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永野 正光

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80037994
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1988年度: 佐賀大学, 理工学部, 助教授
キーワード
研究代表者以外
ガスセンサ / イオンビーム / 電界の制御 / 電子エネルギー / 反応性プラズマ / ハイブリッドプラズマ
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ハイブリッド放電を用いた反応性プラズマの電子エネルギー・電界の新制御技術の開発

    • 研究代表者
      藤田 寛治
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      佐賀大学
  • 1.  藤田 寛治 (10038086)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  矢倉 信也 (60136596)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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