metal Deposition Possibility2004

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Hishikawa, K.Shigama
    • 雑誌名

      Proc.Advanced Metallization Conference 2003, (Oct.21-23, Montreal, Canada / Tokyo, 2003.)

      ページ: 583-588

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide2003

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc. 2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference,.

      ページ: 42-42

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide2003

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 雑誌名

      Proc.2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference

      ページ: 42-42

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [雑誌論文] Deposition of zinc oxide thin films in supercritical carbon dioxide solutions

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Kenji Sasaki, and Yoichi Nabetani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026005
  • [雑誌論文] Deposition of zinc oxide thin films in supercritical carbon dioxide solutions

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Kenji Sasaki, and Yoichi Nabetani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [産業財産権] 光学特性の測定方法及び光学特性の測定装置2014

    • 発明者名
      金 蓮花,近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-016281
    • 出願年月日
      2014-01-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [産業財産権] 導電性物質の形成装置及びその形成方法2011

    • 発明者名
      近藤英一,松原正弘,竹内裕人
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2010-199678
    • 出願年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [産業財産権] 特許2011

    • 発明者名
      近藤英一, 松原正弘, 竹内裕人
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2010-199678
    • 出願年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [産業財産権] 導電性物質の形成装置及びその形成方法2011

    • 発明者名
      近藤英一、松原正弘、竹内裕人
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2011-199678
    • 出願年月日
      2011
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [産業財産権] 導電性物質の形成装置及びその形成方法2011

    • 発明者名
      近藤英一、松原正弘、竹内裕人
    • 権利者名
      山梨大学
    • 出願年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [産業財産権] 特許2010

    • 発明者名
      近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2010-197237
    • 出願年月日
      2010-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [産業財産権] 細孔を有する薄膜の測定方法とそのシステ2010

    • 発明者名
      近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2010-197237
    • 出願年月日
      2010-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [産業財産権] 超臨界流体中に連続的に低圧の気体を添加する方法およびそのための装置2005

    • 発明者名
      近藤英一, 福田順平
    • 権利者名
      山梨大学
    • 出願年月日
      2005-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [産業財産権] 超臨界流体中に連続的に低圧の気体を添加する方法およびそのための装置2005

    • 発明者名
      近藤英一, 福田順平
    • 権利者名
      山梨大学
    • 出願年月日
      2005-08-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [産業財産権] 超臨界流体又は亜臨界流体を用いた酸化物薄膜,または金属積層薄膜の成膜方法,及び成膜装置2004

    • 発明者名
      近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2004-167782
    • 出願年月日
      2004-06-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [産業財産権] 超臨界流体又は亜臨界流体を用いた酸化物薄膜,また金属積層薄膜の成膜方法,及び成膜装置2004

    • 発明者名
      近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2004-249487
    • 出願年月日
      2004-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [産業財産権] 超臨界流体中に連続的に低圧の気体を添加する方法およびそのための装置2004

    • 発明者名
      近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権番号
      2004-249487
    • 出願年月日
      2004-08-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360162
  • [学会発表] 透過型ミューラー行列顕微鏡による薄膜膜厚分布計測2023

    • 著者名/発表者名
      長瀬 仁,北村 賢功,有元 圭介,近藤 英一,金 蓮花,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [学会発表] Reflection and transmission ellipsometry measurement under incoherent superposition of light2023

    • 著者名/発表者名
      Yoriatsu Kitamura, Sota Mogi, Tsutomu Muranaka, Keisuke Arimoto, Eiichi Kondoh, Lianhua Jin, and Bernard Gelloz
    • 学会等名
      Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conferenc
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [学会発表] イメージングエリプソメトリーによる計測可能な最大膜厚2023

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,北村 賢功,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会(2023年9月19-23日)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [学会発表] 透過型ミューラー行列顕微鏡による薄膜膜厚分布計測2023

    • 著者名/発表者名
      長瀬 仁,北村 賢功,有元 圭介,近藤 英一,金 蓮花,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] Reflection and transmission ellipsometry measurement under incoherent superposition of light2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kitamura, S. Mogi, T. Muranaka, K. Arimoto, E. Kondoh, L. Jin, and B. Gelloz
    • 学会等名
      OPTICS & PHOTONICS International Congress 2023 (OPIC2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] 反射・透過型エリプソメトリー計測における透明基板内反射影響2022

    • 著者名/発表者名
      茂木 壮太,有元 圭介,近藤 英一,金 蓮花,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] ドライプロセスへの超臨界CO2流体の応用2022

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会CVD反応分科会 第9回講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04182
  • [学会発表] Reflection and Transmission Ellipso-Microscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Lianhua Jin, Sota Mogi, Yoriatsu Kitamura, Tsutomu Muranaka, Keisuke Arimot, Eiichi Kondoh, and Bernard Gelloz
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-9)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] 超臨界CO2金属エッチングの温度・エッチャント濃度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      竹内創太,近藤英一
    • 学会等名
      2022電気化学春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Copper oxide as Cu/glass adhesion layer and its stability under reduction chemistry2021

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Takeshi Ito
    • 学会等名
      Interfinish 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] 集積回路配線金属薄膜表面の防食層のエリプソメトリその場解析2021

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      2021電気化学春季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] イメージングエリプソメトリーにおける分解能に関する考察2021

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,近藤 英一,飯塚 祐基,大竹 基之,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] 反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測2021

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,茂木 壮太,村中 司,近藤 英一
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] In-situ ellipsometric measurements of surface layer formation on Co in aqueous solutions corrosion inhibitor and oxidizer2021

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Shota Takeuchi, Lianhua Jin, Ryota Koshino, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization2020

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Design of a spectroscopic imaging ellipsometer2020

    • 著者名/発表者名
      Lianhua Jin, Makoto Uehara, Takashi Iwao, Yuki Iizuka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz
    • 学会等名
      Optics & Photonics International Congress 2020
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] 1-ヘキセンを用いた多孔率ポーラスシリコンの超臨界CO2流体中のヒドロシリル化2020

    • 著者名/発表者名
      田倉 直人,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] BTA-H2O2混合溶液中におけるCo表面その場分光エリプソメトリ測定2020

    • 著者名/発表者名
      竹内翔太,金 蓮花,近藤英一,濵田聡美,小篠諒太,嶋 昇平,檜山浩國
    • 学会等名
      表面技術協会第141回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Deposition of Ni-Based Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solution Via Flow-Type Reaction System2020

    • 著者名/発表者名
      Sudiyarmanto, Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science (PRiME)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid2020

    • 著者名/発表者名
      Takura Naoto, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] 深層学習を用いた画像処理によるイメージングエリプソメータの空間分解能向上の試み2020

    • 著者名/発表者名
      飯塚 祐基,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04518
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積・表面反応プロセス~半導体製造応用を視野に~2019

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      INCHEM2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] マイクロ流通セルを用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析2019

    • 著者名/発表者名
      近藤英一,遠山真央,濵田聡美,嶋 昇平,檜山浩國
    • 学会等名
      表面技術協会第140回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Initial changes of Cu surfaces in H2O2-BTA aqueous solutions studied by using microfluidic reactor2019

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Mao Toyama, Lianhua Jin, Satomi Hamada, Shohei Shima, Hirokuni Hiyama
    • 学会等名
      Advanced Metallzation Conference Asian Session
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定2019

    • 著者名/発表者名
      秋山 泰輝,飯塚 祐基,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 1-ヘキセン分子を用いたポーラスシリコンの圧力制御ヒドロシリル化と発光安定性2019

    • 著者名/発表者名
      入山 拓未,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Etching, photoetching of porous silicon in hydrofluoric acid studied by photoconduction and monochromatic light2019

    • 著者名/発表者名
      Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Anodizing Science and Technology (AST2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions2019

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      Materials Research Society Spring Meetings
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] 超臨界流体半導体プロセス応用~薄膜形成・エッチングを中心として~2019

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      超臨界流体部会第18回サマースクール
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] 超臨界流体半導体プロセス応用2019

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      NEDIA材料部品部会 第二十三回勉強会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] 超臨界流 CO2流体を用いた金属ドライエッチング2019

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      半導体集積回路シンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04466
  • [学会発表] イメージングエリプソメトリーによるナノ結晶シリコンの製作評価2018

    • 著者名/発表者名
      秋山 泰輝,飯塚 祐基,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール
    • 学会等名
      第三回フォトニクス研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測2018

    • 著者名/発表者名
      ジェローズ ベルナール,不破 弘樹,近藤 英一,金 蓮花
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] hoto-Assisted Etching of Porous Silicon Nanostructures in Hydrofluoric Acid using Monochromatic Light2018

    • 著者名/発表者名
      B. Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      Americas International Meeting on Electrochemistry and Eolid state science
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 分光エリプソメトリー計測の勘所とin-situ計測応用2018

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      ORIST技術情報セミナー(和泉センター) 第 2 回分光エリプソメーター活用セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 超臨界CO2流体中での薄膜堆積2018

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      電気化学会第85回大会 シンポジウムS19. 電子材料及びナノ機能素子技術
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Extraction of properties of individual component for the retarder linear diattenuator retarder system and its application2018

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, E. Kondoh, H. Kowa, B. Gelloz
    • 学会等名
      SPIE
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 分光エリプソメトリーによるsub 100-nm粒子の検出と粒子密度評価2018

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      プレナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会(精密工学会)第163回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析2017

    • 著者名/発表者名
      瀬川紘幹 近藤英一 濱田聡美 嶋昇平 檜山浩國
    • 学会等名
      日本機械学会関東支部第23期総会・講演会
    • 発表場所
      東京理科大学 葛飾キャンパス(東京都・葛飾区)
    • 年月日
      2017-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] ラフな表面における散乱光の偏光特性の波長依存性2017

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,周 聡,近藤 英一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県横浜市西区みなとみらい パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [学会発表] エリプソメトリ法によるSi基板表面の微粒子計測 ―インクジェット装置による粒子付着とエリプソメトリ計測―2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木雄也 近藤英一 濵田聡美 嶋 昇平 檜山 浩國
    • 学会等名
      精密工学会 2017年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Etching of Transition Metals (Co, Ni, Fe, Pt) Using Supercritical Fluids2017

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      Materials Research Society 2017 Spring Meetings
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] HexafluoroacetylacetoneによるPtエッチング2017

    • 著者名/発表者名
      近藤英一 萩原佑太
    • 学会等名
      表面技術協会第136回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] INKJET PARTICLE-SPIKING OF WAFER SURFACES AND EVALUATION OF PARTICLE DENSITY WITH ELLIPSOMETRY2017

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, K. Suzuki, L. Jin, S. Hamada, S. Shima, and H. Hiyama
    • 学会等名
      International Conference on Planariation/CMP Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Early stages of layer formation on Cu in benzotriazole-hydrogen (BTA-H2O2) solutions2017

    • 著者名/発表者名
      Koki Segawa Eiichi Kondoh Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference plus 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Photo-Assisted Dissolution of Porous Silicon Nanostructures in HF Solutions Monitored by Photoconduction2017

    • 著者名/発表者名
      Bernard Gelloz, Hiroki Fuwa, Eiichi Kondoh, and Lianhua Jin
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] マイクロ流通セルを用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面のその場分光エリプソメトリ解析2017

    • 著者名/発表者名
      瀬川紘幹 近藤英一 濵田聡美 嶋昇平 檜山浩國
    • 学会等名
      精密工学学会 2017年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Novel Pt etching using hexafluoroacetlyacetone2017

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh Y. Ogihara
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference plus 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Polarization Dispersion of Scattering from Macroscopically Rough Surface2017

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, C. Zhou, and E. Kondoh
    • 学会等名
      The 24th congress of the International Commission of Optics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [学会発表] 表面清浄度・クリーニング評価としてのエリプソメトリ2017

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 半導体・MEMSのための超臨界CO2流体2017

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      CVD研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] 各種金属酸化物のCu/ガラス界面密着層としての利用の試み2017

    • 著者名/発表者名
      林 知里 渡邉 満洋 近藤 英一
    • 学会等名
      表面技術協会第136回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] Polarization characteristics of diffraction scattering from metal rough surface2016

    • 著者名/発表者名
      Lianhua Jin, Takuma Taguchi, and Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      7th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2016-06-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [学会発表] Application of supercritical CO2 to porogen removal and metal deposition in nanoscale/HAR features2016

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      International Workshop on Materials for Advanced Interconnects
    • 発表場所
      North China University of Technology
    • 年月日
      2016-10-31
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] ラフな表面による回折散乱光の偏光特性2016

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,田口 拓馬,近藤 英一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [学会発表] Optical Absorption of Porous Silicon during Dissolution in HF Investigated by Photoconduction2016

    • 著者名/発表者名
      Bernard Gelloz Kazuki Ichimura Eiichi Kondoh Lianhua Jin
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] エリプソメトリ測定によるSiウェハ表面の粒子検出評価2016

    • 著者名/発表者名
      鈴木 雄也,近藤 英一,渡邉 満洋,金 蓮花,濵田 聡美,嶋 昇平,檜山 浩國
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04694
  • [学会発表] Fabrication of catalyst membrane for long-length nanocarbon growt: Atmospheric pressure CVD fill of Fe and FexOy to nano-through-holes of selfstanding anodic alumina2016

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh Shigeaki Tamekuni Mitsuhiro Watanabe Soichiro Okubo Takeshi Hikata Akira Nakayama
    • 学会等名
      42nd International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      Reed Messe Wien, Congress Center, Vienna
    • 年月日
      2016-09-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] In-situ Ellipsometry of Cu Surfaces Immersed in BTA-H2O2 Solutions2016

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      Clarkson University 20th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
    • 発表場所
      Crowne Plaza Lake Placid, NY
    • 年月日
      2016-08-08
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04327
  • [学会発表] その場エリプソ計測における観測窓の影響の補正2014

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,近藤英一
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] ラフな鉄表面による散乱光の偏光特性および光学モデリング2014

    • 著者名/発表者名
      山口晃司,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] Cu埋め込みされたマイクロポーラスシリコンの電気特性2014

    • 著者名/発表者名
      大矢敏史,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] Photo-assisted metal fill to nanopores using a supercritical fluid along with in-situ spectroscopic ellipsometric observation2013

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, Y. Tamegai, M. Watanabe, and L. Jin
    • 学会等名
      39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      London, England
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 超臨界流体を用いたメソポーラスシリコンへのCu 埋め込み2013

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,大矢敏史,近藤英一,Bernard Gelloz
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] Can bioveins be used as interconnects?2013

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Hirofumi Mochizuki,and Mitsuhiro Watanabe
    • 学会等名
      Materials for Advanced Metallization
    • 発表場所
      Kotholike Universiteit Leuven
    • 年月日
      2013-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析(第3報)2013

    • 著者名/発表者名
      近藤英一,五味瞭汰,田部井幸寛,渡邉満洋,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 生体のネットワーク解探索機能を活用した配線構造の提案と生体メタライズ2013

    • 著者名/発表者名
      近藤英一,渡邉満洋,望月裕文, 後藤利章
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 年月日
      2013-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] Scattering light pattern of rough surface2013

    • 著者名/発表者名
      Yamaguchi,A. Muhammad,B. Gelloz,E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] In-Situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Wakako, K. Takizawa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] “LiNbO3電気光学結晶を用いたその場イメージングエリプソメーターの開発2013

    • 著者名/発表者名
      若子裕亮,滝沢國治,近藤英一,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 生体を利用した高バンド幅立体配線構造の提案2013

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      電気学会C部門大会(招待講演)
    • 発表場所
      北見工業大学
    • 年月日
      2013-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] ラフな面におけるIn-plane散乱光パターン2013

    • 著者名/発表者名
      山口晃司,アティラ ムハマド,近藤英一,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids - Evidence for a Surface Condensation Layer Formation2012

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, T. Sasaki, Y. Tamegai, M. Watanabe, and L. Jin
    • 学会等名
      10th International Symposium on Supercritical Fluids
    • 発表場所
      Hyatt Regency San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 光変調技術の偏光計測への応用2012

    • 著者名/発表者名
      令蓮花,齋藤壮,八木亮磨,山口晃司,若子裕亮,近藤英一
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      首都大学
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素を用いた金属超微粒子/多孔質カーボン複合体の作製2012

    • 著者名/発表者名
      渡邉満洋, 秋本竜昇, 近藤英一
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2012-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 生体組織を利用した金属配線形成の試み2012

    • 著者名/発表者名
      望月裕文,渡邉満洋,近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会第126回講演大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(北海道)
    • 年月日
      2012-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 超臨界CO_2を用いて堆積したNi薄膜の成膜特性2012

    • 著者名/発表者名
      長田和真,渡邉満洋,近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会
    • 発表場所
      東京都市大学
    • 年月日
      2012-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界CO_2を用いた多孔質カーボン表面へのPt-Ru超微粒子担持2012

    • 著者名/発表者名
      渡邉満洋, 秋本竜昇, 近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会年会
    • 発表場所
      工学院大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体を用いた金属薄膜堆積 -メリットと展望-2012

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会第44回秋季大会(招待講演)
    • 発表場所
      東北大学(宮城県)
    • 年月日
      2012-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析(第2報)2012

    • 著者名/発表者名
      佐々木拓哉,田部井幸寛,植野隆大,渡邉満洋,金蓮花,近藤英一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した金属薄膜堆積技術2012

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会将来めっき技術検討部会第十回例会 「あたらしいめっき関連技術」
    • 発表場所
      回路会館(東京都)
    • 年月日
      2012-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] デュアル電気光学結晶を用いた高速複屈折計測システムの開発2012

    • 著者名/発表者名
      齋藤壮,ヌルディンムハマド,高和宏行,手島昂太朗,梅田倫弘,滝沢國治,近藤英一,金蓮花
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体中Cu堆積過程のその場分光エリプソメトリ2012

    • 著者名/発表者名
      佐々木拓哉, 田部井幸寛, 植野隆大, 渡邉満洋, 金蓮花, 近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会年会
    • 発表場所
      工学院大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 光変調技術の偏光計測への応用2012

    • 著者名/発表者名
      金蓮花, 斎藤壮, 八木亮磨, 山口晃司, 若子裕亮, 近藤英一
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      首都大学東京(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] デュアル電気光学結晶を用いた高速複屈折計測システムの開発及び応用2012

    • 著者名/発表者名
      斎藤壮, ヌルディン ムハマド, 高和宏行, 手島昂太朗, 梅田倫弘, 滝沢國治, 近藤英一, 金蓮花
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 偏光指紋による物体の同定2012

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,山口 晃司,近藤 英一
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2012
    • 発表場所
      東京, 船堀タワーホール
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の共振特性2011

    • 著者名/発表者名
      林克洋、垣尾省司、近藤英一
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      USA, Orlando
    • 年月日
      2011-10-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 3 次元集積回路電極用 Si マイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用して Cu を堆積した際の被覆特性2011

    • 著者名/発表者名
      松原正弘, 近藤英一
    • 学会等名
      一般社団法人表面技術協会第124回講演大会(招待講演)
    • 発表場所
      名古屋大学 東山キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] Conformal Copper Coating of True 3D Through-holes Using Supercritical Carbon Dioxide2011

    • 著者名/発表者名
      M.Watanabe, Y.Takeuchi, T.Ueno, M.Matsubara, E.Kondoh, S.Yamamoto, N.Kikukawa, T.Suemasu
    • 学会等名
      Advanced Metallizaion Conference Asian Session
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界CO_2を利用して作製したNi/ガラス構造体の密着性と界面組織2011

    • 著者名/発表者名
      渡邉満洋,青山央,近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Conformal Copper Coating of True 3D Through-holes Using Supercritical Carbon Dioxide2011

    • 著者名/発表者名
      M.Watanabe, Y.Takeuchi, T.Ueno, M.Matsubara, E.Kondoh, S.Yamamoto, N.Kikukawa, T.Suemasu
    • 学会等名
      Advanced Metallizaion Conference USA
    • 発表場所
      USA San Diego
    • 年月日
      2011-10-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Resonance properties of surface acoustic wave resonators in supercritical CO_22011

    • 著者名/発表者名
      K. Hayashi, S. Kakio, and E. Kondoh
    • 学会等名
      Symposium Ulstrasonic Electronics
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2011-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Sciences in micro-and nanoelectronics processes using an environmentally-friendly medium supercritical CO_2 fluid and its application2011

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      NATO Advanced Research Workshop
    • 発表場所
      Riga, Latvia
    • 年月日
      2011-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界CO2を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持における表面処理の影響2011

    • 著者名/発表者名
      秋本 竜昇 ・近藤 英一 ・ 渡邉 満洋
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] Sciences in micro-andnanoelectronics processes using anenvironmentally-friendly medium2011

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      Nanodevices andNanomaterials for Ecological Security
    • 発表場所
      HotelJurmala SPA, Latvia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] Sciences in micro- and nanoelectronics processes using an environmentally-friendly medium . supercritical CO2 fluid and its application2011

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      NATO Advanced Research Workshop, Nanodevices and Nanomaterials for Ecological Security(招待講演)
    • 発表場所
      Hotel Jurmala SPA, Latvia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 超臨界CO_2を用いた高アスペクトマイクロ孔への均一Cu被覆2011

    • 著者名/発表者名
      竹内裕人,松原正弘,渡邉満洋,近藤英一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性2011

    • 著者名/発表者名
      松原正弘,近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2011-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界CO_2 を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持における表面処理の影響2011

    • 著者名/発表者名
      秋本竜昇、近藤英一、渡邉満洋
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids-An Evidence for an Abnormal Surface Layer Formation2011

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki, Y. Tamegai, M. Watanabe, L. Jin, and E. Kondoh
    • 学会等名
      Advanced Metallizaion Conference Asian Session
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界CO_2を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持における表面処理の影響2011

    • 著者名/発表者名
      秋本竜昇, 近藤英一, 渡邉満洋
    • 学会等名
      化学工学会
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2011-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Resonance properties of surface acoustic wave resonator in supercritical CO_22011

    • 著者名/発表者名
      S. Kakio, K. Hayashi, and E. Kondoh
    • 学会等名
      IEEE Internatilal Ultrasonic Symposium
    • 発表場所
      USA, Orlando
    • 年月日
      2011-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性2011

    • 著者名/発表者名
      松原正弘, 近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会
    • 発表場所
      名古屋大学(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Sciences in micro- and nanoelectronics processes using an environmentally-friendly medium. supercritical CO_2 fluid and its application2011

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 学会等名
      NATO Advanced Research Workshop
    • 発表場所
      Riga, Latvia(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids -An Evidence for an Abnormal Surface Layer Formation-2011

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, Y.Tamegai, M.Watanabe, L.Jin, E.Kondoh
    • 学会等名
      Advanced Metallizaion Conference Asian Session
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Mechanisms of Chemical Deposition from Supercritical Fluids for Advanvced Microelectronics Appilicitions(Invited)2010

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 学会等名
      International Conference on Modern Problems in the Physics of Surface and Nanostructures
    • 発表場所
      Yanoslavl State University Yaroslavl, Russia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス~細孔の評価と洗浄~2010

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子部品・材料研究会
    • 発表場所
      道の駅しゃり会議室 (招待講演)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] In-situ Spectroscopic Ellipsometry in Superchtical CO_2 Solutions and Its Application to Low-k Thin Film Characterization2010

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 学会等名
      Advanced Metalization Conference 20th Asian Session 2010
    • 発表場所
      Takeda Building, The Univ. of Tbkyo, Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Science in Porosity Engineering of Low-k Dielectrics Using Supercritical Carbon Dioxide-Pore Characterization and Pore Cleaning(Invited)2010

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 学会等名
      15th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
    • 発表場所
      Lake Placid , NY
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Science in porosity engineering of low-k dielectrics using supercritical carbon dioxide-pore characterization and pore cleaning (invited)2010

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      SEMICON Korea 2010
    • 発表場所
      COEX Seoul
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Evalaution of the connectivity of micropores (<2 nm) and supermicropores (<0.5 mn) in low-k thin films using supercritical fluids2010

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      MAM 2010
    • 発表場所
      Lamot Mechelen, Belgium
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した超ミクロ細孔の連結度評価2009

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 有賀庄作, 伊藤文則, 林喜弘
    • 学会等名
      化学工学会第74年会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中有機金属還元法による金属薄膜堆積2009

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第119回講演大会
    • 発表場所
      山梨大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した超ミクロ細孔の連結度評価2009

    • 著者名/発表者名
      .近藤英一, 有賀庄作, 伊藤文則, 林喜弘
    • 学会等名
      化学工学会第74年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Siナノホールの作製と超臨界CO2によるCu埋め込み2009

    • 著者名/発表者名
      玉井架, 松原正弘, 近藤英一, 李佳龍, 松村道雄
    • 学会等名
      日本機械学会第15期総会講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Initial Cu growth in Cu-seeded and Ru-lined narrow trenches for super criticalfluid Cu chemical deposition2009

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 19th Asian Session 2009
    • 発表場所
      Sanjo Conference Hall, The University of Tokyo,
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] Deposition kinetics of Cu thin films in supercritical carbon dioxide from a Cu (II) beta-diketonate complex2009

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      Supergreen 2009
    • 発表場所
      Sakura Hall, Tohoku University
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質膜細孔度評価の検討2009

    • 著者名/発表者名
      小高和也, 有賀庄作, 近藤英一
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質low-k膜の開孔性評価法の検討2009

    • 著者名/発表者名
      有賀庄作, 齋藤雄亮, 米山明里, 近藤英一
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中有機金属還元法による金属薄膜堆積2009

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      (社)表面技術協会第119回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中Cu堆積法におけるCuシード付トレンチ内への初期堆積特性2009

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360147
  • [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質膜細孔度評価の検討2009

    • 著者名/発表者名
      小高和也, 有賀庄作, 近藤英一
    • 学会等名
      2009 年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積~成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み2008

    • 著者名/発表者名
      松原正弘, 近藤英一
    • 学会等名
      電子材料研究会
    • 年月日
      2008-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] フロー超臨界薄膜装置による薄膜の堆積特性と長時間成膜への適用2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 松原正弘
    • 学会等名
      日本機械学会第14期総会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体を用いた各種細胞からの核酸のとりだし2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 堀内愛, 御園生拓
    • 学会等名
      化学工学会 第40回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Si ナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu 埋め込み,2008

    • 著者名/発表者名
      玉井架, 松原正弘, 近藤英一, 李佳龍(阪大), 松村道雄
    • 学会等名
      日本機械学会第15 期総会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 各種低密度薄膜の超臨界流体中でのその場エリプソメトリー観測2008

    • 著者名/発表者名
      有賀庄作, 斉藤雄亮, 米山明里, 小高和也, 玉井架, 近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会 第40 回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Nanorod formation via topography-sensitive deposition in supercritical solutions2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Michiru Hirose, Eiichi Ukai, Kodai Nagano, Junju Yamanaka, Chiaya Yamamoto
    • 学会等名
      MNE2008
    • 発表場所
      Athens Hilton Hotel Greece
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Cu filmd eposition from super critical carbon dioxide fluids for 3D-IC THRU via formation2008

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Matsubara, Eiichi Kondoh
    • 学会等名
      11th European Meeting on Supercritical Fluids
    • 発表場所
      Serhs Campus Hotel, Barcelona,Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 各種低密度薄膜の超臨界流体中でのその場エリプソメトリー観測2008

    • 著者名/発表者名
      有賀庄作, 斉藤雄亮, 米山明里, 小高和也, 玉井架, 近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会第40回秋季大会
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界CO2 堆積法を用いたMEMS 貫通電極ヴィア孔内のCu 薄膜形成(フロー方式第6 報)2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 松原正弘
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Cu film deposition from super critical carbon dioxide fluids for 3D-IC THRU via formation2008

    • 著者名/発表者名
      M, Matsubara, E, Kondoh
    • 学会等名
      11th European Meeting on Supercritical Fluids
    • 発表場所
      Serhs Campus Hotel Barcelona, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積〜成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み2008

    • 著者名/発表者名
      松原正弘, 近藤英一
    • 学会等名
      電気学会研究会 電子材料研究会
    • 発表場所
      社団法人電気学会
    • 年月日
      2008-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores(<2nm)and supermicropores(<0.5mn) in low-k thin films2008

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Shosaku Aruga,Fuminori Ito and Yoshinori Hayashi
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference Asian Session 2008
    • 発表場所
      The University of Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] A Fast New Approach for Evaluating the Connectivity of Micropores (<2 nm) and Supermicropores (<0.5 nm) in Low-k Thin Films2008

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, S. Aruga, F. Ito, Y. Hayashi
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2008 18th Asian Session
    • 発表場所
      The Univ. of Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] βジケトン錯体原料を用いたフロー式Cu 薄膜堆積の堆積特性2008

    • 著者名/発表者名
      松原正弘, 近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会第73 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界CO2 流体を利用したDNA 抽出の試み2008

    • 著者名/発表者名
      .近藤英一, 堀内愛, 御園生拓
    • 学会等名
      化学工学会第73年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Nanorod formation via topography-sensitive deposition in supercritical solutions2008

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, M. Hirose, E. Ukai, K. Nagano, J. Yamanaka, C. Yamamoto
    • 学会等名
      MNE2008 34th International Conference
    • 発表場所
      Athens Hilton Hotel Greece
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 多孔質Low-k 膜を超臨界二酸化炭素洗浄した際の共溶媒の挙動2008

    • 著者名/発表者名
      有賀庄作, 小高和也, 近藤英一
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] In-situ 偏光解析法による超臨界流体中での有機金属浸透のモニタリング2008

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 有賀庄作, 鵜飼栄一
    • 学会等名
      化学工学会第73 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質low-k 膜の開孔性評価法の検討2008

    • 著者名/発表者名
      .有賀庄作, 齊藤雄亮, 米山明里, 近藤英一
    • 学会等名
      2008 年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] In-situ ellipsometric study on the condensation and cleanign of a metalorganic copper compond to/from porous low-k thin films in supercritical carbon dioxide2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      12th International Symposium on Chemical-Mechanical Plarnization
    • 発表場所
      Lake Placid, NY, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids: beyond scalability(invited)2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      The International Conference "Micro-and nanoelectronics-2007"(ICMNE-2007)
    • 発表場所
      hotel "Lipki", Zvenigorod, Moscow region
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発~多孔質low-k 膜の洗浄過程の解析2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 有賀庄作
    • 学会等名
      第1回偏光計測研究会
    • 年月日
      2007-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体中薄膜堆積法における「形状敏感」堆積モード : Beyond Scalability2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 廣瀬みちる, 鵜飼栄一, 有賀庄作, 長能広大
    • 学会等名
      2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] フロー堆積システムによるCu薄膜堆積2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 廣瀬みちる, 福田順平, 松原正弘
    • 学会等名
      化学工学会第39回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Condensation and cleaning of an orgnometallic copper com-pound to/from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxide2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, E. Ukai, and S. Aruga
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE4)
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体の配線技術への応用2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 廣瀬みちる
    • 学会等名
      日本機械学会関東支部2007年総会・講演会
    • 年月日
      2007-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Novel "Topography-sensitive" Bottom-up mode for Filling Nano-features Using Superciritical Fluids as a Deposition Medium2007

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh and M. Hirose
    • 学会等名
      MRS 2007 Spring Meeting Symposium D: Deposition on Nonplanar Substrates
    • 発表場所
      San Francisco
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発(2)~多孔質low-k 膜の洗浄過程の解析2007

    • 著者名/発表者名
      有賀庄作, 鵜飼栄一, 近藤英一
    • 学会等名
      2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids:beyond scalability(invited)2007

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh
    • 学会等名
      The International Conference"Micro- and nanoele ctronics-2007"(ICMNE-2007)
    • 発表場所
      hotel"Lipki",Zvenigorod,Moscow region
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026005
  • [学会発表] Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids: beyond scalability2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      The International Conference "Micro-and nanoelectronics-2007"(ICMNE-2007) and co-located Symosium"Quantum Informatics-2007"(QI-2007) will be held at the holiday hotel "Lipki"
    • 発表場所
      Zvenigorod, Moscow region
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Deposition of Oxide Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Fluids2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      the Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing
    • 発表場所
      ICC Cheju
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 機能性高密度流体プロセッシング2007

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Metalization using supercritical fluids for post-scalability ULSI processing,8th Seminar Porous Glasses-Special Glasses;2007

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh
    • 学会等名
      Porous Glass Technology for Detection of Chemical Agents
    • 発表場所
      in Wroclaw/Szklarska Poreba, Poland from the 4
    • 年月日
      2007-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Nanostructure formation using supercritical fluids2006

    • 著者名/発表者名
      E.kondoh
    • 学会等名
      32nd International Conference on Micro- and Nano- Engineering (MNE06)
    • 発表場所
      Barcelona WTC, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した薄膜形成技術2006

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      産業技術総合研究所new-SIC研究会第3回研究会
    • 年月日
      2006-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] フロー方式超臨界薄膜堆積装置の開発とCu成膜特性(フロー方式第5報)-全流体型システムの構築2006

    • 著者名/発表者名
      廣瀬みちる, 小林直, 近藤英一
    • 学会等名
      2006年第67回応用物理学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 超臨界流体をもちいたZnO 薄膜の堆積2006

    • 著者名/発表者名
      近藤英一, 佐々木健二
    • 学会等名
      2006 年第67 回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学びわこくさつキャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] Kinetics and Narrow-Gap Filling in Cu Thin Film Deposition from Supercritical Carbon Dioxide Fluids-Precise and Reliable Experiments using a Flow-Type Deposition Processor2006

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, M. Hirose and J. Fukuda
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2006: 16th Asian Session, Sept
    • 発表場所
      The University of Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206031
  • [学会発表] 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した 際の被覆特性

    • 著者名/発表者名
      松原正弘,近藤英一
    • 学会等名
      一般社団法人表面技術協会第124回講演大会(招待講演)
    • 発表場所
      名古屋大学 東山キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 生体組織を利用した金属配線形成の試み

    • 著者名/発表者名
      望月裕文,渡邉満洋,近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会第126回講演大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(北海道)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 準ニュートン法を用いたエリプソメトリー計測の窓補正

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,春日翔貴,近藤英一
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] その場エリプソメトリーにおける窓の補正方法およびその応用

    • 著者名/発表者名
      春日翔貴,近藤英一, 金蓮花
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2014
    • 発表場所
      筑波大学(東京都文京区)
    • 年月日
      2014-11-05 – 2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した金属薄膜堆積技術

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      表面技術協会将来めっき技術検討部会第十回例会「あたらしいめっき関連技術」
    • 発表場所
      回路会館(東京都)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] Can bio veins be used as interconnects?

    • 著者名/発表者名
      Eiichi Kondoh, Hirofumi Mochizuki, and Mitsuhiro Watanabe
    • 学会等名
      Materials for Advanced Metallization 2013
    • 発表場所
      Kotholike Universiteit Leuven (ベルギー)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 生体のネットワーク解探索機能を活用した配線構造の提案と生体メタライズ

    • 著者名/発表者名
      近藤英一,渡邉満洋,望月裕文,後藤利章
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 生体を利用した高バンド幅立体配線構造の提案

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      電気学会C部門大会
    • 発表場所
      北見工業大学(北海道)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] 超臨界流体を用いた金属薄膜堆積―メリットと展望―

    • 著者名/発表者名
      近藤英一
    • 学会等名
      化学工学会 第44回秋季大会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656213
  • [学会発表] エリプソメトリーにおける観測窓補正の一般化

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,春日翔貴,近藤英一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560043
  • 1.  金 蓮花 (40384656)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 73件
  • 2.  Bernard Gelloz (40343157)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  垣尾 省司 (70242617)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 4.  渡邉 満洋 (90532036)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 13件
  • 5.  近藤 英一 (40304871)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  松村 道雄 (20107080)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  池田 茂 (40312417)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  原田 隆史 (00379314)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  平井 豪 (80423086)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  水谷 康弘 (40374152)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  BERNAD GELLOZ
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 13件
  • 12.  梅田 倫弘
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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