山田英明 Yamada Hideaki

研究者番号	90443233
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 研究チーム長
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2023年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 研究チーム長 2017年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 2017年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 研究員 2016年度: 産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センターダイヤモンド材料チーム, 主任研究員 2015年度 – 2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 主任研究員 … もっと見る 2013年度 – 2014年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, ユビキタスエネルギー研究部門, 主任研究員 2009年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究員 2007年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究員隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 小区分30010:結晶工学関連研究代表者以外生産工学・加工学 / プラズマ科学
キーワード	研究代表者ダイヤモンド / 結晶成長 / シミュレーション / マイクロ波プラズマ / インチサイズウェハ / 導電性エピ成長 / 熱流体シミュレーション / 不純物ドープ / 熱フィラメントCVD / 超ワイドバンドギャップ半導体材料 … もっと見る / 熱フィラメントＣＶＤ / 単結晶ダイヤモンド / 電子・電気材料 / マイクロストリップライン（ＭＳＬ）型プラズマ / マイクロストリップラインプラズマ / プラズマCVD / ダイヤモンドウェハ / バルク単結晶 / プラズマ … もっと見る研究代表者以外サファイア / スラリーレス / ダイヤモンド / GaN / SiC / ダメージフリー / ワイドギャップ半導体 / 研磨 / 表面改質 / 大気圧プラズマ / プラズマエッチング / プラズマCVD / 反応性ラジカル / 分子動力学 / 光物性 / プラズマ / 膜堆積 / プラズマプロセス / 反応性プラズマ隠す

インチサイズダイヤモンド単結晶ウェハ上の結晶成長メカニズムの解明研究代表者
- 研究代表者
  
  山田英明
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分30010:結晶工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
電子励起高密度ラジカル供給による単結晶ダイヤモンドの高効率エピタキシャル成長法研究代表者
- 研究代表者
  
  山田英明
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
超省エネ型パワーデバイス作製用の大型ダイヤモンド単結晶ウェハ合成フロンティア開拓研究代表者
- 研究代表者
  
  山田英明
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
大気圧プラズマを援用した硬脆ワイドギャップ半導体基板の高能率無歪仕上げ法の開発
- 研究代表者
  
  山村和也
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
プラズマ表面相互作用における光・ラジカル・電子照射素過程とそのシナジー効果の解明
- 研究代表者
  
  浜口智志
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2023 2022 2017 2016 2015 2014 2013 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Study of horizontal and vertical uniformity of B-doped layer on mosaic single crystal diamond wafers by using hot-filament chemical vapor deposition2022
- 著者名/発表者名
  Hideaki Yamada, Takehiro Shimaoka
- 雑誌名
  
  Functional Diamond
  
  巻: 2 ページ: 46-52
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01832
[雑誌論文] The growth of single crystal diamonds using a nonthemal microwave-excited plasma jet2017
- 著者名/発表者名
  金載浩、山田英明、榊田創
- 雑誌名
  
  Proceedings of The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
  
  巻: 1 ページ: 1-2
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14237
[雑誌論文] Factors to control uniformity of single crystal diamond growth by using microwave plasma CVD2016
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、大曲新矢、杢野由明
- 雑誌名
  
  ＤIAMOND AND RELATED MATERIALS
  
  巻: 63 ページ: 17-20
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.09.016
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Dielectric properties of single crystalline diamond wafers with large area at microwave wavelengths2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、Andreas Meier、Francesco Mazzocchi、Sabine Schreck、Theo A. Scherer
- 雑誌名
  
  ＤIAMOND AND RELATED MATERIALS
  
  巻: 58 ページ: 1-4
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.05.004
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Effects of intentionally introduced nitrogen and substrate temperature on growth of diamond bulk single-crystalｓ2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 雑誌名
  
  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSIＣＳ
  
  巻: 55 号: 1S ページ: 01AC07-01AC07
- DOI
  10.7567/jjap.55.01ac07
- NAID
  210000145955
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Unintentional tungsten incorporation in diamond during hot-filament chemical vapor deposition2015
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、Srimongkon Kridsanapan、Vittaya Amornkitbamrung、山田英明、茶谷原昭義、鹿田真一
- 雑誌名
  
  Transactions of the Materials Research Society of Japan
  
  巻: 40 号: 1 ページ: 47-50
- DOI
  10.14723/tmrsj.40.47
- NAID
  130005068870
- ISSN
  1382-3469, 2188-1650
- 言語
  日本語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Effects of crystallographic orientation on the homoepitaxial overgrowth on tiled single crystal diamond clones2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、加藤有香子、鹿田真一
- 雑誌名
  
  DIAMOND AND RELATED MATERIALS
  
  巻: 印刷中ページ: 17-21
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.01.007
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Numerical microwave plasma discharge study for the growth of large single-crystal diamond2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、鹿田真一
- 雑誌名
  
  DIAMOND AND RELATED MATERIALS
  
  巻: 54 ページ: 9-14
- DOI
  10.1016/j.diamond.2014.11.005
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] A 2-in. mosaic wafer made of a single-crystal diamond2014
- 著者名/発表者名
  H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno, Y. Kato and S. Shikata
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 104 号: 10 ページ: 102110-102110
- DOI
  10.1063/1.4868720
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820128, KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  田川智彦, 峠睦, 坂本武司, 鹿田真一, 山田英明, 加藤有香子
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 ページ: 587-591
- NAID
  130004745482
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[雑誌論文] Characterization of free-standing single-crystal diamond prepared by hot-filament chemical vapor deposition2014
- 著者名/発表者名
  S.Ohmagari, H.Yamada, H.Umezawa,A.Chayahara,T.Teraji and S.Shikata
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 48 ページ: 19-23
- DOI
  10.1016/j.diamond.2014.06.001
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036, KAKENHI-PROJECT-25820129
[産業財産権] ダイヤモンドのエッチング方法、ダイヤモンドの結晶欠陥の検出方法、およびダイヤモンド結晶の結晶成長方法2014
- 発明者名
  姚永昭、石川由加里、山田英明、茶谷原昭義
- 権利者名
  姚永昭、石川由加里、山田英明、茶谷原昭義
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2014-259658
- 出願年月日
  2014-12-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[産業財産権] モザイク状ダイヤモンドの製造方法2014
- 発明者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、鹿田真一
- 権利者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、鹿田真一
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2014-096700
- 出願年月日
  2014-05-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[産業財産権] 単結晶ダイヤモンドの製造方法2013
- 発明者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 権利者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2013-205154
- 出願年月日
  2013-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[産業財産権] 単結晶ダイヤモンドの製造方法2013
- 発明者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 権利者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2013-205146
- 出願年月日
  2013-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Plasma and Related Processing for Diamond Wafers2023
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  Grobal Plasma Forum in Aomori
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01832
[学会発表] 単結晶ダイヤモンドの産業応用を目指すウェハ作製技術における現状と課題2023
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  第４２回電子材料シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01832
[学会発表] The growth of single crystal diamonds using a nonthemal microwave-excited plasma jet2017
- 著者名/発表者名
  金載浩、山田英明、榊田創
- 学会等名
  The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14237
[学会発表] 電子励起高密度ラジカル供給によるダイヤモンド成長2017
- 著者名/発表者名
  金載浩、榊田創、板垣宏知、山田英明
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14237
[学会発表] Development of an advanced microwave plasma source and its applications2017
- 著者名/発表者名
  金載浩、榊田創、板垣宏知、山田英明
- 学会等名
  9th International Workshop on Plasma Scientech for All Something (PLASAS-9)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14237
[学会発表] プラズマを援用した砥粒を用いない単結晶ダイヤモンドウエハの高能率研磨2017
- 著者名/発表者名
  江守健, 道上久也, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也
- 学会等名
  日本機械学会関西学生会平成28年度学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  大阪大学吹田キャンパス（大阪府・吹田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] 大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第７報）-プラズマエッチング反応領域の制限によるエッチピット成長の抑制-2016
- 著者名/発表者名
  道上久也, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス（千葉県野田市）
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] Planarization of CVD grown single crystal diamond wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining2016
- 著者名/発表者名
  H. Dojo, K. Endo, H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno, K. Yamamura
- 学会等名
  16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Nottingham, UK
- 年月日
  2016-05-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] 大面積ダイヤモンド基板上への合成におけるAr導入効果2016
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学(東京）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Investigation of determining factor of etching rate of single crystal diamond in plasma chemical vaporization machining2016
- 著者名/発表者名
  H. Dojo, K. Endo, H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno, K. Yamamura
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  アクトシティ浜松（静岡県・浜松市）
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] 大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第8報）－エッチングレートの基板温度依存性の調査－2016
- 著者名/発表者名
  道上久也, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県・水戸市）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] Progress and current status of single crystal diamond wafers for high power electronics2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  The 3rd French Japanese workshop on diamond power devices
- 発表場所
  Nｉmes, FRANCE
- 年月日
  2015-07-07
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] プラズマ援用研磨によるダイヤモンドウエハの研磨における砥石材質と研磨特性の相関2015
- 著者名/発表者名
  道上久也, 田畑雄壮, 鄧輝, 遠藤勝義, 山村和也, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
- 学会等名
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス（京都府京都市左京区）
- 年月日
  2015-06-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] ダイヤモンドウェハ・バルクの作製技術開発2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  第３回放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会
- 発表場所
  金沢大学（石川）
- 年月日
  2015-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] ダイヤモンド単結晶基板の作製とパワーデバイス応用2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  平成２６年度第３回ナノ理工学情報交流会
- 発表場所
  大阪大学
- 年月日
  2015-01-14
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 単結晶ダイヤモンドウェハ作製技術開発2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  先進パワー半導体分科会第２回講演会
- 発表場所
  大阪国際交流センター(大阪）
- 年月日
  2015-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] マイクロ波プラズマジェットの数値制御走査による単結晶 CVD ダイヤモンドウエハの平坦化2015
- 著者名/発表者名
  道上久也, 田畑雄壮, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也
- 学会等名
  日本機械学会関西学生会平成26年度学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  京都大学・桂キャンパス
- 年月日
  2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] プラズマCVDを用いたダイヤモンド単結晶成長における基板温度変化と窒素添加効果2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Single-crystal diamond growth with sub-millisecond-pulsed discharge of microwave plasma2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  CRP-9/GEC-68/SPP-3
- 発表場所
  Honolulu, USA
- 年月日
  2015-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Study of growth mechanism for uniform CVD of single-crystal diamond2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、大曲新矢、杢野由明
- 学会等名
  ＮＤＮＣ2015
- 発表場所
  静岡グランシップ（静岡）
- 年月日
  2015-05-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 次世代型の省エネパワーデバイスを指向した単結晶ダイヤモンドウェハ作製技術【キーノート講演】2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  精密加工学会
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2015-03-19
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 大気圧プラズマをベースとした単結晶CVDダイヤモンドウエハの平坦化・平滑化2015
- 著者名/発表者名
  道上久也, 田畑雄壮, 遠藤勝義, 山村和也, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
- 学会等名
  精密工学会第22回学生会員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  東洋大学・白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] ダイヤモンド合成用のマイクロ波のパルス化による効果2015
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  第32回プラズマ・核融合学会年会
- 発表場所
  名古屋大学（愛知）
- 年月日
  2015-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第 5 報） -XPSとFTIR-ATR法を用いた表面終端構造の解析による平滑化モデルの提唱-2015
- 著者名/発表者名
  田畑雄壮, 道上久也, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学・白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] Effects of inpurity and substrate temperature on diamond growth2015
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  ISPlasma2015/IC-PLANTS2015
- 発表場所
  Nagoya Univ.
- 年月日
  2015-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Planarization and Smoothing of CVD Grown Diamond Wafer by Atmospheric Pressure Plasma Based Process2015
- 著者名/発表者名
  H. Dojo, T. Tabata, K. Endo, H. Yamada, A. Chayayahara, Y. Mokuno, K. Yamamura
- 学会等名
  The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Harbin, China
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] 大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第6報）-ラマン分光法を用いた表面構造の解析によるダイヤモンド除去モデルの提唱-2015
- 著者名/発表者名
  道上久也, 田畑雄壮, 鄧輝, 遠藤勝義, 山村和也, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス（宮城県仙台市青葉区）
- 年月日
  2015-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] Planarization and Smoothing of CVD Grown Diamond Wafer by Atmospheric Pressure Plasma Based Process2015
- 著者名/発表者名
  道上久也、田畑雄壮、遠藤勝義、山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、山村和也
- 学会等名
  ASPEN2015
- 発表場所
  ハルピン,中国
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Processing to fabricate mosaic wafers of single-crystal diamond with 2 inch size2014
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  International Conference on Diamond and Carbon Materials
- 発表場所
  Ｍａｄｒｉｄ，　Ｓｐａｉｎ
- 年月日
  2014-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Current status of techniques to fabricate single-crystal diamond wafers2014
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  15th IUMRS-ICA
- 発表場所
  Fukuoka Univ
- 年月日
  2014-08-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 熱フィラメントCVD法で成長した単結晶ダイヤモンド膜の構造評価2014
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、山田英明、茶谷原昭義、鹿田真一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学(神奈川)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 結晶ダイヤモンドウェハ作製技術開発の現状－合成・加工及び関連技術－2014
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  第2回「表面創成工学の新展開」研究会
- 発表場所
  田沢湖芸術村(秋田県)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 2インチ大の接合型単結晶ダイヤモンドウェハの試作2014
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明、加藤有香子、鹿田真一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学(神奈川)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] マイクロ波プラズマＣＶＤを用いたダイヤモンド単結晶成長速度およびその分布解析2014
- 著者名/発表者名
  山田英明
- 学会等名
  Plasma Conference 2014
- 発表場所
  朱鷺メッセ
- 年月日
  2014-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンドの合成速度の制御2013
- 著者名/発表者名
  山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  第27回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  日本工業大学(埼玉)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] 熱フィラメントCVD法によるホモエピタキシャルダイヤモンド膜合成2013
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、山田英明、茶谷原昭義、鹿田真一
- 学会等名
  第27回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  日本工業大学(埼玉)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] パワーデバイス応用を目指したウェハ・デバイスの開発課題2013
- 著者名/発表者名
  鹿田真一、梅澤仁、加藤有香子、大曲新矢、山田英明、坪内信輝、杢野由明、茶谷原昭義
- 学会等名
  第27回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  日本工業大学(埼玉)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820129
[学会発表] Highly efficient planarization of CVD-grown single-crystal diamond substrate by atmospheric-pressure microwave plasma jet figuring
- 著者名/発表者名
  K. Yamamura, S. Makiyama, T. Tabata, H. Yamada, A. Cyayahara, Y. Mokuno, S. Shikata, K. Endo
- 学会等名
  International Conference on Diamond and Carbon Materials 2014
- 発表場所
  Madrid, Spain
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006
[学会発表] Effect of plasma irradiation in removal rate of single crystal diamond in plasma assisted polishing with quartz glass tool
- 著者名/発表者名
  T. Tabata, K. Monna, Y. Yamamoto, S. Makiyama, H. Deng, K. Endo, H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno, S. Shikata, K. Yamamura
- 学会等名
  The 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  Kanazawa, Japan
- 年月日
  2014-07-23 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249006

1. 鹿田真一 (00415689)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 1件
2. 榊田創 (90357088)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 4件
3. 浜口智志 (60301826)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 吉村智 (40294029)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 北野勝久 (20379118)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 山村和也 (60240074)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
7. 金載浩 (30376595)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
8. 大曲新矢 (40712211)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 嶋岡毅紘 (80650241)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. 加藤有香子

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
11. 梅沢仁

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
12. 茶谷原昭義

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

山田 英明 Yamada Hideaki

研究課題

研究成果

共同研究者

インチサイズダイヤモンド単結晶ウェハ上の結晶成長メカニズムの解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

電子励起高密度ラジカル供給による単結晶ダイヤモンドの高効率エピタキシャル成長法研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超省エネ型パワーデバイス作製用の大型ダイヤモンド単結晶ウェハ合成フロンティア開拓研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

大気圧プラズマを援用した硬脆ワイドギャップ半導体基板の高能率無歪仕上げ法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマ表面相互作用における光・ラジカル・電子照射素過程とそのシナジー効果の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Study of horizontal and vertical uniformity of B-doped layer on mosaic single crystal diamond wafers by using hot-filament chemical vapor deposition2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] The growth of single crystal diamonds using a nonthemal microwave-excited plasma jet2017

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Factors to control uniformity of single crystal diamond growth by using microwave plasma CVD2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Dielectric properties of single crystalline diamond wafers with large area at microwave wavelengths2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Effects of intentionally introduced nitrogen and substrate temperature on growth of diamond bulk single-crystalｓ2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Unintentional tungsten incorporation in diamond during hot-filament chemical vapor deposition2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Effects of crystallographic orientation on the homoepitaxial overgrowth on tiled single crystal diamond clones2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Numerical microwave plasma discharge study for the growth of large single-crystal diamond2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] A 2-in. mosaic wafer made of a single-crystal diamond2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

山田英明 Yamada Hideaki