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松隈 啓  MATSUKUMA HIRAKU

研究者番号 90728370
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-8125-9708
所属 (現在) 2025年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2024年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
2017年度 – 2020年度: 東北大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 光工学・光量子科学
研究代表者以外
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 生産工学・加工学
キーワード
研究代表者
光周波数コム / 角度計測 / レーザー / 光計測 / 形状計測 / 運動計測 / 光演算装置 / 自律校正 / デュアルコム分光 / 半導体レーザ … もっと見る / レーザー分光 / 半導体レーザー / ファイバーレーザー / 光技術 / 中赤外線 … もっと見る
研究代表者以外
加工学 / 生産工学 / 超精密計測 / 加工計測 / 精密位置決め / 絶対計測 / 位置 / 角度 / 自律校正 / トレーサビリティ / 3次元計測 / 光応用計測 / 位置決め / 形状 / 変位 / 光周波数コム / 超短パルスレーザ / 分解能 / 精度 / 精密計測 / フェムト秒レーザ / 角度センサ 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 研究成果

    (164件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  光演算装置による超精密計測の開拓研究代表者

    • 研究代表者
      松隈 啓
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  ループ光学系による10ピコメートル測定への挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      松隈 啓
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2024
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  同時フィルタリングデュアル光コム非線形分光法によるトレーサブルな超精密角度計測研究代表者

    • 研究代表者
      松隈 啓
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  角度時間変換型オートコリメーション法による精密角度計測研究代表者

    • 研究代表者
      松隈 啓
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2020
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  基礎技術開発による中赤外領域短パルスレーザーの発生研究代表者

    • 研究代表者
      松隈 啓
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2018
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      光工学・光量子科学
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] (Book chapter)モード同期レーザを用いた共焦点プローブ-非走査測定と高分解能の両立-2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,清水 裕樹,仲村 拓,松隈 啓,高 偉
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      日本工業出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] 光技術コンタクト(Book chapter) 微細光学表面計測用プローブ顕微鏡技術2019

    • 著者名/発表者名
      松隈 啓,清水裕樹,高 偉
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      一般社団法人日本オプトメカトロニクス協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) Handbook of Manufacturing, "Chapter 10"2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, and Wei Gao
    • 総ページ数
      28
    • 出版者
      World Scientific
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] 高精度走査プローブ顕微鏡技術2018

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 総ページ数
      3
    • 出版者
      先端加工機械技術振興協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Design of an Optical Head with Two Phase-Shifted Interference Signals for Direction Detection of Small Displacement in an Absolute Surface Encoder2024

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Liu Tao、Maehara Satoru、Okimura Ryota、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 2 ページ: 249-256

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0249

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-03-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22KJ0173, KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Enhanced Data-Processing Algorithms for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser2024

    • 著者名/発表者名
      Liu Tao、Matsukuma Hiraku、Suzuki Amane、Sato Ryo、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 24 号: 2 ページ: 370-370

    • DOI

      10.3390/s24020370

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] On-Machine Calibration of Pitch Deviations of a Linear Scale Grating by Using a Differential Angle Sensor2024

    • 著者名/発表者名
      Wu Jiucheng、Hong Yifang、Shin Dong Wook、Sato Ryo、Quan Lue、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 1 ページ: 4-10

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0004

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-01-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Improved Algorithms of Data Processing for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser2023

    • 著者名/発表者名
      Liu Tao、Wu Jiucheng、Suzuki Amane、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 23 号: 10 ページ: 4953-4953

    • DOI

      10.3390/s23104953

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Angle Measurement Based on Second Harmonic Generation Using Artificial Neural Network2023

    • 著者名/発表者名
      Li Kuangyi、Zhang Zhiyang、Lin Jiahui、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 6 号: 1 ページ: 1-15

    • DOI

      10.1007/s41871-023-00206-5

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Improved peak-to-peak method for cavity length measurement of a Fabry-Perot etalon using a mode-locked femtosecond laser2023

    • 著者名/発表者名
      Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Sato Ryo、Manske Eberhard、Gao Wei
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 16 ページ: 25797-25797

    • DOI

      10.1364/oe.493507

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals2023

    • 著者名/発表者名
      Li Kuangyi、Lin Jiahui、Zhang Zhiyang、Sato Ryo、Shimizu Hiroki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 13 号: 2 ページ: 996-996

    • DOI

      10.3390/app13020996

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements2023

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Shimizu Hiroki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 7 ページ: 11982-11982

    • DOI

      10.1364/oe.486421

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] Influence of Surface Tilt Angle on a Chromatic Confocal Probe with a Femtosecond Laser2022

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 12 号: 9 ページ: 4736-4736

    • DOI

      10.3390/app12094736

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] A Second Harmonic Wave Angle Sensor with a Collimated Beam of Femtosecond Laser2022

    • 著者名/発表者名
      Astuti Wijayanti Dwi、Li Kuangyi、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 12 号: 10 ページ: 5211-5211

    • DOI

      10.3390/app12105211

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Self-Calibration of a Large-Scale Variable-Line-Spacing Grating for an Absolute Optical Encoder by Differencing Spatially Shifted Phase Maps from a Fizeau Interferometer2022

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Yin Chenguang、Quan Lue、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Shimizu Yuki、Tamiya Hideaki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 23 ページ: 9348-9348

    • DOI

      10.3390/s22239348

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Theoretical Investigation for Angle Measurement Based on Femtosecond Maker Fringe2022

    • 著者名/発表者名
      Li Kuangyi、Astuti Wijayanti Dwi、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 12 号: 7 ページ: 3702-3702

    • DOI

      10.3390/app12073702

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design and Testing of a Compact Optical Angle Sensor for Pitch Deviation Measurement of a Scale Grating with a Small Angle of Diffraction2022

    • 著者名/発表者名
      Quan Lue、Shimizu Yuki、Sato Ryo、Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Archenti Andreas、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 16 号: 5 ページ: 572-581

    • DOI

      10.20965/ijat.2022.p0572

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2022-09-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Fabry-P?rot angle sensor using a mode-locked femtosecond laser source2022

    • 著者名/発表者名
      Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Sato Ryo、Gao Wei
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 30 号: 26 ページ: 46366-46366

    • DOI

      10.1364/oe.477435

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Reduction of Crosstalk Errors in a Surface Encoder Having a Long Z-Directional Measuring Range2022

    • 著者名/発表者名
      Hong Yifan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Shimizu Hiroki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 23 ページ: 9563-9563

    • DOI

      10.3390/s22239563

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A New Optical Configuration for the Surface Encoder with an Expanded Z-Directional Measuring Range2022

    • 著者名/発表者名
      Hong Yifan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 8 ページ: 3010-3010

    • DOI

      10.3390/s22083010

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Self-calibration of a variable-line-spacing grating for an absolute optical encoder with a Fizeau interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Quan Lue、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 号: 6 ページ: 064005-064005

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abe9de

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement of the apex angle of a small prism by an oblique-incidence mode-locked femtosecond laser autocollimator2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Kanda Yuri、Ma Xu、Ikeda Kakeru、Matsukuma Hiraku、Nagaike Yasunari、Hojo Masaki、Tomita Keita、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 339-349

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.10.013

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An autocollimator with a mid-infrared laser for angular measurement of rough surfaces2021

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Yun Asumi, Masashi Nagaoka, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 89-99

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857
  • [雑誌論文] Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors2021

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Adachi Keisuke、Sugawara Takuma、Shimizu Yuki、Gao Wei、Niwa Eiji、Sasaki Yoshihiro
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 53-66

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00091-2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A new method for evaluation of the pitch deviation of a linear scale grating by an optical angle sensor2021

    • 著者名/発表者名
      Quan Lue、Shimizu Yuki、Xiong Xin、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 1-13

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An Optical Frequency Domain Angle Measurement Method Based on Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      Dwi Astuti Wijayanti、Matsukuma Hiraku、Nakao Masaru、Li Kuangyi、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 21 号: 2 ページ: 670-670

    • DOI

      10.3390/s21020670

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design of the optical sensor head for the evaluation of pitch deviation of a diffraction grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Quan Lue、Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement: Sensors

      巻: 18 ページ: 100135-100135

    • DOI

      10.1016/j.measen.2021.100135

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A technique for measurement of a prism apex angle by optical angle sensors with a reference artefact2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Ma Xu、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 号: 5 ページ: 054007-054007

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abd8a6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A Self-Calibration Stitching Method for Pitch Deviation Evaluation of a Long-Range Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 21 号: 21 ページ: 7412-7412

    • DOI

      10.3390/s21217412

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Ishizuka Ryo、Mano Kazuki、Kanda Yuri、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 36-47

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.007

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement Range Expansion of Chromatic Confocal Probe with Supercontinuum Light Source2021

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Department of Finemechanics, Tohoku University 6-6-01 Aramaki Aza Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 15 号: 4 ページ: 529-536

    • DOI

      10.20965/ijat.2021.p0529

    • NAID

      130008062461

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2021-07-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] An application of the edge reversal method for accurate reconstruction of the three-dimensional profile of a single-point diamond tool obtained by an atomic force microscope2021

    • 著者名/発表者名
      Zhang Kai、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Cai Yindi、Gao Wei
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology

      巻: 117 号: 9-10 ページ: 2883-2893

    • DOI

      10.1007/s00170-021-07879-6

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A Comparison of the Probes with a Cantilever Beam and a Double-Sided Beam in the Tool Edge Profiler for On-Machine Measurement of a Precision Cutting Tool2021

    • 著者名/発表者名
      Wen Bo、Sekine Sho、Osawa Shinichi、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Archenti Andreas、Gao Wei
    • 雑誌名

      Machines

      巻: 9 号: 11 ページ: 271-271

    • DOI

      10.3390/machines9110271

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A new signal processing method for a differential chromatic confocal probe with a modelocked femtosecond laser2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 9 ページ: 094004-094004

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab8905

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Optical Angle Sensor Technology Based on the Optical Frequency Comb Laser2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 11 ページ: 4047-4047

    • DOI

      10.3390/app10114047

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An Off-Axis Differential Method for Improvement of a Femtosecond Laser Differential Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Chen Chong、Shimizu Yuki、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 20 ページ: 7235-7235

    • DOI

      10.3390/app10207235

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A differential strategy for measurement of a static force in a single point diamond cutting by a force‐controlled fast tool servo2020

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Keisuke Tohyama, Haruki Kurita, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 7 ページ: 074014-074014

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab7d6f

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Fabrication of a Two-dimensional Diffraction Grating with Isolated Photoresist Pattern Structures2020

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Masanori Matsunaga, Kai Zhang, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: -

    • NAID

      130007869728

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An insight on optical metrology in manufacturing2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Chen Liang Chia、Kim Dae Wook、Chen Xiuguo、Li Xinghui、Matsukuma Hiraku
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 ページ: 042003-042003

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abc578

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345, KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement Uncertainty Analysis of a Stitching Linear-Scan Method for the Evaluation of Roundness of Small Cylinders2020

    • 著者名/発表者名
      Li Qiaolin、Shimizu Yuki、Saito Toshiki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 14 ページ: 4750-4750

    • DOI

      10.3390/app10144750

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] On-machine profile measurement of a micro cutting edge by using a contact-type compact probe unit2020

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuki Shimizu, Yu Watanabe, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: - ページ: 230-239

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.03.014

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] High-Precision Cutting Edge Radius Measurement of Single Point Diamond Tools Using an Atomic Force Microscope and a Reverse Cutting Edge Artifact2020

    • 著者名/発表者名
      Zhang Kai、Cai Yindi、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 14 ページ: 4799-4799

    • DOI

      10.3390/app10144799

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Profile Measurement by Using a Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)

      巻: -

    • DOI

      10.1115/lemp2020-8626

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Evaluation of the pitch deviation of a linear scale based on a self-calibration method with a Fizeau interferometer2020

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 9 ページ: 094002-094002

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab8b83

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Gao Wei、Matsukuma Hiraku、Szipka Karoly、Archenti Andreas
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 69 号: 1 ページ: 469-472

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2020.03.011

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design and Construction of a Low-Force Stylus Probe for On-machine Tool Cutting Edge Measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Wen Bo、Osawa Shinichi、Sekine Sho、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 3 号: 4 ページ: 282-291

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00084-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Accurate polarization control in nanorthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of two-dimensional scale gratings2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Kai Zhang, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 58-9 号: 09 ページ: 92611-92611

    • DOI

      10.1117/1.oe.58.9.092611

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao, Hiraku Matsukuma, K?roly Szipka, Andreas Archenti
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 69-1

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Hiroki Murakami, Shunsuke Hirota, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 60 ページ: 280-290

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2019.07.022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Analysis of temperature influence on a chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Investigation and Improvement of Thermal Stability of a Chromatic Confocal Probe with a Mode-Locked Femtosecond Laser Source2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato,Yuki Shimizu,Chong Chen,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9-19 号: 19 ページ: 4084-4084

    • DOI

      10.3390/app9194084

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Integration of a Cr-N Thin Film Displacement Sensor into an XY Micro-stage for Closed-loop Nano-Positioning2019

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Adachi, Hiraku Matsukuma, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: In press 号: 3 ページ: 131-139

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00040-8

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A New Optical Angle Measurement Method Based on Second Harmonic Generation with a Mode-Locked Femtosecond Laser2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Shuhei Madokoro, Wijayanti Dwi Astuti, Yuki Shimizu, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 2 号: 4 ページ: 187-198

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00052-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857, KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Reduction in Cross Talk Errors in a Six Degree of Freedom Surface Encoder2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Ryo Ishizuka, Masaya Furuta, Xinghui Li, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 2-2 号: 2 ページ: 111-123

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00039-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A PD-edge method associated with the laser autocollimation for measurement of a focused laser beam diameter2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, Shota Nakagawa, Yuan-Liu Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 7 ページ: 074006-074006

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aac0a6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Uncertainty Evaluation for Measurements of Pitch Deviation and Out-of-Flatness of Planar Scale Gratings by a Fizeau Interferometer in Littrow Configuration2018

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Yuki Shimizu, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9 号: 12 ページ: 2539-2539

    • DOI

      10.3390/app8122539

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Q-switched dual-wavelength pumped 3.5-μm erbium-doped mid-Infrared fiber laser2018

    • 著者名/発表者名
      Nathaniel Bawden, Hiraku Matsukuma, Ori Henderson-Sapir, Elizaveta Klantsataya, Shigeki Tokita, David J. Ottaway
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 10512, Fiber Lasers XV: Technology and Systems

      巻: 10512 ページ: 28-28

    • DOI

      10.1117/12.2288081

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [雑誌論文] Error separation method for precision measurement of the Run-Out of a microdrill bit by using a laser scan micrometer measurement system2018

    • 著者名/発表者名
      Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Journal of Manufacturing and Materials Processing

      巻: 2 号: 1 ページ: 4-4

    • DOI

      10.3390/jmmp2010004

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An ultra-precision tool nanoindentation instrument for replication of single point diamond tool cutting edges2018

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 5 ページ: 054004-054004

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aaa913

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] High quality-factor quartz tuning fork glass probe used in tapping mode atomic force microscopy for surface profile measurement2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yanhao Xu, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 6 ページ: 065014-065014

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aab998

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Actively Q-switched dual-wavelength pumped Er3+:ZBLAN fiber laser at 3.47μm2018

    • 著者名/発表者名
      Bawden Nathaniel、Matsukuma Hiraku、Henderson-Sapir Ori、Klantsataya Elizaveta、Tokita Shigeki、Ottaway David J.
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 43 号: 11 ページ: 2724-2724

    • DOI

      10.1364/ol.43.002724

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01899, KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [雑誌論文] Laser autocollimation based on an optical frequency comb for absolute angular position measurement2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Jun Tamada, Kazuki Nakamura, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, and WeiGao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 54 ページ: 284-293

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2018.06.005

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A stitching linear-scan method for roundness measurement of small cylinders2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Machida, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 67(1) 号: 1 ページ: 535-538

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2018.04.009

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A Method for Expansion of Z-Directional Measurement Range in a Mode-Locked Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2018

    • 著者名/発表者名
      Chong Chen, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Taku Nakamura, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9 号: 3 ページ: 454-454

    • DOI

      10.3390/app9030454

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] The effects of microstructure on propagation of laser-driven radiative heat waves in under-dense high-Z plasma2018

    • 著者名/発表者名
      J. D. Colvin, H. Matsukuma, K. C. Brown, J. F. Davis, G. E. Kemp, K. Koga, N. Tanaka, A. Yogo, Z. Zhang, H. Nishimura, and K. B. Fournier
    • 雑誌名

      Physics of Plasmas

      巻: 25 号: 3 ページ: 032702-032702

    • DOI

      10.1063/1.5012523

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [雑誌論文] A chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser source2018

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Taku Nakamura, Yuki Shimizu, Chong Chen, Yuan-Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics and Laser Technology

      巻: 103 ページ: 359-366

    • DOI

      10.1016/j.optlastec.2018.01.051

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An optical angle sensor based on chromatic dispersion with a mode-locked laser source2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Shuhei MADOKORO, Hiraku MATSUKUMA and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 12 号: 5 ページ: JAMDSM0096-JAMDSM0096

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2018jamdsm0096

    • NAID

      130007498573

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A Liquid-Surface-Based Three-Axis Inclination Sensor for Measurement of Stage Tilt Motions2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Satoshi Kataoka, Tatsuya Ishikawa, Yuan-Liu Chen, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 18 号: 2 ページ: 398-398

    • DOI

      10.3390/s18020398

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Evaluation of the grating period based on laser diffraction by using a mode-locked femtosecond laser beam2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Kentaro UEHARA, Hiraku MATSUKUMA and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 12 号: 5 ページ: JAMDSM0097-JAMDSM0097

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2018jamdsm0097

    • NAID

      130007499852

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Plane-by-plane femtosecond laser inscription of first-order fiber Bragg gratings in fluoride glass fiber for in situ monitoring of lasing evolution2018

    • 著者名/発表者名
      Goya Kenji、Matsukuma Hiraku、Uehara Hiyori、Hattori Satoshi、Sch?fer Christian、Konishi Daisuke、Murakami Masanao、Tokita Shigeki
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 26 号: 25 ページ: 33305-33305

    • DOI

      10.1364/oe.26.033305

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01899, KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [産業財産権] 特許出願2021

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,洪一帆
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,洪一帆
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [産業財産権] 回折格子ピッチ偏差測定装置2020

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,権略,木村彰秀,青木敏彦
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,権略,木村彰秀,青木敏彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-036006
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [産業財産権] 絶対位置測定装置および絶対位置測定方法2019

    • 発明者名
      清水 裕樹,高 偉,松隈 啓,石塚 稜
    • 権利者名
      清水 裕樹,高 偉,松隈 啓,石塚 稜
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-057305
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Investigation of angle measurement based on confocal probe employing second harmonic generation2023

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimiz, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Absolute distance measurement based on Radio-frequency Interferometer using the method of Excess Fraction2023

    • 著者名/発表者名
      Tao Liu, Jiucheng Wu, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] The application of neural network for angle measurement based on second harmonic generation2023

    • 著者名/発表者名
      Zhiyang Zhang, Kuangyi Li, Jiahui Lin, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Theoretical analysis on gauge block length measurement by a modulated synthetic wavelength method2023

    • 著者名/発表者名
      Tao Liu, Jiucheng Wu, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      15th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] デュアルコム分光オートコリメーション による精密角度変位計測2023

    • 著者名/発表者名
      松隈 啓,池田 翔,佐藤 遼,高 偉
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01222
  • [学会発表] A Surface Encoder with an Improved Z-range and Reduced Crosstalk Errors2023

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      15th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] The theoretical investigation of angle measurement based on the third harmonic generation(THG) using focused beam2022

    • 著者名/発表者名
      Li Kuangyi,Lin Jiahui,Ryo Sato,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] An angle sensor based on second harmonic generation with a collimated femtosecond laser beam2022

    • 著者名/発表者名
      Jiahui Lin,Kuangyi Li,Ryo Sato,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] フィゾー型2軸サーフェスエンコーダに関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      洪 一帆,清水 裕樹,松隈 啓,松岡 良太,高 偉
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Theoretical analysis on gauge block length measurement by a modulated synthetic wavelength method2022

    • 著者名/発表者名
      Tao Liu, Jiucheng Wu, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Feasibility study of precise angle measurements with a dual-differentical confocal probe2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao, Andreas Fischer
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究 -測定対象物チルト角が極小点追跡法へ与える影響の調査-2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤遼,松隈啓,高偉
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Simulation analysis on gauge block length calibration by the method of Excess Fraction2022

    • 著者名/発表者名
      LiuTao,Jiucheng Wu,Ryo Sato,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design and testing of a Fizeau-type two-axis surface encoder2022

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Eberhard Manske, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Theoretical investigation of angle measurement based on third-harmonic generation (THG) with a femtosecond laser2022

    • 著者名/発表者名
      Kuangyi Li, Jiahui Lin, Wijayanti Dwi Astuti, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いたキャビティ間隔の検出方法2022

    • 著者名/発表者名
      辛東昱,松隈啓,高偉
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Development of a wide-range differential angle sensor for calibration of image-scanning linear scale2022

    • 著者名/発表者名
      Jiucheng Wu, Lue Quan, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Self-calibration for variable line spacing gratings by a lateral distance with Fizeau interferometer2022

    • 著者名/発表者名
      Chenguang Yin, Wei Gao, Xin Xiong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 第二次高調波共焦点プローブに関する研究 ー角度計測に関する検討ー2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,清水 裕樹,清水 浩貴,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Uncertainty analysis of ultra-precision grating pitch calibration by using optical frequency comb2022

    • 著者名/発表者名
      Dong Wook Shin, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 短ピッチ格子を用いた平面ステージ計測用小型サーフェスエンコーダの設計2021

    • 著者名/発表者名
      洪 一帆,清水 裕樹,松隈 啓,松岡 良太,高 偉
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会論文集(C14) 2021/9/1
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Measurement of the angle of a small prism by a mode-locked femtosecond laser autocollimator2021

    • 著者名/発表者名
      Kakeru Ikeda, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザを利用した回折格子の校正方法2021

    • 著者名/発表者名
      Shin Dong Wook,Quan Lue,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉,Manske Eberhard
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会論文集 2021/9/1
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究-極小点追跡法を用いた合焦波長検出に関する検討-2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(講演番号 H31) 2021/9/21-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Calibration of grating periods based on laser diffraction method using optical frequency comb2021

    • 著者名/発表者名
      Dong Wook Shin, Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao and Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Fabrication of a variable-line-spacing grating based on the non-othogonal Lloyd's interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Shusaku Endo, Kai Zhang, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Angular Measurement Method Utilizing Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      Wijayanti Dwi Astuti, Hiraku Matsukuma, Li Kuangyi, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of a small-sized surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement2021

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Ryota Matsuoka, Wei Gao, Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 3D profile measurement of a diamond tool without the effect of AFM probe tip radius2021

    • 著者名/発表者名
      Kai ZHANG, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Investigation of Measurement Range of a Differential Chromatic Confocal Probe employing a Mode-Locked Femtosecond Laser2021

    • 著者名/発表者名
      Ryo SATO, Hiraku MATSUKUMA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO, Andreas FISCHER
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] マイクロ光学素子の角度計測に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      池田 翔,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A05) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] マイクロ光学素子の角度計測に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      池田 翔,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01222
  • [学会発表] Evaluation of pitch deviation of a scale linear grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Lue Quan, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao, Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 非直交型ロイドミラー干渉計によるVLS格子の製作に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      遠藤 秀作,村上 裕記,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A06) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた絶対位置計測に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      前原 智,佐藤 遼,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A03) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of the optical sensor head for the evaluation of pitch deviation of a diffraction grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Lue Quan, Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      XXIII IMEKO World Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Measurement of the angle of a small prism by a mode-locked femtosecond laser autocollimator2021

    • 著者名/発表者名
      Kakeru Ikeda, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01222
  • [学会発表] Development of a probe type profiler for measurement of a micro cutting edge2021

    • 著者名/発表者名
      Wen Bo, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Andreas Archenti, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Fabrication of a two-dimensional diffraction grating with reduction of the effect of thermal expansion2021

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Masanori Matsunaga, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] An absolute surface encoder with a femtosecond laser and a planar scale grating of variable periods2021

    • 著者名/発表者名
      Satoru Maehara, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] ロイドミラー干渉計による微細格子製作に関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      村上裕記, 張凱, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of a small-sized surface encoder for stage motion measurement2020

    • 著者名/発表者名
      洪一帆, 清水裕樹, 松隈啓, 松岡良太, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 光周波数コムによる精密角度計測2020

    • 著者名/発表者名
      松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      一般社団法人レーザー学会学術講演会 第40回年次大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857
  • [学会発表] Profile Measurement by Using a Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The International Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao, Hiraku Matsukuma, Karoly Szipka, Andreas Archenti
    • 学会等名
      CIRP Video paper sessions 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method2020

    • 著者名/発表者名
      李橋林, 齋藤俊樹, 町田裕貴, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Development of an optical angle sensor unit for the evaluation of pitch deviations2020

    • 著者名/発表者名
      権略,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Three-dimensional profile measurement of a single point diamond tool without the influence of the tip radius of an AFM probe2020

    • 著者名/発表者名
      Kai Zhang, Yindi Cai, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] An optical angle sensor based on second harmonic generation of a mode-locked laser2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Shuhei Madokoro, Masaru Nakao, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      OPTICS & PHOTONICS International Congress 2019 (Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM2019))
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857
  • [学会発表] 精密測定のためのファイバ型光周波数コムの開発2019

    • 著者名/発表者名
      神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 稲場肇,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Study on the stitching techinque for fast evaluation of the linear scale using a Fizeau interferometer2019

    • 著者名/発表者名
      熊昕, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method2019

    • 著者名/発表者名
      李橋林,齋藤俊樹,町田裕貴,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2019)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 光周波数コムを用いた角度センサの研究2019

    • 著者名/発表者名
      中村一貴,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 非直交型2 軸ロイドミラー干渉計の高精度化に関する研究 -ビームシェイパによるコリメート光強度分布の平坦化-2019

    • 著者名/発表者名
      村上裕記,石塚稜,松永 雅教,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡における光軸変位計測高安定化に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤遼,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Experimental research on measurement range of a chromatic pinhole illumination confocal probe by utilizing side-lobes of axial response2019

    • 著者名/発表者名
      陳衝,松隈啓,佐藤遼,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 切削力制御加工のための高安定な切削力検出に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      栗田悠生,文博,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Design and verification of a measurement system for a micro tool cutting edge with a low measuring force2019

    • 著者名/発表者名
      Bo WEN,Yu WATANABE,Hiraku MATSUKUMA,Yuki SHIMIZU,Wei GAO
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] On-machine Surface Metrology by a Force-Sensor Integrated Fast Tool Servo2019

    • 著者名/発表者名
      文博,余建平,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation of the lateral resolution of a chromatic confocal microscopy with a mode-locked femtosecond laser source2019

    • 著者名/発表者名
      Chong CHEN,Ryo SATO,Hiraku MATSUKUMA,Yuki SHIMIZU,Wei GAO
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Analysis of temperature influence on a chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Design and Testing a High-Resolution Six-Degree-of-Freedom Surface Encoder2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Ryo Ishizuka, Masaya Furuta, Xinghui Li, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 14th Internartional Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857
  • [学会発表] A nano-indentation system for precision measurement of a single point diamond tool2019

    • 著者名/発表者名
      張凱,XuMalu,CaiYindi,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2019)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 光周波数コムを用いた絶対変位測定に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      廣田駿介,安達圭祐,石塚稜,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発2019

    • 著者名/発表者名
      松永雅教,真野和樹,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      松隈啓,間所周平,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857
  • [学会発表] Fast evaluation of variable line spacing gratings by using a Fizeau Interferometer2018

    • 著者名/発表者名
      Xin XIONG, Xiuguo CHEN, Yuki SHIMIZU, Hiraku MATSUKUMA, and Wei GAO
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An Ultra-Sensitive Optical Angle Sensor for Pitch Deviations Measurement of Diffraction Gratings2018

    • 著者名/発表者名
      Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Development of a fiber-laser-based frequency comb for precision dimensional metrology2018

    • 著者名/発表者名
      Yuri KANDA, Hiraku MATSUKUMA, Shaoqing YANG, Yuki SHIMIZU, Hajime INABA, and Wei GAO
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡の温度安定性に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,松隈 啓,陳 衝,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Crosstalk error analysis of a multi-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage2018

    • 著者名/発表者名
      Ryo Ishizuka, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Fast evaluation of a linear scale by using a Fizeau interferometer and stitching technique2018

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An optical frequency comb operating in the mid-infrared region for wide-range and high-precision optical sensor2018

    • 著者名/発表者名
      Yun Asumi, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A differential compensation strategy based piezoelectric force sensor system for force controlled ultra-precision diamond cutting2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Nanomanufacturing, nanoMan20188
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 力センサを組み込んだ高速工具サーボによる切削力制御加工2018

    • 著者名/発表者名
      栗田 悠生,松隈 啓,遠山 佳祐,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 広帯域光周波数コムのための中赤外超短パルスレーザの開発2018

    • 著者名/発表者名
      阿隅 結夢,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A new method to evaluate pitch deviations of diffraction gratings by using optical angle sensor2018

    • 著者名/発表者名
      権 略,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation of a femtosecond laser chromatic confocal probe with fiber illumination and pinhole illumination2018

    • 著者名/発表者名
      CHONG CHEN, Xiuguo CHEN, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 平面ステージ精密制御用多軸サーフェスエンコーダの高精度化に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      石塚 稜,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation on measurement range of a femtosecond laser chromatic confocal probe by utilizing side-lobe of axial response2018

    • 著者名/発表者名
      Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Mid-infrared ultrashort pulse laser for precision metrology2018

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Yoshiaki Kakimoto, Shigeki Tokita, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      6th International Conference on Nanomanufacturing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [学会発表] 微細光学素子形状測定のための走査型プローブ顕微鏡に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      長岡 将史,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An optical frequency comb operating in the mid-infrared region for wide-range and high-precision optical sensor2018

    • 著者名/発表者名
      Yun Asumi, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE 2018 International conference on advanced manufacturing (ICAM2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14124
  • [学会発表] 2軸ロイドミラー干渉計による回折格子製作に関する研究―コリメート光強度分布の評価―2017

    • 著者名/発表者名
      真野 和樹,相原 涼,李 星輝,清水 裕樹,陳 遠流,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] On-machine Measurement of Workpiece Inclination for Double-face Turning2017

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 回折格子の校正に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      上原 健太郎,陳 遠流,清水 裕樹,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 平面ステージ精密制御用多自由度光センサのクロストーク誤差低減に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      石塚 稜,古田 雅也,清水 裕樹,陳 遠流,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] エッジ反転法によるダイヤモンド工具刃先丸み半径の精密測定に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      徐 馬禄,陳 遠流,蔡 引※(※は女偏に弟),清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Measurement of Workpiece Inclination by Using FS-FTS on a Diamond Turning Machine2017

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 小型円筒ワークの精密表面形状測定に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      齋藤 俊樹,町田 祐貴,清水 裕樹,陳 遠流,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 超精密角度センサに関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      間所 周平,陳 遠流,清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • 1.  高 偉 (70270816)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 139件
  • 2.  清水 裕樹 (70606384)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  陳 遠流 (90794058)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 4.  伊東 聡 (00624818)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 5.  清水 祐樹
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 122件
  • 6.  時田 茂樹
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

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