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鶴島 稔夫  ツルシマ トシオ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10236953
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1998年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究科, 教授
1997年度 – 1998年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 教授
1995年度 – 1997年度: 九州大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物性・結晶工学
研究代表者以外
表面界面物性
キーワード
研究代表者
Oxidation / Crystallization / Silicidation / Rradiation-induced defect / Ion-beam / Silicon / 酸化 / 結晶成長 / シリサイド / 照射誘起欠陥 / イオンビーム / シリコン … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る SiGe / ferroelectric / field effect transistor / quantum chemistry calculation / low contact resistance / high aspect ratio / point defect relaxation process / ultra thin Si oxide / 無損傷化 / 欠陥緩和 / ヘテロ界面 / 欠損測定 / Siプロセス量子化学研究 / 高アスペクト比プロセス / 低抵抗コンタクト / 極薄酸化膜 / Ge歪超格子 / Si / Si高精度化プロセス / 強誘電体 / 電界効果型トランジスタ / 量子化学計算 / 低抵抗コンタクト抵抗 / 高アスペクト比 / 点欠陥緩和過程 / 極薄Si酸化膜 / マイクロマシン / エッチング / LIGA / リソグラフィ / LSI / シンクロトロン放射光 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 共同研究者

    (12人)
  •  Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用研究代表者

    • 研究代表者
      佐道 泰造, 鶴島 稔夫
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  九州シンクロトロン放射光のエレクトロニクス応用研究に関する調査研究

    • 研究代表者
      黒木 幸令
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      九州大学
  •  集積化知能システム極限材料・プロセス

    • 研究代表者
      堀池 靖浩
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1998
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京大学
      東洋大学
  • 1.  佐道 泰造 (20274491)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  黒木 幸令 (40234596)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  日高 昌則 (50037298)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  柿本 浩一 (90291509)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  堀池 靖浩 (20209274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  服部 健雄 (10061516)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  白木 靖寛 (00206286)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  安田 幸夫 (60126951)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  立花 明知 (40135463)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  冬木 隆 (10165459)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  松波 弘之 (50026035)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  権丈 淳 (20037899)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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