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木村 千春  キムラ チハル

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90372630
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2010年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者以外
電子デバイス・電子機器 / 構造・機能材料
キーワード
研究代表者以外
LSI / 窒化ホウ素 / 低誘電率 / 配線 / LowK / メチルBN / BCN / ドライエッチング / LSI配線 / 低誘電率(Low-k) … もっと見る / メチル窒化ホウ素 / テロ対策 / 粉末 / 安全 / 携帯 / 固体燃料 / ギ酸アンモニウム / 固体高分子型 / 燃料電池 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (22件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  メチルBN系低誘電率膜のLSI先端配線への応用

    • 研究代表者
      青木 秀充
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      大阪大学
  •  カルボン酸系固形燃料を用いたマイクロ燃料電池の研究開発

    • 研究代表者
      青木 秀充
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗、原誠、青木秀充、呂志明、木村千春、杉野隆
    • 雑誌名

      電子情報通信学会(電子デバイス研究会) 109(81)

      ページ: 15-20

    • NAID

      110007338322

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] Methyl-BCN膜の湿度による膜質への影響2010

    • 著者名/発表者名
      西崎誠, 原誠, 増住拓郎, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(平塚市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] 酸素プラズマ種によるメチルBCN膜の膜質への影響2010

    • 著者名/発表者名
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 西崎誠, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(平塚市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] Methyl-BCN膜のCMP用薬液による膜質への影響2010

    • 著者名/発表者名
      呂志明, 九鬼知博, 西崎誠, 木村千春, 青木秀充
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗, 原誠, 青木秀充, 呂志明, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      電子情報通信学会 (電子デバイス研究会)2009表面
    • 発表場所
      東京工業大学(目黒区)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] CF4を用いた低温ドライエッチングによるMethyl-BCN膜特性への影響2009

    • 著者名/発表者名
      原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • 発表場所
      大阪大学(吹田市)
    • 年月日
      2009-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] O_2プラズマによるMethyl-BCN膜への影響評価2009

    • 著者名/発表者名
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • 学会等名
      第23回ダイヤモンドシンポジウム(2009)
    • 発表場所
      千葉工業大学(習志野市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009

    • 著者名/発表者名
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • 発表場所
      大阪大学(吹田市)
    • 年月日
      2009-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] 紫外光照射によるMethyl-BCN膜特性への影響評価2009

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • 発表場所
      大阪大学(吹田市)
    • 年月日
      2009-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] UV照射に対するMethyl-BCN膜の特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] 還元水による析出Pt触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2009

    • 著者名/発表者名
      新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [学会発表] 低温ドライエッチングを用いたMethyl-BCN膜の特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009

    • 著者名/発表者名
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] TMABを用いたH含有BCN膜のRFパワー依存性2008

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗 原誠 渡邊大祐 木村千春 青木秀充杉野隆
    • 学会等名
      電気学会関西支部連合大会(2008)
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] BCN膜へのCu電解メッキ液による影響2008

    • 著者名/発表者名
      渡邊大祐, 青木秀充, 原 誠, M. K. マズンデル, 増住拓郎, 大井直樹, 木村千春, 杉野 隆
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] ギ酸アンモニウム燃料を用いた燃料電池特性の評価2008

    • 著者名/発表者名
      大山和俊、新田智弘、木村千春、青木秀充、杉野隆
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [学会発表] TMABで作製したメチル窒化ホウ素膜のRFパワー依存性2008

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗, 原誠, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • 学会等名
      第22回ダイヤモンドシンポジウム(2008)
    • 発表場所
      早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] TMABを用いたMethyl doped BN膜のRFパワー依存性2008

    • 著者名/発表者名
      増住拓朗, 原誠, M. K. マズンデル, 木村千春, 青木秀充, 杉野 隆
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] ギ酸アンモニウム燃料電池を用いた酸化活性の温度依存性2008

    • 著者名/発表者名
      新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [学会発表] Pt-Pd触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2008

    • 著者名/発表者名
      新田智弘, 大山和俊, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [学会発表] 配線プロセスのためのBCN薄膜上への積層メタル層評価2008

    • 著者名/発表者名
      原誠, 増住拓朗, M. K. マズンデル, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野 隆
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [学会発表] Pt-Ir触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の特性評価2007

    • 著者名/発表者名
      大山和俊 木村千春 青木秀充 杉野隆
    • 学会等名
      電気学会関西支部連合大会
    • 発表場所
      神戸大学
    • 年月日
      2007-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • 1.  青木 秀充 (10419468)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 22件
  • 2.  杉野 隆 (90206417)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 21件

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