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菅原 広剛  Sgawara Hirotake

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90241356
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2024年度: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授
2019年度 – 2021年度: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授
2012年度 – 2018年度: 北海道大学, 情報科学研究科, 准教授
2014年度: 北海道大学, 大学院情報科学研究科, 准教授
2007年度 – 2012年度: 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 … もっと見る
2006年度: 北海道大学, 大学院情報科学研究科, 助教授
2004年度 – 2005年度: 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助教授
1998年度 – 2003年度: 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授
1997年度: 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助手
1992年度 – 1996年度: 北海道大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / 電力工学・電気機器工学 / 小区分21010:電力工学関連 / 小区分14010:プラズマ科学関連 / 電力工学・電気機器工学
研究代表者以外
電力工学・電気機器工学 / 電力工学 / 電力工学・電気機器工学 / プラズマ理工学 / マイクロ・ナノデバイス
キーワード
研究代表者
磁化プラズマ / シミュレーション / 誘導結合型プラズマ / 誘導結合磁化プラズマ / 部分共鳴 / モンテカルロ法 / 電子サイクロトロン共鳴 / 電子エネルギー利得 / フィルタ効果 / 磁界制御 … もっと見る / 電子輸送 / 計算機解析 / 窒素 / プラズマCVD / 絶縁耐力 / 衝撃電界 / 非平衡プラズマ / 計算機シミュレーション / 電子加熱 / 高周波駆動 / 指向性電子輸送 / 非対称 / 交流電界応答特性 / 電子エネルギー利得機構 / 電磁界配位 / 指向性 / 非対称性 / 交流電界応答 / 平均電子速度 / 磁気シャッタ / 磁気フィルタ / 電子運動 / 閉じ込め効果 / 分界面 / 対向発散磁界 / 電子空間分布 / NLDプラズマ / モンテカルロシミュレーション / ドライエッチング / プラズマプロセス / NLDプラズマ / 大面積均一処理 / 化学活性種 / 分界線 / 積層 / 電子・電気材料 / 耐熱性 / 薄膜堆積 / 誘電体 / 低誘電率材料 / 波状化 / 絶縁膜 / 低誘電率 / フッ化炭素 / 化学気相堆積法 / プラズマ / 衝突判定 / 電子衝突 / 混合ガス / ラジオ周波数 / 分解 / フルオロカーボン / 6フッ化硫黄 / エネルギー損失 / 電子付着 / 相乗効果 / 混合ガス絶縁 / 絶縁 / 比誘電率 / C_7F_<16> / フルオロカーボン薄膜 / 選択性 / エネルギー効率 / 電子エネルギー分布 / プロパゲータ法 / 電子衝突断面積 / フロン分解 / 定常タウンゼント法 / プロパゲ-タ法 / 衝突断面積 / 放電分解 / コロナ放電 / 窒素酸化物 … もっと見る
研究代表者以外
非平衡プラズマ / per-fluorocarbon / パーフルオロカーボン / 薄膜堆積 / フルオロカーボン / non-equilibrium plasma / 真空紫外光 / LID / 放電分解 / フロン / 電離係数 / ダングリングボンド / シリル / モノシラン / ファインパウダ / a-C:F film / breakdown strength / low dielectric strength / plasma CVD / insulation film / a-C : F膜 / a-C:F膜 / 絶縁耐力 / 低誘電率 / プラズマCVD / 絶縁膜 / enhancement of dielectric strength / Paschen curve / amorphous CF film / electric insulation / 薄膜推積 / 絶縁体力向上 / 絶縁耐力向上 / パッシェン曲線 / アモルファスCF薄膜 / 電気絶縁 / synergy effect / vacuum ultraviolet / nitrogen oxide / inter-layer insulation / film deposition / fluorocarbon / laser spectroscopy / バリア放電 / 大気汚染 / 相乗効果 / 真空紫外線 / 窒素酸化物 / 層間絶縁 / 分光診断 / laser-spectroscopy / modeling / vacuum-ultra-violet-light / lamp / excimer / レーザ分光診断 / モデリング / ランプ / エキシマ / Decomposition by UV / Electron attachment coefficient / Glow discharge / lonization coefficient / Decomposition by discharge / Nitrogen-dioxide / コロナ放電 / 紫外線分解 / 電子付着係数 / グロー放電 / 二酸化窒素 / ナノ表面・界面 / スピンデバイス / ナノ光デバイス / 量子ドット / ナノ構造作製 / Si_3N_4 / SiO_2 / 雷インパルス / 50Hz交流 / 高電圧絶縁 / 地球環境問題 / TEOS / 制御 / rfプラズマ / イオン速度分布 / ベーパーミスト絶縁 / ベ-パ-ミスト絶縁 / 微粉体絶縁 / インパルス破壊電圧 / 交流破壊電圧 / 電気的絶縁破壊 / 膜密度 / スピン密度 / 水素含有量 / 堆積率 / ダイヤモンド構造 / 破壊電圧 / 散布 / ファン / 粒径 / Si_3N_4パウダ / SiO_2パウダ / 絶縁破壊 隠す
  • 研究課題

    (22件)
  • 研究成果

    (246件)
  • 共同研究者

    (15人)
  •  誘導結合磁化プラズマ高周波駆動による部分共鳴電子加熱増強の計算機シミュレーション研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21010:電力工学関連
    • 研究機関
      北海道大学
  •  誘導結合磁化プラズマ中の電磁界配位由来非対称指向性電子輸送と部分共鳴の計算機解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分14010:プラズマ科学関連
    • 研究機関
      北海道大学
  •  磁界分界面がプラズマ中電子に及ぼすエネルギー選択的シャッタ・フィルタ効果の解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  対向発散磁界を印加した誘導結合型プロセスプラズマ中の反応性粒子流の計算機解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  量子ドットスピンレーザー

    • 研究代表者
      村山 明宏
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      北海道大学
  •  気圧高密度磁気中性線環状放電プロセスプラズマのモデリングと動的制御特性解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  ガス導入プラズマ電力シーケンス制御による低誘電率フッ化炭素絶縁膜異種構造積層堆積研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  衝撃電界重畳高周波プラズマによるフッ化炭素プロセス排ガス分解除害効率の計算機解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  電力機器用絶縁気体混合相乗効果の微視的定量的計算機解析研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積C_xF_y膜を用いたSF_6代替絶縁方式の開発

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  高耐力フルオロカーボン絶縁被覆のプラズマプロセスによる形成と損傷修復に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  衝撃電解重畳法によるフロン分解の大体積化および選択的分解反応促進に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  バリア放電/真空紫外光の相乗効果を用いた汚染ガス分解装置開発の基礎研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  地球環境問題を考慮した高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  コロナ放電による窒素酸化物公害ガス分解のシミュレーション研究代表者

    • 研究代表者
      菅原 広剛
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  微粉体誘電体による気体(SF_6、空気)の絶縁耐力上昇機構に関する研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  窒素酸化物のLID濃縮と放電分解に関する基礎研究

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ共鳴磁界域近傍における部分共鳴電子エネルギー利得の解析のための定量評価指標2022

    • 著者名/発表者名
      野原直人、菅原広剛
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A

      巻: 142

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] Elliptic vector loci of average electron velocity of electron swarm in constant-collision-frequency model gas under ac electric and dc magnetic fields crossed at arbitrary angles2022

    • 著者名/発表者名
      Sugawara Hirotake、Nakata Yuya
    • 雑誌名

      The European Physical Journal D

      巻: 76 号: 2

    • DOI

      10.1140/epjd/s10053-022-00346-1

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] A technology demonstration of propagator matrix power method for calculation of electron velocity distribution functions in gas in long-term transient and succeeding equilibrium states under dc electric fields2021

    • 著者名/発表者名
      Sugawara Hirotake、Iwamoto Hikaru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 4 ページ: 046001-046001

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abe8a7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] Elliptic Vector Loci of Average Electron Velocity in Real Gases Under AC Electric and DC Magnetic Fields2021

    • 著者名/発表者名
      Nakata Yuya、Sato Takeshi、Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 49 号: 1 ページ: 83-90

    • DOI

      10.1109/tps.2020.3010315

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] Stochastic electron energy gain under sheath electric field near sidewall of chamber to drive inductively coupled magnetized plasmas2020

    • 著者名/発表者名
      Takahashi Hironori、Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 3 ページ: 036001-036001

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab71d2

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] Phase-resolved profiles of electron energy deposition in inductively coupled radio-frequency plasmas driven under confronting divergent magnetic fields2019

    • 著者名/発表者名
      Nakashima Katsuhiro、Takahashi Hironori、Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: 11 ページ: 116001-116001

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab4481

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] A Computational Scheme of Propagator Method for Moment Equations to Derive Real-Space Electron Transport Coefficients in Gas Under Crossed Electric and Magnetic Fields2019

    • 著者名/発表者名
      Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 47 号: 2 ページ: 1071-1082

    • DOI

      10.1109/tps.2018.2866187

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [雑誌論文] 誘導結合プラズマに印加した対向発散磁界の電子閉じ込め効果の定量化とその制御条件依存性2019

    • 著者名/発表者名
      小澤良輔、菅原広剛
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A

      巻: 139

    • NAID

      130007641376

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [雑誌論文] Derivation of the electron drift velocity vector in gas under crossed ac electric and dc magnetic fields assuming constant-collision-frequency models2019

    • 著者名/発表者名
      Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: 10 ページ: 108002-108002

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3e5d

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [雑誌論文] Efficiency and limitation of periodic sample multiplication to reduce computational load in Monte Carlo simulations of electron swarms in gas under attachment-dominated conditions2018

    • 著者名/発表者名
      Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 3 ページ: 038001-038001

    • DOI

      10.7567/jjap.57.038001

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [雑誌論文] Stochastic electron energy gain in inductively coupled magnetized plasmas accompanying electron reflection at chamber wall2018

    • 著者名/発表者名
      Takahashi Hironori、Nakashima Katsuhiro、Yamamoto Tappei、Sugawara Hirotake
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 12 ページ: 126101-126101

    • DOI

      10.7567/jjap.57.126101

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [雑誌論文] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマのシミュレーションにおける磁気閉じ込め効果評価のための電子脱出判定法について2017

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A

      巻: 137

    • NAID

      130005687890

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [雑誌論文] Fundamental Study on Filter Effect of Confronting Divergent Magnetic Fields Applied to Low-Pressure Inductively Coupled Plasmas2016

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara and So Ogino
    • 雑誌名

      Japan. J. Appl. Phys.

      巻: 55

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [雑誌論文] Effect of Substrate Bias on Production and Transport of Etchant Ions in a Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Asami, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 42 号: 10 ページ: 2540-2541

    • DOI

      10.1109/tps.2014.2337753

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [雑誌論文] Structure and Energy Deposition Process of an Inductively Coupled Plasma under Confronting Divergent Magnetic Fields2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Minami, Y. Asami, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 42 号: 10 ページ: 2550-2551

    • DOI

      10.1109/tps.2014.2343275

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [雑誌論文] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields2013

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 雑誌名

      Japan. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 5R ページ: 056101-056101

    • DOI

      10.7567/jjap.52.056101

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields2013

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 雑誌名

      J. Phys. Soc. Japan.

      巻: 82 号: 6 ページ: 064501-064501

    • DOI

      10.7566/jpsj.82.064501

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields2013

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara
    • 雑誌名

      Japan. J. Appl. Phys

      巻: Vol.52,No.5

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields2013

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara
    • 雑誌名

      J. Phys. Soc.Japan

      巻: Vol.82,No.6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御2012

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
    • 雑誌名

      電気学会論文誌(特集「プロセスプラズマの発生と応用」)

      巻: Vol.132-A,No.4 ページ: 278-283

    • NAID

      10030524201

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] モンテカルロシミュレーションによるNLDプラズマの解析、講座2012

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: Vol.88,No.1 ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T. Osaga, Y. Sakurai and H. Sugawara
    • 雑誌名

      IEEETrans. Plasma Sci

      巻: Vol.39,No.11 ページ: 2546-2547

    • URL

      http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48517

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakurai, T. Osaga and H. Sugawara
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci

      巻: Vol.39,No.11 ページ: 2550-2551

    • URL

      http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field2011

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 20 号: 5 ページ: 055002-055002

    • DOI

      10.1088/0963-0252/20/5/055002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field2011

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, T. Osaga and H. Yamamoto
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci. Technol

      巻: Vol.20,No.5

    • URL

      http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/50049

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field2011

    • 著者名/発表者名
      T. Osaga, H. Sugawara and Y. Sakurai
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci.Technol

      巻: Vol.20,No.6

    • URL

      http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48133

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma2010

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, T. Osaga, H. Tsuboi, K. Kuwahara and S. Ogata
    • 雑誌名

      Japan. J. Appl. Phys

      巻: Vol.49,No.8

    • URL

      http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積 (平成21年電気学会基礎材料・共通部門大会特集)2010

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗, 菅原広剛, 村山明宏
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 Vol. 130-A, No. 4

      ページ: 319-324

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [雑誌論文] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 雑誌名

      Conference Proceedings of 7th International Conference on Reactive Plasmas (ISBN 978-4-86348-101-5)

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2010

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 130-A

      ページ: 319-324

    • NAID

      10026225577

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [雑誌論文] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma2010

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [雑誌論文] モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析2008

    • 著者名/発表者名
      森 直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-38

    • NAID

      10025769404

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-37

    • NAID

      10025769397

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Monte Carlo simulation of promotion of CF4 dissociation reaction by impulse-field electron acceleration method under low pressures2008

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 雑誌名

      Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-37

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Monte Carlo Analysis of the pressure-dependence of periodical response of the electron Energy distribution in radio-frequency CF_4 plasma2008

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
    • 雑誌名

      Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-38

      ページ: 6-6

    • NAID

      10025769404

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-37

    • NAID

      10025769397

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of 28th Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 2P13-34

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Science and Technology/Electrical Discharge, IEEJ PST-07-49/ED-07-129

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池 広恵, 山内 達也, 須田 善行, 酒井 洋輔, 菅原 広剛
    • 雑誌名

      電気学会全国大会講演論文集 07(CD版)

      ページ: 1-221

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-54/ED-07-134

    • NAID

      10019761487

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 衝撃電界電子加速によるCF_4分子、CFxラジカル分解の効率2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ/放電合同研究会資料 PST-07-48/ED-07-128

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] モンテカルロ法による高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析2007

    • 著者名/発表者名
      森 直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-49/ED-07-129

    • NAID

      10019761434

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Timesaving techniques for decision of electron-molecule collisions in Monte Carlo simulation of plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      Journal of Computational Physics 223・1

      ページ: 298-304

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18> Plasma CVD and Measurement of Their Properties2007

    • 著者名/発表者名
      K. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-54/ ED-07-134

      ページ: 6-6

    • NAID

      10019761487

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Efficiency of CF_4 molecule and CFx radical decomposition by impulse-field electron acceleration2007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-48/ED-07-128

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. 18th Int. Symp. on Plasma Chemistry 22P

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of 28th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases 2P

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] フッ化物成膜の環境応用2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 小池広恵, 内山達也, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 雑誌名

      シンポジウム2007「環境制御における最新の低温プラズマ技術とその応用」論文集 07

      ページ: 29-32

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 18th Int. Symp. on Plasma Chem. 27P-67

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceedings of 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials and 1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F 膜堆積-Ar混合の効果-2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会全国大会論文集 (発表予定)(未定)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積-Ar混合の効果-2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会全国大会講演論文集 06(CD版)

      ページ: 1-157

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Equality of the Higher-Order Diffusion Coefficients between Component and Composite Electron Swarms in Gas2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・6A

      ページ: 5189-5196

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] a-C:F films deposition by C_8F_18/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conf. on Electrical Discharge P2-11

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C : F Films Deposition by C8F18/Ar Plasma CVD and their Electrical and Chemical Properties2006

    • 著者名/発表者名
      H.Koike, Y.Sakai, Y.Suda, H.Sugawara, S.Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge 13(CD版)

      ページ: 2-11

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006

    • 著者名/発表者名
      M. -A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 145-149

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその特性2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
    • 雑誌名

      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 06(CD版)

      ページ: 68-68

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006

    • 著者名/発表者名
      M.-A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 145-149

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C:F films deposition by C_8F_<18>/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge P2-11

      ページ: 16-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>/Ar プラズマCVDを用いたa-C : F膜の生成とその電気的特性の評価2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
    • 雑誌名

      放電学会年次大会講演論文集 06(CD版)

      ページ: 61-62

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society Vol.50 (7)

      ページ: 21-21

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y.sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceeding of 2005 IEEE (15^<th>) International Conference on Dielectric Liquids 12(CD版)

      ページ: 421-424

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their chemical and electrical characteristics2005

    • 著者名/発表者名
      S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Tech. l report on Electrical Discharge, IEEJ ED-05-67

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Bulletin of The American Physical Society Vol.50(7)

      ページ: 21-21

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 2005-IEEE (15^<th>) Int. I Conf. on Dielectric Liquids

      ページ: 421-424

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Two-peaked velocity distribution function of electrons in carbon tetrafluoride in crossed electric and magnetic fields2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science 33(2)

      ページ: 548-549

    • NAID

      120000964001

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF4/N2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition",2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, Y.Ishihara, R.Saito, Y.Sasaki
    • 雑誌名

      Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 18

      ページ: 246-247

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasmas and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 decomposition2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceedings of 27th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (Sep/17-22,Veldhoven, the Netherlands) 1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 2005-IEEE (15th) International Conference on Dielectric Liquids

      ページ: 421-424

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      58^<th> Annual Gaseous Electronics Conference, Bulletin of The American Physical Society 50(7)

      ページ: 21-21

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of XXVII Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 18-246

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその科学的、電気的特性2005

    • 著者名/発表者名
      田澤 将太, 酒井 洋輔, 須田 善行, 菅原 広剛
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-05-67

      ページ: 67-72

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその化学的,電気的特性2005

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-05-67

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Electron acceleration under short intense impulse electric fields2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceedings of XVth International Conference on Gas Discharges and their Applications (招待講演) 2

      ページ: 1045-1048

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760216
  • [雑誌論文] a-C:F Film Coated Electrodes For Electrical Insulation2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceedings of the 12th Asian Conference on Electrical Discharge D

      ページ: 404-407

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 対向発散磁界分界面上下領域における誘導結合磁化プラズマ中の周方向電子流の指向性2022

    • 著者名/発表者名
      林秀虎,野原直人,菅原広剛
    • 学会等名
      令和4年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] シース電界を考慮した誘導結合プラズマ中の対向発散磁界共鳴域における電子エネルギー利得解析2022

    • 著者名/発表者名
      岡崎凌大,菅原広剛
    • 学会等名
      令和4年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流磁界下共鳴磁界域における高エネルギー利得電子の挙動解析2021

    • 著者名/発表者名
      野原直人、井越冬弥、菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] RF電界・直流磁界下実ガス中電子ドリフト速度電界応答位相観察2021

    • 著者名/発表者名
      中田裕也、菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] Periodic Response of the Average Electron Velocity Vector of an Electron Swarm in a Constant-Collision-Frequency Model Gas under AC Electric and DC Magnetic Fields Crossed at Arbitrary Angles2021

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara and Y. Nakata
    • 学会等名
      POSMOL 2021 at-present XXII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 共鳴磁界域を拡張した対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子エネルギー利得分布観察2021

    • 著者名/発表者名
      岡崎凌大,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の異なる共鳴磁界域形状における電子エネルギー利得分布観察2021

    • 著者名/発表者名
      岡崎凌大,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 任意交差角RF電界直流磁界下の F2中平均電子速度ベクトル楕円軌跡長軸半径と平均電子エネルギーの相関2021

    • 著者名/発表者名
      中田裕也,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] プロパゲータ行列累乗法による気体中電子速度分布関数の長期緩和過程計算2021

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛、岩本耀
    • 学会等名
      令和3年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界直流対向発散磁界下共鳴磁界域からの電子脱出傾向と電子エネルギー利得の関係2021

    • 著者名/発表者名
      野原直人,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界直流磁界下共鳴磁界域における電子滞在時間と電子エネルギー利得の関係2021

    • 著者名/発表者名
      野原直人,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流対向発散磁界下共鳴磁界域付近における電子流の非対称性2021

    • 著者名/発表者名
      林秀虎,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 任意交差角RF電界直流磁界下のF2中電子平均速度ベクトル周期応答2021

    • 著者名/発表者名
      中田裕也,菅原広剛
    • 学会等名
      令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] RF電界・直流磁界下実ガス中の 電子ドリフト速度ベクトル楕円軌跡の軸傾斜特性2020

    • 著者名/発表者名
      中田裕也、菅原広剛
    • 学会等名
      令和2年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流磁界下共鳴磁界域付近の電子エネルギー利得機構の解析2020

    • 著者名/発表者名
      野原直人、菅原広剛
    • 学会等名
      令和2年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡2020

    • 著者名/発表者名
      中田裕也、佐藤壮、菅原広剛
    • 学会等名
      令和2年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡(2)電子ドリフト速度指向性に対する電子衝突散乱の影響2020

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛、中田裕也
    • 学会等名
      令和2年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍における電子エネルギー利得機構(2)-シース電界形状と磁界印加方向が利得機構に及ぼす影響のモンテカルロ解析-2019

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] Response of Average Electron Velocity Vector under AC Electric and DC Magnetic Fields in a Constant-Collision-Frequency Model2019

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara
    • 学会等名
      72nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] モンテカルロ法によるRF電界DC磁界下電子輸送係数解析-電子サイクロトロン共鳴条件近傍の電子輸送係数の特性-2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤壮、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] Electron energy gain mechanisms near chamber wall in inductively coupled magnetized plasmas2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takahashi and H. Sugawara
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] Quantification of electron confinement effect under confronting divergent magnetic fields considering mutual electron transfer across separatrix2019

    • 著者名/発表者名
      R. Ozawa and H. Sugawara
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] Electron Energy Gain Mechanisms near Chamber Wall in Inductively Coupled Magnetized Plasmas under Different Gas Pressures2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takahashi and H. Sugawara
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流磁界下電子速度分布の時間変化2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤壮、中田裕也、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果の制御条件依存性の解析2019

    • 著者名/発表者名
      小澤良輔、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流磁界下気体中の電子輸送係数解析2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤壮、菅原広剛
    • 学会等名
      平成31年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Vector loci of average electron velocity in gases under ac electric and dc magnetic fields2019

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, T. Sato, Y. Nakata
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果に対するシースの影響の定性的検討2019

    • 著者名/発表者名
      小澤良輔、菅原広剛
    • 学会等名
      平成31年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Evaluation of electron drift velocity vector in gas under RF electric and DC magnetic fields2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sato and H. Sugawara
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得の位相分解モンテカルロ解析2019

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛
    • 学会等名
      平成31年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍シース電界下の電子無衝突加熱機構-電子速度およびrf電界位相依存性に関する粒子モデル解析-2019

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 交流電界・直流磁界下のF2ガス中電子ドリフト速度ベクトルの評価2019

    • 著者名/発表者名
      中田裕也、佐藤壮、菅原広剛
    • 学会等名
      令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K03780
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得機構-器壁における電子反射およびシース電界を考慮したモンテカルロ解析-2018

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Computational Study on Characteristic Mechanisms of Energy Deposition to Electrons in a Low-Pressure Inductively Coupled Magnetized Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara, Katsuhiro Nakashima, Hironori Takahashi
    • 学会等名
      20th Gaseous Electronics Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型RFプラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度のモンテカルロ解析2018

    • 著者名/発表者名
      中島克博、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年電気学会プラズマ・パルスパワー研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度の空間分布解析2018

    • 著者名/発表者名
      中島克博、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍シース電界下電子エネルギー利得機構-利得分布のシース形状依存性に関するモンテカルロ解析-2018

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Configuration of propagator method for calculation of electron velocity distribution function in gas under crossed electric and magnetic fields2018

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      The 19th Asian Conference on Electrical Discharge
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の特徴的なエネルギー利得の領域と要因2018

    • 著者名/発表者名
      中島克博、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中電子閉じ込め効果-電離増倍への影響-2018

    • 著者名/発表者名
      小澤良輔、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Monte Carlo analysis of the asymmetry in azimuthal electron flow in an inductively coupled plasma driven under confronting divergent magnetic fields2018

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara, Katsuhiro Nakashima, Hironori Takahashi
    • 学会等名
      XXIV Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子閉じ込め効果の定量化-磁界強度・分界面位置依存性-2018

    • 著者名/発表者名
      小澤良輔、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 磁化プラズマ容器器壁における電子反射が電子エネルギー利得機構に及ぼす効果2018

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、中島克博、山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Calculation of Real-Space Electron Transport Coefficients under Crossed Electric and Magnetic Fields by a Propagator Method2017

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara
    • 学会等名
      10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 単電子追跡によるX点プラズマ容器側壁上部近傍エネルギー利得機構の解析2017

    • 著者名/発表者名
      高橋宏徳、菅原広剛、中島克博、山本達平
    • 学会等名
      平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Calculation of electron velocity distribution function under crossed electric and magnetic fields using a propagator method2017

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara
    • 学会等名
      XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布(2)-分界面の上下および分界面通過位置により区別した電子の比較-2017

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成29年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学五福キャンパス(富山県・富山市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子エネルギー利得の位相分解解析2017

    • 著者名/発表者名
      中島克博、菅原広剛
    • 学会等名
      平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中共鳴磁界域近傍のエネルギー利得単電子運動解析2017

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] プロパゲータ法による直交電磁界下気体中電子速度分布関数計算2017

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛、松本涼
    • 学会等名
      平成29年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学五福キャンパス(富山県・富山市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子エネルギー高利得3領域の位相分解解析2017

    • 著者名/発表者名
      中島克博、菅原広剛
    • 学会等名
      平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布(3)-分界面近傍の位置により区別した電子エネルギー分布の比較-2017

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 側面励起型X点プラズマ装置におけるイオン輸送特性解析2016

    • 著者名/発表者名
      仲俣涼平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海学園大学山鼻キャンパス(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2016-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Ⅹ点プラズマ中の電子・イオン輸送特性の解析およびバイアス制御特性の検討2016

    • 著者名/発表者名
      仲俣涼平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成28年電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      大阪市立大学杉本キャンパス(大阪府・大阪市)
    • 年月日
      2016-08-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布-分界面通過位置により区別した電子の下部領域におけるサンプリング-2016

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海学園大学山鼻キャンパス(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2016-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] X点プラズマ中イオンの容器底面への効率的誘導のための側壁バイアス印加の効果2016

    • 著者名/発表者名
      仲俣 涼平、菅原 広剛
    • 学会等名
      平成28年電気学会全国大会
    • 発表場所
      東北大学河内キャンパス(仙台市)
    • 年月日
      2016-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子閉じ込め効果定量評価法-衝突事象を加えた評価-2016

    • 著者名/発表者名
      山本達平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      九州工業大学戸畑キャンパス(福岡県・小倉市)
    • 年月日
      2016-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子運動の解析における磁気閉じ込め効果定量評価法2016

    • 著者名/発表者名
      山本 達平、菅原 広剛、荻野 創
    • 学会等名
      平成28年電気学会全国大会
    • 発表場所
      東北大学河内キャンパス(仙台市)
    • 年月日
      2016-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] On judgement of electron transfer between two regions divided by the separatrix of confronting divergent magnetic fields applied to an inductively coupled plasma2016

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara and T. Yamamoto
    • 学会等名
      69th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Ruhr University, Bochum(ドイツ)
    • 年月日
      2016-10-11
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05626
  • [学会発表] Electron behavior under characteristic magnetic fields applied to inductively coupled plasmas for control of charged particle transport2015

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      XVIII Int. Workshop on Low-Energy Positron and Positronium Physics & XIX Int. Symp. on Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 発表場所
      Universidade Nova de Lisboa, Lisboa, ポルトガル
    • 年月日
      2015-07-17
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] Fundamental study on filter effect of confronting divergent magnetic fields applied to a low-pressure inductively coupled plasma2015

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      9th Int. Conf. Reactive Plasmas/ 68th Ann. Gaseous Electronics Conf./ 33rd Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, Hawaii, アメリカ合衆国
    • 年月日
      2015-10-11
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマ駆動用対向発散磁界中の位置依存電子エネルギー分布の解析2015

    • 著者名/発表者名
      荻野 創、菅原 広剛
    • 学会等名
      平成27年電気学会プラズマ・放電・パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス(札幌市)
    • 年月日
      2015-06-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 小型リアクターモデルを用いた対向発散磁界下誘導結合型水素プラズマの解析2015

    • 著者名/発表者名
      菅原 広剛
    • 学会等名
      平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      金沢大学角間キャンパス(金沢市)
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマ駆動用対向発散磁界分界面の電子閉じ込め効果の解析2015

    • 著者名/発表者名
      荻野 創、菅原 広剛
    • 学会等名
      平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北見工業大学(北見市)
    • 年月日
      2015-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマ中の電子運動に及ぼす直流バイアス印加の効果2015

    • 著者名/発表者名
      仲俣 涼平、菅原 広剛
    • 学会等名
      平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北見工業大学(北見市)
    • 年月日
      2015-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 特殊形状磁界下プラズマ中の荷電粒子輸送2014

    • 著者名/発表者名
      菅原 広剛
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会
    • 発表場所
      愛媛大学城北キャンパス(松山市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 誘導結合型磁化プラズマ駆動用不均一磁界下の電子運動2014

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 学会等名
      2014年度放電学会シンポジウム
    • 発表場所
      千葉工業大学津田沼キャンパス(習志野市)
    • 年月日
      2014-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 磁界分界面を通過する拡散電子のエネルギー分布解析2014

    • 著者名/発表者名
      南 雄大、浅見 勇介、菅原 広剛、村山 明宏
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会
    • 発表場所
      愛媛大学城北キャンパス(松山市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXV)-ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果2013

    • 著者名/発表者名
      浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成25年電気学会全国大会
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス
    • 年月日
      2013-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] X点プラズマ発光領域の諸特性解析2013

    • 著者名/発表者名
      南 雄大、浅見 勇介、菅原 広剛、村山 明宏
    • 学会等名
      平成25年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(室蘭市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] Monte Carlo simulation of electron motion in confronting divergent magnetic fields2013

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara and Y. Minami
    • 学会等名
      XXXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada Congress Centre, Granada, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマ中電子空間分布の磁界分界面位置依存性2013

    • 著者名/発表者名
      南 雄大、浅見 勇介、菅原 広剛、村山 明宏
    • 学会等名
      平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      横浜国立大学(横浜市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIV)-エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性2012

    • 著者名/発表者名
      浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2012-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果2012

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成24年電気学会全国大会
    • 発表場所
      広島工業大学五日市キャンパス
    • 年月日
      2012-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields2012

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
    • 発表場所
      Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo (ポルトガル)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIII)-基板バイアス印加時の電位分布への影響2012

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2012-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXII)-4極磁界・交流電界下の電子伝導2012

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛(発表者)
    • 学会等名
      平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      秋田大学手形キャンパス
    • 年月日
      2012-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields2012

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara(発表者)
    • 学会等名
      XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
    • 発表場所
      Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo, Portugal
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] CF4NLDプラズマ構造の気圧依存性2012

    • 著者名/発表者名
      浅見勇介(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会B-9
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2012-01-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXI)-エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性2012

    • 著者名/発表者名
      浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛
    • 学会等名
      平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      秋田大学手形キャンパス
    • 年月日
      2012-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性-2011

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
    • 年月日
      2011-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Monte Carlo simulation of electron transport underquadrupole magnetic field and radio-frequency electric field2011

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara(発表者)
    • 学会等名
      30th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Queen's University Belfast, Belfast, Northern Ireland, UK
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields2011

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      XVI International Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 発表場所
      National University of Ireland Maynooth, Maynooth,アイルランド(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布2011

    • 著者名/発表者名
      山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      はこだて未来大学
    • 年月日
      2011-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性2011

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛(発表者)、山本寛容、大佐賀毅
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • 年月日
      2011-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響2011

    • 著者名/発表者名
      櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • 年月日
      2011-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Monte Carlo simulation of electron transport under quadrupole magnetic field and radio-frequency electric field2011

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Queen's University Belfast, Belfast,北アイルランド,連合王国
    • 年月日
      2011-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与2011

    • 著者名/発表者名
      櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      はこだて未来大学
    • 年月日
      2011-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング2011

    • 著者名/発表者名
      櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields, XVI Int. Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII Int. Symp.2011

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara(発表者)
    • 学会等名
      Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 発表場所
      National University of Ireland Maynooth,Maynooth, Ireland
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマによる大面積均一材料プロセスのための磁界制御2011

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-7
    • 発表場所
      室蘭工業大学
    • 年月日
      2011-01-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF中の電子挙動の解析2011

    • 著者名/発表者名
      山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-6
    • 発表場所
      室蘭工業大学
    • 年月日
      2011-01-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動2011

    • 著者名/発表者名
      山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持2011

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • 年月日
      2011-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析2011

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      はこだて未来大学
    • 年月日
      2011-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価2011

    • 著者名/発表者名
      吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性2010

    • 著者名/発表者名
      櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布2010

    • 著者名/発表者名
      大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送-2010

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 学会等名
      平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara(発表者)
    • 学会等名
      63rd Ann. Gaseous Electronics Conf., 7th Int. Conf. Reactive Plasmas, and 28th Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Maison de la Chimie, Paris, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C:F膜の熱耐性評価及び投入電力の最適条件2010

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年電気学会全国大会
    • 発表場所
      明治大学駿河台キャンパス
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      Hirotake Sugawara
    • 学会等名
      63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      Maison de la Chimie, Paris, France
    • 年月日
      2010-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C : F膜の熱耐性評価及び投入電力の最適条件2010

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗, 菅原広剛 (発表者) 村山明宏
    • 学会等名
      平成22年電気学会全国大会No. 1-195 (vol. 1, p. 221)
    • 発表場所
      明治大学駿河台キャンパス
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性2010

    • 著者名/発表者名
      櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海学園大学
    • 年月日
      2010-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性2010

    • 著者名/発表者名
      大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海学園大学
    • 年月日
      2010-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送2010

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛(発表者)、大佐賀毅、櫻井洋平、村山明宏
    • 学会等名
      平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2009

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      静岡大学浜松キャンパス
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2009

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗 (発表者), 菅原広剛, 村山明宏
    • 学会等名
      平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会No. O-12-II
    • 発表場所
      静岡大学浜松キャンパス
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Plasma power dependence of properties of amorphous fluorocarbon films composed by PECVD using perfluorooctane,2009

    • 著者名/発表者名
      K.Mizuno, H.Sugawara, Y.Sakai, A.Murayama
    • 学会等名
      29th Int.Conf.Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      カンクンコンベンションセンター,カンクン,メキシコ
    • 年月日
      2009-07-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C : F膜の特性評価-低電力堆積膜と高電力堆積膜の比較-2009

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗 (発表者), 菅原広剛, 村山明宏
    • 学会等名
      平成21年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 36
    • 発表場所
      北見工業大学
    • 年月日
      2009-10-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C:F膜の特性評価-低電力堆積膜と高電力堆積膜の比較-2009

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成21年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北見工業大学
    • 年月日
      2009-10-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Plasma power dependence of properties of amorphous fluorocarbon films composed by PECAD using perfluorooctane, Proc2009

    • 著者名/発表者名
      K. Mizuno, H. Sugawara (発表者), Y. Sakai, A. Murayama
    • 学会等名
      29th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases No. PA3-9 (4 pages)
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の波状構造積層堆積2009

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗 (発表者), 山内達也, 菅原広型, 村山明宏
    • 学会等名
      平成21年電気学会全国大会No. 1-195 (vol. 1, p. 240)
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2009-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 封じ切りC_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C : F膜の作成2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也, (発表者), 菅原広剛, 水野巧一朗, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 84
    • 発表場所
      東海大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2008-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No. 2-093)2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No.2-093)2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の作成と堆積機構の検討2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也, (発表者), 菅原広剛, 水野巧一朗, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集No. V2
    • 発表場所
      千葉工業大学
    • 年月日
      2008-08-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の異種構造積層堆積2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗, (発表者), 小池広恵, 山内達也, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会No. 1-208 (vol. 1, p. 253)
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      2008-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Deposition of layered armorphous fluorocarbon films by C8F18 PECVD2008

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, (発表者), K. Mizuno, H. Sugawara
    • 学会等名
      61th Ann. Gaseous Electronics Conf. (Am. Phys. Soc.)
    • 発表場所
      Dallas, Texas, USA Bulletin Am. Phys. Soc.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Formation of Winding surface of amorphous fluorocarbon films composed by perfluorooctane plama-enhanced chemical vapor deposition, Proc2008

    • 著者名/発表者名
      K. Mizuno, H. Sugawara, (発表者), T. Yamauchi, H. Koike, Y. Suda, Y. Saka
    • 学会等名
      XIX Europhysi Conference on Atom-Molecular Phenomena, in Ionized Gases (ISBN2-914771-04-5, Vol. 32-A), No. 1-61 (2 pages)
    • 発表場所
      Granada, Spain(CD-ROM)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2008

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
    • 学会等名
      The 2008 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の異種構造積層堆積と波状膜形成2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗, (発表者), 山内達也, 菅原広剛
    • 学会等名
      平成20年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 85
    • 発表場所
      東海大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2008-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] 封じきりC_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也, 菅原広剛, (発表者), 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会No. 2-093 (vol. 2, p. 111)
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      2008-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Thermal effect on muwlti-layered amorphous fluorocarbon films composed by plasma-enhanced chemical vapor deposition using perfluorooctane, Proc2008

    • 著者名/発表者名
      K. Mizuno, H. Sugawara (発表者), T. Yamauchi, Y. Sakai
    • 学会等名
      14th Asian Conf. on Electrical Discharge, No. A-3, pp. 29-32
    • 発表場所
      Sangkuriang, Bandung, West Jawa, Indonesia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Deposition of hetero-structure layered a-C:F films by C_8F_18 plasma CVD2008

    • 著者名/発表者名
      K. Mizuno, H. Koike, T. Yamauti, H. Sugawarai, Y. Suda, Y. Saka
    • 学会等名
      The 2008 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜生成とその特性の評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
    • 学会等名
      平成19年電気学会プラズマ放電合同研究会、PST-07-54/ED-07-134
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2007-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, (発表者), Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      2007 Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-26 (pp. 335-338)
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology, Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Deposition of a-C:F Films by C_8F_18 Plasma CVD and their Characterization2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauti, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロ法によるCF_4RFプラズマの構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、江口礼良、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Relation between optical emission spectra observed in C_8F_18 plasma CVD and chemical bonding in a-C:F films2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition, Proc2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H, Sugawara, (発表者), Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      28th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases (ISBN978-80-87026-01-4), No. 2P13-34 (4 pages)
    • 発表場所
      Prague, Czech Republic(CD-ROM)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその評価(No.1-221)2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、山内達也、須由善行、酒井洋輔、菅原広剛
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の積層2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
    • 学会等名
      放電学会若手セミナーP-24
    • 発表場所
      登別グランドホテル
    • 年月日
      2007-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Electron acceleration suitable for decomposition of CF_4 molecules and CFx radicals2007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF4 RF plasmas using a fluid model-Response of electric field in the plasma bulk-2007

    • 著者名/発表者名
      N. Eguti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF_4 RF plasmas using Monte Carlo simulation2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, N. Eguti, D. Arakidai, Y. Suda, Y. Saka
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C : F膜の化学結合状態の関連2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 92
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-10-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Modeling of Electron-lon Collisions in Simulation of Radio-Frequency CF4 Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF_4中の衝撃電界電子加速におけるエネルギー効率の電界波形依存性(No.1-070)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、森直樹、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF4分子、CF_xラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 104
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540517
  • [学会発表] 高周波CF_4プラズマシミュレーションにおける電子-イオン衝突のモデリング(No.1-068)2007

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 流体モデルによるCF_4RFプラズマの構造解析-バルクにおける電界の応答特性-(No.98)2007

    • 著者名/発表者名
      江口礼良、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF4分子、CFxラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Dependence of Energy Efficiency on Waveform of Electric Field in Impulse-Field Electron Acceleration in CF_42007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakita, N. Mori, H. Sugawara, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連(No.92)2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>/ArプラズマCVDを用いたa-C:F膜の生成とその電気的特性の評価(No.P-4-2)2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
    • 学会等名
      2006年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工大(東京)
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる四フッ化炭素プラズマ解析(No.P-4-1)2006

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      2006年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工大(東京)
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Muroran, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-2006

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conf. on Plasma Sci. and Tech. and 19th Symp. on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      2006-IEED Japan Annual Meeting
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその特性(No.68)2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
    • 学会等名
      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(室蘭)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-(P-II-B-27)2006

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18>/Ar Plasma CVD and their Properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, H. Sugawara, Y. Suda, S. Tazawa
    • 学会等名
      2006-IEED Japan Annual Meeting
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによるCF_4プラズマ解析(No.62)2006

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(室蘭)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their characteristics2005

    • 著者名/発表者名
      S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその特性(No.67)2005

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
    • 学会等名
      電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の磁界分界面電子通過特性

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 学会等名
      平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道科学大学(札幌市)
    • 年月日
      2014-10-25 – 2014-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマの電離分布に及ぼす蓄積電荷の影響

    • 著者名/発表者名
      南雄大、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成26年電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      大阪府立大学なかもずキャンパス(堺市)
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] 対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析

    • 著者名/発表者名
      菅原広剛
    • 学会等名
      平成27年電気学会全国大会
    • 発表場所
      東京都市大学世田谷キャンパス(東京都)
    • 年月日
      2015-03-24 – 2015-03-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] X点プラズマ駆動用対向発散磁界中の電子加速機構の解析

    • 著者名/発表者名
      荻野創、南雄大、菅原広剛、村山明宏
    • 学会等名
      平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道科学大学(札幌市)
    • 年月日
      2014-10-25 – 2014-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] Monte Carlo simulation of electron diffusion across separatrix between confronting divergent magnetic fields

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, Y. Minami, S. Ogino
    • 学会等名
      XXII Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
    • 発表場所
      Greifswald Town Hall, Greifswald, Germany
    • 年月日
      2014-07-15 – 2014-07-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400528
  • [学会発表] NLDプラズマの解析(XXII)-4極磁界・交流電界下の電子伝導-

    • 著者名/発表者名
      菅原 広剛
    • 学会等名
      平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      秋田大学手形キャンパス(秋田市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540500
  • 1.  酒井 洋輔 (20002199)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 73件
  • 2.  田頭 博昭 (10001174)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  ピーター ヴェンツェック (80261329)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  須田 善行 (70301942)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 81件
  • 5.  下妻 光夫 (70041960)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  五十嵐 龍志
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  横澤 亜由美
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  村山 明宏 (00333906)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  末岡 和久 (60250479)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  田畑 昌祥 (50091476)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  赤澤 正道 (30212400)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  BRATESCU A. Maria (70312379)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  河野 仁志
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  中島 昌俊
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  中神 芳武
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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