Mineta Takashi 峯田貴

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MINETA Takashi 峯田貴

峯田貴ミネタタカシ

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Researcher Number	50374814
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 山形大学, 大学院理工学研究科, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2016 – 2024: 山形大学, 大学院理工学研究科, 教授 2015: 山形大学, 理工学研究科, 教授 2011 – 2013: 山形大学, 理工学研究科, 教授 2011 – 2012: 山形大学, 大学院・理工学研究科, 教授 2010: 山形大学, 大学院・工学研究科, 教授 2009: 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 2007: Hirosaki University, 大学院・理工学研究科, 准教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related / Intelligent mechanics/Mechanical systems / Biomedical engineering/Biological material science Except Principal Investigator Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related / Basic Section 61020:Human interface and interaction-related / Intelligent mechanics/Mechanical systems / Materials/Mechanics of materials
Keywords	Principal Investigator 近接探針 / 触覚ディスプレイ / MEMS / 磁歪薄膜 / 有機半導体 / ハイブリッド / 薄膜半導体 / フレキシブル素子 / 形状記憶合金膜 / フレキシブルデバイス … More / 半導体素子 / 形状記憶合金薄膜 / 厚膜形成 / 装着型 / 実装 / 高精細 / 高出力 / 厚膜 / 形状記憶合金 / 液体デリバリ / 磁歪薄膜アクチュエータ / 中空カンチレバー / デュアルAFMプローブ / 近接デュアル探針 / 液中デリバリ / AFMプローブ / 分子補足 / ソフトスタンプ / ナノドット / ヒアルロン酸 / ナノテンプレート / 基板表面処理 / 分子捕捉 / プロテオグリカン / 磁性形状記憶合金薄膜 / 磁性薄膜 / 低ノイズ変位機構 / その場計測 / ナノ加工 / デュアルカンチレバー / AFM / ヒアルソン酸 / 分子サージャリ / トレンチエッチング / ナノマシニング / デュアルプローブ / 原子間力顕微鏡 … More Except Principal Investigator MEMS / ポリエチレンオキシド / ポリアミック酸 / 固体高分子電解質 / ポリイミド / 電解研磨 / 鏡面加工 / カーボンナノチューブ / 固体電解質 / 空気圧 / 形状記憶合金 / 触感 / 触覚ディスプレイ / 臓器モデル / 人間機械システム / 知能機械 / 電気・磁気効果 / ナノテク材料 / 複合機能化 / マルチフェロイクス材料 / 磁気センサー / マイクロ磁気センサ / PZT / 磁歪合金 / マルチフェロイックス材料 / ブロードバンドAC磁場 / カンチレバー / マルチフェロイイク材料 / ME効果 / マイクロ加工プロセス / 磁気センサ / 磁気・電気効果 / マルチフェッロイク材料 Less

Development of tactile presentation device combining wide-frequency range using pneumatic/shape memory alloy thick film actuator
- Principal Investigator
  
  徐嘉楽
- Project Period (FY)
  2024 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 61020:Human interface and interaction-related
- Research Institution
  Wakayama National College of Technology
形状記憶膜/有機半導体ハイブリッド型の高出力フレキシブル触覚ディスプレイ開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  峯田貴
- Project Period (FY)
  2023 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
- Research Institution
  Yamagata University
Elucidation of electropolishing mechanism at solid/solid interface by ultra-high concentration CNT composite solid electrolyte and development of mirror finishing method
- Principal Investigator
  
  鈴木庸久
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
- Research Institution
  Akita Prefectural University
Development of wearable fine tactile display with shape memory thick film for tele-existencePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Mineta Takashi
- Project Period (FY)
  2018 – 2020
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
- Research Institution
  Yamagata University
Magneto-strictive-driven dual AFM probe for narrow-gapped delivery in liquidPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Mineta Takashi
- Project Period (FY)
  2015 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  Yamagata University
Development of nano-probe with low noise actuation mechanism for nano-machining and in situ measurementPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  MINETA TAKASHI
- Project Period (FY)
  2011 – 2013
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  Yamagata University
Development of nano-template chip for immobilization and analysis of cartilaginous bio-polymer moleculesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  MINETA Takashi
- Project Period (FY)
  2011 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- Research Field
  
  Biomedical engineering/Biological material science
- Research Institution
  Yamagata University
Multiplication properties of multi-ferroic nanomaterial and micro magnetic sensor
- Principal Investigator
  
  FURUYA Yasubumi
- Project Period (FY)
  2009 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Materials/Mechanics of materials
- Research Institution
  Hirosaki University
内視鏡医療トレーニングのための括約筋をもつアクティブ臓器モデルの開発
- Principal Investigator
  
  牧野英司
- Project Period (FY)
  2009 – 2010
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  Hirosaki University
生体高分子の分子サージャリ用デュアルナノプローブの開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  峯田貴
- Project Period (FY)
  2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  Biomedical engineering/Biological material science
- Research Institution
  Hirosaki University

[Book] ＶＲ／ＡＲ技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例 (第4章9節“MEMS技術による形状記憶合金型触覚ディスプレイの開発と応用”)2021
- Author(s)
  峯田貴
- Total Pages
  7
- Publisher
  技術情報協会
- ISBN
  9784861048500
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Journal Article] Fabrication of Shearing-Motion-Type Tactile Display Mechanism Using SMA Thick-Film Actuators and Coil Springs Array2023
- Author(s)
  Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi Mineta
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
  
  Volume: Vol. 18, Issue7 Issue: 7 Pages: 1220-1225
- DOI
  10.1002/tee.23814
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Journal Article] Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode2021
- Author(s)
  R. Saito, Y. Kimura, J. Xu, T. Mineta
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 141 Issue: 7 Pages: 260-264
- DOI
  10.1541/ieejsmas.141.260
- NAID
  130008060182
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2021-07-01
- Language
  English
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402, KAKENHI-PROJECT-21K14134
[Journal Article] Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display,2020
- Author(s)
  J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta
- Journal Title
  
  Microelectronic Engineering
  
  Volume: 227 Pages: 111307-111307
- DOI
  10.1016/j.mee.2020.111307
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Journal Article] Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display2020
- Author(s)
  J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta
- Journal Title
  
  Microelectronic Eng.
  
  Volume: in press
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Journal Article] Evaluation of Tactile Sensation using Periodic Si Micro-bump Arrayed Surface with Various Bump Sizes2019
- Author(s)
  徐嘉楽, 野々村美宗, 峯田貴
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 139 Issue: 12 Pages: 393-399
- DOI
  10.1541/ieejsmas.139.393
- NAID
  130007754466
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2019-12-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Journal Article] Fabrication of Tactile Display Device with Individually-driven-type Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Array2019
- Author(s)
  木村友翼, 辻一樹, 梁取大, 峯田貴, 阿部喜, 岩崎健二
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 139 Issue: 9 Pages: 329-334
- DOI
  10.1541/ieejsmas.139.329
- NAID
  130007699893
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2019-09-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Journal Article] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film2018
- Author(s)
  Naoki Okada, Takashi Sasabuchi, Kunihiro Koike, Takashi Mineta
- Journal Title
  
  Electronics and Communications in Japan
  
  Volume: 101 Pages: 90-95
- NAID
  210000160450
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Journal Article] Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator2017
- Author(s)
  Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga Taguchi
- Journal Title
  
  Microelectronic Engineering
  
  Volume: 168 Pages: 45-49
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Journal Article] Si Nano-tip Sharpening and Fabrication of Narrow-gapped Dual AFM Probe2016
- Author(s)
  三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 峯田貴
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 136 Issue: 7 Pages: 312-318
- DOI
  10.1541/ieejsmas.136.312
- NAID
  130005160446
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Journal Article] Evaluation of Annealing Effect on Sputtered FePd Magnetostrictive Film using MEMS Cantilever2016
- Author(s)
  笹渕貴史, 岡田尚樹, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 136 Issue: 9 Pages: 408-412
- DOI
  10.1541/ieejsmas.136.408
- NAID
  130005262083
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Journal Article] Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection2014
- Author(s)
  Kenta Kawashima, Eiji Makino, Takashi Mineta
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 134 Issue: 4 Pages: 74-78
- DOI
  10.1541/ieejsmas.134.74
- NAID
  130003391592
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Language
  English
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Journal Article] Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製2014
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行
- Journal Title
  
  電気学会論文誌E
  
  Volume: Vol.134,NO.4 Pages: 90-95
- NAID
  40020168337
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Journal Article] Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically polishing-back for selective trench sidewalls protection2014
- Author(s)
  K. Kawashima, E. Makino, T . Mineta
- Journal Title
  
  Trans. IEEJ-E
  
  Volume: Vol.134,NO.4 Pages: 74-78
- NAID
  130003391592
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Journal Article] Self-align Fabrication of Narrow-gapped Dual AFM Tip using Si Trench Refilling with SOG and Magneto-strictive Film Stacked Dual Cantilever Formation2014
- Author(s)
  川島　健太, 峯田　貴, 牧野　英司,川島　貴弘, 柴田隆行
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 134 Issue: 4 Pages: 90-95
- DOI
  10.1541/ieejsmas.134.90
- NAID
  130003391595
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Journal Article] Si基板上へスパッタ形成したFePd磁性形状記憶合金膜の特性評価2012
- Author(s)
  峯田貴
- Journal Title
  
  表面技術協会講演大会要旨集
  
  Volume: 125 Pages: 229-229
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21246019
[Journal Article] FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成2011
- Author(s)
  峯田貴
- Journal Title
  
  応用物理学会学術講演会予稿集
  
  Volume: 72 Pages: 22-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21246019
[Presentation] Sensory evaluation of tactile display device with 7x7 SMA thick film actuator array2024
- Author(s)
  Takashi Mineta, Haruto Amano, Tatsuya Tagami, Ryo Saito
- Organizer
  Int. Meeting on Sensors and Microsystems for SDGs (IMSM-SDGs 2024)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] 7×7アレイSMA触覚ディスプレイの刺激提示評価とSi-TSV層との一体形成プロセス2024
- Author(s)
  田上竜也, 天野晏年, 齋藤涼, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] High Output Tactile Display Using Sma Thick Film Actuator Array With Improved Thermal And Frequency Response2023
- Author(s)
  Ryo Saito, Haruto Amano, and Takashi Mineta
- Organizer
  22th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] 形状記憶合金シートを用いたMEMS型多軸力および硬さセンサの形成2023
- Author(s)
  佐藤健太郎, 峯田貴
- Organizer
  第57回日本生体医工学会東北支部大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] せん断振動型SMA厚膜アレイ触覚ディスプレイの触覚提示評価とばね機構の一括形成2023
- Author(s)
  清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴
- Organizer
  第40回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] 形状記憶合金シートを用いたMEMS3軸力及び硬さセンサの形成2023
- Author(s)
  佐藤健太郎, 峯田貴
- Organizer
  電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] 高分子固体電解質の Na イオン伝導率に及ぼすダイヤモンド添加の効果2023
- Author(s)
  中村太翼, 鈴木庸久, 藤井達也, 野村光由, 峯田貴
- Organizer
  表面技術協会第148回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K23102
[Presentation] ダイヤモンド砥粒/PEO複合SPEのイオン伝導率に及ぼす砥粒表面官能基と粒径の影響2023
- Author(s)
  中村太翼, 鈴木庸久, 藤井達也, 野村光由, 峯田貴
- Organizer
  023年度精密工学会東北支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K23102
[Presentation] 7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討2023
- Author(s)
  田村晴紀, 天野晏年, 齋藤凉, 峯田貴
- Organizer
  R5電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] Effect of composition ratio of CMC-Na composite PEO solid electrolytes on crystal structure and sodium ion conductivity2023
- Author(s)
  Taiyou Nakamura, Tsunehisa Suzuki, Tatsuya Fujii, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta
- Organizer
  International Conference on Surface Engineering 2023
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K23102
[Presentation] 7x7厚膜アクチュエータアレイを搭載したMEMS触覚ディスプレイを用いた官能評価2023
- Author(s)
  天野晏年, 田上竜也, 峯田貴
- Organizer
  電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] ダイヤモンド複合 PEO 高分子固体電解質のイオン伝導率と機械的特性2023
- Author(s)
  中村太翼, 鈴木庸久, 藤井達也, 野村光由, 峯田貴
- Organizer
  プラスチック成形加工学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K23102
[Presentation] MA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発2023
- Author(s)
  清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴
- Organizer
  R5電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K26066
[Presentation] MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜アクチュエータアレイと個別駆動用有機ダイオード素子の形成2022
- Author(s)
  天野晏年, 斎藤涼, 山田将也, 松井弘之, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第51回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication of shearing motion mechanism with SMA-thick-film actuator and coil spring array for tactile display device2021
- Author(s)
  Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi Mineta
- Organizer
  9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng.
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 触覚ディスプレイ素子のための熱応答を向上したSMAアクチュエータとDRIEとめっきによるTSV基板の形成2021
- Author(s)
  齋藤涼, 天野晏年, 峯田貴
- Organizer
  第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] アレイ状のSMA 厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイの形成2021
- Author(s)
  佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会,
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成2021
- Author(s)
  佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴
- Organizer
  第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Optimal design and fabrication of high output SMA film actuator array for MEMS tactile display2021
- Author(s)
  Ryo Saito, Haruto Amano, Takashi Mineta
- Organizer
  9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng.
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Characterization of the cooling-fluid-filled SMA thick actuator array for high power tactile display2021
- Author(s)
  Jiale Xu, Yusuke Kimura, Kazuki Tsuji, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi Mineta,
- Organizer
  9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng.
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 高品質なTiNiCu 形状記憶合金の成膜手法の開発2021
- Author(s)
  栗城美咲，佐藤翼，峯田貴,
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第50回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 厚膜SMA アクチュエータとコイルばねによるせん断駆動型触覚ディスプレイの形成2021
- Author(s)
  佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第50回学生員卒業研究発表講演会,
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication of Tactile Display Using Arrayed SMA Film Actuator on Silicon TSV Substrate with Individually Conducting Diode2021
- Author(s)
  Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta
- Organizer
  34th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS 2021)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 個別通電用Siダイオードアレイを搭載したSMA厚膜型触覚ディスプレイの形成2020
- Author(s)
  斎藤涼，木村友翼，徐嘉楽，峯田貴
- Organizer
  (1)斎藤涼，木村友翼，徐嘉楽，峯田貴, “形状記憶合金厚膜アレイによる個別動作型触覚ディスプレイ素子の開発”, 日本機械学会東北学生会第49回学生員卒業研究発表講演会, (2020)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication of tactile display using arrayed SMA actuator on Si TSV substrate with individually conducting diode2020
- Author(s)
  Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta,
- Organizer
  The 8th Int. Conf. on Smart Systems Eng.
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 個別通電用Siダイオードを搭載したTSV電極Si層とSMA厚膜アクチュエータアレイをもつ触覚ディスプレイの形成”2020
- Author(s)
  斎藤涼，木村友翼，徐嘉楽，峯田貴
- Organizer
  日本機械学会年次大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチュエータアレイ／個別通電用TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成2020
- Author(s)
  斎藤涼，木村友翼，徐嘉楽，峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 個別通電用Siダイオードを搭載したTSV基板とSMA厚膜アクチュエータを接合したアレイ型触覚ディスプレイの形成2020
- Author(s)
  斎藤涼，木村友翼，徐嘉楽，峯田貴
- Organizer
  第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 形状記憶合金フラッシュ蒸着膜の膜厚方向の組成均一性の向上2019
- Author(s)
  村上誠幸, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第49回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価2019
- Author(s)
  辻一樹, 徐嘉楽, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成および特性評価2019
- Author(s)
  徐嘉楽, 木村友翼, 辻一樹, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴
- Organizer
  第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価2019
- Author(s)
  辻一樹, 徐嘉楽, 丸山顕, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴
- Organizer
  第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成2019
- Author(s)
  木村友翼, 丸山顕, 徐嘉楽, 峯田貴
- Organizer
  第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法2019
- Author(s)
  飯島陽太, 増田雄介, 田中勝, 峯田貴
- Organizer
  第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Flash-Evaporation of High Cu Content TiNiCu and TiNiCo Shape Memory Alloy Films2019
- Author(s)
  Masayuki Murakami, Takashi Mineta
- Organizer
  SmaSys 2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成2019
- Author(s)
  木村友翼, 辻一樹, 梁取大, 峯田貴, 阿部喜, 岩崎健二
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication and characterization of arrayed micro-structure with Ni film springs and photolithographed SU-8 micro-pins for Tactile Display Device2019
- Author(s)
  K. Tsuji, J. Xu, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta,
- Organizer
  45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Si 基板貫通配線へ SMA 厚膜アクチュエータを接合した触覚ディスプレイ2019
- Author(s)
  丸山顕, 木村友翼, 徐嘉楽, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北学生会第49回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたMEMSカンチレバーのたわみ調整法2019
- Author(s)
  飯島陽太, 増田雄介, 田中勝, 峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] SU-8マイクロピン搭載型Ni膜バイアスばねアレイとSMA厚膜アクチュエータ接合による触覚ディスプレイ素子の形成2019
- Author(s)
  丸山顕, 辻一樹, 徐嘉楽, 木村友翼, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴,
- Organizer
  精密工学会会東北支部講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Adjustment method of MEMS dual-cantilever deflection using plastic deformation of metal thin film by thermal annealing2019
- Author(s)
  M. Tanaka, Y. Iijima, Y. Masuda, T. Sato, T. Mineta
- Organizer
  45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication and characterization of SMA thick film actuator array for high power tactile display2019
- Author(s)
  J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta
- Organizer
  45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合厚膜アクチュエータアレイの形成2019
- Author(s)
  徐嘉楽, 木村友翼, 辻一樹, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成2018
- Author(s)
  木村友翼, 辻一樹, 梁取大, 峯田貴, 阿部喜, 岩崎健二
- Organizer
  第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価2018
- Author(s)
  辻一樹, 阿部喜, 清水智巨, 長谷川博康, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会第26回機械材料・材料加工技術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication of tactile display with individual-driving shape memory alloy thick film actuator array2018
- Author(s)
  Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, Y. Ono, T. Mineta
- Organizer
  44th Int. Conf. on Micro Nano Eng.
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 種々サイズの凸構造をもつ周期的なSiマイクロ凹凸表面による触感の評価2018
- Author(s)
  徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴
- Organizer
  電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication and Characterization of Arrayed Ni Thin Film Bias Springs with SU-8 Micro-Pin structure for Tactile Display Device2018
- Author(s)
  (10)Kazuki Tsuji, Konomu Abe, Tomomi Shimizu, Hiroyasu Hasegawa and Takashi Mineta
- Organizer
  SmaSys 2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Fabrication and Characteristics of Shape Memory Alloy Arrayed Thick Film Actuators with Individual-Actuation-Type Tactile Display Device2018
- Author(s)
  Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, Y. Ono, T. Mineta
- Organizer
  SmaSys 2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] Characterization of tactile sensation of deformable surface with micro-bump structure2018
- Author(s)
  J. Xu, J. Gong, H. Furukawa, Y. Nonomura, T. Mineta
- Organizer
  44th Int. Conf. on Micro Nano Eng
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01402
[Presentation] 流体デリバ用AFMカンチレバーの埋込型流路閉合とSi探針形状への影響2017
- Author(s)
  増田雄介, 洪振瑞，三浦嘉隆，佐藤翼，峯田貴
- Organizer
  日本機械学会東北支部第53期秋季講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] 液体デリバリ用AFMプローブのためのシリコンマイクロ流路とノズル形成2017
- Author(s)
  増田雄介, 峯田貴, 洪振瑞,, 三品和樹, 佐藤翼
- Organizer
  第47回機械学会東北支部学生会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] 磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFM カンチレバーの形成2017
- Author(s)
  洪振瑞, 三品和樹, 峯田貴
- Organizer
  第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Fabrication and characterization of dual AFM cantilever with magneto-strictive film designed for large deflection2017
- Author(s)
  Jinseo Hong, Kazuki Mishina, Takashi Mineta
- Organizer
  43th Int. Conf. on Micro Nano Engineering
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] 洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成2017
- Author(s)
  洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴
- Organizer
  電気学会センサマイクロマシン総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ2016
- Author(s)
  岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴
- Organizer
  第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization2016
- Author(s)
  J. Hong, H. Sugo, T. Mineta, I. Kakizaki
- Organizer
  IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Eng. and Molecular Systems
- Place of Presentation
  Hotel Matsushma Taikanso (Miyagi)
- Year and Date
  2016-04-18
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film2016
- Author(s)
  T. Sasabuchi, N. Okada, K. Koike, T. Mineta
- Organizer
  Asia-Pacific Conf. of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
- Place of Presentation
  Kanazawa Bunka Hall (Kanazawa)
- Year and Date
  2016-06-26
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film2016
- Author(s)
  Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro Koike, Takashi Mineta
- Organizer
  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool2016
- Author(s)
  T. Mineta
- Organizer
  IEEE-NEMS 2016
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe2016
- Author(s)
  Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki Mishina, Takayuki Shibata, Takashi Mineta
- Organizer
  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool2016
- Author(s)
  T. Mineta
- Organizer
  IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Eng. and Molecular Systems
- Place of Presentation
  Hotel Matsushma Taikanso (Miyagi)
- Year and Date
  2016-04-18
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization2016
- Author(s)
  J. S. Hong, H. Sugo, T. Mineta, I. Kakizaki,
- Organizer
  IEEE-NEMS 2016
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe2016
- Author(s)
  Y. Miura, J. Hong, K. Mishina, T. Shibata, T. Mineta
- Organizer
  Asia-Pacific Conf. of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
- Place of Presentation
  Kanazawa Bunka Hall (Kanazawa)
- Year and Date
  2016-06-26
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] 熱処理によるFePd合金膜の磁歪特性向上とMEMS磁気デバイスへの応用2016
- Author(s)
  岡田尚樹, 笹渕貴史, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴
- Organizer
  第45回機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  福島大学
- Year and Date
  2016-03-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tip and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator2015
- Author(s)
  T. Mineta, K. Kawashma, R. Taguchi
- Organizer
  41th Int. Conf. on Micro Nano Engineering
- Place of Presentation
  World Forum in The Hague
- Year and Date
  2015-09-21
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化2015
- Author(s)
  洪振瑞，柿崎育子，須郷秀治，峯田貴
- Organizer
  第7回マイクロナノ工学シンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成2015
- Author(s)
  三品和樹，三浦嘉隆，川島健太，峯田貴
- Organizer
  第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発2015
- Author(s)
  三浦嘉隆，三品和樹，川島健太，佐藤翼，柴田隆行，峯田貴
- Organizer
  第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] シリコンMEMSカンチレバー上のFePd磁歪薄膜の熱処理と特性評価2015
- Author(s)
  笹渕貴史, 峯田貴
- Organizer
  日本機械学会2015年次大会
- Place of Presentation
  北海道大学（札幌市）
- Year and Date
  2015-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS Cantilever2015
- Author(s)
  T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike, T. Mineta
- Organizer
  25th Annual Meet. of MRS-Japan
- Place of Presentation
  万国橋会議センター（横浜市）
- Year and Date
  2015-12-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価2015
- Author(s)
  笹渕貴史，岡田尚樹，佐藤翼，小池邦博，峯田貴
- Organizer
  第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03940
[Presentation] 磁歪薄膜積層 MEMS カンチレバーの形成とデュアル AFM プローブへの応用2014
- Author(s)
  田口涼雅, 川島健太, 西方孝志, 峯田貴
- Organizer
  第44回機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  山形大学(米沢市)
- Year and Date
  2014-03-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 高加速 EB リソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用2014
- Author(s)
  三浦嘉隆, 峯田貴, 佐藤翼
- Organizer
  第44回機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  山形大学(米沢市)
- Year and Date
  2014-03-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁歪膜を積層した共振型MEMS磁気センサ2014
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 川島貴弘, 柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文
- Organizer
  ロボティクス・メカトロニクス講演会2014
- Place of Presentation
  富山市総合体育館, 富山市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製2013
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行
- Organizer
  第30回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター(仙台市)
- Year and Date
  2013-11-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製2013
- Author(s)
  川島　健太, 峯田　貴, 牧野　英司, 川島　貴弘, 柴田隆行
- Organizer
  第30回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター, 仙台市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] MEMS カンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd 合金膜の磁歪特性評価2013
- Author(s)
  笹渕貴史, 峯田貴
- Organizer
  第5回マイクロナノ工学シンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター(仙台市)
- Year and Date
  2013-11-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] MEMSカンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd合金膜の磁歪特性評価2013
- Author(s)
  笹渕貴史，峯田貴,
- Organizer
  第5回マイクロナノ工学シンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター, 仙台市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] プロテオグリカン分子選択固定化のための基板表面パターン処理の検討2013
- Author(s)
  峯田貴, 洪振瑞, 柿崎育子
- Organizer
  表面技術協会第127回講演大会要旨集
- Place of Presentation
  日本工業大学(埼玉県宮代町)
- Year and Date
  2013-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator2013
- Author(s)
  Kenta. Kawashima, Teiko. Okazaki, Yasubumi. Furuya, Eiji. Makino, Takashi. Mineta
- Organizer
  39th Int. Conf. on Micro Nano Engineering (MNE2013)
- Place of Presentation
  Imperial College, London, UK
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 基板表面へのプロテオグリカン分子転写のためのソフトスタンプ形成2013
- Author(s)
  峯田貴, 佐々木愛, 牧野英司
- Organizer
  表面技術協会第127回講演大会要旨集
- Place of Presentation
  日本工業大学(埼玉県宮代町)
- Year and Date
  2013-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] MEMS sensors and actuators with smart materials2013
- Author(s)
  T . Mineta
- Organizer
  3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)
- Place of Presentation
  Hirosaki Univ(Hirosaki, Japan)
- Year and Date
  2013-05-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Fabrication of ultra-narrow -gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator2013
- Author(s)
  K. Kawashima, T . Okazaki, Y . Furuya, E. Makino, T . Mineta
- Organizer
  39th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2013)
- Place of Presentation
  Imperial College (London,UK)
- Year and Date
  2013-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] シリコンMEMSカンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価2013
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太
- Organizer
  第5回マイクロナノ工学シンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター, 仙台市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] シリコン MEMS カンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価2013
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太
- Organizer
  第5回マイクロナノ工学シンポジウム
- Place of Presentation
  仙台国際センター(仙台市)
- Year and Date
  2013-11-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成2012
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  日本機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  福島高専(いわき市)
- Year and Date
  2012-03-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁歪膜を積層した近接デュアル AFM プローブの形成2012
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  日本機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  福島高専(いわき市)
- Year and Date
  2012-03-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 生体高分子観察および加工のための近接AFM 探針と薄膜磁気アクチュエータ積層型デュアル MEMS カンチレバーの形成2012
- Author(s)
  川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 峯田貴
- Organizer
  第23回バイオフロンティア講演会論文集
- Place of Presentation
  弘前市文化センター(弘前市)
- Year and Date
  2012-10-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] MEMS devices with Smart Materials2012
- Author(s)
  T. Mineta
- Organizer
  Int. Workshop on Progress of Materials for Smart System 2012
- Place of Presentation
  Hirosaki Culture Center (Hirosaki, Japan)
- Year and Date
  2012-04-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] MEMS devices with Smart Materials2012
- Author(s)
  T. Mineta
- Organizer
  Int. Workshop on Progress of Materials for Smart System 2012
- Place of Presentation
  Hirosaki Culture Center(弘前市）
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Al 薄膜ナノ電極対へのヒアルロン酸分子の捕捉と再溶解挙動の評価2012
- Author(s)
  峯田貴, 竹内博子, 牧野英司
- Organizer
  第23回バイオフロンティア講演会論文集
- Place of Presentation
  弘前市文化センター(弘前市)
- Year and Date
  2012-10-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] 磁気センサのための FePd 膜を積層した MEMS カンチレバーの形成2012
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文,牧野英司
- Organizer
  日本機械学会2012年次大会論文集
- Place of Presentation
  金沢大学(金沢市)
- Year and Date
  2012-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究2012
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  日本機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  福島高専(いわき市)
- Year and Date
  2012-03-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] FePd 磁歪膜を積層したデュアルカンチレバーの形成と近接デュアルニードル構造の形成2012
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
- Organizer
  日本機械学会2012年次大会論文集
- Place of Presentation
  金沢大学(金沢市)
- Year and Date
  2012-09-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Fabrication of narrow-gaped dual AFM tip with novel self-align silicon nano-machining process2012
- Author(s)
  T . Mineta, K. Kawashima, Eiji Makino
- Organizer
  38th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2012)
- Place of Presentation
  The Pierre Baudis Convention Centre (T oulouse, France)
- Year and Date
  2012-09-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成2012
- Author(s)
  西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田貴
- Organizer
  第29回センサマイクロマシンと応用システム
- Place of Presentation
  北九州国際会議場(北九州市)
- Year and Date
  2012-10-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Si基板上へスパッタ形成したFePd磁性形状記憶合金膜の特性評価2012
- Author(s)
  峯田貴, 川島健太, 西方孝志, 牧野英司, 三上是右, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  表面技術協会第125回講演大会
- Place of Presentation
  東京都市大学(東京都)
- Year and Date
  2012-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアル AFM 探針の形成2012
- Author(s)
  川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田貴
- Organizer
  第29回センサマイクロマシンと応用システム
- Place of Presentation
  北九州国際会議場(北九州市)
- Year and Date
  2012-10-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film2012
- Author(s)
  T . Mineta, Y . Sado, E. Makino, T . Okazaki and Y . Furuya
- Organizer
  Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications
- Place of Presentation
  Hirosaki Culture Center (Hirosaki, Japan)
- Year and Date
  2012-04-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] スピンオングラスによるトレンチ埋め込みと化学的表面研磨を用いた近接デュアル AFM 探針の作製2012
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴
- Organizer
  精密工学会東北支部学術講演会論文集
- Place of Presentation
  山形大学工学部(米沢市)
- Year and Date
  2012-12-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Si 基板上へスパッタ形成した FePd 磁性形状記憶合金膜の特性評価2012
- Author(s)
  峯田貴, 川島健太, 西方孝志, 牧野英司, 三上是右, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  表面技術協会第125回講演大会
- Place of Presentation
  東京都市大学(東京都)
- Year and Date
  2012-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 原子間力顕微鏡プローブによるヒアルロン酸分子の機械的切断2011
- Author(s)
  峯田貴, 牧野英司
- Organizer
  第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学(山形市)
- Year and Date
  2011-09-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成2011
- Author(s)
  峯田貴, 佐渡祐介, 牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学(山形市)
- Year and Date
  2011-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] FePd 磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成2011
- Author(s)
  峯田貴, 佐渡祐介, 牧野英司, 岡崎禎子,古屋泰文
- Organizer
  第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学(山形市)
- Year and Date
  2011-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] サケ鼻軟骨由来プロテオグリカンの糖鎖分析2011
- Author(s)
  柿崎育子, 峯田貴, 佐々木愛, 多田羅洋太, 牧野英司, 遠藤正彦
- Organizer
  第84回日本生化学会大会
- Place of Presentation
  国立京都国際会議場( 京都市)
- Year and Date
  2011-09-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成2011
- Author(s)
  峯田貴, 佐渡祐介, 川島健太, 西方孝志, 牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  日本機械学会東北支部第47回秋期講演会
- Place of Presentation
  山形大学工学部(米沢市)
- Year and Date
  2011-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] サケ鼻軟骨由来プロテオグリカンの糖鎖分析2011
- Author(s)
  柿崎育子、峯田貴、佐々木愛、多田羅洋太、牧野英司、遠藤正彦
- Organizer
  第84回日本生化学会大会
- Place of Presentation
  国立京都国際会議場（京都市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] FePd 磁気形状記憶合金薄膜/Si 積層構造のマイクロカンチレバー形成2011
- Author(s)
  峯田貴, 佐渡祐介, 川島健太, 西方孝志,牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
- Organizer
  日本機械学会東北支部第47回秋期講演会
- Place of Presentation
  山形大学(米沢市)
- Year and Date
  2011-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 括約筋アクチュエータのためのシリコーンゴムバルーンの変形特性2010
- Author(s)
  佐野雄介、牧野英司、峯田貴、鈴木秀典
- Organizer
  2010年度精密工学会東北支部学術講演会
- Place of Presentation
  岩手県工業技術センター(盛岡市)
- Year and Date
  2010-11-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21656063
[Presentation] 近接デュアルAFMプローブ形成のためのSiナノマシニング2008
- Author(s)
  盛田慎二, 峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行
- Organizer
  表面技術協会第117回講演大会
- Place of Presentation
  日本大学
- Year and Date
  2008-03-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19650110
[Presentation] Siエッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成2007
- Author(s)
  盛田慎二, 峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行
- Organizer
  精密工学会東北支部講演会
- Place of Presentation
  八戸工業大学
- Year and Date
  2007-12-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19650110
[Presentation] Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film
- Author(s)
  T. Mineta, Y. Sado, E. Makino, T. Okazaki and Y. Furuya
- Organizer
  Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications
- Place of Presentation
  Hirosaki Culture Center(弘前市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアルAFM探針の形成
- Author(s)
  川島健太,　岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田貴
- Organizer
  第29回センサマイクロマシンと応用システム
- Place of Presentation
  北九州国際会議場(北九州市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 高加速EBリソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用
- Author(s)
  三浦　嘉隆, 峯田　貴, 佐藤　翼
- Organizer
  第44回機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  山形大学, 米沢市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 生体高分子観察および加工のための近接AFM探針と薄膜磁気アクチュエータ積層型デュアルMEMSカンチレバーの形成
- Author(s)
  川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 峯田貴
- Organizer
  第23回バイオフロンティア講演会論文集
- Place of Presentation
  弘前市文化センター(弘前市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチレバーの形成
- Author(s)
  西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
- Organizer
  日本機械学会2012年次大会論文集
- Place of Presentation
  金沢大学(金沢市)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成
- Author(s)
  西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田貴
- Organizer
  第29回センサマイクロマシンと応用システム
- Place of Presentation
  北九州国際会議場(北九州市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] スピンオングラスによるトレンチ埋め込みと化学的表面研磨を用いた近接デュアルAFM探針の作製
- Author(s)
  川島健太，峯田貴
- Organizer
  精密工学会東北支部学術講演会論文集
- Place of Presentation
  山形大学工学部(米沢市)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Fabrication of narrow-gaped dual AFM tip with novel self-align silicon
- Author(s)
  T. Mineta, K. Kawashima, Eiji Makino
- Organizer
  38th Int. Conf. on Micro Nano Engineering (MNE2012)
- Place of Presentation
  The Pierre Baudis Convention Centre, Toulouse, France
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] プロテオグリカン分子選択固定化のための基板表面パターン処理の検討
- Author(s)
  峯田貴，洪振瑞，柿崎育子
- Organizer
  表面技術協会第127回講演大会要旨集
- Place of Presentation
  日本工業大学(埼玉県宮代町)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] MEMS sensors and actuators with smart materials
- Author(s)
  Takashi. Mineta
- Organizer
  3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)
- Place of Presentation
  Hirosaki Univ., (Hirosaki, Japan
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成とデュアルAFMプローブへの応用
- Author(s)
  田口涼雅，川島健太，西方孝志，峯田貴
- Organizer
  第44回機械学会東北支部学生会
- Place of Presentation
  山形大学, 米沢市
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] Al薄膜ナノ電極対へのヒアルロン酸分子の捕捉と再溶解挙動の評価
- Author(s)
  峯田貴, 竹内博子, 牧野英司
- Organizer
  第23回バイオフロンティア講演会論文集
- Place of Presentation
  弘前市文化センター(弘前市)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253
[Presentation] FePd磁歪膜を積層したデュアルカンチレバーの形成と近接デュアルニードル構造の形成
- Author(s)
  川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
- Organizer
  日本機械学会2012年次大会論文集
- Place of Presentation
  金沢大学(金沢市)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23360108
[Presentation] 基板表面へのプロテオグリカン分子転写のためのソフトスタンプ形成
- Author(s)
  峯田貴，佐々木愛，牧野英司
- Organizer
  表面技術協会第127回講演大会要旨集
- Place of Presentation
  日本工業大学(埼玉県宮代町)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23650253

1. FURUYA Yasubumi (20133051)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 24 results
2. 牧野英司 (70109495)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 3 results
3. 徐嘉楽 (30898200)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. KIMURA Hisamichi (00161571)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. MURO Hideo (00438912)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. OKAZAKI Teiko (10003328)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. MIYANAGA Takafumi (70209922)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. KISHI Yoichi (70265370)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. KUBOTA Takeshi (70400405)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. IIJIMA Takashi (90356402)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. KUMAKI Jiro (00500290)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. KAKIZAKI Ikuko (80302024)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 4 results
13. OKUNO Takashi (80411031)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. SHIBATA Takayuki (10235575)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 4 results
15. 小野俊郎 (30374812)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. 笹川和彦 (50250676)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. 小池邦博 (40241723)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 7 results
18. 野々村美宗 (50451662)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
19. 鈴木庸久 (90501479)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 4 results
20. 寒川雅之 (70403128)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. 松井弘之 (80707357)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Mineta Takashi 峯田 貴

MINETA Takashi 峯田 貴

峯田 貴 ミネタ タカシ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of tactile presentation device combining wide-frequency range using pneumatic/shape memory alloy thick film actuator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

形状記憶膜/有機半導体ハイブリッド型の高出力フレキシブル触覚ディスプレイ開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Elucidation of electropolishing mechanism at solid/solid interface by ultra-high concentration CNT composite solid electrolyte and development of mirror finishing method

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of wearable fine tactile display with shape memory thick film for tele-existencePrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Magneto-strictive-driven dual AFM probe for narrow-gapped delivery in liquidPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of nano-probe with low noise actuation mechanism for nano-machining and in situ measurementPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of nano-template chip for immobilization and analysis of cartilaginous bio-polymer moleculesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Multiplication properties of multi-ferroic nanomaterial and micro magnetic sensor

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

内視鏡医療トレーニングのための括約筋をもつアクティブ臓器モデルの開発

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

生体高分子の分子サージャリ用デュアルナノプローブの開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Book] ＶＲ／ＡＲ技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例 (第4章9節“MEMS技術による形状記憶合金型触覚ディスプレイの開発と応用”)2021

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Data Source

[Journal Article] Fabrication of Shearing-Motion-Type Tactile Display Mechanism Using SMA Thick-Film Actuators and Coil Springs Array2023

Author(s)

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[Journal Article] Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode2021

Author(s)

Journal Title

Mineta Takashi 峯田貴

MINETA Takashi 峯田貴

峯田貴ミネタタカシ