• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Hayashi Terutake  林 照剛

ORCIDConnect your ORCID iD *help
… Alternative Names

HAYASHI Terutake  林 照剛

Less
Researcher Number 00334011
Other IDs
Affiliation (Current) 2025: 九州大学, 工学研究院, 准教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2016 – 2021: 九州大学, 工学研究院, 准教授
2015: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
2014 – 2015: 九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2014: 九州大学, 大学院工学研究院, 准教授
2013: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 … More
2013: 大阪大学, 大学院工学研究科, 準教授
2012 – 2013: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2010 – 2011: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2010 – 2011: 大阪大学, 工学研究科, 准教授
2009: Osaka University, 工学研究科, 助教
2007 – 2008: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
2006: Osaka University, Graduate School of Engineering, Assistant Professor, 大学院工学研究科, 助手
2005: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手
2002 – 2003: IBARAKI Univ., College of Engineering, Research Associate, 工学部, 助手 Less
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Production engineering/Processing studies / Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / Mechanics of materials, Production engineering, Design engineering, and related fields / Materials/Mechanics of materials / Measurement engineering / Intelligent mechanics/Mechanical systems
Except Principal Investigator
Production engineering/Processing studies / Biomedical engineering/Biological material science / Intelligent mechanics/Mechanical systems / 情報システム学(含情報図書館学)
Keywords
Principal Investigator
ブラウン運動 / 回転拡散係数 / ナノ粒子 / 蛍光偏光法 / フェムト秒レーザー / 粒径計測 / パルストレインビーム / コヒーレントフォノン / 並進拡散係数 / レーザーアブレーション … More / 表面加工 / レーザー加工 / 表面励起 / ダブルパルス / アブレーション / 表面励起加工 / 回転ブラウン運動 / パルストレイン / アトグラム質点系 / 粒度分布測定 / 粒径測定 / DLS / 蛍光ナノプローブ / ナノ粒子チップ / 粘性係数 / 粒度分布 / 蛍光光子相関法 / CMPスラリー / 粒度分布計測 / 並進ブラウン運動 / 透明材料 / ダブルパルスビーム / 光励起 / 透明基板 / 精密研磨 / ナノ粒子粒径計測 / 蛍光色素 / 拡散係数 / 粘度 / 蛍光プローブ / 回転拡散 / 並進拡散 / 格子振動 / 局在熱エネルギー場 / 低照度光 / レーザーアブレ-ション / ナノ加工 / ダメージレス加工 / インコヒーレント励起 / コヒーレント励起 / デバイストークスアインシュタインの法則 / 偏光解消 / 粘性計測 / SERS / 可視化 / 凝集プロセス / 蛍光偏光 / 凝集 / ナノ構造 / in-situ計測 / 原子直接加工 / コヒーレント振動 / フェムト秒パルス / 非平衡状態 / 原子加工 / レーザ加工 / フェムト秒レーザ / マルチスポット / 偏光 / 蛍光 / 蛍光偏光解消法 / プロテイン / 液晶 / 分子量変化 / タンパク質 / DNA / マルチスポット照明 / 抗原抗体反応 / 共焦点顕微鏡 / レーザー / マルチプローブ / 蛍光検出 / DNAチップ / SNP / 液晶素子 / DNA構造解析 … More
Except Principal Investigator
光放射圧 / 水酸化フラーレン / マイクロプローブ / マイクロ部品 / ナノ加工 / レーザトラッピング / Multi-scale measurement / Nanometrology / Surface fine figure / Three dimensional surface / Laser trapping / Microprobe / Radiation pressure / Microparts / 複合計測 / ナノ計測 / 表面微細形状 / 3次元形状 / Sensors / Actuators / Piezoelectric thin films / Diamond thin films / AFM probes / Atomic force microscope / Nanolithography / Smart nano-machining and measurement system / ナノリソグラフィー / 次世代ナノ加工・計測システム / センサ / アクチュエータ / PZT薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / AFMプローブ / 原子間力顕微鏡 / ナノリソグラフィ / 次世代ナノ加工計測システム / 化学的相互作用 / 反応性ナノ粒子 / 表面微細構造クラスター / ナノ研磨プロセス / 表面増強ラマン散乱 / 局在型表面プラズモン / 伝搬型表面プラズモン / 真球度 / マイクロ球 / WGM / テーパファイバ / Whispering gallery mode / 直径計測 / マイクロCMM / 加工量計測 / 定在場スケール / 非熱的アブレーション加工 / フェムト秒パルスレーザー / 微粒子レンズ / 超高アスペクト比微細加工 / フォトニック・ナノジェット / バイオMEMS / チップ増強ラマン分光(TERS) / 細胞内デリバリー / 細胞操作 / 細胞機能解析 / 原子間力顕微鏡(AFM) / 走査型プローブ顕微鏡 / レーザトラップ / 交番磁界 / 振動検出 / 磁性微粒子 / 細胞刺激 / 再生医用工学 / 超短パルスレーザー / 加工現象計測・解析 / 表面増強ラマン散乱法 / 分子加工原理 / 材料除去過程 / ナノデジタルパターニング / 加工機能性超微粒子 / 位相シフトデジタルホログラフィ / FDTD法 / 位相再構成シミュレーション / 自己組織化加工制御 / 周波数コムレーザー / ホログラフィー干渉 / インプロセス計測 / ナノ3次元構造 / ポンプープローブ法 / 動的ナノメトロロジー / アクティブ計測 / 超高速表面弾性波 / 加工現象解析 / フェムト秒パルスレーザ / 超時間分解能 / ナノ変位計測 / 強制振動 / 共振現象 / レンズ効果 / レーザアブレーション / 微粒子 / レーザ加工 / 平坦加工 / CMP / フラーレン / 研磨加工 / ナノ粒子 / カーボン / ナノテクノロジー / UVレーザ / 微細加工 / 超平坦加工 / カーボンナノ粒子 / ラピッドプロトタイピング / 癒し / 陶芸品 / 形状評価 / 周波数解析 / フーリエ変換 / 感性因子 / fゆらぎ / 1 Less
  • Research Projects

    (23 results)
  • Research Products

    (154 results)
  • Co-Researchers

    (21 People)
  •  Nano particle sizing method based on Brownian motion analysis for the system of atto gram particlesPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Hayashi Terutake
    • Project Period (FY)
      2019 – 2021
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Review Section
      Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  Laser processing for transparent substrate using double pulse femto second laser beam with photo excitationPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Terutake Hayashi
    • Project Period (FY)
      2017 – 2018
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • Research Field
      Mechanics of materials, Production engineering, Design engineering, and related fields
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  Nano particle sizing method based on the Brownian motion analysis using fluorescent nano probePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Terutake Hayashi
    • Project Period (FY)
      2016 – 2018
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  Surface processing method with localized surface excitation for thermall energy field using femto pulse train beamPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Hayashi Terutake
    • Project Period (FY)
      2014 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  In-process nano surface processing control by using time resolved coherent phonon excitation on semiconductor target withPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Hayashi Terutake
    • Project Period (FY)
      2013 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kyushu University
      Osaka University
  •  Development of Multi-functional Biological Scanning Probe Microscope for Imaging of Cellular Functions in Living Cells

    • Principal Investigator
      SHIBATA TAKAYUKI
    • Project Period (FY)
      2012 – 2014
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Biomedical engineering/Biological material science
    • Research Institution
      Toyohashi University of Technology
  •  Laser micro-machining using photonic nanojets controlled by in-situ measurement

    • Principal Investigator
      Takaya Yasuhiro
    • Project Period (FY)
      2012 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Study on ultra-precision viscosity measurement using a fluorescent probePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      HAYASHI Terutake
    • Project Period (FY)
      2012 – 2013
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Materials/Mechanics of materials
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Sphere measurement using whispering gallery mode

    • Principal Investigator
      MICHIHATA Masaki
    • Project Period (FY)
      2012 – 2013
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Analysis of polishing machanism using chemical reactive nanoparticles based on Raman spectrum enhanced by localized and propagating surface plasmon resonance

    • Principal Investigator
      TAKAYA Yasuhiro
    • Project Period (FY)
      2012 – 2013
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Cell stimulation using direct vibration with magnetic beads and development of a measurement system

    • Principal Investigator
      MASUZAWA Toru
    • Project Period (FY)
      2010 – 2011
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Biomedical engineering/Biological material science
    • Research Institution
      Ibaraki University
  •  Study on molecular processing by using fullerenol for digital nano-patterning Study on molecular processing by using fullerenol for digital nano-patterning Study on molecular processing by using fullerenol for digital nano-patterning

    • Principal Investigator
      TAKAYA Yasuhiro
    • Project Period (FY)
      2009 – 2011
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  A novel fabrication technique based on coherent phonon oscillation by using femto pulse train beamPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      HAYASHI Terutake
    • Project Period (FY)
      2009 – 2011
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Dynamic control for nanoparticle by using multispot fluorescence polarizationPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      HAYASHI Terutake
    • Project Period (FY)
      2009 – 2011
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究

    • Principal Investigator
      高谷 裕浩
    • Project Period (FY)
      2008 – 2009
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究

    • Principal Investigator
      高谷 裕浩
    • Project Period (FY)
      2006 – 2007
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  高集積プロテインチップ高速解析のための液晶マルチスポット蛍光偏光法の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      林 照剛
    • Project Period (FY)
      2005 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • Research Field
      Measurement engineering
    • Research Institution
      Osaka University
  •  カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究

    • Principal Investigator
      MIYOSHI Takashi
    • Project Period (FY)
      2004 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究

    • Principal Investigator
      高谷 裕浩
    • Project Period (FY)
      2004 – 2005
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Study on Multi-scale Nano-measurement of Microparts using Optically Oscillated Microprobe

    • Principal Investigator
      TAKAYA Yasuhiro
    • Project Period (FY)
      2003 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Osaka University
  •  陶芸品の1/fゆらぎ成分解析と1/fゆらぎ形状創製装置の試作

    • Principal Investigator
      前川 克廣
    • Project Period (FY)
      2002 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      情報システム学(含情報図書館学)
    • Research Institution
      Ibaraki University
  •  液晶マルチプローブ型マイクロアレイスキャナーによるDNAチップの高速解析Principal Investigator

    • Principal Investigator
      林 照剛
    • Project Period (FY)
      2002 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Ibaraki University
  •  Smart Nano-Machining and Measurement System with Diamond Probe Array Integrated with Piezoelectric Sensors and Actuators

    • Principal Investigator
      SHIBATA Takayuki
    • Project Period (FY)
      2001 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      IBARAKI UNIVERSITY

All 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 Other

All Journal Article Presentation Book Patent

  • [Book] Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"2014

    • Author(s)
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Total Pages
      205
    • Publisher
      Springer International Publishing
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Journal Article] Measurement of molar concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip2022

    • Author(s)
      Jaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • Journal Title

      Precision Engineering

      Volume: 74 Pages: 460-468

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2021.08.008

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Journal Article] Nanoparticle sizing for poly-dispersed particles using Nanoparticle chip2020

    • Author(s)
      朱 家慶, 林 照剛, 黒河 周平
    • Journal Title

      Transactions of the JSME (in Japanese)

      Volume: 86 Issue: 892 Pages: 20-00220-20-00220

    • DOI

      10.1299/transjsme.20-00220

    • NAID

      130007961493

    • ISSN
      2187-9761
    • Language
      Japanese
    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Journal Article] Measurement of number based particle sizing distribution using nanoparticle micro array2019

    • Author(s)
      Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • Journal Title

      Proceedings of 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019)

      Volume: 1

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Journal Article] A novel Particle Sizing method for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe2017

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Toshiki Seri, and Syuhei Kurokawa
    • Journal Title

      International Journal of Automation Technology

      Volume: -

    • NAID

      130007505952

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Journal Article] Dynamics of spallation during femtosecond laser ablation studied by time-resolved reflectivity with double pump pulses2016

    • Author(s)
      Takayuki Kumada, Tomohito Otobe, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, and Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 108 Issue: 1 Pages: 011102-011102

    • DOI

      10.1063/1.4939231

    • NAID

      120006502168

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K04706, KAKENHI-PROJECT-26630028, KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Journal Article] Wide-range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere near Surface using Chromatic Confocal Sensor2015

    • Author(s)
      Shin-ichi Ueda, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Yasuhiro Takaya
    • Journal Title

      Int. J. of Optmechatronics

      Volume: 9 Issue: 2 Pages: 131-140

    • DOI

      10.1080/15599612.2015.1034901

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Journal Article] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Ayano Fukui, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Journal Title

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      Volume: 55 Issue: 1 Pages: 469-472

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2014.02.002

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Journal Article] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • Author(s)
      石崎佑樹,林 照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 2 Pages: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Journal Article] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • Author(s)
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: VOl.80, No.3 Pages: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Journal Article] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • Author(s)
      M. Michihata, T. Hayashi, A. Adachi, Y. Takaya
    • Journal Title

      CIRP Annals

      Volume: vol. 63, no. 1(in press)

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Journal Article] ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究2014

    • Author(s)
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: Vol.58, No.2 Pages: 97-102

    • NAID

      130004835699

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Journal Article] Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation2013

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Ryota Murai, Kazumasa Kano
    • Journal Title

      Annals of the CIRP

      Volume: Vol.62, Issue 1 Issue: 1 Pages: 571-574

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2013.03.019

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Journal Article] Development of nanoparticle sizing system using fluorescence polarization2013

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Fonog Lee
    • Journal Title

      ACTA IMEKO

      Volume: Vol. 2, No. 2 Pages: 67-72

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Journal Article] New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air2013

    • Author(s)
      M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya
    • Journal Title

      International journal of Optomechatronics

      Volume: 7 Issue: 1 Pages: 46-59

    • DOI

      10.1080/15599612.2012.760122

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Journal Article] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2012

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
    • Journal Title

      International Journal of Nanomanufacturing

      Volume: Vol. 8, Nos. 1/2 Pages: 54-56

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Journal Article] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation2012

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
    • Journal Title

      Int. J. Nanomanufacturing

      Volume: Vol.8, Nos. 1/ 2 Pages: 54-66

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Journal Article] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation2012

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata
    • Journal Title

      International Journal of Nanomanufacturing

      Volume: 8 Pages: 54-66

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Journal Article] Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an opticaly controlled particle with standing wave scale sensing2012

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani
    • Journal Title

      Annals of the CIRP

      Volume: Vol.61, Issue 1 Pages: 479-482

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Journal Article] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2011

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Journal Title

      International Journal of nanomanufacturing

      Volume: (掲載確定)

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Journal Article] Chemical mechanical polishing of patterend copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata
    • Journal Title

      Annals of the CIRP

      Volume: Vol.60 Pages: 567-570

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • Journal Title

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      Volume: Vol.60, Issue1 Pages: 567-570

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • Journal Title

      The 59th CIRP general assembly, CIRP Annals. Manufacturing Technology

      Volume: Vol.58, Issue1 Pages: 495-498

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • Journal Title

      CIRP Annals 1巻

      Pages: 495-498

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工に関する研究2009

    • Author(s)
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • Journal Title

      精密工学会誌 Vol.75 No.4

      Pages: 489-495

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-2009

    • Author(s)
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • Journal Title

      精密工学会誌論文集,精密工学会誌

      Volume: Vol.75, No.4 Pages: 489-495

    • NAID

      130000421625

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Journal Article] マルチスポットレーザ蛍光偏光法によるタンパク質構造解析に関する研究2007

    • Author(s)
      赤瀬弘樹, 林照剛, 三好隆志, 高谷裕浩
    • Journal Title

      2007年度精密工学会春季全国大会 講演論文集 (in print)

    • NAID

      130005028460

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol. 6375

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Torutake Hayashi
    • Journal Title

      CIRP ANNALS VOL.55/1

      Pages: 613-616

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] Study on nano-3D position detection using laser trapping probe with circular motion2006

    • Author(s)
      Yuto Nagasaka, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      The 6th Manufacturing & Machine Tool Conference, Hayama

      Pages: 129-130

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol.6375

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] レーザトラッピングプローブを用いた高精度3次元座標計測に関する研究2006

    • Author(s)
      道畑正岐, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • Journal Title

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      Pages: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究-2次元振動プローブの特性評価-2006

    • Author(s)
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • Journal Title

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      Pages: 129-130

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] The 3D) manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • Author(s)
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol.6326, (CD_ROM)

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究2006

    • Author(s)
      日高敏揮, 高谷裕浩, 三好隆志, 林 照剛
    • Journal Title

      日本機械学会 第6回生産加工・工学機械部門講演会講演論文集 (in print)

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究(第2報) -局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • Author(s)
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林照剛
    • Journal Title

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      Pages: 1195-1196

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [Journal Article] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究? 2次元振動プローブの特性評価?2006

    • Author(s)
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • Journal Title

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      Pages: 129-130

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle2006

    • Author(s)
      H.Tanada, T.Miyoshi, Y.Takaya, T.Hayashi, K.Suzuki
    • Journal Title

      Proceeding of ASPE 21st Annual Meeting (ASPE'06), Monterey, California

      Pages: 595-598

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] Study on High Precise-3-Dimensional Coordinate Measurement with Laser Trapping Probe2006

    • Author(s)
      Masaki MICHIHATA, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake HAYASHI
    • Journal Title

      Proceedings of 2006 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      Pages: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • Author(s)
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • Journal Title

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (in press)

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • Author(s)
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol. 6326(CD-ROM)

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle tool2006

    • Author(s)
      H.Tanada, K.Hida, T.Miyoshi, T.Hayashi
    • Journal Title

      CIRP Annals - 2006 Manufacturing Technology 55/1

      Pages: 613-616

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] マルチスポットレーザ蛍光偏光法によるタンパク質構造の高速解析-蛍光偏光測定光学系の設計と構築-2006

    • Author(s)
      赤瀬弘樹, 林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩
    • Journal Title

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      Pages: 77-78

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] フラーレンナノ粒子を用いたCu-CMPの研究-研磨の基本特性2006

    • Author(s)
      田名田祐樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • Journal Title

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      Pages: 15-16

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      CIRP ANNALS VOL. 55/1

      Pages: 613-616

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [Journal Article] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-加工特性の解析-2005

    • Author(s)
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • Journal Title

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      Pages: 943-944

    • NAID

      130004657252

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] Nano-fishing Using a Micro-perticle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • Author(s)
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) USA

      Pages: 464-467

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [Journal Article] セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究2005

    • Author(s)
      李 東建, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 河 兌坪, 林 照剛
    • Journal Title

      精密工学会誌 Vol.71,No.11

      Pages: 1415-1420

    • NAID

      10016764394

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] Selective Laser Sintering Method using Titanium Powder Sheet Toward Fabrication of Porous Bone Substitutes2005

    • Author(s)
      Terutake HAYASHI, Katsuhiro MAEKAWA, Masashi TAMURA, Kenichi HANYU
    • Journal Title

      JSME International Journal Volume 48, No.4 Series A

      Pages: 369-375

    • NAID

      110004820585

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] Laser Surface Alloying of SUS316 Stainless Steel with Al-Si - Effect of Substrate Temperature on Structure and Properties of Modified Layer -2005

    • Author(s)
      Sergey Zherebtsov, Katsuhiro Maekawa, Terutake Hayashi, Masatoshi Futakawa
    • Journal Title

      JSME International Journal Volume 48, No.4 Series A

      Pages: 292-298

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] 有気孔人工骨作製に向けたチタン粉末シートのレーザ焼結プロセスの検討2005

    • Author(s)
      林 照剛, 前川克廣, 田村政司, 羽生謙市
    • Journal Title

      日本実験力学会誌 第5巻,1号

      Pages: 29-34

    • NAID

      10015505640

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Journal Article] Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • Author(s)
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • Journal Title

      Proceedings of the 20^<th> American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) Vol.37

      Pages: 464-467

    • NAID

      130004657252

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [Journal Article] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-2005

    • Author(s)
      檜田健史郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 林 照剛
    • Journal Title

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      Pages: 943-944

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [Patent] 粒子分析用の基板、粒子分析システム、及び粒子の分析方法2019

    • Inventor(s)
      林 照剛,黒河周平
    • Industrial Property Rights Holder
      九州大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Patent Publication Number
      2020-052043
    • Filing Date
      2019
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Patent] レーザー加工装置2015

    • Inventor(s)
      林 照剛,黒河周平
    • Industrial Property Rights Holder
      九州大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2015-170450
    • Filing Date
      2015-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Patent] レーザー加工装置2015

    • Inventor(s)
      林 照剛,黒河周平
    • Industrial Property Rights Holder
      九州大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2015-170450
    • Filing Date
      2015-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Patent] レーザー加工装置,レーザー加工方法及び加工物の製造方法2014

    • Inventor(s)
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • Industrial Property Rights Holder
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2014
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Patent] 液晶を用いた共焦点顕微鏡及び液晶を用いた共焦点顕微鏡によるマイクロアレイ基板からの蛍光測定法

    • Inventor(s)
      林 照剛, 前川 克廣, 柴田 隆行
    • Industrial Property Rights Holder
      JST
    • Industrial Property Number
      2002-287422
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [Presentation] ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第三報) ―AFMを用いた高さ相当径の評価2022

    • Author(s)
      朱家慶,林照剛,黒河周平
    • Organizer
      2022年度精密工学会春期全国大会
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Presentation] Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip2021

    • Author(s)
      Jiaqing ZHU, Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
    • Organizer
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Center(LEM21)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Presentation] Measurement of molar concentration spectrum based on number-weighted particle size distribution for poly-dispersed particles using nanoparticle chip2021

    • Author(s)
      Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • Organizer
      XXIII IMEKO World Congress August 30-September 3, 2021, Yokohama, Japan
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Presentation] Measurement of molar concentration spectrum for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip2020

    • Author(s)
      Jiaqing ZHU, Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
    • Organizer
      The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020 in Kobe)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [Presentation] 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第5報 蛍光色素を標識したナノ粒子の並進拡散時間評価~2019

    • Author(s)
      草場博喜,林照剛,黒河周平,赤星圭将
    • Organizer
      2019年度精密工学会春期全国大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] 蛍光プローブを用いた高精度ナノ粒子径計測に関する研究2019

    • Author(s)
      赤星 圭将,林 照剛,黒河 周平,草場 博喜
    • Organizer
      日本機械学会九州支部第72期総会・講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] フェムト秒レーザを用いた薄膜付き透明材料の光励起加工に関する研究2019

    • Author(s)
      廣津 佑紀,林 照剛,黒河 周平,水町 遼祐
    • Organizer
      日本機械学会九州支部第72期総会・講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [Presentation] A novel nano particle characterizing method using nano particle micro array2018

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Syuhei KUROKAWA and Zhu Jiaqing
    • Organizer
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究2018

    • Author(s)
      廣津佑紀,林照剛,黒河周平,水町遼祐,松川洋二
    • Organizer
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [Presentation] ナノ粒子粒径計測時におけるブラウン運動2018

    • Author(s)
      赤星 圭将,林 照剛,黒河 周平,草場 博喜
    • Organizer
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第九報) ―加工変質層の元素組成評価―2018

    • Author(s)
      松永啓伍,林照剛,黒河周平,廣津佑紀,松川洋二,長谷川登,錦野将元
    • Organizer
      2018年度精密工学会春期全国大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [Presentation] CMP スラリー中のナノ粒子粒径評価に関する研究2018

    • Author(s)
      林 照剛,黒河 周平,草場 博喜,赤星 圭介,松川 洋二
    • Organizer
      2018年度機械学会年次大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第3報 蛍光プローブの並進拡散係数の評価~2018

    • Author(s)
      草場博喜,林照剛,黒河周平
    • Organizer
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第3報)2017

    • Author(s)
      林照剛,世利俊樹,黒河周平,松川洋二
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学 矢上キャンパス
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] ナノ粒子粒径評価のためのブラウン運動解析に基づく粘性計測2017

    • Author(s)
      世利俊樹,林照剛,黒河周平,松川洋二
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学 矢上キャンパス
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第2報) -光子相関法による並進拡散係数計測-2016

    • Author(s)
      林 照剛, 世利俊樹,黒河周平,松川洋二
    • Organizer
      2016年度精密工学会秋期大会
    • Place of Presentation
      茨城大学 水戸キャンパス
    • Year and Date
      2016-09-06
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2016

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,松永啓伍,王 成武,松川洋二
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学
    • Year and Date
      2016-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2016

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,松永啓伍,王 成武,松川洋二
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学
    • Year and Date
      2016-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] Particle Size Distribution Analysis for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe2016

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Toshiki Seri, and Syuhei Kurokawa
    • Organizer
      International Conference on Planarization/ CMP Technology
    • Place of Presentation
      Beijing,China
    • Year and Date
      2016-10-17
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [Presentation] ダブルパルスビームを用いた時間分解表面励起加工に関する研究2016

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • Organizer
      電気加工学会全国大会
    • Place of Presentation
      四国大学交流プラザ
    • Year and Date
      2016-12-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討2015

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,王 成武,松川洋二
    • Organizer
      精密工学会秋期全国大会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2015-09-04
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究2015

    • Author(s)
      林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平
    • Organizer
      日本機械学会年次大会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2015-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究2015

    • Author(s)
      林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平
    • Organizer
      日本機械学会年次大会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2015-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討2015

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,王 成武,松川洋二
    • Organizer
      精密工学会秋期全国大会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2015-09-04
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] ダブルパルスビームを用いた時間分解表面励起加工に関する研究2015

    • Author(s)
      林 照剛,横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • Organizer
      電気加工学会全国大会
    • Place of Presentation
      四国大学交流プラザ
    • Year and Date
      2015-12-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3 報) -DNA を用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • Author(s)
      林 照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • Organizer
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-2014

    • Author(s)
      林 照剛, 大菊崇弘, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報) -粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • Author(s)
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • Organizer
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • Author(s)
      道畑正岐,足立 篤,林 照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第三報) -テラヘルツ帯域でのエネルギー伝達機構の検討-2014

    • Author(s)
      林 照剛, 大島玄喜, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale2014

    • Author(s)
      Shin-ichi Ueda, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      International Symposium on Optomechatronic Technologies 2014
    • Place of Presentation
      University of Washington (Seattle, USA)
    • Year and Date
      2014-11-06
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する研究2014

    • Author(s)
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • Organizer
      2014年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2014)
    • Place of Presentation
      岩手大学(岩手市)
    • Year and Date
      2014-09-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第 4 報) ~マイクロ球光軸方向位置の共焦点計測~2014

    • Author(s)
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • Organizer
      2014年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • Place of Presentation
      鳥取大学 (鳥取市)
    • Year and Date
      2014-09-16
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析2014

    • Author(s)
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • Organizer
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • Place of Presentation
      大阪府立大学(堺市)
    • Year and Date
      2014-03-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] 表面プラズモン励起ラマン計測による水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究2014

    • Author(s)
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • Organizer
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京大学(東京都)
    • Year and Date
      2014-03-20
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報)-粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • Author(s)
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • Organizer
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • Author(s)
      道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3報)-DNAを用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • Author(s)
      林照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • Organizer
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013

    • Author(s)
      Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
    • Organizer
      5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      Taipei(Taiwan)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013

    • Author(s)
      Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
    • Organizer
      5^<th > International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      Taipei(Taiwan)Howard Civil International Centre
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • Author(s)
      Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      ISMQC2013
    • Place of Presentation
      University, Cracow, Poland (Best paper award)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] Study on surface processing by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon2013

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, and Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, (ASPE2013)
    • Place of Presentation
      St. Paul, Minnesota, USA,
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • Author(s)
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2013)
    • Place of Presentation
      Jeju island, South Korea
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第2報)―定在場中でのプローブ球の挙動解析―2013

    • Author(s)
      鷲谷泰佑,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • Author(s)
      峨家諒介、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究2013

    • Author(s)
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2012年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
    • Place of Presentation
      大阪工業大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • Organizer
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • Place of Presentation
      Jeju Island(South Korea)
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • Author(s)
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会講演論文集
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)―基板材料と表面離脱性の関係―2013

    • Author(s)
      吉兼匡昭,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • Author(s)
      M. Michihata, R. Gake, T. Hayashi, Y. Takaya
    • Organizer
      Proc. the 11th international symposium on measurement technology and intelligent instruments
    • Place of Presentation
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • Organizer
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • Place of Presentation
      Jeju Island(South Korea)
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method2013

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • Organizer
      International Conference on Optics in Precision Engineering and Nanotechnology (icOPEN) 2013
    • Place of Presentation
      Singapore
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第3報)~スケールの内挿誤差の検討~2013

    • Author(s)
      上田真一,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学 (吹田市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • Place of Presentation
      Aachen
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • Author(s)
      峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • Place of Presentation
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • Author(s)
      Yuki Ishizaki, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      ISMQC2013
    • Place of Presentation
      University, Cracow, Poland
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • Author(s)
      A. Adachi, M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya
    • Organizer
      International symposium on optomechatronic technologies
    • Place of Presentation
      Jeju island, South Korea, M1C-3
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)~基板材質と表面離脱性の関係~2013

    • Author(s)
      吉兼匡昭、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • Author(s)
      足立篤,道畑正岐,林 照剛,高谷裕浩
    • Organizer
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [Presentation] Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe2012

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Taisuke Washitani
    • Organizer
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • Place of Presentation
      Paris (France)
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
    • Organizer
      XX IMEKO World Congress Metrology for Green Growth
    • Place of Presentation
      Busan, Korea
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [Presentation] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train2012

    • Author(s)
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Yasuhiro Takaya,
    • Organizer
      International Conference on Precision Engineering
    • Place of Presentation
      To be published
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [Presentation] Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere2012

    • Author(s)
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Taisuke Washitani, Terutake Hayashi
    • Organizer
      The 12th euspen International Conference
    • Place of Presentation
      Stockholm (Sweden)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第一報)ブラウン粒子の回転相関時間計測システムの開2012

    • Author(s)
      Lee Kok Foong, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      首都大学東京
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012

    • Author(s)
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
    • Organizer
      XX IMEKO World Congress Busan Korea
    • Place of Presentation
      (To be published)
    • Year and Date
      2012-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第一報)-In-situラマン分光分析装置の開発ー2012

    • Author(s)
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • Organizer
      精密工学会, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition2012

    • Author(s)
      Masaki MICHIHATA, Tadaaki YOSHIKANE, Terutake HAYASHI and Yasuhiro TAKAYA
    • Organizer
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • Place of Presentation
      Paris (France)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発2012

    • Author(s)
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会(2012)
    • Place of Presentation
      金沢大学
    • Year and Date
      2012-09-22
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [Presentation] 磁気ビーズ細胞励振系およびナノ振動計測系の開発2012

    • Author(s)
      服部圭介、増澤徹、長真啓、林照剛
    • Organizer
      第21回ライフサポート学会フロンティア講演会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2012-03-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22650100
  • [Presentation] In Situ Raman Analysis of Chemical Reaction for Copper CMP Using Water-soluble Fullerenol2011

    • Author(s)
      Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Ken Kokubo
    • Organizer
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011
    • Place of Presentation
      China, Hong Kong
    • Year and Date
      2011-11-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工に関する研究(第3報)-パターンウエハの研磨特製の評価-2011

    • Author(s)
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • Organizer
      精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] フェムトパルストレインによる表面原子加工技術の開発2011

    • Author(s)
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • Organizer
      2011年度精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      金沢大学
    • Year and Date
      2011-09-22
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [Presentation] Development of in-situ evaluation system for monitoring the size of nanoparticles based on fluorescence polarization, Proc2011

    • Author(s)
      Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      The 10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • Place of Presentation
      Daejeon, Korea
    • Year and Date
      2011-06-29
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工における表面反応層の形成2010

    • Author(s)
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • Organizer
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(JSPE)
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Year and Date
      2010-09-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] Verification of Generation and Removal Process of Surface Brittle Film, In Polishing Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • Author(s)
      Kazumasa Kano, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Ken Kokubo
    • Organizer
      10th International Symposium on Measurement and Quality Control(ISMQC)
    • Place of Presentation
      Osaka, Japan
    • Year and Date
      2010-09-08
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] Structual of Metal Nanoparticles by Photoinduced Aggregation, Proc2010

    • Author(s)
      Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya,
    • Organizer
      10th International Symposium on Measurement and Quality Contro
    • Place of Presentation
      Osaka, Japan
    • Year and Date
      2010-09-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価(第2報)2010

    • Author(s)
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • Organizer
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会(2010)
    • Place of Presentation
      埼玉大学
    • Year and Date
      2010-03-18
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] Weakly Copper-Fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • Author(s)
      Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • Organizer
      2010 American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • Place of Presentation
      Atlanta, USA
    • Year and Date
      2010-11-02
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] 水酸化フラーレンにおける脆性膜の生成および除去過程の検討2010

    • Author(s)
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛
    • Organizer
      精密工学会2010年度関西地方定期学術講演会
    • Place of Presentation
      京都大学
    • Year and Date
      2010-05-28
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価(第2報)~金ナノ粒子の粒子成長評価~2010

    • Author(s)
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • Organizer
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      埼玉大学,埼玉県
    • Year and Date
      2010-03-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • Author(s)
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • Organizer
      The 59th CIRP general assembly
    • Place of Presentation
      Boston, USA
    • Year and Date
      2009-08-26
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] In-situ measurement system for the particle growth in self-assembly process based on fluorescence polarization2009

    • Author(s)
      Satoshi Ota, Terutake hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology
    • Place of Presentation
      Included in Digital Media
    • Year and Date
      2009-11-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process2009

    • Author(s)
      Hirotaka Kishida, Terutake hayashi, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st
    • Place of Presentation
      Century, Japan
    • Year and Date
      2009-12-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [Presentation] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価2009

    • Author(s)
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • Organizer
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      神戸大学,兵庫県神戸市
    • Year and Date
      2009-09-10
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] In-situ measurement system for the particle growth in self-assembly process based on fluorescence polarization2009

    • Author(s)
      Satoshi Ota, Terutake.Hayashi, Yasurhio Takaya
    • Organizer
      3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN)
    • Place of Presentation
      Station Hotel Kokura, Kokura, Kitakyushu
    • Year and Date
      2009-11-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径2009

    • Author(s)
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • Organizer
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会(2009)
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2009-09-10
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [Presentation] フェムト秒レーザ干渉を用いた超時間分解能ナノ変位計測に関する研究2008

    • Author(s)
      中塚雄貴, 高谷裕浩, 林照剛
    • Organizer
      2007年度日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • Place of Presentation
      大阪大学
    • Year and Date
      2008-03-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18656047
  • [Presentation] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train

    • Author(s)
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012)
    • Place of Presentation
      Awaji, Hyogo(2012年11月発表予定)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [Presentation] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-

    • Author(s)
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-

    • Author(s)
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • Organizer
      2015年度精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

    • Author(s)
      林 照剛, 横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • Organizer
      精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [Presentation] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析

    • Author(s)
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • Organizer
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • Place of Presentation
      大阪府立大学 (堺市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [Presentation] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

    • Author(s)
      林 照剛, 横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • Organizer
      2015年度精密工学会春期全国大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [Presentation] フォトニック・ナノジェットを利用した微細加工に関する基礎研究

    • Author(s)
      上野原 努,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • Organizer
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • Place of Presentation
      大阪府立大学 (堺市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [Presentation] フォトニック・ナノジェットの生成に関する研究 ―ベッセルビーム照明条件の検討―

    • Author(s)
      大島玄喜,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • Organizer
      2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
    • Place of Presentation
      大阪工業大学(大阪市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • 1.  TAKAYA Yasuhiro (70243178)
    # of Collaborated Projects: 12 results
    # of Collaborated Products: 93 results
  • 2.  MICHIHATA Masaki (70588855)
    # of Collaborated Projects: 7 results
    # of Collaborated Products: 66 results
  • 3.  MIYOSHI Takashi (00002048)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 21 results
  • 4.  黒河 周平 (90243899)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 20 results
  • 5.  SHIBATA TAKAYUKI (10235575)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 6.  河 兌坪
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  KOKUBO Ken (20304008)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 12 results
  • 8.  MASUZAWA Toru (40199691)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 9.  KIMURA Tsuyoshi (10393216)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 10.  KAWASHIMA Takahiro (50378270)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 11.  NAGAI Moeto (00580557)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 12.  Mzutani Yasuhiro (40374152)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 13.  MAKLNO Eiji (70109495)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 14.  前川 克廣 (20126329)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 15.  赤羽 秀郎 (50192886)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 16.  WAKIYAMA Shigeru
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 17.  鈴木 恵友
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 18.  OTOBE Tomohito
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 19.  HASEGAWA Noboru
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 20.  熊田 高之
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 21.  錦野 将元
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 1 results

URL: 

Are you sure that you want to link your ORCID iD to your KAKEN Researcher profile?
* This action can be performed only by the researcher himself/herself who is listed on the KAKEN Researcher’s page. Are you sure that this KAKEN Researcher’s page is your page?

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi