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犬塚 直夫  INUZUKA Tadao

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30082788
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1988年度 – 1994年度: 青山学院大学, 理工学部, 教授
1987年度: 青山学院大学, 理工学部・電気電子工学科, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物性 / 表面界面物性
研究代表者以外
応用物性
キーワード
研究代表者
ダイヤモンド / Diamond / 薄膜 / CVD / CVD法 / Epitaxial Growth / High Rate Growth / Thin Film / Plasma / Chemical Vapor Deposition … もっと見る / 粒子 / 気相成長 / 放電 / 高速合成 / プラズマ / 化学蒸着 / エピタキシャル成長 / Thin film / Epitaxy / エピタキシー / 落膜 / エピタキュー / Low temperature process / Carbon cluster / Atomic vapor deposition / CVD method / 低温合成 / 炭素クラスタ- / 原子蒸着法 / エピタキシ- … もっと見る
研究代表者以外
電子顕微鏡 / 反射高速電子回折 / タイヤモンド薄膜 / 半導体薄膜 / 超伝伝導薄膜 / エピタクシャル成長 / エピタクシ- 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  電子線を利用したSi表面でのダイヤモンドのエピタキシャル成長研究代表者

    • 研究代表者
      犬塚 直夫
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      青山学院大学
  •  ほう素系単結晶及びほう素処理をした下地表面でのダイヤモンドのエピタキシアル成長研究代表者

    • 研究代表者
      犬塚 直夫
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      青山学院大学
  •  エピタクシャル成長の基礎過程

    • 研究代表者
      井野 正三
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      総合研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      東京大学
  •  原子蒸着法及び高真空中CVD法によるダイヤモンド低温合成と評価研究代表者

    • 研究代表者
      犬塚 直夫
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      青山学院大学
  •  ア-ク及びア-ク・グロ-移行領域の放電を用いた粒状・膜状ダイヤモンドの高速合成研究代表者

    • 研究代表者
      犬塚 直夫
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      青山学院大学
  • 1.  澤邊 厚仁 (70187300)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  井野 正三 (70005867)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  川原田 洋 (90161380)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  大矢 銀一郎 (00006280)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  川辺 光央 (80029446)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  八木 克道 (90016072)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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