Sgawara Hirotake 菅原広剛

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SUGAWARA Hirotake 菅原広剛

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Researcher Number	90241356
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Affiliation (Current)	2025: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2024: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授 2019 – 2021: 北海道大学, 情報科学研究院, 准教授 2012 – 2018: 北海道大学, 情報科学研究科, 准教授 2014: 北海道大学, 大学院情報科学研究科, 准教授 2007 – 2012: Hokkaido University, Grad. School. OfInf. Sc. & Tech., Associate Professor … More 2006: 北海道大学, 大学院情報科学研究科, 助教授 2004 – 2005: 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助教授 1998 – 2003: 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1997: 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助手 1992 – 1996: 北海道大学, 工学部, 助手 Less
Review Section/Research Field	Principal Investigator Plasma science / 電力工学・電気機器工学 / Basic Section 21010:Power engineering-related / Basic Section 14010:Fundamental plasma-related / 電力工学・電気機器工学 Except Principal Investigator 電力工学・電気機器工学 / 電力工学 / 電力工学・電気機器工学 / プラズマ理工学 / Microdevices/Nanodevices
Keywords	Principal Investigator 磁化プラズマ / シミュレーション / 誘導結合型プラズマ / 誘導結合磁化プラズマ / 部分共鳴 / モンテカルロ法 / 電子サイクロトロン共鳴 / 電子エネルギー利得 / フィルタ効果 / 磁界制御 … More / 電子輸送 / 計算機解析 / 窒素 / プラズマCVD / 絶縁耐力 / 衝撃電界 / 非平衡プラズマ / 計算機シミュレーション / 電子加熱 / 高周波駆動 / 指向性電子輸送 / 非対称 / 交流電界応答特性 / 電子エネルギー利得機構 / 電磁界配位 / 指向性 / 非対称性 / 交流電界応答 / 平均電子速度 / 磁気シャッタ / 磁気フィルタ / 電子運動 / 閉じ込め効果 / 分界面 / 対向発散磁界 / 電子空間分布 / NLDプラズマ / モンテカルロシミュレーション / ドライエッチング / プラズマプロセス / ＮＬＤプラズマ / 大面積均一処理 / 化学活性種 / 分界線 / 積層 / 電子・電気材料 / 耐熱性 / 薄膜堆積 / 誘電体 / 低誘電率材料 / 波状化 / 絶縁膜 / 低誘電率 / フッ化炭素 / 化学気相堆積法 / プラズマ / 衝突判定 / 電子衝突 / 混合ガス / ラジオ周波数 / 分解 / フルオロカーボン / 6フッ化硫黄 / エネルギー損失 / 電子付着 / 相乗効果 / 混合ガス絶縁 / 絶縁 / 比誘電率 / C_7F_<16> / フルオロカーボン薄膜 / 選択性 / エネルギー効率 / 電子エネルギー分布 / プロパゲータ法 / 電子衝突断面積 / フロン分解 / 定常タウンゼント法 / プロパゲ-タ法 / 衝突断面積 / 放電分解 / コロナ放電 / 窒素酸化物 … More Except Principal Investigator 非平衡プラズマ / per-fluorocarbon / パーフルオロカーボン / 薄膜堆積 / フルオロカーボン / non-equilibrium plasma / 真空紫外光 / LID / 放電分解 / フロン / 電離係数 / ダングリングボンド / シリル / モノシラン / ファインパウダ / a-C:F film / breakdown strength / low dielectric strength / plasma CVD / insulation film / a-C : F膜 / a-C:F膜 / 絶縁耐力 / 低誘電率 / プラズマCVD / 絶縁膜 / enhancement of dielectric strength / Paschen curve / amorphous CF film / electric insulation / 薄膜推積 / 絶縁体力向上 / 絶縁耐力向上 / パッシェン曲線 / アモルファスCF薄膜 / 電気絶縁 / synergy effect / vacuum ultraviolet / nitrogen oxide / inter-layer insulation / film deposition / fluorocarbon / laser spectroscopy / バリア放電 / 大気汚染 / 相乗効果 / 真空紫外線 / 窒素酸化物 / 層間絶縁 / 分光診断 / laser-spectroscopy / modeling / vacuum-ultra-violet-light / lamp / excimer / レーザ分光診断 / モデリング / ランプ / エキシマ / Decomposition by UV / Electron attachment coefficient / Glow discharge / lonization coefficient / Decomposition by discharge / Nitrogen-dioxide / コロナ放電 / 紫外線分解 / 電子付着係数 / グロー放電 / 二酸化窒素 / ナノ表面・界面 / スピンデバイス / ナノ光デバイス / 量子ドット / ナノ構造作製 / Si_3N_4 / SiO_2 / 雷インパルス / 50Hz交流 / 高電圧絶縁 / 地球環境問題 / TEOS / 制御 / rfプラズマ / イオン速度分布 / ベーパーミスト絶縁 / ベ-パ-ミスト絶縁 / 微粉体絶縁 / インパルス破壊電圧 / 交流破壊電圧 / 電気的絶縁破壊 / 膜密度 / スピン密度 / 水素含有量 / 堆積率 / ダイヤモンド構造 / 破壊電圧 / 散布 / ファン / 粒径 / Si_3N_4パウダ / SiO_2パウダ / 絶縁破壊 Less

Computer simulation of enhancement of electron heating by partial resonance under high-frequency driving of inductively coupled magnetized plasmasPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  2024 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Hokkaido University
Computational analyses on asymmetric directional electron transport and partial resonance originating in the arrangement of electric and magnetic fields in inductively coupled magnetized plasmasPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SUGAWARA HIROTAKE
- Project Period (FY)
  2019 – 2021
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 14010:Fundamental plasma-related
- Research Institution
  Hokkaido University
Analysis of energy-selective shutter and filter effects of separatrix of confronting divergent magnetic fields on electrons in plasmaPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Sugawara Hirotake
- Project Period (FY)
  2016 – 2018
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Hokkaido University
Computational analysis of reactive particle flow in inductively coupled processing plasmas under confronting divergent magnetic fieldsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Sugawara Hirotake
- Project Period (FY)
  2013 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Hokkaido University
Spin-polarized Lasing in Quantum Dots
- Principal Investigator
  
  MURAYAMA Akihiro
- Project Period (FY)
  2010 – 2014
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
- Research Field
  
  Microdevices/Nanodevices
- Research Institution
  Hokkaido University
Modeling of low-pressure high-density magnetic neutral loop discharge processing plasmas and analysis of their dynamic controlPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SUGAWARA Hirotake
- Project Period (FY)
  2010 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Hokkaido University
Deposition of hetero-structure layered low-k amorphous fluorinated carbon films under sequence control of gas feed and plasma powerPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SUGAWARA Hirotake
- Project Period (FY)
  2007 – 2009
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Hokkaido University
COMPACT AND HIGH DIELECTRIC STRENGTH OF ELECTRIC MACHINES WITH a-C:F FILM COATING OF LOW-DIELECTRIC CONSTANT AND HIGH DIELECTRIC STRENGTH DEPOSITED IN PLASMA
- Principal Investigator
  
  SAKAI Yosuke
- Project Period (FY)
  2005 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
衝撃電界重畳高周波プラズマによるフッ化炭素プロセス排ガス分解除害効率の計算機解析Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  2004 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
電力機器用絶縁気体混合相乗効果の微視的定量的計算機解析Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  2002 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
Development of insulating system with low dielectric constant, high dielectric strength a-C:F film coated conductor prepared by plasma CVD as alternatives to SF_6
- Principal Investigator
  
  SAKAI Yosuke
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  HOKKAIDO UNIVERSITY
高耐力フルオロカーボン絶縁被覆のプラズマプロセスによる形成と損傷修復に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
衝撃電解重畳法によるフロン分解の大体積化および選択的分解反応促進に関する基礎研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  1998 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
Basic study on decomposition of air pollutants using synergetic effect between barrier discharge and VUV light
- Principal Investigator
  
  SAKAI Yosuke
- Project Period (FY)
  1997 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  HOKKAIDO UNIVERSITY
地球環境問題を考慮した高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究
- Principal Investigator
  
  田頭博昭
- Project Period (FY)
  1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
Study on Optimization of Barrier Discharge Excimer-Lamp
- Principal Investigator
  
  SAKAI Yosuke
- Project Period (FY)
  1995 – 1996
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  HOKKAIDO UNIVERSITY
プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究
- Principal Investigator
  
  田頭博昭
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hokkaido University
プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究
- Principal Investigator
  
  田頭博昭
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hokkaido University
高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究
- Principal Investigator
  
  田頭博昭
- Project Period (FY)
  1993 – 1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
コロナ放電による窒素酸化物公害ガス分解のシミュレーションPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  菅原広剛
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Hokkaido University
微粉体誘電体による気体(SF_6、空気)の絶縁耐力上昇機構に関する研究
- Principal Investigator
  
  TAGASHIRA Hiroaki
- Project Period (FY)
  1992
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  電力工学
- Research Institution
  Hokkaido University
Fundamental Studies on LID Concentration and Discharge Decomposition of Nitrogen-Dioxide
- Principal Investigator
  
  SAKAI Yosuke
- Project Period (FY)
  1992 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学
- Research Institution
  Faculty of Engineering, Hokkaido University

[Journal Article] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ共鳴磁界域近傍における部分共鳴電子エネルギー利得の解析のための定量評価指標2022
- Author(s)
  野原直人、菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会論文誌Ａ
  
  Volume: 142
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] Elliptic vector loci of average electron velocity of electron swarm in constant-collision-frequency model gas under ac electric and dc magnetic fields crossed at arbitrary angles2022
- Author(s)
  Sugawara Hirotake、Nakata Yuya
- Journal Title
  
  The European Physical Journal D
  
  Volume: 76 Issue: 2
- DOI
  10.1140/epjd/s10053-022-00346-1
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] A technology demonstration of propagator matrix power method for calculation of electron velocity distribution functions in gas in long-term transient and succeeding equilibrium states under dc electric fields2021
- Author(s)
  Sugawara Hirotake、Iwamoto Hikaru
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 60 Issue: 4 Pages: 046001-046001
- DOI
  10.35848/1347-4065/abe8a7
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] Elliptic Vector Loci of Average Electron Velocity in Real Gases Under AC Electric and DC Magnetic Fields2021
- Author(s)
  Nakata Yuya、Sato Takeshi、Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  Volume: 49 Issue: 1 Pages: 83-90
- DOI
  10.1109/tps.2020.3010315
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] Stochastic electron energy gain under sheath electric field near sidewall of chamber to drive inductively coupled magnetized plasmas2020
- Author(s)
  Takahashi Hironori、Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 59 Issue: 3 Pages: 036001-036001
- DOI
  10.35848/1347-4065/ab71d2
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] Phase-resolved profiles of electron energy deposition in inductively coupled radio-frequency plasmas driven under confronting divergent magnetic fields2019
- Author(s)
  Nakashima Katsuhiro、Takahashi Hironori、Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 58 Issue: 11 Pages: 116001-116001
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab4481
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] A Computational Scheme of Propagator Method for Moment Equations to Derive Real-Space Electron Transport Coefficients in Gas Under Crossed Electric and Magnetic Fields2019
- Author(s)
  Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  Volume: 47 Issue: 2 Pages: 1071-1082
- DOI
  10.1109/tps.2018.2866187
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Journal Article] 誘導結合プラズマに印加した対向発散磁界の電子閉じ込め効果の定量化とその制御条件依存性2019
- Author(s)
  小澤良輔、菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会論文誌Ａ
  
  Volume: 139
- NAID
  130007641376
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Journal Article] Derivation of the electron drift velocity vector in gas under crossed ac electric and dc magnetic fields assuming constant-collision-frequency models2019
- Author(s)
  Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 58 Issue: 10 Pages: 108002-108002
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab3e5d
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Journal Article] Efficiency and limitation of periodic sample multiplication to reduce computational load in Monte Carlo simulations of electron swarms in gas under attachment-dominated conditions2018
- Author(s)
  Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 57 Issue: 3 Pages: 038001-038001
- DOI
  10.7567/jjap.57.038001
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Journal Article] Stochastic electron energy gain in inductively coupled magnetized plasmas accompanying electron reflection at chamber wall2018
- Author(s)
  Takahashi Hironori、Nakashima Katsuhiro、Yamamoto Tappei、Sugawara Hirotake
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 57 Issue: 12 Pages: 126101-126101
- DOI
  10.7567/jjap.57.126101
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Journal Article] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマのシミュレーションにおける磁気閉じ込め効果評価のための電子脱出判定法について2017
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会論文誌Ａ
  
  Volume: 137
- NAID
  130005687890
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Journal Article] Fundamental Study on Filter Effect of Confronting Divergent Magnetic Fields Applied to Low-Pressure Inductively Coupled Plasmas2016
- Author(s)
  Hirotake Sugawara and So Ogino
- Journal Title
  
  Japan. J. Appl. Phys.
  
  Volume: 55
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Journal Article] Effect of Substrate Bias on Production and Transport of Etchant Ions in a Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma2014
- Author(s)
  Y. Asami, and H. Sugawara
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  Volume: 42 Issue: 10 Pages: 2540-2541
- DOI
  10.1109/tps.2014.2337753
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Journal Article] Structure and Energy Deposition Process of an Inductively Coupled Plasma under Confronting Divergent Magnetic Fields2014
- Author(s)
  Y. Minami, Y. Asami, and H. Sugawara
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Plasma Science
  
  Volume: 42 Issue: 10 Pages: 2550-2551
- DOI
  10.1109/tps.2014.2343275
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Journal Article] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields2013
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Journal Title
  
  Japan. J. Appl. Phys.
  
  Volume: 52 Issue: 5R Pages: 056101-056101
- DOI
  10.7567/jjap.52.056101
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields2013
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Journal Title
  
  J. Phys. Soc. Japan.
  
  Volume: 82 Issue: 6 Pages: 064501-064501
- DOI
  10.7566/jpsj.82.064501
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields2013
- Author(s)
  H. Sugawara
- Journal Title
  
  Japan. J. Appl. Phys
  
  Volume: Vol.52,No.5
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields2013
- Author(s)
  H. Sugawara
- Journal Title
  
  J. Phys. Soc.Japan
  
  Volume: Vol.82,No.6
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御2012
- Author(s)
  吉田拓平、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
- Journal Title
  
  電気学会論文誌(特集「プロセスプラズマの発生と応用」)
  
  Volume: Vol.132-A,No.4 Pages: 278-283
- NAID
  10030524201
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] モンテカルロシミュレーションによるNLDプラズマの解析、講座2012
- Author(s)
  菅原広剛
- Journal Title
  
  プラズマ・核融合学会誌
  
  Volume: Vol.88,No.1 Pages: 43-44
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma2011
- Author(s)
  T. Osaga, Y. Sakurai and H. Sugawara
- Journal Title
  
  IEEETrans. Plasma Sci
  
  Volume: Vol.39,No.11 Pages: 2546-2547
- URL
  http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48517
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate2011
- Author(s)
  Y. Sakurai, T. Osaga and H. Sugawara
- Journal Title
  
  IEEE Trans. Plasma Sci
  
  Volume: Vol.39,No.11 Pages: 2550-2551
- URL
  http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field2011
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Journal Title
  
  Plasma Sources Science and Technology
  
  Volume: 20 Issue: 5 Pages: 055002-055002
- DOI
  10.1088/0963-0252/20/5/055002
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field2011
- Author(s)
  H. Sugawara, T. Osaga and H. Yamamoto
- Journal Title
  
  Plasma Sources Sci. Technol
  
  Volume: Vol.20,No.5
- URL
  http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/50049
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field2011
- Author(s)
  T. Osaga, H. Sugawara and Y. Sakurai
- Journal Title
  
  Plasma Sources Sci.Technol
  
  Volume: Vol.20,No.6
- URL
  http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48133
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma2010
- Author(s)
  H. Sugawara, T. Osaga, H. Tsuboi, K. Kuwahara and S. Ogata
- Journal Title
  
  Japan. J. Appl. Phys
  
  Volume: Vol.49,No.8
- URL
  http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積 (平成21年電気学会基礎材料・共通部門大会特集)2010
- Author(s)
  水野巧一朗, 菅原広剛, 村山明宏
- Journal Title
  
  電気学会論文誌 Vol. 130-A, No. 4
  
  Pages: 319-324
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Journal Article] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Journal Title
  
  Conference Proceedings of 7th International Conference on Reactive Plasmas (ISBN 978-4-86348-101-5)
  
  Volume: 1
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2010
- Author(s)
  水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
- Journal Title
  
  電気学会論文誌A 130-A
  
  Pages: 319-324
- NAID
  10026225577
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Journal Article] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma2010
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 49
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Journal Article] モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析2008
- Author(s)
  森直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
- Journal Title
  
  電気学会放電研究会資料 ED-08-38
- NAID
  10025769404
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008
- Author(s)
  荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
- Journal Title
  
  電気学会放電研究会資料 ED-08-37
- NAID
  10025769397
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Monte Carlo simulation of promotion of CF4 dissociation reaction by impulse-field electron acceleration method under low pressures2008
- Author(s)
  D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
- Journal Title
  
  Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-37
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Monte Carlo Analysis of the pressure-dependence of periodical response of the electron Energy distribution in radio-frequency CF_4 plasma2008
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
- Journal Title
  
  Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-38
  
  Pages: 6-6
- NAID
  10025769404
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008
- Author(s)
  荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原剛, 酒井洋輔, 須田善行
- Journal Title
  
  電気学会放電研究会資料 ED-08-37
- NAID
  10025769397
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Proc. of 28th Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 2P13-34
  
  Pages: 4-4
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method2007
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
- Journal Title
  
  Tech. report on Plasma Science and Technology/Electrical Discharge, IEEJ PST-07-49/ED-07-129
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその評価2007
- Author(s)
  小池広恵, 山内達也, 須田善行, 酒井洋輔, 菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会全国大会講演論文集 07(CD版)
  
  Pages: 1-221
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価2007
- Author(s)
  小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-54/ED-07-134
- NAID
  10019761487
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] 衝撃電界電子加速によるCF_4分子、CFxラジカル分解の効率2007
- Author(s)
  荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ/放電合同研究会資料 PST-07-48/ED-07-128
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] モンテカルロ法による高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析2007
- Author(s)
  森直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-49/ED-07-129
- NAID
  10019761434
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Timesaving techniques for decision of electron-molecule collisions in Monte Carlo simulation of plasmas2007
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  Journal of Computational Physics 223・1
  
  Pages: 298-304
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18> Plasma CVD and Measurement of Their Properties2007
- Author(s)
  K. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
- Journal Title
  
  Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-54/ ED-07-134
  
  Pages: 6-6
- NAID
  10019761487
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24
  
  Pages: 4-4
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Efficiency of CF_4 molecule and CFx radical decomposition by impulse-field electron acceleration2007
- Author(s)
  D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
- Journal Title
  
  Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-48/ED-07-128
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007
- Author(s)
  H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
- Journal Title
  
  Proc. 18th Int. Symp. on Plasma Chemistry 22P
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Proc. of 28th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases 2P
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] フッ化物成膜の環境応用2007
- Author(s)
  須田善行, 小池広恵, 内山達也, 酒井洋輔, 菅原広剛
- Journal Title
  
  シンポジウム2007「環境制御における最新の低温プラズマ技術とその応用」論文集 07
  
  Pages: 29-32
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007
- Author(s)
  H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
- Journal Title
  
  Proc. of 18th Int. Symp. on Plasma Chem. 27P-67
  
  Pages: 4-4
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-2006
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  Proceedings of 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials and 1
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F 膜堆積-Ar混合の効果-2006
- Author(s)
  小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
- Journal Title
  
  電気学会全国大会論文集 (発表予定)(未定)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積-Ar混合の効果-2006
- Author(s)
  小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
- Journal Title
  
  電気学会全国大会講演論文集 06(CD版)
  
  Pages: 1-157
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Equality of the Higher-Order Diffusion Coefficients between Component and Composite Electron Swarms in Gas2006
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45・6A
  
  Pages: 5189-5196
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] a-C:F films deposition by C_8F_18/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006
- Author(s)
  H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
- Journal Title
  
  Proc. of 13th Asian Conf. on Electrical Discharge P2-11
  
  Pages: 4-4
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] a-C : F Films Deposition by C8F18/Ar Plasma CVD and their Electrical and Chemical Properties2006
- Author(s)
  H.Koike, Y.Sakai, Y.Suda, H.Sugawara, S.Tazawa
- Journal Title
  
  Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge 13(CD版)
  
  Pages: 2-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006
- Author(s)
  M. -A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
- Journal Title
  
  Thin Solid Films 506-507
  
  Pages: 145-149
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその特性2006
- Author(s)
  小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
- Journal Title
  
  平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 06(CD版)
  
  Pages: 68-68
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006
- Author(s)
  M.-A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
- Journal Title
  
  Thin Solid Films 506-507
  
  Pages: 145-149
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] a-C:F films deposition by C_8F_<18>/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006
- Author(s)
  H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
- Journal Title
  
  Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge P2-11
  
  Pages: 16-19
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>/Ar プラズマCVDを用いたa-C : F膜の生成とその電気的特性の評価2006
- Author(s)
  小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
- Journal Title
  
  放電学会年次大会講演論文集 06(CD版)
  
  Pages: 61-62
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005
- Author(s)
  Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
- Journal Title
  
  Bulletin of the American Physical Society Vol.50 (7)
  
  Pages: 21-21
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005
- Author(s)
  Y.sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
- Journal Title
  
  Proceeding of 2005 IEEE (15^<th>) International Conference on Dielectric Liquids 12(CD版)
  
  Pages: 421-424
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their chemical and electrical characteristics2005
- Author(s)
  S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
- Journal Title
  
  Tech. l report on Electrical Discharge, IEEJ ED-05-67
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005
- Author(s)
  Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
- Journal Title
  
  Bulletin of The American Physical Society Vol.50(7)
  
  Pages: 21-21
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005
- Author(s)
  Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
- Journal Title
  
  Proc. of 2005-IEEE (15^<th>) Int. I Conf. on Dielectric Liquids
  
  Pages: 421-424
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Two-peaked velocity distribution function of electrons in carbon tetrafluoride in crossed electric and magnetic fields2005
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Plasma Science 33(2)
  
  Pages: 548-549
- NAID
  120000964001
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005
- Author(s)
  H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Proc. of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 18
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Computational study on fundamental properties of CF4/N2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition",2005
- Author(s)
  H.Sugawara, Y.Ishihara, R.Saito, Y.Sasaki
- Journal Title
  
  Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 18
  
  Pages: 246-247
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasmas and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 decomposition2005
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  Proceedings of 27th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (Sep/17-22,Veldhoven, the Netherlands) 1
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005
- Author(s)
  Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
- Journal Title
  
  Proc. of 2005-IEEE (15th) International Conference on Dielectric Liquids
  
  Pages: 421-424
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their properties2005
- Author(s)
  Y.Sakai, S.Tazawa, Y.Suda, H.Sugawara
- Journal Title
  
  58^<th> Annual Gaseous Electronics Conference, Bulletin of The American Physical Society 50(7)
  
  Pages: 21-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005
- Author(s)
  H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
- Journal Title
  
  Proc. of XXVII Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 18-246
  
  Pages: 4-4
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその科学的、電気的特性2005
- Author(s)
  田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会放電研究会資料 ED-05-67
  
  Pages: 67-72
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその化学的,電気的特性2005
- Author(s)
  田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
- Journal Title
  
  電気学会放電研究会資料 ED-05-67
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Journal Article] Electron acceleration under short intense impulse electric fields2004
- Author(s)
  H.Sugawara
- Journal Title
  
  Proceedings of XVth International Conference on Gas Discharges and their Applications (招待講演) 2
  
  Pages: 1045-1048
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760216
[Journal Article] a-C:F Film Coated Electrodes For Electrical Insulation2004
- Author(s)
  Y.Sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
- Journal Title
  
  Proceedings of the 12th Asian Conference on Electrical Discharge D
  
  Pages: 404-407
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] 対向発散磁界分界面上下領域における誘導結合磁化プラズマ中の周方向電子流の指向性2022
- Author(s)
  林秀虎，野原直人，菅原広剛
- Organizer
  令和４年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] シース電界を考慮した誘導結合プラズマ中の対向発散磁界共鳴域における電子エネルギー利得解析2022
- Author(s)
  岡崎凌大，菅原広剛
- Organizer
  令和４年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流磁界下共鳴磁界域における高エネルギー利得電子の挙動解析2021
- Author(s)
  野原直人、井越冬弥、菅原広剛
- Organizer
  令和３年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] RF電界・直流磁界下実ガス中電子ドリフト速度電界応答位相観察2021
- Author(s)
  中田裕也、菅原広剛
- Organizer
  令和３年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] Periodic Response of the Average Electron Velocity Vector of an Electron Swarm in a Constant-Collision-Frequency Model Gas under AC Electric and DC Magnetic Fields Crossed at Arbitrary Angles2021
- Author(s)
  H. Sugawara and Y. Nakata
- Organizer
  POSMOL 2021 at-present XXII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 共鳴磁界域を拡張した対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子エネルギー利得分布観察2021
- Author(s)
  岡崎凌大，菅原広剛
- Organizer
  令和３年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の異なる共鳴磁界域形状における電子エネルギー利得分布観察2021
- Author(s)
  岡崎凌大，菅原広剛
- Organizer
  令和３年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 任意交差角RF電界直流磁界下の F2中平均電子速度ベクトル楕円軌跡長軸半径と平均電子エネルギーの相関2021
- Author(s)
  中田裕也，菅原広剛
- Organizer
  令和３年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] プロパゲータ行列累乗法による気体中電子速度分布関数の長期緩和過程計算2021
- Author(s)
  菅原広剛、岩本耀
- Organizer
  令和３年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界直流対向発散磁界下共鳴磁界域からの電子脱出傾向と電子エネルギー利得の関係2021
- Author(s)
  野原直人，菅原広剛
- Organizer
  令和３年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界直流磁界下共鳴磁界域における電子滞在時間と電子エネルギー利得の関係2021
- Author(s)
  野原直人，菅原広剛
- Organizer
  令和３年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流対向発散磁界下共鳴磁界域付近における電子流の非対称性2021
- Author(s)
  林秀虎，菅原広剛
- Organizer
  令和３年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 任意交差角RF電界直流磁界下のF2中電子平均速度ベクトル周期応答2021
- Author(s)
  中田裕也，菅原広剛
- Organizer
  令和３年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] RF電界・直流磁界下実ガス中の電子ドリフト速度ベクトル楕円軌跡の軸傾斜特性2020
- Author(s)
  中田裕也、菅原広剛
- Organizer
  令和２年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流磁界下共鳴磁界域付近の電子エネルギー利得機構の解析2020
- Author(s)
  野原直人、菅原広剛
- Organizer
  令和２年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡2020
- Author(s)
  中田裕也、佐藤壮、菅原広剛
- Organizer
  令和２年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡(2)電子ドリフト速度指向性に対する電子衝突散乱の影響2020
- Author(s)
  菅原広剛、中田裕也
- Organizer
  令和２年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍における電子エネルギー利得機構(2)－シース電界形状と磁界印加方向が利得機構に及ぼす影響のモンテカルロ解析－2019
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛
- Organizer
  令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] Response of Average Electron Velocity Vector under AC Electric and DC Magnetic Fields in a Constant-Collision-Frequency Model2019
- Author(s)
  H. Sugawara
- Organizer
  72nd Annual Gaseous Electronics Conference
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] モンテカルロ法によるＲＦ電界ＤＣ磁界下電子輸送係数解析－電子サイクロトロン共鳴条件近傍の電子輸送係数の特性－2019
- Author(s)
  佐藤壮、菅原広剛
- Organizer
  令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] Electron energy gain mechanisms near chamber wall in inductively coupled magnetized plasmas2019
- Author(s)
  H. Takahashi and H. Sugawara
- Organizer
  XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] Quantification of electron confinement effect under confronting divergent magnetic fields considering mutual electron transfer across separatrix2019
- Author(s)
  R. Ozawa and H. Sugawara
- Organizer
  XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] Electron Energy Gain Mechanisms near Chamber Wall in Inductively Coupled Magnetized Plasmas under Different Gas Pressures2019
- Author(s)
  H. Takahashi and H. Sugawara
- Organizer
  The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流磁界下電子速度分布の時間変化2019
- Author(s)
  佐藤壮、中田裕也、菅原広剛
- Organizer
  令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] モンテカルロシミュレーションによる対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果の制御条件依存性の解析2019
- Author(s)
  小澤良輔、菅原広剛
- Organizer
  令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流磁界下気体中の電子輸送係数解析2019
- Author(s)
  佐藤壮、菅原広剛
- Organizer
  平成31年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Vector loci of average electron velocity in gases under ac electric and dc magnetic fields2019
- Author(s)
  H. Sugawara, T. Sato, Y. Nakata
- Organizer
  The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果に対するシースの影響の定性的検討2019
- Author(s)
  小澤良輔、菅原広剛
- Organizer
  平成31年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Evaluation of electron drift velocity vector in gas under RF electric and DC magnetic fields2019
- Author(s)
  T. Sato and H. Sugawara
- Organizer
  XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得の位相分解モンテカルロ解析2019
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛
- Organizer
  平成31年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍シース電界下の電子無衝突加熱機構－電子速度およびrf電界位相依存性に関する粒子モデル解析－2019
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛
- Organizer
  令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 交流電界・直流磁界下のF2ガス中電子ドリフト速度ベクトルの評価2019
- Author(s)
  中田裕也、佐藤壮、菅原広剛
- Organizer
  令和元年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K03780
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得機構－器壁における電子反射およびシース電界を考慮したモンテカルロ解析－2018
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛
- Organizer
  平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Computational Study on Characteristic Mechanisms of Energy Deposition to Electrons in a Low-Pressure Inductively Coupled Magnetized Plasma2018
- Author(s)
  Hirotake Sugawara, Katsuhiro Nakashima, Hironori Takahashi
- Organizer
  20th Gaseous Electronics Meeting
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型ＲＦプラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度のモンテカルロ解析2018
- Author(s)
  中島克博、菅原広剛
- Organizer
  平成30年電気学会プラズマ・パルスパワー研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度の空間分布解析2018
- Author(s)
  中島克博、菅原広剛
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍シース電界下電子エネルギー利得機構－利得分布のシース形状依存性に関するモンテカルロ解析－2018
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛
- Organizer
  平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Configuration of propagator method for calculation of electron velocity distribution function in gas under crossed electric and magnetic fields2018
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  The 19th Asian Conference on Electrical Discharge
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の特徴的なエネルギー利得の領域と要因2018
- Author(s)
  中島克博、菅原広剛
- Organizer
  平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中電子閉じ込め効果－電離増倍への影響－2018
- Author(s)
  小澤良輔、菅原広剛
- Organizer
  平成30年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Monte Carlo analysis of the asymmetry in azimuthal electron flow in an inductively coupled plasma driven under confronting divergent magnetic fields2018
- Author(s)
  Hirotake Sugawara, Katsuhiro Nakashima, Hironori Takahashi
- Organizer
  XXIV Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子閉じ込め効果の定量化－磁界強度・分界面位置依存性－2018
- Author(s)
  小澤良輔、菅原広剛
- Organizer
  平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 磁化プラズマ容器器壁における電子反射が電子エネルギー利得機構に及ぼす効果2018
- Author(s)
  高橋宏徳、中島克博、山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Calculation of Real-Space Electron Transport Coefficients under Crossed Electric and Magnetic Fields by a Propagator Method2017
- Author(s)
  H. Sugawara
- Organizer
  10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 単電子追跡によるＸ点プラズマ容器側壁上部近傍エネルギー利得機構の解析2017
- Author(s)
  高橋宏徳、菅原広剛、中島克博、山本達平
- Organizer
  平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Calculation of electron velocity distribution function under crossed electric and magnetic fields using a propagator method2017
- Author(s)
  H. Sugawara
- Organizer
  XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布（2）－分界面の上下および分界面通過位置により区別した電子の比較－2017
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成29年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大学五福キャンパス（富山県・富山市）
- Year and Date
  2017-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子エネルギー利得の位相分解解析2017
- Author(s)
  中島克博、菅原広剛
- Organizer
  平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中共鳴磁界域近傍のエネルギー利得単電子運動解析2017
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] プロパゲータ法による直交電磁界下気体中電子速度分布関数計算2017
- Author(s)
  菅原広剛、松本涼
- Organizer
  平成29年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大学五福キャンパス（富山県・富山市）
- Year and Date
  2017-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子エネルギー高利得３領域の位相分解解析2017
- Author(s)
  中島克博、菅原広剛
- Organizer
  平成29年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布（3）－分界面近傍の位置により区別した電子エネルギー分布の比較－2017
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 側面励起型X点プラズマ装置におけるイオン輸送特性解析2016
- Author(s)
  仲俣涼平、菅原広剛
- Organizer
  平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海学園大学山鼻キャンパス（北海道・札幌市）
- Year and Date
  2016-11-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Ⅹ点プラズマ中の電子・イオン輸送特性の解析およびバイアス制御特性の検討2016
- Author(s)
  仲俣涼平、菅原広剛
- Organizer
  平成28年電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  大阪市立大学杉本キャンパス（大阪府・大阪市）
- Year and Date
  2016-08-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布－分界面通過位置により区別した電子の下部領域におけるサンプリング－2016
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海学園大学山鼻キャンパス（北海道・札幌市）
- Year and Date
  2016-11-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Ｘ点プラズマ中イオンの容器底面への効率的誘導のための側壁バイアス印加の効果2016
- Author(s)
  仲俣　涼平、菅原　広剛
- Organizer
  平成28年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東北大学河内キャンパス（仙台市）
- Year and Date
  2016-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子閉じ込め効果定量評価法－衝突事象を加えた評価－2016
- Author(s)
  山本達平、菅原広剛
- Organizer
  平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  九州工業大学戸畑キャンパス（福岡県・小倉市）
- Year and Date
  2016-09-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中の電子運動の解析における磁気閉じ込め効果定量評価法2016
- Author(s)
  山本　達平、菅原　広剛、荻野　創
- Organizer
  平成28年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東北大学河内キャンパス（仙台市）
- Year and Date
  2016-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] On judgement of electron transfer between two regions divided by the separatrix of confronting divergent magnetic fields applied to an inductively coupled plasma2016
- Author(s)
  H. Sugawara and T. Yamamoto
- Organizer
  69th Annual Gaseous Electronics Conference
- Place of Presentation
  Ruhr University, Bochum（ドイツ）
- Year and Date
  2016-10-11
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05626
[Presentation] Electron behavior under characteristic magnetic fields applied to inductively coupled plasmas for control of charged particle transport2015
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  XVIII Int. Workshop on Low-Energy Positron and Positronium Physics & XIX Int. Symp. on Electron-Molecule Collisions and Swarms
- Place of Presentation
  Universidade Nova de Lisboa, Lisboa, ポルトガル
- Year and Date
  2015-07-17
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Fundamental study on filter effect of confronting divergent magnetic fields applied to a low-pressure inductively coupled plasma2015
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  9th Int. Conf. Reactive Plasmas/ 68th Ann. Gaseous Electronics Conf./ 33rd Symp. Plasma Processing
- Place of Presentation
  Hawaii Convention Center, Hawaii, アメリカ合衆国
- Year and Date
  2015-10-11
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマ駆動用対向発散磁界中の位置依存電子エネルギー分布の解析2015
- Author(s)
  荻野　創、菅原　広剛
- Organizer
  平成27年電気学会プラズマ・放電・パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス（札幌市）
- Year and Date
  2015-06-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 小型リアクターモデルを用いた対向発散磁界下誘導結合型水素プラズマの解析2015
- Author(s)
  菅原　広剛
- Organizer
  平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  金沢大学角間キャンパス（金沢市）
- Year and Date
  2015-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマ駆動用対向発散磁界分界面の電子閉じ込め効果の解析2015
- Author(s)
  荻野　創、菅原　広剛
- Organizer
  平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北見工業大学（北見市）
- Year and Date
  2015-11-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマ中の電子運動に及ぼす直流バイアス印加の効果2015
- Author(s)
  仲俣　涼平、菅原　広剛
- Organizer
  平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北見工業大学（北見市）
- Year and Date
  2015-11-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 特殊形状磁界下プラズマ中の荷電粒子輸送2014
- Author(s)
  菅原　広剛
- Organizer
  平成26年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  愛媛大学城北キャンパス（松山市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 誘導結合型磁化プラズマ駆動用不均一磁界下の電子運動2014
- Author(s)
  菅原広剛
- Organizer
  2014年度放電学会シンポジウム
- Place of Presentation
  千葉工業大学津田沼キャンパス（習志野市）
- Year and Date
  2014-06-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 磁界分界面を通過する拡散電子のエネルギー分布解析2014
- Author(s)
  南　雄大、浅見　勇介、菅原　広剛、村山　明宏
- Organizer
  平成26年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  愛媛大学城北キャンパス（松山市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] NLDプラズマの解析(XXV)-ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果2013
- Author(s)
  浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成25年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  名古屋大学東山キャンパス
- Year and Date
  2013-03-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Ｘ点プラズマ発光領域の諸特性解析2013
- Author(s)
  南　雄大、浅見　勇介、菅原　広剛、村山　明宏
- Organizer
  平成25年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  室蘭工業大学（室蘭市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Monte Carlo simulation of electron motion in confronting divergent magnetic fields2013
- Author(s)
  H. Sugawara and Y. Minami
- Organizer
  XXXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Place of Presentation
  Granada Congress Centre, Granada, Spain
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマ中電子空間分布の磁界分界面位置依存性2013
- Author(s)
  南　雄大、浅見　勇介、菅原　広剛、村山　明宏
- Organizer
  平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  横浜国立大学（横浜市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] NLDプラズマの解析(XXIV)-エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性2012
- Author(s)
  浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス
- Year and Date
  2012-10-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果2012
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成24年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  広島工業大学五日市キャンパス
- Year and Date
  2012-03-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields2012
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
- Place of Presentation
  Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo (ポルトガル)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XXIII)-基板バイアス印加時の電位分布への影響2012
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス
- Year and Date
  2012-10-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XXII)-4極磁界・交流電界下の電子伝導2012
- Author(s)
  菅原広剛(発表者)
- Organizer
  平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  秋田大学手形キャンパス
- Year and Date
  2012-09-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields2012
- Author(s)
  H. Sugawara(発表者)
- Organizer
  XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
- Place of Presentation
  Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo, Portugal
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] CF4NLDプラズマ構造の気圧依存性2012
- Author(s)
  浅見勇介(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会B-9
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス
- Year and Date
  2012-01-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XXI)-エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性2012
- Author(s)
  浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛
- Organizer
  平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  秋田大学手形キャンパス
- Year and Date
  2012-09-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性-2011
- Author(s)
  菅原広剛
- Organizer
  平成23年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
- Year and Date
  2011-03-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Monte Carlo simulation of electron transport underquadrupole magnetic field and radio-frequency electric field2011
- Author(s)
  H. Sugawara(発表者)
- Organizer
  30th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases
- Place of Presentation
  Queen's University Belfast, Belfast, Northern Ireland, UK
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields2011
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  XVI International Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
- Place of Presentation
  National University of Ireland Maynooth, Maynooth,アイルランド(招待講演)
- Year and Date
  2011-07-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布2011
- Author(s)
  山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  はこだて未来大学
- Year and Date
  2011-10-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性2011
- Author(s)
  菅原広剛(発表者)、山本寛容、大佐賀毅
- Organizer
  平成23年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  大阪大学豊中キャンパス
- Year and Date
  2011-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響2011
- Author(s)
  櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  大阪大学豊中キャンパス
- Year and Date
  2011-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Monte Carlo simulation of electron transport under quadrupole magnetic field and radio-frequency electric field2011
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Place of Presentation
  Queen's University Belfast, Belfast,北アイルランド,連合王国
- Year and Date
  2011-09-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与2011
- Author(s)
  櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  はこだて未来大学
- Year and Date
  2011-10-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング2011
- Author(s)
  櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  東京工業大学大岡山キャンパス
- Year and Date
  2011-09-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields, XVI Int. Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII Int. Symp.2011
- Author(s)
  H. Sugawara(発表者)
- Organizer
  Electron-Molecule Collisions and Swarms
- Place of Presentation
  National University of Ireland Maynooth,Maynooth, Ireland
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマによる大面積均一材料プロセスのための磁界制御2011
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-7
- Place of Presentation
  室蘭工業大学
- Year and Date
  2011-01-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF中の電子挙動の解析2011
- Author(s)
  山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-6
- Place of Presentation
  室蘭工業大学
- Year and Date
  2011-01-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動2011
- Author(s)
  山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  東京工業大学大岡山キャンパス
- Year and Date
  2011-09-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持2011
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  大阪大学豊中キャンパス
- Year and Date
  2011-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析2011
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  はこだて未来大学
- Year and Date
  2011-10-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価2011
- Author(s)
  吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  東京工業大学大岡山キャンパス
- Year and Date
  2011-09-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性2010
- Author(s)
  櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  琉球大学
- Year and Date
  2010-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布2010
- Author(s)
  大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
- Organizer
  平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  琉球大学
- Year and Date
  2010-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送-2010
- Author(s)
  菅原広剛
- Organizer
  平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  琉球大学
- Year and Date
  2010-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010
- Author(s)
  H. Sugawara(発表者)
- Organizer
  63rd Ann. Gaseous Electronics Conf., 7th Int. Conf. Reactive Plasmas, and 28th Symposium on Plasma Processing
- Place of Presentation
  Maison de la Chimie, Paris, France
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C:F膜の熱耐性評価及び投入電力の最適条件2010
- Author(s)
  水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成22年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  明治大学駿河台キャンパス
- Year and Date
  2010-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma2010
- Author(s)
  Hirotake Sugawara
- Organizer
  63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
- Place of Presentation
  Maison de la Chimie, Paris, France
- Year and Date
  2010-10-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C : F膜の熱耐性評価及び投入電力の最適条件2010
- Author(s)
  水野巧一朗, 菅原広剛 (発表者) 村山明宏
- Organizer
  平成22年電気学会全国大会No. 1-195 (vol. 1, p. 221)
- Place of Presentation
  明治大学駿河台キャンパス
- Year and Date
  2010-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性2010
- Author(s)
  櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海学園大学
- Year and Date
  2010-10-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性2010
- Author(s)
  大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
- Organizer
  平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海学園大学
- Year and Date
  2010-10-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送2010
- Author(s)
  菅原広剛(発表者)、大佐賀毅、櫻井洋平、村山明宏
- Organizer
  平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  琉球大学
- Year and Date
  2010-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2009
- Author(s)
  水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  静岡大学浜松キャンパス
- Year and Date
  2009-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによる非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁膜の波状構造積層堆積2009
- Author(s)
  水野巧一朗 (発表者), 菅原広剛, 村山明宏
- Organizer
  平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会No. O-12-II
- Place of Presentation
  静岡大学浜松キャンパス
- Year and Date
  2009-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Plasma power dependence of properties of amorphous fluorocarbon films composed by PECVD using perfluorooctane,2009
- Author(s)
  K.Mizuno, H.Sugawara, Y.Sakai, A.Murayama
- Organizer
  29th Int.Conf.Phenomena in Ionized Gases
- Place of Presentation
  カンクンコンベンションセンター,カンクン,メキシコ
- Year and Date
  2009-07-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C : F膜の特性評価-低電力堆積膜と高電力堆積膜の比較-2009
- Author(s)
  水野巧一朗 (発表者), 菅原広剛, 村山明宏
- Organizer
  平成21年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 36
- Place of Presentation
  北見工業大学
- Year and Date
  2009-10-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにより堆積されたa-C:F膜の特性評価-低電力堆積膜と高電力堆積膜の比較-2009
- Author(s)
  水野巧一朗、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成21年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北見工業大学
- Year and Date
  2009-10-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Plasma power dependence of properties of amorphous fluorocarbon films composed by PECAD using perfluorooctane, Proc2009
- Author(s)
  K. Mizuno, H. Sugawara (発表者), Y. Sakai, A. Murayama
- Organizer
  29th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases No. PA3-9 (4 pages)
- Place of Presentation
  Cancun, Mexico
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の波状構造積層堆積2009
- Author(s)
  水野巧一朗 (発表者), 山内達也, 菅原広型, 村山明宏
- Organizer
  平成21年電気学会全国大会No. 1-195 (vol. 1, p. 240)
- Place of Presentation
  北海道大学
- Year and Date
  2009-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_18プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008
- Author(s)
  水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  福岡工大(福岡)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] 封じ切りC_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C : F膜の作成2008
- Author(s)
  山内達也, (発表者), 菅原広剛, 水野巧一朗, 酒井洋輔
- Organizer
  平成20年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 84
- Place of Presentation
  東海大学札幌キャンパス
- Year and Date
  2008-10-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No. 2-093)2008
- Author(s)
  山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  福岡工大(福岡)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No.2-093)2008
- Author(s)
  山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  福岡工大(福岡)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の作成と堆積機構の検討2008
- Author(s)
  山内達也, (発表者), 菅原広剛, 水野巧一朗, 酒井洋輔
- Organizer
  平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集No. V2
- Place of Presentation
  千葉工業大学
- Year and Date
  2008-08-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の異種構造積層堆積2008
- Author(s)
  水野巧一朗, (発表者), 小池広恵, 山内達也, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会No. 1-208 (vol. 1, p. 253)
- Place of Presentation
  福岡工業大学
- Year and Date
  2008-03-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Deposition of layered armorphous fluorocarbon films by C8F18 PECVD2008
- Author(s)
  T. Yamauchi, (発表者), K. Mizuno, H. Sugawara
- Organizer
  61th Ann. Gaseous Electronics Conf. (Am. Phys. Soc.)
- Place of Presentation
  Dallas, Texas, USA Bulletin Am. Phys. Soc.
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Formation of Winding surface of amorphous fluorocarbon films composed by perfluorooctane plama-enhanced chemical vapor deposition, Proc2008
- Author(s)
  K. Mizuno, H. Sugawara, (発表者), T. Yamauchi, H. Koike, Y. Suda, Y. Saka
- Organizer
  XIX Europhysi Conference on Atom-Molecular Phenomena, in Ionized Gases (ISBN2-914771-04-5, Vol. 32-A), No. 1-61 (2 pages)
- Place of Presentation
  Granada, Spain(CD-ROM)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2008
- Author(s)
  T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
- Organizer
  The 2008 Annual Meeting, IEEJ
- Place of Presentation
  Fukuoka, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008
- Author(s)
  水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  福岡工大(福岡)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の異種構造積層堆積と波状膜形成2008
- Author(s)
  水野巧一朗, (発表者), 山内達也, 菅原広剛
- Organizer
  平成20年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 85
- Place of Presentation
  東海大学札幌キャンパス
- Year and Date
  2008-10-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] 封じきりC_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積2008
- Author(s)
  山内達也, 菅原広剛, (発表者), 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
- Organizer
  平成20年電気学会全国大会No. 2-093 (vol. 2, p. 111)
- Place of Presentation
  福岡工業大学
- Year and Date
  2008-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Thermal effect on muwlti-layered amorphous fluorocarbon films composed by plasma-enhanced chemical vapor deposition using perfluorooctane, Proc2008
- Author(s)
  K. Mizuno, H. Sugawara (発表者), T. Yamauchi, Y. Sakai
- Organizer
  14th Asian Conf. on Electrical Discharge, No. A-3, pp. 29-32
- Place of Presentation
  Sangkuriang, Bandung, West Jawa, Indonesia
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Deposition of hetero-structure layered a-C:F films by C_8F_18 plasma CVD2008
- Author(s)
  K. Mizuno, H. Koike, T. Yamauti, H. Sugawarai, Y. Suda, Y. Saka
- Organizer
  The 2008 Annual Meeting, IEEJ
- Place of Presentation
  Fukuoka, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜生成とその特性の評価2007
- Author(s)
  小池広恵, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
- Organizer
  平成19年電気学会プラズマ放電合同研究会、PST-07-54/ED-07-134
- Place of Presentation
  北海道大学
- Year and Date
  2007-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, (発表者), Y. Suda, Y. Sakai
- Organizer
  2007 Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-26 (pp. 335-338)
- Place of Presentation
  Shibaura Institute of Technology, Tokyo, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Deposition of a-C:F Films by C_8F_18 Plasma CVD and their Characterization2007
- Author(s)
  H. Koike, T. Yamauti, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara
- Organizer
  The 2007 Annual Meeting, IEEJ
- Place of Presentation
  Toyama, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] モンテカルロ法によるCF_4RFプラズマの構造解析2007
- Author(s)
  森直樹、菅原広剛、江口礼良、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Relation between optical emission spectra observed in C_8F_18 plasma CVD and chemical bonding in a-C:F films2007
- Author(s)
  H. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition, Proc2007
- Author(s)
  T. Yamauchi, H. Koike, H, Sugawara, (発表者), Y. Suda, Y. Sakai
- Organizer
  28th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases (ISBN978-80-87026-01-4), No. 2P13-34 (4 pages)
- Place of Presentation
  Prague, Czech Republic(CD-ROM)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその評価(No.1-221)2007
- Author(s)
  小池広恵、山内達也、須由善行、酒井洋輔、菅原広剛
- Organizer
  平成19年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大(富山)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の積層2007
- Author(s)
  山内達也, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
- Organizer
  放電学会若手セミナーP-24
- Place of Presentation
  登別グランドホテル
- Year and Date
  2007-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Electron acceleration suitable for decomposition of CF_4 molecules and CFx radicals2007
- Author(s)
  D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Analysis of CF4 RF plasmas using a fluid model-Response of electric field in the plasma bulk-2007
- Author(s)
  N. Eguti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Analysis of CF_4 RF plasmas using Monte Carlo simulation2007
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, N. Eguti, D. Arakidai, Y. Suda, Y. Saka
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C : F膜の化学結合状態の関連2007
- Author(s)
  小池広恵, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 92
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-10-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2007
- Author(s)
  T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007
- Author(s)
  山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Modeling of Electron-lon Collisions in Simulation of Radio-Frequency CF4 Plasmas2007
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
- Organizer
  The 2007 Annual Meeting, IEEJ
- Place of Presentation
  Toyama, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] CF_4中の衝撃電界電子加速におけるエネルギー効率の電界波形依存性(No.1-070)2007
- Author(s)
  荒木田大嗣、森直樹、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成19年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大(富山)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] CF4分子、CF_xラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007
- Author(s)
  荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成2007
- Author(s)
  山内達也, (発表者), 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会No. 104
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19540517
[Presentation] 高周波CF_4プラズマシミュレーションにおける電子-イオン衝突のモデリング(No.1-068)2007
- Author(s)
  森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成19年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大(富山)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007
- Author(s)
  山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] 流体モデルによるCF_4RFプラズマの構造解析-バルクにおける電界の応答特性-(No.98)2007
- Author(s)
  江口礼良、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] CF4分子、CFxラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007
- Author(s)
  荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Dependence of Energy Efficiency on Waveform of Electric Field in Impulse-Field Electron Acceleration in CF_42007
- Author(s)
  D. Arakita, N. Mori, H. Sugawara, Y. Suda, Y. Sakai
- Organizer
  The 2007 Annual Meeting, IEEJ
- Place of Presentation
  Toyama, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連(No.92)2007
- Author(s)
  小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
- Organizer
  平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道工大(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>/ArプラズマCVDを用いたa-C:F膜の生成とその電気的特性の評価(No.P-4-2)2006
- Author(s)
  小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
- Organizer
  2006年放電学会年次大会
- Place of Presentation
  芝浦工大(東京)
- Year and Date
  2006-11-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] モンテカルロシミュレーションによる四フッ化炭素プラズマ解析(No.P-4-1)2006
- Author(s)
  森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  2006年放電学会年次大会
- Place of Presentation
  芝浦工大(東京)
- Year and Date
  2006-11-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Muroran, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-2006
- Author(s)
  H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
- Organizer
  8th Asia-Pacific Conf. on Plasma Sci. and Tech. and 19th Symp. on Plasma Science for Materials
- Place of Presentation
  Cairns, Australia
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006
- Author(s)
  N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
- Organizer
  2006-IEED Japan Annual Meeting
- Place of Presentation
  Tokyo, Japan
- Year and Date
  2006-11-20
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその特性(No.68)2006
- Author(s)
  小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
- Organizer
  平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  室蘭工業大学(室蘭)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-(P-II-B-27)2006
- Author(s)
  H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
- Organizer
  8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials
- Place of Presentation
  Cairns, Australia
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18>/Ar Plasma CVD and their Properties2006
- Author(s)
  H. Koike, Y. Sakai, H. Sugawara, Y. Suda, S. Tazawa
- Organizer
  2006-IEED Japan Annual Meeting
- Place of Presentation
  Tokyo, Japan
- Year and Date
  2006-11-20
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] モンテカルロシミュレーションによるCF_4プラズマ解析(No.62)2006
- Author(s)
  森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
- Organizer
  平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  室蘭工業大学(室蘭)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their characteristics2005
- Author(s)
  S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
- Organizer
  Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
- Place of Presentation
  Sapporo, Japan
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその特性(No.67)2005
- Author(s)
  田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
- Organizer
  電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道大学(札幌)
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360121
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の磁界分界面電子通過特性
- Author(s)
  菅原広剛
- Organizer
  平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道科学大学（札幌市）
- Year and Date
  2014-10-25 – 2014-10-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマの電離分布に及ぼす蓄積電荷の影響
- Author(s)
  南雄大、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成26年電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  大阪府立大学なかもずキャンパス（堺市）
- Year and Date
  2014-09-08 – 2014-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] 対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析
- Author(s)
  菅原広剛
- Organizer
  平成27年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東京都市大学世田谷キャンパス（東京都）
- Year and Date
  2015-03-24 – 2015-03-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Ｘ点プラズマ駆動用対向発散磁界中の電子加速機構の解析
- Author(s)
  荻野創、南雄大、菅原広剛、村山明宏
- Organizer
  平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
- Place of Presentation
  北海道科学大学（札幌市）
- Year and Date
  2014-10-25 – 2014-10-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] Monte Carlo simulation of electron diffusion across separatrix between confronting divergent magnetic fields
- Author(s)
  H. Sugawara, Y. Minami, S. Ogino
- Organizer
  XXII Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
- Place of Presentation
  Greifswald Town Hall, Greifswald, Germany
- Year and Date
  2014-07-15 – 2014-07-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400528
[Presentation] NLDプラズマの解析（XXII）－４極磁界・交流電界下の電子伝導－
- Author(s)
  菅原　広剛
- Organizer
  平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  秋田大学手形キャンパス（秋田市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540500

1. SAKAI Yosuke (20002199)

# of Collaborated Projects: 10 results

# of Collaborated Products: 73 results
2. TAGASHIRA Hiroaki (10001174)

# of Collaborated Projects: 7 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. VENTZEK Peter (80261329)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. SUDA Yoshiyuki (70301942)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 81 results
5. 下妻光夫 (70041960)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. IGARASHI Tatsusi

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. 横澤亜由美

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. MURAYAMA Akihiro (00333906)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. SUEOKA Kazuhisa (60250479)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. TABATA Masayoshi (50091476)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. AKAZAWA Masamichi (30212400)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. BRATESCU A. maria (70312379)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
13. HOUNO Hitoshi

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. NAKAJIMA Masatoshi

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. 中神芳武

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Sgawara Hirotake 菅原 広剛

SUGAWARA Hirotake 菅原 広剛

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Computer simulation of enhancement of electron heating by partial resonance under high-frequency driving of inductively coupled magnetized plasmasPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Computational analyses on asymmetric directional electron transport and partial resonance originating in the arrangement of electric and magnetic fields in inductively coupled magnetized plasmasPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Analysis of energy-selective shutter and filter effects of separatrix of confronting divergent magnetic fields on electrons in plasmaPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Computational analysis of reactive particle flow in inductively coupled processing plasmas under confronting divergent magnetic fieldsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Modeling of low-pressure high-density magnetic neutral loop discharge processing plasmas and analysis of their dynamic controlPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Deposition of hetero-structure layered low-k amorphous fluorinated carbon films under sequence control of gas feed and plasma powerPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

衝撃電界重畳高周波プラズマによるフッ化炭素プロセス排ガス分解除害効率の計算機解析Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

電力機器用絶縁気体混合相乗効果の微視的定量的計算機解析Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

高耐力フルオロカーボン絶縁被覆のプラズマプロセスによる形成と損傷修復に関する研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

衝撃電解重畳法によるフロン分解の大体積化および選択的分解反応促進に関する基礎研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Sgawara Hirotake 菅原広剛

SUGAWARA Hirotake 菅原広剛