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HIRAYAMA Masaki
平山 昌樹
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Researcher Number
70250701
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Affiliation (based on the past Project Information)
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2010 – 2014: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授
2002 – 2005: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教授
2002: 東北大学, 未来化学技術共同研究センター, 客員助教授
1998 – 2001: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
Review Section/Research Field
Principal Investigator
電子デバイス・機器工学
/
Electron device/Electronic equipment
/
Electronic materials/Electric materials
/
複合化集積システム
Except Principal Investigator
Electronic materials/Electric materials
/
Science and Engineering
/
Engineering
/
電子デバイス・機器工学
Keywords
Principal Investigator
マイクロ波プラズマ / シリコン窒化膜 / プラズマ / マイクロ波 / 強誘電体 / ラジアルラインスロットアンテナ / microwave plasma / STNO / フェーズドアレイアンテナ / 誘電体アンテナ
…
More
/ 金属基板 / PDA / バランスドCMOS / 高誘電率薄膜 / BST / 低消費電力携帯端末 / フェーズドアレーアンテナ / プリント配線基盤 / マイクロ波励起高密度プラズマ / プラズマCVD / 有機EL / 保護膜 / 高密度プラズマ / プラズマ酸化 / バッファ層 / 低温プラズマ酸化 / Kr / O_2 / 低誘電率層間絶縁膜 / 高誘電率膜 / 半導体 / プロセス / high-density plasma / ferroelectric / plasma oxidation / buffer layer / silicon nitride film / 強誘電体膜 / 不揮発性メモリ / 直接窒化 / 直接酸化 / ゲート絶縁膜 / LSI / 有機金属ガス / バリア膜 / 酸素ラジカル / パリア膜 / high-k film / non volatile memory / silicon nitride / direct nitridation / direct oxidation / radial line slot antenna
…
More
Except Principal Investigator
LSI / SOI / プラズマプロセス / 気体分離配線 / 陽極化成 / CVD / BED / 1 / シリコン / MOSFET / 半導体製造プロセス / 半導体製造装置 / MOSトランジスタ / シリコン表面平坦化 / 面方位 / ラフネス / シリサイド / 3次元構造 / 金属基板SOI / ウルトラクリーンプロセス / Xeプラズマ / シリサイド反応 / 多孔質シリコン / エピタキシャル / gas isolated interconnect / metal gate / high-permittivity gate insulator / metal-substrate SOI / ベクトル量子化 / コードブック空間情報処理 / 画像圧縮 / 顔画像認識 / 実時間処理 / LSI設計 / 高速情報処理 / SS-CDMAフレキシブルワイヤレスネットワーク / システムオンチップ / 高精度トランジスタモデリング / 高精細静止画像圧縮 / フレキシブルワイヤレスネットワーク / 近似同期CDMA方式 / パケットSS-CDMA方式 / 顔認識 / 話者認識 / チャネル多重 / Vector Quantization / Codebook Spectrum / Image Compression / Face Recognition / Real-Time Processing / LSI Design / Ta メタルゲート / 相互コンダクタンス / FD-SOI MOSFET / 界面 / トラップ準位 / 低周波ノイズ / BPSG / 無水HF / 銅配線 / 金属基板 / Ta metal gate / gas-isolated-interconnects / mutual conductance / interface / trap level / low frequency noise / 小規模生産ライン / 段階投資 / マイクロ波プラズマ / ガス供給システム / バックポンプ / RLSA / シャワープレート / クラスターツール / 半導体生産 / エッチング / profitable mini-line / step-by-step investment / microwave plasma / plasma process / gas distribution system / back pump / Si(110)面 / Si_3N_4ゲート絶縁膜 / Balanced-CMOS集積回路 / fノイズ / 室温5工程洗浄 / システムLSI / チャネル移動度 / マイクロ波励起高密度プラズマ / Si(110) / CMOS / Si(110)surface / Si_3N_4 gate insulator / Balanced-CMOS / f noise / Room Temperature 5 step Cleaning / System LSI / Channel mobility / Microwave-excited high-density plasma
Less
Research Projects
(
10
results)
Co-Researchers
(
8
People)
Project Start Year (Newest)
Project Start Year (Oldest)
Study on fabrication process of 3-D structured MOS transistor having atomically flat gate insulator/Si interface
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
2010 – 2014
Research Category
Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
Review Section
Science and Engineering
Engineering
Research Institution
Tohoku University
仕事関数制御透明電極を用いたトップエミッション超高寿命高効率有機ELディスプレイ
Principal Investigator
Principal Investigator
平山 昌樹
Project Period (FY)
2004 – 2005
Research Category
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Research Field
Electron device/Electronic equipment
Research Institution
Tohoku University
フェーズドアレーアンテナと金属基板マイクロ波デバイスを用いた超低消費電力携帯端末
Principal Investigator
Principal Investigator
平山 昌樹
Project Period (FY)
2002 – 2003
Research Category
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Research Field
電子デバイス・機器工学
Research Institution
Tohoku University
Ultra-High-Speed and High-Precision Integration Circuit Using Si(110) Surface Metal Substrate SOI Balanced-CMOS
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
2002 – 2003
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Field
電子デバイス・機器工学
Research Institution
TOHOKU UNIVERSITY
Ultra-High-Speed Real-Time Processing Circuit and Algorithm
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
2000 – 2002
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Review Section
Science and Engineering
Research Institution
TOHOKU UNIVERSITY
Development of ultra-high-speed LSI with gas-isolated-interconnects and Ta metal gate transistors on SOI substrate
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
2000 – 2001
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Field
Electronic materials/Electric materials
Research Institution
Tohoku University
Plasma process technology controlling dissociation of process gas for realizing step-by-step investment semiconductor manufacturing
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
2000 – 2001
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Field
Electronic materials/Electric materials
Research Institution
Tohoku University
Study for low-temperature formation of high-quality STNO high-k films for non-volatile memories
Principal Investigator
Principal Investigator
HIRAYAMA Masaki
Project Period (FY)
2000 – 2001
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Research Field
複合化集積システム
Research Institution
Tohoku University
Metal-substrate SOI integrated circuits technologies for 10GHz clock operation
Principal Investigator
OHMI Tadahiro
Project Period (FY)
1998 – 1999
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Field
Electronic materials/Electric materials
Research Institution
TOHOKU UNIVERSITY
Research of low-k/high-k dielectric films growth utilizing microwave exited plasma
Principal Investigator
Principal Investigator
HIRAYAMA Masaki
Project Period (FY)
1998 – 1999
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Research Field
Electronic materials/Electric materials
Research Institution
TOHOKU UNIVERSITY
# of Projects (Dsc)
# of Projects (Asc)
1.
OHMI Tadahiro
(20016463)
# of Collaborated Projects:
8 results
# of Collaborated Products:
0 results
2.
KOTANI Koji
(20250699)
# of Collaborated Projects:
3 results
# of Collaborated Products:
0 results
3.
SUGAWA Shigetoshi
(70321974)
# of Collaborated Projects:
2 results
# of Collaborated Products:
0 results
4.
伊野 和英
# of Collaborated Projects:
2 results
# of Collaborated Products:
0 results
5.
GOTO Tetsuya
(00359556)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
6.
SUWA Tomoyuki
(70431541)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
7.
TSUBOUCHI Kazuo
(30006283)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
8.
MIURA Michiko
(70291482)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
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