須川成利 Sugawa Shigetoshi

研究者番号	70321974
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所属 (現在)	2025年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2024年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 2016年度 – 2017年度: 東北大学, 工学研究科, 教授 2013年度 – 2015年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2012年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 2007年度 – 2008年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 2002年度 – 2005年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 2000年度 – 2001年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器 / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・機器工学 / 理工系研究代表者以外中区分39:生産環境農学およびその関連分野 / 電子デバイス・機器工学 / 電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者イメージセンサ / 電子デバイス・機器 / CMOS / Image Sensor / 半導体プロセス / 1光子検出 / フォトンカウンティング / 撮像素子 / センシングデバイス / Wide Dynamic Range … もっと見る / High Sensitivity / 広ダイナミックレンジ / 高感度 / Semiconductor Manufacturing / Resist-residue Removal / Photo-Resist Stripping / プラズマアッシング / 気液混合 / フォトレジスト剥離 / レジスト残渣除去 / レジスト剥離 / Object Extraction / Image Compression / plasma CVD / 高感度撮像素子 / 画像データ圧縮 / 並列画像処理 / 固体撮像システム / オブジェクト抽出 / 画像圧縮 / プラズマCVD / 平坦化 / ストレス誘起電流 / リーク電流 / シリコン / MOSFET / 電子デバイス・集積回路 / 雷子デバイス / 集積回路 / 電子デバイス / プラズマ加工 / マイクロ・ナノデバイス / 半導体超微細化 / システムオンチップ / シリコン面方位 / 低電子温度プラズマ / ゲート絶縁膜 / エッチング … もっと見る研究代表者以外 SOI / 1 / LSI / トマト / 野菜 / 生理障害 / Microwave-excited high-density plasma / Channel mobility / System LSI / Room Temperature 5 step Cleaning / f noise / Balanced-CMOS / Si_3N_4 gate insulator / Si(110)surface / 陽極化成 / CMOS / Si(110) / マイクロ波励起高密度プラズマ / チャネル移動度 / システムLSI / 室温5工程洗浄 / fノイズ / Balanced-CMOS集積回路 / Si_3N_4ゲート絶縁膜 / Si(110)面 / low frequency noise / trap level / interface / mutual conductance / gas-isolated-interconnects / Ta metal gate / 金属基板 / 銅配線 / 無水HF / BPSG / 低周波ノイズ / トラップ準位 / 界面 / FD-SOI MOSFET / 相互コンダクタンス / 気体分離配線 / Ta メタルゲート隠す

作物の生理障害の機構解明におけるブレークスルーテクノロジーの開発と検証
- 研究代表者
  
  金山喜則
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分39:生産環境農学およびその関連分野
- 研究機関
  東北大学
1光子検出の感度および線形・高飽和性能を有するＣＭＯＳ撮像素子の創出研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東北大学
原子レベル平坦界面トランジスタのゲート絶縁膜リーク電流の高精度統計的解析研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東北大学
高感度と広ダイナミックレンジ性能を両立した高性能CMOSイメージセンサ研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東北大学
高感度高S/N性能を維持した100dB超の広ダイナミックレンジ固体撮像素子研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東北大学
Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  東北大学
微細化世代に依存しないダメージフリー新規コンタクト/ビア形成技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東北大学
瞬時画像処理並列プロセッサ内蔵高感度高精細増幅型固体撮像システムの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  東北大学
高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フォトレジスト剥離技術研究代表者
- 研究代表者
  
  須川成利
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学

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すべて雑誌論文学会発表図書産業財産権

[図書] The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See, Part III Cameras with CCD/CMOS Sensors, Cameras with on-chip memory CMOS image sensors2017
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 総ページ数
  22
- 出版者
  Springer International Publishing
- ISBN
  9783319614908
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] Effect of drain current on appearance probability and amplitude of random telegraph noise in low-noise CMOS image sensors2018
- 著者名/発表者名
  Ichino S.、Mawaki T.、Teramoto A.、Kuroda R.、Rark H.、Wakshima S.、Goto T.、Suwa T.、Sugawa S.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 4S ページ: 04FF08-04FF08
- DOI
  10.7567/jjap.57.04ff08
- NAID
  210000148922
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-17H04921
[雑誌論文] Experimental investigation of localized stress-induced leakage current distribution in gate dielectrics using array test circuit2018
- 著者名/発表者名
  Park H.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Sugawa S.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 4S ページ: 04FE11-04FE11
- DOI
  10.7567/jjap.57.04fe11
- NAID
  210000148908
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-17H04921
[雑誌論文] A high sensitivity 20Mfps CMOS image sensor with readout speed of 1Tpixel/sec for visualization of ultra-high speed phenomena2017
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 10328 ページ: 1032802-1032802
- DOI
  10.1117/12.2270787
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-17H04921
[雑誌論文] Formation technology of flat surface with epitaxial growth on ion-implanted (100)-oriented Si surface of thin silicon-on-insulator2017
- 著者名/発表者名
  Furukawa K.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Hashimoto K.、Sugawa S.、Suzuki D.、Chiba Y.、Ishii K.、Shimizu A.、Hasebe K.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 10 ページ: 105503-105503
- DOI
  10.7567/jjap.56.105503
- NAID
  210000148334
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-17H04921
[雑誌論文] Analysis and reduction of leakage current of 2 kV monolithic isolator with wide trench spiral isolation structure2016
- 著者名/発表者名
  Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EF07-04EF07
- DOI
  10.7567/jjap.55.04ef07
- NAID
  210000146330
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] [Paper] A CMOS Image Sensor with 240 μV/e<sup>–</sup> Conversion Gain, 200 ke<sup>–</sup> Full Well Capacity, 190-1000 nm Spectral Response and High Robustness to UV light2016
- 著者名/発表者名
  Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Transactions on Media Technology and Applications
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 116-122
- DOI
  10.3169/mta.4.116
- NAID
  130005142728
- ISSN
  2186-7364
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] [Paper] A High Quantum Efficiency High Readout Speed 1024 Pixel Ultraviolet-Visible-Near Infrared Waveband Photodiode Array2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Takahiro Akutsu, Yasumasa Koda, Kenji Takubo, Hideki Tominaga, Ryuta Hirose, Tomohiro Karasawa, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Transactions on Media Technology and Applications
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 109-115
- DOI
  10.3169/mta.4.109
- NAID
  130005142727
- ISSN
  2186-7364
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] Introduction of Atomically Flattening of Si Surface to Large-Scale Integration Process Employing Shallow Trench Isolation2016
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Naoya Akagawa, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Xiang Li, Toshiki Obara, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa, Yutaka Kamata, Yuki Kumagai, and Katsuhiko Shibusawa
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 5 号: 2 ページ: P67-P72
- DOI
  10.1149/2.0221602jss
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] [Paper] A 20Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with Improved Light Sensitivity and Power Consumption Performances2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Yasuhisa Tochigi, Ken Miyauchi, Tohru Takeda, Hidetake Sugo, Fan Shao, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Transactions on Media Technology and Applications
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 149-154
- DOI
  10.3169/mta.4.149
- NAID
  130005142726
- ISSN
  2186-7364
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] [Paper] Analysis and Reduction Technologies of Floating Diffusion Capacitance in CMOS Image Sensor for Photon-Countable Sensitivity2016
- 著者名/発表者名
  Fumiaki Kusuhara, Shunichi Wakashima, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Transactions on Media Technology and Applications
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 91-98
- DOI
  10.3169/mta.4.91
- NAID
  130005142720
- ISSN
  2186-7364
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] [Paper] Floating Capacitor Load Readout Operation for Small, Low Power Consumption and High S/N Ratio CMOS Image Sensors2016
- 著者名/発表者名
  Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Transactions on Media Technology and Applications
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 99-108
- DOI
  10.3169/mta.4.99
- NAID
  130005142719
- ISSN
  2186-7364
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26820121, KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] Low Temperature Atomically Flattening of Si Surface of Shallow Trench Isolation Pattern2015
- 著者名/発表者名
  T. Goto, R. Kuroda, T. Suwa, A. Teramoto, N. Akagawa, D. Kimoto, S. Sugawa, T. Ohmi, Y. Kamata, Y. Kumagai, and K. Shibusawa
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 66 号: 5 ページ: 285-292
- DOI
  10.1149/06605.0285ecst
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] Effect of Hydrogen on Silicon Nitrides Formation by Microwave Excited Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2015
- 著者名/発表者名
  A. Teramoto, Y. Nakao, T. Suwa, K. Hashimoto, T. Motoya, M. Hirayama, S. Sugawa, and T. Ohmi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 66 号: 4 ページ: 151-159
- DOI
  10.1149/06604.0151ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] Analysis of breakdown voltage of area surrounded by multiple trench gaps in 4 kV monolithic isolator for communication network interface2015
- 著者名/発表者名
  Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54 号: 4S ページ: 04DB01-04DB01
- DOI
  10.7567/jjap.54.04db01
- NAID
  210000144957
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[雑誌論文] Effect of Process Temperature of Al2O3 Atomic Layer Deposition Using Accurate Process Gasses Supply System2015
- 著者名/発表者名
  H. Sugita, Y. Koda, T. Suwa, R. Kuroda, T. Goto, H. Ishii, S. Yamashita, A. Teramoto, S. Sugawa, and T. Ohmi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 66 号: 4 ページ: 305-314
- DOI
  10.1149/06604.0305ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] Atomically flattening of Si surface of silicon on insulator and isolation-patterned wafers2015
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Naoya Akagawa, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Xiang Li, Toshiki Obara, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi, Yutaka Kamata, Yuki Kumagai, and Katsuhiko Shibusawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54 号: 4S ページ: 04DA04-04DA04
- DOI
  10.7567/jjap.54.04da04
- NAID
  210000144951
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000010, KAKENHI-PROJECT-24360129, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] Ultra-Low Temperature Flattening Technique of Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma2015
- 著者名/発表者名
  Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Tetsuya Goto, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 66 号: 5 ページ: 277-283
- DOI
  10.1149/06605.0277ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[雑誌論文] Measurement and Analysis of Seismic Response in Semiconductor Manufacturing Equipment2015
- 著者名/発表者名
  Kaori Komoda, Masashi Sakuma, Masakazu Yata, Yoshio Yamazaki, Fuminobu Imaizumi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
  
  巻: 28 号: 3 ページ: 289-296
- DOI
  10.1109/tsm.2015.2427807
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] Si image sensors with wide spectral response and high robustness to ultraviolet light exposure2014
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  IEICE Electronics Express
  
  巻: 11 号: 10 ページ: 20142004-20142004
- DOI
  10.1587/elex.11.20142004
- NAID
  130004725750
- ISSN
  1349-2543
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] High Selectivity in Dry Etching of Silicon Nitride over Si Using a Novel Hydrofluorocarbon Etch Gas in a Microwave Excited Plasma for FinFET2014
- 著者名/発表者名
  Y. Nakao, T. Matsuo, A. Teramoto, H. Utsumi, K. Hashimoto, R. Kuroda, Y. Shirai, S. Sugawa, and T. Ohmi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 61 号: 3 ページ: 29-37
- DOI
  10.1149/06103.0029ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129, KAKENHI-PROJECT-26820121
[雑誌論文] Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors Prepared by Magnetron Sputtering Using Kr and Xe Instead of Ar2014
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Goto, Shigetoshi Sugawa and Tadahiro Ohmi
- 雑誌名
  
  Journal of the Society for Information
  
  巻: 21 号: 12 ページ: 517-523
- DOI
  10.1002/jsid.210
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[雑誌論文] Flattening Technique of (551) Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma2014
- 著者名/発表者名
  Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 61 号: 2 ページ: 401-407
- DOI
  10.1149/06102.0401ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000010, KAKENHI-PROJECT-24360129
[雑誌論文] Stress induced leakage current generated by hot-hole injection2013
- 著者名/発表者名
  Akinobu Teramoto, Hyeonwoo Park, Takuya Inatsuka, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 109 ページ: 298-301
- DOI
  10.1016/j.mee.2013.03.116
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[雑誌論文] High Sensitivity Dynamic Range Enhanced CMOS Imager with Noise Suppression2008
- 著者名/発表者名
  Satoru Adachi, Woonhee Lee, Nana Akahane, Hiromichi Oshikubo, Koichi Mizobuchi and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 2761-2766
- NAID
  10022551652
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[雑誌論文] A Very Low Dark Current Temperature-Resistant Wide Dynamic Range Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor2008
- 著者名/発表者名
  Koichi Mizobuchi, Satoru Adachi, Jose Tajada,Hiromichi Oshikubo, Nana Akahane and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 5390-5395
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[雑誌論文] A 200-μV/e^-CMOS Image Sensor With 100k-e^-Full Well Capacity2008
- 著者名/発表者名
  Satoru Adachi, Woonhee Lee, Nana Akahane, Hiromichi Oshikubo, Koichi Mizobuchi and Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  IEEE Journal of Solid-State Circuits 43
  
  ページ: 823-830
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[雑誌論文] 高温下の耐性・撮像性能を改善した広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサ2008
- 著者名/発表者名
  溝渕孝一, 足立理, 山下友和, 岡村誠一郎, 押久保弘道, 赤羽奈々, 須川成利
- 雑誌名
  
  映像情報メディア学会誌 62
  
  ページ: 368-375
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[雑誌論文] An Over 200dB DR CMOS Image Sensor Combined a Lateral Overflow Integration with Photo-Current Readout Operation2006
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Technical Report 30-25
  
  ページ: 9-12
- NAID
  10018132659
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] 広ダイナミックレンジイメージセンサの最新動向2006
- 著者名/発表者名
  須川成利
- 雑誌名
  
  映像情報メディア学会誌 60・3
  
  ページ: 299-302
- NAID
  110006838410
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] Recent Trend on Wide Dynamic Range Image Sensors2006
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  The Journal of the institute of Image Information and Television Engineers 60-3
  
  ページ: 299-302
- NAID
  110006838410
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] 横型オーバーフロー蓄積容量と電流読み出し動作を組み合わせたダイナミックレンジ200dB超のCMOSイメージセンサ2006
- 著者名/発表者名
  須川成利
- 雑誌名
  
  映像情報メディア学会技術報告 30・25
  
  ページ: 9-12
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] 横型オーバーフロー蓄積容量を用いた広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサ2005
- 著者名/発表者名
  須川成利
- 雑誌名
  
  映像情報メディア学会技術報告 29・24
  
  ページ: 29-32
- NAID
  10015700467
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] A 100 dB Dynamic Range CMOS Image Sensor Using a Lateral Overflow Integration Capacitor2005
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  2005 IEEE International Solid-State Circuits Conference
  
  ページ: 352-353
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] A Sensitivity and Linearity Improvement of a 100 dB Dynamic Range CMOS Image Sensor Using a Lateral Overflow Integration Capacitor2005
- 著者名/発表者名
  Nana Akahane, Shigetoshi Sugawa, et al.
- 雑誌名
  
  2005 Symposium on VLSI Circuits (発表予定)
- NAID
  10016894254
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] 横型オーバーフロー蓄積容量を用いた広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサ2005
- 著者名/発表者名
  須川成利他
- 雑誌名
  
  映像情報メディア学会情報センシング研究会 (発表予定)
- NAID
  10015700467
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] A Wide Dynamic Range CMOS Image Sensor Using a Lateral Overflow Integration Capacitor2005
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 雑誌名
  
  ITE Technical Report 29-24
  
  ページ: 29-32
- NAID
  10015700467
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[雑誌論文] A 100 dB Dynamic Range CMOS Image Sensor Using a Lateral Overflow Integration Capacitor2005
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa, et al.
- 雑誌名
  
  2005 IEEE International Solid-State Circuits Conference
  
  ページ: 352-353
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[産業財産権] 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法2015
- 発明者名
  須川成利、黒田理人、若嶋駿一
- 権利者名
  国立大学法人東北大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2015
- 取得年月日
  2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[産業財産権] Solid-state imaging device, line sensor and optical sensor and method of operating solid-state imaging device2009
- 発明者名
  須川成利
- 権利者名
  東北大学
- 出願年月日
  2009-04-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[産業財産権] 光センサ、固体撮像装置、および固体撮像装置の動作方法2005
- 発明者名
  須川成利
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2005-029615
- 出願年月日
  2005-02-04
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[産業財産権] 光センサ、固体撮像装置、および固体撮像装置の動作方法2005
- 発明者名
  須川成利他
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2005-029615
- 出願年月日
  2005-02-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[産業財産権] 光センサおよび固体撮像装置2005
- 発明者名
  須川成利
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2005-029614
- 出願年月日
  2005-02-04
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360165
[学会発表] 高性能イメージセンサを用いたトマトの生理障害と品質の非破壊測定2022
- 著者名/発表者名
  青代香菜子・黒田理人・堀千秋・中山翔太・堀江駿斗・須川成利・金山喜則
- 学会等名
  園芸学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H04721
[学会発表] High-speed multi-bandpass liquid-crystal filter using dual-frequency liquid crystal for real-time spectral imaging system2018
- 著者名/発表者名
  Takahiro Ishinabe, Kohei Terashima, Kazuhiro Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
- 学会等名
  SPIE PHOTONICS WEST 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Preliminary Chip Evaluation toward Over 50Mfps Burst Global Shutter Stacked CMOS Image Sensor2018
- 著者名/発表者名
  Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  IS&T International Symposium on Electronic Imaging 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 最高撮像速度5000万コマ/秒を有するプロトタイプグローバルシャッタ高速CMOSイメージセンサ2018
- 著者名/発表者名
  鈴木学, 鈴木将, 黒田理人, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Impact of Random Telegraph Noise with Various Time Constants and Number of States in CMOS Image Sensors2017
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Image Sensor Workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 高密度アナログメモリを搭載した超高速グローバルシャッタCMOSイメージセンサ2017
- 著者名/発表者名
  鈴木学, 鈴木将, 黒田理人, 熊谷勇喜, 千葉亮, 三浦規之, 栗山尚也, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- 発表場所
  NHK放送技術研究所（東京都・世田谷区）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 局所的ストレス誘起ゲートリーク電流の統計的分布の解析とSi表面平坦化工程による低減2017
- 著者名/発表者名
  朴賢雨, 黒田理人, 後藤哲也, 諏訪智之, 寺本章伸, 木本大幾, 須川成利
- 学会等名
  電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Impact of SiO2/Si Interface Micro-roughness on SILC Distribution and Dielectric Breakdown: A Comparative Study with Atomically Flattened Devices2017
- 著者名/発表者名
  Hyeonwoo Park, Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  International Reliability Physics Symposium 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 紫外吸光とチャージアンプ回路を用いた高感度・小型リアルタイムガス濃度計2017
- 著者名/発表者名
  石井秀和, 永瀬正明, 池田信一, 志波良信, 白井泰雪, 黒田理人, 須川成利
- 学会等名
  電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Impact of Drain Current to Appearance Probability and Amplitude of Random Telegraph Noise in Low Noise CMOS Image Sensors2017
- 著者名/発表者名
  Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Hyeonwoo Park, Takeru Maeda, Shunichi Wakashima, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Narrow-Bandpass Liquid Crystal Filter for Real-Time Multi Spectral Imaging Systems2017
- 著者名/発表者名
  Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Kazuo Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
- 学会等名
  International Display Workshops
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] リアルタイム分光イメージングシステム用の高速ナローバンドパス液晶フィルタ2017
- 著者名/発表者名
  寺島康平, 石鍋隆宏, 若生一広, 藤原康行, 青柳雄介, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 柴田陽生, 須川成利, 藤掛英夫
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 高精度アレイテスト回路計測技術を用いたソースフォロアトランジスタの動作条件変化によるランダムテレグラフノイズの挙動解析2017
- 著者名/発表者名
  市野真也, 間脇武蔵, 寺本章伸, 黒田理人, 若嶋駿一, 須川成利
- 学会等名
  電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 10Mfps 960 Frames Video Capturing Using a UHS Global Shutter CMOS Image Sensor with High Density Analog Memories2017
- 著者名/発表者名
  Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Yuki Kumagai, Akira Chiba, Noriyuki Miura, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Image Sensor Workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 急峻pn接合Siダイオード技術を用いた高感度・高速性能低加速電圧電子線検出器2017
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 幸田安真, 原昌也, 角田博之, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- 発表場所
  NHK放送技術研究所（東京都・世田谷区）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] SNR 70dB超のCMOSイメージセンサと半値幅10nmのチューナブルマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステム2017
- 著者名/発表者名
  青柳雄介, 藤原康行, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 寺島康平, 石鍋隆宏, 藤掛英夫, 若生一広, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Statistical Analysis of Random Telegraph Noise in Source Follower Transistors with Various Shapes2017
- 著者名/発表者名
  Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Shunichi Wakashima, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Phillipe Gaubert, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Image Sensor Workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Spectral Imaging System with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor and Electrically Tunable 10nm FWHM Multi-Bandpass Filter2017
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Hideo Fujikake, Kazuhiro Wako, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Image Sensor Workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Atomically flat interface for noise reduction in SOI-MOSFETs2017
- 著者名/発表者名
  Gaubert P.、Kircher A.、Park H.、Kuroda R.、Sugawa S.、Goto T.、Suwa T.、Teramoto A.
- 学会等名
  2017 International Conference on Noise and Fluctuations
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Experimental Investigation of Localized Stress Induced Leakage Current Distribution in Gate Dielectrics Using Array Test Circuit2017
- 著者名/発表者名
  Hyeonwoo Park, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 画素SFで発生するランダムテレグラフノイズの統計的解析～トランジスタ形状・時定数・遷移数の影響～2017
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 寺本章伸, 市野真也, 間脇武蔵, 若嶋駿一, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 撮像速度1000万コマ／秒を超える高速度CMOSイメージセンサ技術の進展2017
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 鈴木学, 鈴木将, 須川成利
- 学会等名
  高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Analysis of Random Telegraph Noise Behaviors of nMOS and pMOS toward Back Bias Voltage Changing2017
- 著者名/発表者名
  Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Shinya Ichino, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Spectral Absorption Imaging with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor2017
- 著者名/発表者名
  Maasa Murata, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  電気関係学会東北支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] An Over 1Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with 480 Frame Storage Using Vertical Analog Memory Integration2016
- 著者名/発表者名
  Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Yuki Kumagai, Akira Chiba, Noriyuki Miura, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2016 IEEE International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2016-12-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A High Sensitivity Compact Gas Concentration Sensor using UV Light and Charge Amplifier Circuit2016
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Ishii, Masaaki Nagase, Nobukazu Ikeda,Yoshinobu Shiba, Yasuyuki Shirai, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  IEEE Sensors 2016
- 発表場所
  Orlando, USA
- 年月日
  2016-10-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 190-1100 nm Waveband Multispectral Imaging System using High Light Resistance Wide Dynamic Range CMOS Image Sensor2016
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Fujihara, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  IEEE Sensors 2016
- 発表場所
  Orlando, USA
- 年月日
  2016-10-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] CMOSイメージセンサの高速化・高感度化・広光波長帯域化技術2016
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 須川成利
- 学会等名
  第191回研究集会シリコンテクノロジー分科会ナノ・接合技術研究会「接合技術の新展開」
- 発表場所
  宝塚大学梅田キャンパス（大阪府・大阪市）
- 年月日
  2016-02-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 190-1100 nm waveband multispectral imaging system using high UV-light resistance 94dB dynamic range CMOS image sensor2016
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Fujihara, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
- 発表場所
  東京工業大学田町キャンパス（東京都・港区）
- 年月日
  2016-11-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] On-Chip Optical Filter Technology with Low Extinction Coefficient SiN for Ultraviolet-Visible-Near Infrared Light Waveband Spectral Imaging2016
- 著者名/発表者名
  Yasumasa Koda, Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Loic Julien, Daisuke Sawada, Tetsuya Goto, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2016 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
- 発表場所
  函館国際ホテル（北海道・函館市）
- 年月日
  2016-07-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Low Frequency Noise of Accumulation-Mode n- and p-MOSFETs fabricated on (110) Crystallographic Silicon-Oriented Wafers2016
- 著者名/発表者名
  Philippe Gaubert, Akinobu Teramoto and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県・つくば市）
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Dead-time free global shutter stacked CMOS image sensor with in-pixel LOFIC and ADC using pixel-wise connections2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
- 発表場所
  東京工業大学田町キャンパス（東京都・港区）
- 年月日
  2016-11-17
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A High Sensitivity 20Mfps CMOS Image Sensor with Readout speed of 1Tpixel/sec for Visualization of Ultra-high Speed Phenomena2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  The 31st International Congress on High-speed Imaging and Photonics
- 発表場所
  ホテル阪急エキスポパーク（大阪府・吹田市）
- 年月日
  2016-11-07
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Dynamic Response of Random Telegraph Noise Time Constants toward Bias Voltage Changing2016
- 著者名/発表者名
  T. Mawaki, A. Teramoto, S. Ichino, R. Kuroda, T. Goto, T. Suwa, S. Sugawa
- 学会等名
  平成28年度電気関係学会東北支部連合大会
- 発表場所
  東北工業大学八木山キャンパス（宮城県・仙台市）
- 年月日
  2016-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 画素毎の接続を用いた画素内に横型オーバーフロー蓄積容量およびAD変換器を有する露光時間途切れのないグローバルシャッタ積層型CMOSイメージセンサ2016
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 須郷秀武, 若嶋駿一, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都・港区）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Random Telegraph Noise Measurement and Analysis based on Arrayed Test Circuit toward High S/N CMOS Image Sensors2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  29th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
- 発表場所
  メルパルク横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2016-03-28
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Dead-time Free Global Shutter CMOS Image Sensor with in-pixel LOFIC and ADC using Pixel-wise Connections2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  Symposium on VLSI Circuits 2016報告会
- 発表場所
  神戸大学・梅田インテリジェントラボラトリ（大阪府・大阪市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Dead-time Free Global Shutter CMOS Image Sensor with in-pixel LOFIC and ADC using Pixel-wise Connection2016
- 著者名/発表者名
  Hidetake Sugo, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yuichiro Yamashita, Hirofumi Sumi, Tzu-Jui Wang, Po-Sheng Chou, Ming -Chieh Hsu and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2016 Symposium on VLSI Circuits
- 発表場所
  Honolulu, USA
- 年月日
  2016-06-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 動作電圧変化時の過渡状態におけるランダムテレグラフノイズの挙動に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  間脇武蔵, 寺本章伸, 黒田理人, 市野真也, 後藤哲也, 諏訪智之, 須川成利
- 学会等名
  電子情報通信学会技術研究報告・シリコン材料・デバイス研究会
- 発表場所
  東北大学青葉山キャンパス（宮城県・仙台市）
- 年月日
  2016-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Wide dynamic range LOFIC CMOS image sensors: principle, achievements and extendibility2016
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  International Forum on Detectors for Photon Science
- 発表場所
  富士ビューホテル（山梨県・富士河口湖町）
- 年月日
  2016-02-29
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A 20Mfps Global Shutter CMOS Image Sensor with Improved Sensitivity and Power Consumption2015
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda, Tohru Takeda, Fan Shao, Ken Miyauchi and Yasuhisa Tochigi
- 学会等名
  2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
- 発表場所
  Vaals, Netherlands
- 年月日
  2015-06-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A CMOS Image Sensor with 240μV/e- Conversion Gain, 200ke- Full Well Capacity and 190-1000nm Spectral Response2015
- 著者名/発表者名
  Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
- 発表場所
  Vaals, Netherlands
- 年月日
  2015-06-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] ゲート絶縁膜/Si界面の原子オーダー平坦化によるランダムテレグラフノイズ低減効果2015
- 著者名/発表者名
  黒田理人, 後藤哲也, 赤川直也, 木本大幾, 寺本章伸, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告　情報センシング研究会
- 発表場所
  東京理科大学森戸記念館（東京都・新宿区）
- 年月日
  2015-05-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] 電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ2015
- 著者名/発表者名
  那須野悟史, 若嶋駿一, 楠原史章, 黒田理人, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告　情報センシング研究会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都・港区）
- 年月日
  2015-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Effect of Hydrogen on Silicon Nitrides Formation by Microwave Excited Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2015
- 著者名/発表者名
  Akinobu Teramoto, Yukihisa Nakao, Tomoyuki Suwa, Keiichi Hashimoto, Tsukasa Motoya, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  227th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Chicago, USA
- 年月日
  2015-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Effect of Process Temperature of Al2O3 Atomic Layer Deposition Using Accurate Process Gasses Supply System2015
- 著者名/発表者名
  Hisaya Sugita, Yasukasa Koda, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, Tetsuya Goto, Hidekazu Ishii, Satoru Yamashita, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  227th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Chicago, USA
- 年月日
  2015-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Low Temperature Atomically Flattening of Si Surface of Shallow Trench Isolation Pattern2015
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Naoya Akagawa, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi, Yutaka Kamata, Yuki Kumagai and Katsuhiko Shibusawa
- 学会等名
  227th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Chicago, USA
- 年月日
  2015-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] CMOSイメージセンサの高感度化・高速化・光波長広帯域－IISW2015・VLSI2015東北大学報告より－2015
- 著者名/発表者名
  須川成利
- 学会等名
  次世代画像入力ビジョンシステム部会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都・港区）
- 年月日
  2015-08-07
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] フローティングディフュージョン容量成分の解析・低減技術と高感度・高飽和CMOSイメージセンサへの適用2015
- 著者名/発表者名
  楠原史章, 若嶋駿一, 那須野悟史, 黒田理人, 須川成利
- 学会等名
  映像情報メディア学会技術報告　情報センシング研究会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都・港区）
- 年月日
  2015-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A Linear Response Single Exposure CMOS Image Sensor with 0.5e- Readout Noise and 76ke- Full Well Capacity2015
- 著者名/発表者名
  Shunichi Wakashima, Fumiaki Kusuhara, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2015 SYMPOSIUM ON VLSI CIRCUITS
- 発表場所
  リーガロイヤルホテル京都（京都府・京都市）
- 年月日
  2015-06-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] A 80% QE High Readout Speed 1024 Pixel Linear Photodiode Array for UV-VIS-NIR Spectroscopy2015
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Takahiro Akutsu, Yasumasa Koda, Kenji Takubo, Hideki Tominaga, Ryuuta Hirose, Tomohiro Karasawa and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
- 発表場所
  Vaals, Netherlands
- 年月日
  2015-06-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] UV/VIS/NIR imaging technologies: challenges and opportunities2015
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2015 SPIE Sensing Technology + Applications
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2015-04-20
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Analysis and reduction of leakage current of 2kV monolithic isolator with wide trench spiral isolation structure2015
- 著者名/発表者名
  Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  Extended Abstracts of the 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター（北海道・札幌市）
- 年月日
  2015-09-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Ultra-Low Temperature Flattening Technique of Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma2015
- 著者名/発表者名
  Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Tetsuya Goto, Masaki Hirayama, Shigetoshi Sugawa and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  227th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Chicago, USA
- 年月日
  2015-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] An Ultraviolet Radiation Sensor Using Differential Spectral Response of Silicon Photodiodes2015
- 著者名/発表者名
  Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Yasumasa Koda, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  IEEE Sensors 2015
- 発表場所
  Busan, South Korea
- 年月日
  2015-11-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Analysis and Reduction of Floating Diffusion Capacitance Components of CMOS Image Sensor for Photon-Countable Sensitivity2015
- 著者名/発表者名
  Fumiaki Kusuhara, Shunichi Wakashima, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2015 INTERNATIONAL IMAGE SENSOR WORKSHOP
- 発表場所
  Vaals, Netherlands
- 年月日
  2015-06-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02245
[学会発表] Demonstrating Individual Leakage Path from RTS of SILC2014
- 著者名/発表者名
  A. Teramoto, T. Inatsuka, T. Obara, N. Akagawa, R. Kuroda, S. Sugawa and T. Ohmi
- 学会等名
  2014 IEEE International Reliability Physics Symposium
- 発表場所
  Waikoloa, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Stress induced leakage current generated by hot-hole injection2013
- 著者名/発表者名
  A. Teramoto, H.W. Park, T. Inatsuka, R. Kuroda, S. Sugawa, T. Ohmi
- 学会等名
  18th Conference of “Insulating Films on Semiconductors”
- 発表場所
  Krakow, Poland
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Demonstrating Distribution of SILC Values at Individual Leakage Spots2013
- 著者名/発表者名
  Takuya Inatsuka, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Yuki Kumagai, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  IEEE International Reliability Physics Symposium 2013
- 発表場所
  Monterey, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] High-Speed and Highly Accurate Evaluation of Electrical Characteristics in MOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  Proceedings of International Conference on IC Design and Technology 2013
- 発表場所
  Pavia, Italy
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Impact of Injected Carrier Types to Stress Induced Leakage Current Using Substrate Hot Carrier Injection Stress2013
- 著者名/発表者名
  H. W. Park, A. Teramoto, T. Inatsuka, R. Kuroda, S. Sugawa, and T. Ohmi
- 学会等名
  2013 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices
- 発表場所
  Seoul, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] The Dynamic-Range Enhancement Technology for CMOS Image Sensors2008
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  茨城
- 年月日
  2008-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[学会発表] The Dynamic-R ange Enhancement Technology for CMOS Image Sensors2008
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa et.al.
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  つくば
- 年月日
  2008-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[学会発表] Recent Progress on Wide Dynamic Range CMOS Image Sensors2007
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  The 14th International Display Workshop
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター
- 年月日
  2007-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[学会発表] Recent Progress on Wide Dynamic Range Image Sensors2007
- 著者名/発表者名
  Shigetoshi Sugawa et.al.
- 学会等名
  International Display Workshops
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360151
[学会発表] Analysis of Pixel Gain and Linearity of CMOS Image Sensor using Floating Capacitor Load Readout Operation
- 著者名/発表者名
  S. Wakashima, F. Kusuhara, R. Kuroda, S. Sugawa
- 学会等名
  IS&T/SPIE Electronic Imaging
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2015-02-08 – 2015-02-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Demonstrating Individual Leakage Path from Random Telegraph Signal of Stress Induced Leakage Current
- 著者名/発表者名
  A. Teramoto, T. Inatsuka, T. Obara, N. Akagawa, R. Kuroda, S. Sugawa and T. Ohmi
- 学会等名
  2014 IEEE International Reliability Physics Symposium
- 発表場所
  Waikoloa, USA
- 年月日
  2014-06-03 – 2014-06-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Effect of Composition Ratio on Erbium Silicide Work Function on Different Morphology of Si(100) Surface Changed by Alkaline Etching
- 著者名/発表者名
  Hiroaki Tanaka, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Tsukasa Motoya, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  225th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Orlando, USA
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Wide spectral response and highly robust Si image sensor technology
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2nd Asian Image Sensor and Imaging System Symposium
- 発表場所
  東京工業大学キャンパス・イノベーションセンター（東京都・港区）
- 年月日
  2014-12-01 – 2014-12-02
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] A Novel Analysis of Oxide Breakdown based on Dynamic Observation using Ultra-High Speed Video Capturing Up to 10,000,000 Frames Per Second
- 著者名/発表者名
  Rihito Kuroda, Fan Shao, Daiki Kimoto, Kiichi Furukawa, Hidetake Sugo, Tohru Takeda, Ken Miyauchi, Yasuhisa Tochigi, Akinobu Teramoto and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2014 IEEE International Reliability Physics Symposium
- 発表場所
  Waikoloa, USA
- 年月日
  2014-06-03 – 2014-06-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Analysis of the breakdown voltage of an area surrounded by the multi-trench gaps in a 4kV monolithic isolator for a communication network interface
- 著者名/発表者名
  Yusuke Takeuchi, Rihito Kuroda and Shigetoshi Sugawa
- 学会等名
  2014 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県・つくば市）
- 年月日
  2014-09-08 – 2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Analyzing Correlation between Multiple Traps in RTN Characteristics
- 著者名/発表者名
  Toshiki Obara, Akinobu Teramoto, Akihiro Yonezawa, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  Toshiki Obara, Akinobu Teramoto, Akihiro Yonezawa, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 発表場所
  Waikoloa, USA
- 年月日
  2014-06-03 – 2014-06-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Application of Rotation Magnet Sputtering Technology to a-IGZO Film Depositions
- 著者名/発表者名
  Tetsuya Goto, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  Society for Information Display, SID International Symposium 2014
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2014-06-01 – 2014-06-06
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Flattening Technique of (551) Silicon Surface Using Xe/H2 Plasma
- 著者名/発表者名
  Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  225th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Orlando, USA
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] Atomically Flattening of Si Surface of SOI and Isolation-patterned Wafers
- 著者名/発表者名
  T. Goto, R. Kuroda, N. Akagawa, T. Suwa, A. Teramoto, X. Li, S. Sugawa, T. Ohmi, Y. Kumagai, Y. Kamata, and T. Shibusawa
- 学会等名
  2014 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県・つくば市）
- 年月日
  2014-09-08 – 2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129
[学会発表] High Selectivity in a Dry Etching of Silicon Nitride over Si Using a Novel Hydrofluorocarbon Etch Gas in a Microwave Excited Plasma for FinFET
- 著者名/発表者名
  Yukihisa Nakao, Takatoshi Matsuo, Akinobu Teramoto, Hidetoshi Utsumi, Keiichi Hashimoto, Rihito Kuroda, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa, and Tadahiro Ohmi
- 学会等名
  225th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Orlando, USA
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360129

1. 大見忠弘 (20016463)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 2件
2. 小谷光司 (20250699)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
3. 黒田理人 (40581294)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 77件
4. 平山昌樹 (70250701)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 金山喜則 (10233868)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
6. 高橋英樹 (20197164)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 加藤一幾 (30613517)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 渡部敏裕 (60360939)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 栗原大輔 (90609439)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 後藤哲也

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
11. 諏訪智之

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件

須川 成利 Sugawa Shigetoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

作物の生理障害の機構解明におけるブレークスルーテクノロジーの開発と検証

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

1光子検出の感度および線形・高飽和性能を有するＣＭＯＳ撮像素子の創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原子レベル平坦界面トランジスタのゲート絶縁膜リーク電流の高精度統計的解析研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高感度と広ダイナミックレンジ性能を両立した高性能CMOSイメージセンサ研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高感度高S/N性能を維持した100dB超の広ダイナミックレンジ固体撮像素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

微細化世代に依存しないダメージフリー新規コンタクト/ビア形成技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

瞬時画像処理並列プロセッサ内蔵高感度高精細増幅型固体撮像システムの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フォトレジスト剥離技術研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See, Part III Cameras with CCD/CMOS Sensors, Cameras with on-chip memory CMOS image sensors2017

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[雑誌論文] Effect of drain current on appearance probability and amplitude of random telegraph noise in low-noise CMOS image sensors2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Experimental investigation of localized stress-induced leakage current distribution in gate dielectrics using array test circuit2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

須川成利 Sugawa Shigetoshi

[雑誌論文] [Paper] A CMOS Image Sensor with 240 μV/e<sup>–</sup> Conversion Gain, 200 ke<sup>–</sup> Full Well Capacity, 190-1000 nm Spectral Response and High Robustness to UV light2016