三村秀和 MIMURA HIDEKAZU

研究者番号	30362651
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2024年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 2022年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 2015年度 – 2022年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 2015年度: 東京大学, 工学研究科, 准教授 2014年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授 … もっと見る 2011年度 – 2014年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2012年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 2010年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 2010年度: 東京大学, 工学系研究科, 准教授 2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手 2003年度 – 2005年度: 大阪大学, 工学研究科, 助手 2004年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 量子ビーム科学研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分80040:量子ビーム科学関連 / 工学 / 理工系
キーワード	研究代表者 X線ミラー / 精密計測 / 集光 / Ｘ線ミラー / Ｘ線集光 / 軟X線 / 超精密加工 / 精密加工 / X線イメージング / ウォルターミラー … もっと見る / 軟X線集光 / Ｘ線 / 高次高調波 / X線集光 / 形状計測 / 位相回復 / 形状修正 / X 線ミラー / X線顕微鏡 / ナノ精度 / 電鋳法 / ナノ精度計測 / ナノ精度加工 / Ｘ線顕微鏡 / Ｘ線望遠鏡 / X線望遠鏡 / X線 / 高精度ミラー / Ｘ線結像 / 超精密計測 / 波面計測 / 位相回復法 / 精密部品加工 / 回転体ミラー / 顕微鏡 / 生産工学 / 応用光学 / 放射光 / SPring-8 / 回転楕円ミラー / 軟Ｘ線 / 成膜 / 計測 / 軟 X 線 / SOIウエハ / X線自由電子レーザ / ビームスプリッター / X線自由電子レーザー / 表面 / 転写 / 電鋳 / 超精密形状計測 / コヒーレントX線 … もっと見る研究代表者以外 X線ミラー / X線自由電子レーザー / X線光学 / 超精密加工 / X線集光 / X線顕微鏡 / 微細加工 / X線 / 電子ビーム露光 / X線吸収分光 / X線吸収微細構造 / 分光イメージング / ウォルターミラー / 電子ビームリソグラフィ / 回折格子 / X線分光 / 多層膜ミラー / X線干渉計 / X線波面計測 / 精密計測 / 精密加工 / 非接触給電 / 放電加工 / 微細軸加工 / 工具電極消耗 / サーボ送り制御 / 電気二重層 / 静電誘導給電 / 超短パルス / 電解加工 / X 線光学 / X線自由電子レーザ / ナノ集光 / 波面光学 / 数値制御加工 / 非球面ミラー / コヒーレントX線 / 放射光 / 超精密形状計測隠す

高精度大型ウォルターミラーの開発とX線望遠鏡・X線顕微鏡への展開研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
X線シングルショット顕微分光イメージングの実証
- 研究代表者
  
  木村隆志
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分80040:量子ビーム科学関連
- 研究機関
  東京大学
高精度ウォルターミラー作製による超短パルスX線イメージング法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
X線1nm集光への挑戦研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  挑戦的研究(開拓)
- 審査区分
  
  中区分30:応用物理工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
高次高調波を利用した超精密形状計測法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 研究分野
  
  材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  量子ビーム科学
- 研究機関
  東京大学
静電誘導給電法を用いた超短パルス電解加工の研究
- 研究代表者
  
  國枝正典
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
可干渉性X線による回転楕円面形状測定法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
補償光学系を駆使した多段光学系によるＸ線自由電子レーザーのナノメートル集光
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
In-situ軟X線集光ミラー形状修正システムの構築研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
X線自由電子レーザー用ビームスプリッターの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2010
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
   大阪大学
硬Ｘ線Ｓｕｂ―１０ｎｍビーム形成と顕微鏡システムの構築
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2010
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  大阪大学
高精度X線ミラー作製のためのナノ精度表面形状転写法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
硬X線用超平坦全反射ミラーの作製とコヒーレントX線による全反射の評価研究代表者
- 研究代表者
  
  三村秀和
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学

[雑誌論文] Efficient and precise fabrication of Wolter type-I x-ray mirrors via nickel electroforming replication using quartz glass mandrels2023
- 著者名/発表者名
  G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Imamura, H. Miyashita, A. Ito, K. Sakuta, K. Ampuku, R. Fujii, K. Hiraguri, H. Hashizume, I. Mitsuishi, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 94 号: 12 ページ: 124501-124501
- DOI
  10.1063/5.0160262
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[雑誌論文] Fabrication of ultrashort sub-meter-radius x-ray mirrors using dynamic stencil deposition with figure correction2023
- 著者名/発表者名
  Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Kimura Takashi、Perrin Francois、Vivo Amparo、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Mimura Hidekazu
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 94 号: 4 ページ: 043102-043102
- DOI
  10.1063/5.0135367
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451, KAKENHI-PROJECT-20J21562, KAKENHI-PROJECT-20K20444
[雑誌論文] ウォルターミラーを利用した軟X線タイコグラフィ装置の開発2023
- 著者名/発表者名
  木村隆志、竹尾陽子、櫻井快、古谷登、江川悟、山口豪太、松澤雄介、久米健大、三村秀和、志村まり、大橋治彦、松田巌、原田慈久
- 雑誌名
  
  放射光
  
  巻: 36 ページ: 10-16
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[雑誌論文] Abrasive slurry jet machining system using polyurethane silica coreshell particles for internal surfaces of axisymmetric x-ray mirrors2023
- 著者名/発表者名
  Shunya Yokomae, Yoko Takeo, Takenori Shimamura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 94 号: 1 ページ: 015106-015106
- DOI
  10.1063/5.0125242
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736, KAKENHI-PROJECT-20J21562
[雑誌論文] Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror2022
- 著者名/発表者名
  Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Moriya Fumika、Kimura Takashi、Shimura Mari、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Shimba Kenta、Jimbo Yasuhiko、Mimura Hidekazu
- 雑誌名
  
  Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII
  
  巻: 12240 ページ: 1224004-1224004
- DOI
  10.1117/12.2632949
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451, KAKENHI-PROJECT-20J21562
[雑誌論文] An arrayed-window microfluidic device for observation of mixed nanoparticles with an X-ray free-electron laser2022
- 著者名/発表者名
  Matsumoto Yutaka、Takeo Yoko、Egawa Satoru、Yamaguchi Gota、Yokomae Shunya、Takei Masashi、Yumoto Hirokatsu、Koyama Takahisa、Ohashi Haruhiko、Tono Kensuke、Yabashi Makina、Mimura Hidekazu、Kimura Takashi
- 雑誌名
  
  Optical Review
  
  巻: 29 号: 1 ページ: 7-12
- DOI
  10.1007/s10043-021-00716-x
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[雑誌論文] Soft X-ray ptychography system using a Wolter mirror for achromatic illumination optics2022
- 著者名/発表者名
  Kimura Takashi、Takeo Yoko、Sakurai Kai、Furuya Noboru、Egawa Satoru、Yamaguchi Gota、Matsuzawa Yusuke、Kume Takehiro、Mimura Hidekazu、Shimura Mari、Ohashi Haruhiko、Matsuda Iwao、Harada Yoshihisa
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 30 号: 15 ページ: 26220-26220
- DOI
  10.1364/oe.462190
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[雑誌論文] Organic abrasive machining system for optical fabrication with 0.1-mm spatial resolution2022
- 著者名/発表者名
  Y. Matsuzawa, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura,
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 93 号: 1 ページ: 013101-013101
- DOI
  10.1063/5.0068556
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Fabrication of soft x-ray monolithic Wolter mirror based on surface scanning measurement using touch probe2022
- 著者名/発表者名
  Takehiro Kume, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Hiroaki Miyashita, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi,Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 93 号: 6
- DOI
  10.1063/5.0087171
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020
- 著者名/発表者名
  Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  SPIE Proceedings
  
  巻: 11492 ページ: 1-9
- DOI
  10.1117/12.2569845
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444, KAKENHI-PROJECT-20J21562
[雑誌論文] Single-shot achromatic imaging for a broadband soft X-ray pulse2020
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, G. Yamaguchi, T. Kume, K. Yamanouchi, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 45(2) 号: 2 ページ: 515-518
- DOI
  10.1364/ol.381538
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736, KAKENHI-PROJECT-15H05696
[雑誌論文] Development of shape measurement system for high precision Wolter mandrel2020
- 著者名/発表者名
  Takehiro Kume, Hirokazu Hashizume, Kentarou Hiraguri, Yusuke Matsuzawa, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Takahiro Saito, Gota Yamaguchi, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  SPIE Proceedings
  
  巻: 11492 ページ: 20-20
- DOI
  10.1117/12.2568929
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy2020
- 著者名/発表者名
  Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Keisuke Tamura, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Ikuyuki Mitsuishi, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  SPIE Proceedings
  
  巻: 11491 ページ: 19-19
- DOI
  10.1117/12.2569834
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Advanced fabrication technologies for ultraprecise replicated mirrors for x-ray telescopes2020
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Akinari Ito, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Keisuke Tamura, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Hirokazu Hashizume, Ikuyuki Mitsuishi
- 雑誌名
  
  SPIE Proceedings
  
  巻: 11444 ページ: 155-155
- DOI
  10.1117/12.2560892
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] A highly efficient nanofocusing system for soft x rays2020
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo,　H. Motoyama, T. Shimamura, T. Kimura, T. Kume, Y. Matsuzawa, T Saito, Y. Imamura, H. Miyashita, K. Hiraguri, H. Hashizume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 117 号: 15 ページ: 151104-151104
- DOI
  10.1063/5.0027118
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736, KAKENHI-PROJECT-20H04451
[雑誌論文] Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror2020
- 著者名/発表者名
  Yoko Takeo, Akihiro Suzuki, Hiroto Motoyama, Yoshinori Takei, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura1Applied Physics Letters
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 116 号: 12 ページ: 121102-121102
- DOI
  10.1063/1.5144932
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05737, KAKENHI-PROJECT-17J04201, KAKENHI-PROJECT-17K18821, KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Design of two-stage soft-X-ray nano-focusing system with a ring-focusing mirror and quasi-Wolter mirror2020
- 著者名/発表者名
  Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  SPIE Proceedings
  
  巻: 11492 ページ: 21-21
- DOI
  10.1117/12.2570007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Probing the spatial coherence of soft X-ray beams with Fresnel mirrors at BL25SU of SPring-82019
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Journal of Synchrotron Radiation
  
  巻: 26 号: 3 ページ: 756-761
- DOI
  10.1107/s1600577519002583
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17J04201, KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Broadband nano-focusing of high-order harmonics in soft X-ray region with ellipsoidal mirro2019
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 114 号: 24 ページ: 241102-241102
- DOI
  10.1063/1.5091587
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Full-field microscope with twin Wolter mirrors for soft X-ray free-electron lasers2019
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, S. Owada, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Kubota, K. Tono, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 27(23) 号: 23 ページ: 33889-33897
- DOI
  10.1364/oe.27.033889
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[雑誌論文] Differential deposition for producing microstructure2018
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第1報）2017
- 著者名/発表者名
  武井良憲，三村秀和
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 83 号: 3 ページ: 245-250
- DOI
  10.2493/jjspe.83.245
- NAID
  130005436044
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041, KAKENHI-PROJECT-14J08051
[雑誌論文] A Fundamental Study of Local Electrochemical Nano-processing2017
- 著者名/発表者名
  G.Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
- 雑誌名
  
  International Journal of Electrical Machining
  
  巻: 22 ページ: 36-41
- NAID
  130005712362
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Precise characterization of focused vortex beams2017
- 著者名/発表者名
  Takahiro Saito, Yoko Takeo, and Hidekazu Mimura
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 9 ページ: 092501-092501
- DOI
  10.7567/jjap.56.092501
- NAID
  210000148263
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第2報）2017
- 著者名/発表者名
  武井良憲, 三村秀和
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 83 号: 6 ページ: 585-592
- DOI
  10.2493/jjspe.83.585
- NAID
  130005689946
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror2017
- 著者名/発表者名
  T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura,
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 10385 ページ: 22-22
- DOI
  10.1117/12.2273666
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] 電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発2017
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 雑誌名
  
  電気加工学会誌
  
  巻: 51（126）ページ: 147-151
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Optical design of a sub-1-μm focusing system for soft x-ray free electron lasers2017
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, S. Owada, K. Tono, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 10386 ページ: 1038609-1038609
- DOI
  10.1117/12.2271282
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors2016
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Procedia CIRP
  
  巻: 42 ページ: 512-515
- DOI
  10.1016/j.procir.2016.02.242
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041, KAKENHI-PROJECT-15J08622
[雑誌論文] Development of internal stress measurement technique for Ni electroforming using Shack.Hartmann sensor2016
- 著者名/発表者名
  T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  International Journal of Electrical Machining
  
  巻: 21 号: 0 ページ: 25-30
- DOI
  10.2526/ijem.21.25
- NAID
  130005395684
- ISSN
  1341-7908, 2188-5117
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Development of high-order harmonic focusing system based on ellipsoidal mirror2016
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 87 号: 5 ページ: 051803-051803
- DOI
  10.1063/1.4950735
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041, KAKENHI-PROJECT-15J08622
[雑誌論文] Evaluation of figure accuracy of Wolter mirror fabricated by electroforming2016
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 9687 ページ: 968705-968705
- DOI
  10.1117/12.2243422
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041, KAKENHI-PROJECT-16J10126
[雑誌論文] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming2016
- 著者名/発表者名
  T. kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Procedia CIRP
  
  巻: 42 ページ: 783-787
- DOI
  10.1016/j.procir.2016.02.319
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J08580, KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Development of surface profiler for master mandrel of x-ray ellipsoidal mirror2016
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 9962 ページ: 99620C-99620C
- DOI
  10.1117/12.2235314
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] 高精度電鋳法の開発と軟X線集光ミラーの作製2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 雑誌名
  
  Electrochemistry
  
  巻: 84(9) ページ: 721-725
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] 高精度回転楕円ミラーによる高強度EUV・軟X線ビーム形成2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 雑誌名
  
  光アライアンス
  
  巻: 27(2) ページ: 45-49
- NAID
  40020888126
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 雑誌名
  
  応用物理
  
  巻: 85（11）ページ: 957-961
- NAID
  130007715294
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing2016
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 9588 ページ: 95880A-95880A
- DOI
  10.1117/12.2188824
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Atomic inner-shell laser at 1.5-ångström wavelength pumped by an X-ray free-electron laser2015
- 著者名/発表者名
  H. Yoneda, Y. Inubushi, K. Nagamine, Y. Michine, H. Ohashi, H. Yumoto, K. Yamauchi, H. Mimura, H. Kitamura, T. Katayama, T. Ishikawa and M. Yabashi
- 雑誌名
  
  Nature
  
  巻: ５２４号: 7566 ページ: 446-449
- DOI
  10.1038/nature14894
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25247093, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Two-stage reflective optical system for achromatic 10 nm x-ray focusing2015
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama and H. Mimura
- 雑誌名
  
  J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys.
  
  巻: 48 号: 24 ページ: 244002-244002
- DOI
  10.1088/0953-4075/48/24/244002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J08622, KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light2015
- 著者名/発表者名
  H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi,
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE
  
  巻: 9588 ページ: 95880L-95880L
- DOI
  10.1117/12.2187455
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[雑誌論文] X-ray two-photon absorption competing against single and sequential multiphoton processes2014
- 著者名/発表者名
  K. Tamasaku, E. Shigemasa, Y. Inubushi, T. Katayama, K. Sawada, H. Yumoto, H. Ohashi, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi and T. Ishikawa
- 雑誌名
  
  Nature Photonics
  
  巻: 8 号: 4 ページ: 313-313
- DOI
  10.1038/nphoton.2014.10
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-22109005, KAKENHI-PROJECT-23360038, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Saturable absorption of intense hard X-rays in iron2014
- 著者名/発表者名
  Hitoki Yoneda, Yuichi Inubushi, Makina Yabashi, Tetsuo Katayama, Tetsuya Ishikawa, Haruhiko Ohashi, Hirokatsu Yumoto, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura & Hikaru Kitamura
- 雑誌名
  
  Nature Communications
  
  巻: 5 号: 1 ページ: 5080-5080
- DOI
  10.1038/ncomms6080
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25247093, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Damage study of optical substrates using 1-um-focusing beam of hard X-ray free-electron laser2013
- 著者名/発表者名
  T. Koyama, H. Yumoto, Y. Senba, K. Tono, T. Sato, T. Togashi, Y. Inubushi, J. Kim, T. Kimura, S. Matsuyama, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, H. Ohashi, and T. Ishikawa
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 463 ページ: 012043-012043
- DOI
  10.1088/1742-6596/463/1/012043
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] A Precision Grazing-incidence Angle Error Measurement of a Hard X-ray Condenser Mirror Using Single-grating Interferometry2013
- 著者名/発表者名
  R. Fukui, J. Kim, S. Matsuyama, H. Yumoto, Y. Inubushi, K. Tono, T. Koyama, T. Kimura, H. Mimura, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Synchrotron Radiation News
  
  巻: 26 号: 5 ページ: 13-16
- DOI
  10.1080/08940886.2013.832585
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00129, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Investigation of ablation thresholds of optical materials using 1-μm-focusing beam at hard X-ray free electron laser2013
- 著者名/発表者名
  T. Koyama, H. Yumoto, Y. Senb a, K. Tono, T. Sato, T. Togashi, Y Inubushi, T. Katayama, J. Ki m, S. Matsuyama, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, H. Ohashi, and T. Ishikawa
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 21 号: 13 ページ: 15382-15388
- DOI
  10.1364/oe.21.015382
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00129, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Damage threshold investigation using grazing incidence irradiation by hard X-ray free electron laser2013
- 著者名/発表者名
  T. Koyama, H. Yumoto, K. Tono, T. Sato, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Katayama, J. Kim, S. Mats uyama, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, and H. Ohashi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 8848 ページ: 88480T-88480T
- DOI
  10.1117/12.2025377
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00129, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] One-dimensional sub-10-nm hard X-ray focusing using laterally graded multilayer mirror2011
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, H.Yumoto, D.Yamakawa, H.Yokoyama, S.Matsuyama, K.Inagaki, K.Yamamura, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi,T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth.A 616
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] 放射光とナノ精度光学素子が拓く世界2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 7803
- NAID
  130000450912
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] X線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発-形状修正加工の高分解能化とX線集光ミラーの適応2010
- 著者名/発表者名
  三村秀和, 他
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 76(3) ページ: 338-342
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Breaking the 10 nm barrier in hard-X-ray focusing2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, H.Yumoto, D.Yamakawa, H.Yokoyama, S.Matsuyama, K.Inagaki, K.Yamamura, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi,T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nature Physics 6
  
  ページ: 122-125
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Extended knife-edge method for characterizing Sub-10-nm X-ray beams2010
- 著者名/発表者名
  S.Handa, H.Mimura, H.Yumoto, T.Kimura, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi , T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth. 616
  
  ページ: 246-250
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Breaking the 10 nanometer barrier in hard X-ray focusing2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 雑誌名
  
  Nature Physics
  
  巻: 6(2) ページ: 122-125
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Stitching angle measurable microscopic interferometer : surface-figure metrology tool for hard X-ray nanofocusing mirrors with large curvature2010
- 著者名/発表者名
  H.Yumoto, H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, S.Matsuyama, Y.Sano, H.Ohashi, K.Yamauchi, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth. 616
  
  ページ: 203-206
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] X線ナノ集光技術の現状とその利用に向けた将来展望「ミラー光学素子の開発およびその応用の現状と将来展望」2010
- 著者名/発表者名
  三村秀和、松山智至
- 雑誌名
  
  放射光
  
  巻: 23(3) ページ: 173-179
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Wavefield characterization of nearly diffraction-limited focused hard x-ray beam with size less than 10 nm2010
- 著者名/発表者名
  T.Kimura, H.Mimura, S.Handa, H.Yumoto, H.Yokoyam, S.Imai, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Kohmura, Y.Nishino, M.Yabashi, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Rev.Sci.Instrum. 81
  
  ページ: 123704-123704
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] 放射光とナノ精度光学素子が拓く世界2010
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 雑誌名
  
  学術の動向
  
  巻: 15(8) ページ: 42-46
- NAID
  130000450912
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Trace element mapping of a single cell using a hard x-ray nanobeam focused by a Kirkpatrick-Baez mirror system2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuyama, M. Shimura, H. Mimura, M. Fujii, H. Yumoto, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  X-ray Spectrometry 38
  
  ページ: 89-94
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Direct determination of the wave field of an x-ray nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H.Yumoto, S.Matsuyama, S.Handa, T.Kimura, Y.Sano, M.Yabashi, Y.Nishino, K.Tamasaku, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Phys.Rev.A 77
  
  ページ: 15812-15812
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Focusing mirror for x-ray free-electron lasers2008
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, S.Morita, T.Kimura, D.Yamakawa, W.Lin, Y.Uehara, S.Matsuyama, H.Yumoto, H.Ohashi, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi, T.Ishikawa, H.Ohmori, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Rev.Sci.Instum. 79
  
  ページ: 83104-83104
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Direct determination of the wave field of a X-ray nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  H., Mimura, et. al.
- 雑誌名
  
  Physical Review A 77
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Focusing mirror for x-ray free-electron lasers2008
- 著者名/発表者名
  H. Mimura, et.al.
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments 79
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Highly accurate differential deposition for X-ray reflective optics2008
- 著者名/発表者名
  S. Handa, H. Mimura, H. Yumoto, T. Kimura, S. Matsuyama, Y. Sano and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Surface and Interface Analysis 40
  
  ページ: 1019-1022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Fabrication of a 400-mm-long mirror for focusing x-ray free-electron lasers to sub-100 nm2008
- 著者名/発表者名
  H. Mimura, et.al.
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE 7077
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Direct Determination of the Wave Field of an X-ray Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, S. Handa, T. Kimura, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Physical Review A 77(1)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Reflective optics for sub-10nm hard X-ray focusing2007
- 著者名/発表者名
  H., Mimura, et. al.
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE (The international Society for Opitcal Engineering) 6704
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror2007
- 著者名/発表者名
  H.Mimura et al.
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 90
  
  ページ: 31903-31903
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror2007
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H.Yumoto, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Yamamura, Y.Mori, M.Yabashi, Y.Nishino, K.Tamasaku, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Lett. vol.90
  
  ページ: 51903-51903
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Waveoptical simulation for designing and evaluating hard X-ray nanofocusing mirror2006
- 著者名/発表者名
  H.Mimura et al.
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE (The international Society for Optical Engineering) 6317
  
  ページ: 631718-631718
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] At-wavelength figure metrology of hard x-ray focusing mirrors2006
- 著者名/発表者名
  H. Yumoto, H. Mimura, S. Matsuyama, S. Handa, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments 77
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Surface figuring and measurement methods with spatial resolution close to 0.1 mm for x-ray mirror fabrication2005
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE, Int.Soc.Opt.Eng 5921
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15106003
[雑誌論文] Relative angle determinable stitching interferometry for hard X-ray reflective optics2005
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments 発表予定
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15106003
[雑誌論文] Hard X-ray Diffraction-Limited Nanofocusing with Kirkpatrick-Baez Mirrors2005
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Express Letter 44(18)
- NAID
  10015726316
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15106003
[雑誌論文] Surface figuring and measurement methods with spatial resolution close to 0.1 mm for x-ray mirror fabrication2005
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 雑誌名
  
  Proceeding of SPIE, Int.Soc.Opt.Eng 5921
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760093
[雑誌論文] Image quality improvement in hard X-ray projection microscope using total reflection mirror optics2004
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 雑誌名
  
  Journal of Synchrotron Radiation 11
  
  ページ: 343-346
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15106003
[雑誌論文] Effect of Focusing flow on Stationary Spot Machining Properties in Elastic Emission Machining
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Nanoscale Research Letters
  
  巻: (to be published)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[雑誌論文] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval
- 著者名/発表者名
  T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE
  
  巻: 8501 ページ: 850103-850103
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[雑誌論文] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval
- 著者名/発表者名
  T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE
  
  巻: 8501 ページ: 850103-850103
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[産業財産権] 精密電鋳法のための気泡除去方法2017
- 発明者名
  山口豪太、三村秀和
- 権利者名
  東京大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-096795
- 出願年月日
  2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[産業財産権] 精密電鋳のための気泡除去方法2016
- 発明者名
  久米健大、三村秀和
- 権利者名
  久米健大、三村秀和
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2016-113951
- 出願年月日
  2016-06-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[産業財産権] 高NA集光素子の出口波面計測方法及び出口波面計測システム2015
- 発明者名
  竹尾陽子、三村秀和
- 権利者名
  東京大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-158575
- 出願年月日
  2015-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[産業財産権] 電鋳法における形状転写導電層の形成方法2007
- 発明者名
  三村秀和
- 権利者名
  大阪大学・大阪TLO共願
- 産業財産権番号
  2007-260639
- 出願年月日
  2007-10-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760100
[産業財産権] 超精密形状測定方法2006
- 発明者名
  山内和人, 三村秀和
- 権利者名
  (株)ジェイック, 山内和人
- 産業財産権番号
  2006-042547
- 出願年月日
  2006-02-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15106003
[産業財産権] X線ミラーの高精度姿勢制御法2006
- 発明者名
  山内和人, 三村秀和, 岡田浩巳
- 権利者名
  大阪大学, (株)ジェイテツク
- 産業財産権番号
  2006-221714
- 出願年月日
  2006-07-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[産業財産権] 精密形状転写法2006
- 発明者名
  三村秀和, 山内和人, 岡田浩巳
- 権利者名
  大阪大学, (株)ジェイテツク
- 出願年月日
  2006-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760100
[産業財産権] X線波面計測法と形状可変ミラーによるX線集光法2006
- 発明者名
  山内和人, 三村秀和, 岡田浩巳
- 権利者名
  大阪大学, (株)ジェイテツク
- 産業財産権番号
  2006-357566
- 出願年月日
  2006-12-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] 高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発2024
- 著者名/発表者名
  毛利柊太郎，伊藤駿佑，本山央人，江川悟，郭建麗，山口豪太，久米健太，松澤雄介，高野秀和，香村芳樹，矢橋牧名，三村秀和
- 学会等名
  第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[学会発表] 斜入射X線ミラー製造プロセスの開発2024
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  理研シンポジウム：第11回「光量子工学研究」ー次世代の光量子工学に向けてー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[学会発表] 超精密加工が拓いたX線光学、高速X線撮像が拓く精密加工学ー原子レベル超精密加工法とX線による加工現象解析ー2023
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第10回板橋オプトフォーラム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[学会発表] Development of an inner surface profile measurement system for precise electroformed Wolter mirrors for X-ray telescopes2023
- 著者名/発表者名
  S. Ito, A. Ito, S. Mohri, G. Yamaguchi, H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[学会発表] 細穴放電加工の放射光高速X線撮像による解析2023
- 著者名/発表者名
  工藤悠佑，山本祥大，内田大悟，山口豪太, 三村秀和
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 軟X線から硬X線領域にわたる放射光ミラーに関する研究開発2023
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発 ―内面形状計測システムの開発―2023
- 著者名/発表者名
  伊藤駿佑，伊藤旺成，毛利柊太郎，山口豪太, 三村秀和
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 筒形Wolterミラーを用いた軟X線顕微イメージング技術の開発2023
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子、木村隆志、三村秀和
- 学会等名
  第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[学会発表] 回転体ミラーと自由曲面X線ミラー2023
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発 ―内面成膜システムの開発―2023
- 著者名/発表者名
  毛利柊太郎，伊藤旺成，伊藤駿佑，山口豪太, 三村秀和
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Development of deposition system for the inner surface of Wolter mirror for x-ray telescopes2023
- 著者名/発表者名
  S. Mohri, A. Ito, S. Ito, G. Yamaguchi, H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00156
[学会発表] “Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror2022
- 著者名/発表者名
  T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications, 2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes2022
- 著者名/発表者名
  T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
- 学会等名
  XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] High-speed imaging of metal drilling using 100-keV X-rays at SPring-82022
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Keito Tamura, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyam, Hidekazu Takano, Yujiro Hayashi, Makina Yabashi, Haruhiko Ohash
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 超高分解能X線望遠鏡の実現に向けたNi電鋳ミラーの形状精度向上ーシミュレーションモデルの構築と遮蔽物配置による膜厚分布の均一化ー2022
- 著者名/発表者名
  伊藤旺成，伊藤駿祐，毛利柊太郎，山口豪太，三村秀和
- 学会等名
  電気加工学会全国大会(2022)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Design, fabrication, and testing of 2-mm-long X-ray mirrors for soft-X-ray nanofocusing2022
- 著者名/発表者名
  T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
- 学会等名
  IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] X 線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度作製プロセスの開発 ―電鋳プロセスにおけるミラー長手方向膜厚分布の均一化―2022
- 著者名/発表者名
  伊藤旺成，伊藤駿佑，毛利柊太郎，山口豪太, 三村秀和
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 細穴放電加工の放射光高速X線撮像による解析2022
- 著者名/発表者名
  工藤悠佑，山口豪太，山本祥大，内田大悟，三村秀和
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 小径工具を用いた金属ミーリング加工の放射光高速X線撮像による解析2022
- 著者名/発表者名
  山本祥大，工藤悠佑，内田大悟，山口豪太，三村秀和
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Development of Soft X-ray Ptychography System with Electroformed Wolter Mirror2022
- 著者名/発表者名
  Takashi Kimura, Takeo Yoko, Kai Sakurai, Noboru Furuya, Satoru Egawa, Gota Yamaguchi, Yusuke Matsuzawa, Takehiro Kume, Hidekazu Mimura, Mari Shimura and Haruhiko Ohashi
- 学会等名
  15th International Conference on X-ray Microscopy
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[学会発表] アクリル板と水のみによるガラス表面とシリコン表面の原子レベル平坦化2022
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第4回ナノ茶論
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 軟X線による超小型Kirkpatrick-Baezミラーの特性評価2021
- 著者名/発表者名
  島村勇徳, 竹尾陽子, 木村隆志, 仙波泰徳, 岸本輝, 大橋治彦, 三村秀和
- 学会等名
  第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, オンライン開催
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] X線宇宙望遠鏡用高精度大型ウォルターミラーの開発2021
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  2021年度日本表面真空学会学術講演会シンポジウム講演
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Development of figure correction system for axisymmetric x-ray mirrors2021
- 著者名/発表者名
  S. Yokomae, Y. Takeo, T. Shimamura, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi and H. Mimura,
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 高分解能なＸ線望遠鏡実現に向けたウォルターミラーの電鋳プロセスの高精度化―電流密度分布の有限要素解析を通じた最適なめっき条件の探求―2021
- 著者名/発表者名
  伊藤旺成, 山口豪太, 竹尾陽子, 三村秀和
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製2021
- 著者名/発表者名
  島村勇徳, 竹尾陽子, 木村隆志, 仙波泰徳, 岸本輝, 大橋治彦, 三村秀和
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] 超小型 KB ミラーを用いた軟 X 線 sub 50 nm 集光システムの開発2021
- 著者名/発表者名
  島村勇徳, 竹尾陽子, 木村隆志, 仙波泰徳, 岸本煇, 大橋治彦, 三村秀和
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] 回転体形状を有する光学素子のX線CT による高精度形状評価法2021
- 著者名/発表者名
  清水冴月, 三村秀和
- 学会等名
  第88回精密工学会現物融合型エンジニアリング専門委員会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化－平坦性と除去レート向上の試み―2021
- 著者名/発表者名
  郭建麗，松澤雄介，三村秀和
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会，2021年度精密工学会春季大会学術講演会，オンライン開催
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 超小型KBミラーを用いた軟X線sub 50 nm集光システムの開発2021
- 著者名/発表者名
  島村勇徳、竹尾陽子、木村隆志、仙波泰徳、岸本輝、大橋治彦、三村秀和
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[学会発表] Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy2021
- 著者名/発表者名
  G. Yamaguchi, T. Kume, Y. Takeo, Y. Matsuzawa, K. Hiraguri, Y. Imamura, H. Miyashita, K. Tamura, Y. Takehara, A. Takigawa, T. Kanoh, K. Tachibana, I. Mitsuishi, H. Hashizume, H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optical Engineering + Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 銅電鋳製回転楕円ミラーによる軟X線FELのサブミクロン集光2021
- 著者名/発表者名
  山口豪太, 本山央人, 大和田成起, 久保田雄也, 江川悟, 竹尾陽子, 矢橋牧名, 三村秀和
- 学会等名
  第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, オンライン開催
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 軟Ｘ線用集光ミラーの開発と大学研究の事業化の一例2020
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  強光子場科学研究懇談会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Development of shape measurement system for high precision Wolter mandrel2020
- 著者名/発表者名
  Takehiro Kume, Hirokazu Hashizume, Kentarou Hiraguri, Yusuke Matsuzawa, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Takahiro Saito, Gota Yamaguchi, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
- 学会等名
  S Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] X線自由電子レーザーとマイクロ流路デバイスを用いた液中試料観察法の開発2020
- 著者名/発表者名
  松本豊, 竹尾陽子, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 木村隆志
- 学会等名
  第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[学会発表] X線自由電子レーザーを用いたイメージングとデータ解析の高効率化2020
- 著者名/発表者名
  松本豊, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 竹尾陽子, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 木村隆志
- 学会等名
  精密工学会2020年度秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H04451
[学会発表] Development of ultra-short Kirkpatrick-Baez mirror system for nano-focusing of soft X-rays2020
- 著者名/発表者名
  Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
- 学会等名
  XOPT2-01, XOPT2020 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2020 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020), Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy2020
- 著者名/発表者名
  Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Keisuke Tamura, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Ikuyuki Mitsuishi, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura
- 学会等名
  Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX,Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Advanced fabrication technologies for ultraprecise replicated mirrors for x-ray telescopes2020
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Akinari Ito, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Keisuke Tamura, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Hirokazu Hashizume, Ikuyuki Mitsuishi
- 学会等名
  SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Design of two-stage soft-X-ray nano-focusing system with a ring-focusing mirror and quasi-Wolter mirror2020
- 著者名/発表者名
  Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
- 学会等名
  Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020
- 著者名/発表者名
  Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
- 学会等名
  Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX,Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] Two-stage reflective focusing system for soft X-rays at BL25SU of SPring-82020
- 著者名/発表者名
  Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura , Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura , Hiroaki Miyashita, Kentaro Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
- 学会等名
  XOPT2-02, XOPT2020 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2020 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020), Online Only
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 回転楕円ミラーによる高NA集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ計測2019
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子、鈴木明大、仙波康徳、岸本輝、大橋治彦、三村秀和
- 学会等名
  第32回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K18821
[学会発表] Development of Small Kirkpatrick-Baez Mirror System for Nano-Focusing of X-Rays2019
- 著者名/発表者名
  T. Shimamura, H. Mimura
- 学会等名
  XOPT2019 (International Conference on X-ray Optics and Application)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] Fabrication and testing of Wolter type-I mirrors for femtosecond soft x-ray imaging2019
- 著者名/発表者名
  . S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Owada, Y. Kubota, Y. Matsuzawa, T. Kume, M. Yabashi, H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optics + Photonics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H00736
[学会発表] 軟X線タイコグラフィを用いた回転楕円ミラーの形状評価2019
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Fabrication of ultra-small mirrors for soft-X-ray nano-focusing by differential deposition2019
- 著者名/発表者名
  T. Shimamura, H. Mimura,
- 学会等名
  The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K20444
[学会発表] 軟X線タイコグラフィを用いた回転楕円ミラーの形状評価2019
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K18821
[学会発表] 回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ顕微鏡の開発2018
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 軟X線集光用回転楕円ミラーの高精度化 -直接的形状修正法の開発と実証-2018
- 著者名/発表者名
  横前俊也，本山央人，三村秀和
- 学会等名
  第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発2018
- 著者名/発表者名
  本山央人，大和田成起，久米健大，山口豪太，犬伏雄一，登野健介，小山貴久，江川悟，大橋治彦，矢橋牧名，三村秀和
- 学会等名
  第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発 -ミラー内面修正性能の評価-2018
- 著者名/発表者名
  横前俊也，本山央人，三村秀和
- 学会等名
  2018年精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Fabrication of precise ellipsoidal mirrors for soft x-ray nanofocusing,2018
- 著者名/発表者名
  Hidekazu Mimura
- 学会等名
  International Workshop on X-ray Optics and Application (IWXM2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K18821
[学会発表] 精密銅電鋳法の転写精度に及ぼす電析条件の影響，2018年度精密工学会春季大会学術講演会2018
- 著者名/発表者名
  山口豪太，久米健大，三村秀和
- 学会等名
  2018年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Fabrication of Ellipsoidal Mirror by Cu Electroforming2017
- 著者名/発表者名
  G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics and Applications 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 高精度ミラーを用いた軟X線のナノ集光2017
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  物性研究所短期研究会「新世代光源で切り拓く物質科学と生命科学の融合領域」
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2017-03-08
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror2017
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, and H. Mimura
- 学会等名
  2017 SPIE Optics + Photonics
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Fabrication process of precise mandrel for Wolte mirror2017
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, Y. Takei, Y. Matsuzawa, H. Motoyama, T. Kume, Y. Takeo and H. Mimura
- 学会等名
  The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発2017
- 著者名/発表者名
  久米健大、武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of differential deposition method for inner surfaces of ellipsoidal x-ray mirrors2017
- 著者名/発表者名
  S. Yokomae, H. Motoyama, and H. Mimura
- 学会等名
  7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Replication Accuracy of Electroforming Process for X-ray Ellipsoidal Mirror2017
- 著者名/発表者名
  T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics and Application 2017 (XOPT'2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Focusing EUV high-order harmonics at the diffraction limit2017
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, A. Iwasaki, T. Sato, H. Mimura, and K. Yamanouchi
- 学会等名
  14th International conference on multiphoton processes
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発2017
- 著者名/発表者名
  齋藤貴宏，竹尾陽子，江川悟，三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  慶応義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 高分解能スティッチング干渉計測における高精度つなぎ合わせ角度決定法2017
- 著者名/発表者名
  松澤雄介、三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラーの作製のための高精度電鋳法の開発2017
- 著者名/発表者名
  山口豪太，久米健大，三村秀和
- 学会等名
  第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] イオンビームスパッタ成膜による回転体ミラーの内面形状修正2017
- 著者名/発表者名
  横前俊也，本山央人，三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror2017
- 著者名/発表者名
  T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura
- 学会等名
  2017 SPIE Optics + Photonics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転体X線ミラー内面への追加成膜プロセスの開発2017
- 著者名/発表者名
  横前俊也，本山央人，三村秀和
- 学会等名
  第14回X線結像光学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 銅電析による高精度電鋳法の開発2017
- 著者名/発表者名
  山口豪太，久米健大，三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Fabrication of Cu-electroformed Mirrors for X-ray Focusing2017
- 著者名/発表者名
  G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
- 学会等名
  7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Construction of a soft x-ray transmission microscope for evaluation of Wolter mirror optics2017
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発2017
- 著者名/発表者名
  本山央人、岩崎純史、佐藤堯洋、武井良憲、久米健大、江川悟、山内薫、三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] ナノ精度コピーによる超高精度ミラー作製2017
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  科学技術振興機構　新技術説明会
- 発表場所
  JST東京本部
- 年月日
  2017-03-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Focusing EUV light with ellipsoidal mirror2017
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラーによる軟X線集光2017
- 著者名/発表者名
  三村秀和，本山央人，竹尾陽子，武井良憲, 松澤雄介, 久米健大, 仙波泰徳，岸本輝, 大橋治彦
- 学会等名
  第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] ピンホール成膜による高分解能形状修正成膜法の開発2017
- 著者名/発表者名
  西岡勇人、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 高精度X線ミラー製造のための超精密形状計測法2017
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  H28年度長さクラブ講演会
- 発表場所
  機械振興会館
- 年月日
  2017-02-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 放射光ナノビーム開発の現状と展望2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  東北放射光施設（SLiT-J）利用分野調査検討ワークショップ
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2016-01-19
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of Pulse Electrodeposition for Removal of Hydrogen Bubbles Adhering to Cathode2016
- 著者名/発表者名
  T. Kume, G. Yamaguchi, and H. Mimura
- 学会等名
  Electrochemistry 2016
- 発表場所
  Goslar, Germany,
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 軟X線結像のためのウォルターミラーの開発2016
- 著者名/発表者名
  江川悟、竹尾陽子、本山央人、久米健大、武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 複雑な形状を有するＸ線ミラー作製のための高分解能形状修正成膜法の開発2016
- 著者名/発表者名
  長山光、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Current status of development of ultraprecise Wolter mirror for soft X-ray microscopy2016
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, T. Kume, Y. Takei, Y. Takeo, H. Motoyama and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Evaluation of degree of spatial coherence at a soft X-ray beamline of SPring-82016
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kisimoto, H. Ohashi and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 高精度回転楕円ミラーによる軟X線ナノ集光2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第76回ELIDセミナー
- 発表場所
  理化学研究所
- 年月日
  2016-12-22
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Wavefront measurement using ptychographic phase retrieval for evaluating figure and alignment errors of ellipsoidal mirror2016
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, T. Saito and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors2016
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
- 学会等名
  18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-04-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Electroforming process specialized for fabrication of x-ray ellipsoidal mirror2016
- 著者名/発表者名
  T. Kume, S. Egawa, Y. Takeo, and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Replication result of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming2016
- 著者名/発表者名
  S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
- 学会等名
  The 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies
- 発表場所
  Suzhou China
- 年月日
  2016-04-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 高精度マンドレル作製と高精度形状転写による軟 X 線回転楕円ミラーの作製2016
- 著者名/発表者名
  武井良憲，久米健大，竹尾陽子，三村秀和
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学シンポジウム
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror,2016
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, T. Higashi and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発と自由電子レーザへの展開2016
- 著者名/発表者名
  本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming2016
- 著者名/発表者名
  T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura
- 学会等名
  18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-04-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] フレネルミラー光学系による軟X線ビームの空間コヒーレンス評価2016
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子、本山央人、仙波泰徳、岸本輝、大橋治彦、三村秀和
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正成膜法の開発　第 2 報-数値制御システムによる任意形状創成-2016
- 著者名/発表者名
  長山光、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  2016年精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 位相回復法を用いた転楕円ミラーの形状計測高精度化2016
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] X線集光用回転楕円ミラーマンドレル作製プロセスの開発2016
- 著者名/発表者名
  武井良憲，松澤雄介，三村秀和
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 極限集光光学システムによる超高強度X線パルスの実現2016
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会第３６回年次大会
- 発表場所
  名城大学
- 年月日
  2016-01-09
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror2016
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, H. Mimura
- 学会等名
  2016 Optics + Photonics
- 発表場所
  San Diego USA
- 年月日
  2016-08-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 常温Ni電鋳におけるパルス電析条件の検討2016
- 著者名/発表者名
  山口豪太，久米健大，三村秀和
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Current status of the development of two-staged focusing system for soft X-ray lasers2016
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, Y. Takeo, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamanouchi, and H. Mimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light2015
- 著者名/発表者名
  H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi
- 学会等名
  2015 Optics + Photonics
- 発表場所
  San Diego USA
- 年月日
  2015-08-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing2015
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
- 学会等名
  2015 Optics + Photonics
- 発表場所
  San Diego USA
- 年月日
  2015-08-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] High-order Harmonics Focusing with Ellipsoidal Mirror in Soft X-ray Region2015
- 著者名/発表者名
  H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura
- 学会等名
  International Workshop on X-Ray Optics and Metrology (IWXM2015)
- 発表場所
  Berkeley, USA
- 年月日
  2015-07-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Effect of Electrodeposition Conditions on Replication Accuracy of Electroforming2015
- 著者名/発表者名
  T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura
- 学会等名
  EUSPEN 15th International Conference
- 発表場所
  Leuven, Belgium
- 年月日
  2015-07-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] イオンビームスパッタ成膜法による回転楕円ミラーの内面形状修正装置の開発2015
- 著者名/発表者名
  本山央人、長山光、三村秀和
- 学会等名
  2015年精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの形状計測装置の開発とその形状修正加工2015
- 著者名/発表者名
  武井良憲，東隆裕，三村秀和
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 軟X線結像用ウォルターミラーの作製と形状精度の評価2015
- 著者名/発表者名
  江川悟、久米健大、竹尾陽子、斎藤貴宏、武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  2015年精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 軟X線用回転体集光ミラー開発の現状と今後の展開2015
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  X線ナノ集光技術研究会2015
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2015-10-31
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] タイコグラフィ位相回復法による集光波面計測の高精度化2015
- 著者名/発表者名
  竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
- 発表場所
  筑波大学東京キャンパス文京校舎
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 軟X線結像用ウォルターミラーの形状評価と結像性能の予測2015
- 著者名/発表者名
  江川悟、久米健大、武井良憲、竹尾陽子、斎藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
- 発表場所
  筑波大学東京キャンパス文京校舎
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors2015
- 著者名/発表者名
  Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optifab 2015
- 発表場所
  Rochester USA
- 年月日
  2015-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 位相回折格子を用いたX線自由電子レーザーナノビームの集光波面計測2015
- 著者名/発表者名
  西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，片山拓也，富樫格，矢代航，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの開発2015
- 著者名/発表者名
  本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
- 発表場所
  筑波大学東京キャンパス文京校舎
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正成膜手法の開発修正装置の開発2015
- 著者名/発表者名
  長山光、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  2015年精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価2015
- 著者名/発表者名
  久米健大、江川悟、山口豪太、三村秀和
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02041
[学会発表] 位相回折格子を用いたX線レーザナノビームの波面計測法の研究―フーリエ変換法と縞走査法の2つの解析法の検討―2014
- 著者名/発表者名
  西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪，近畿大学東大阪キャンパス
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 位相回折格子を用いたX線レーザーナノビームの高精度波面計測2014
- 著者名/発表者名
  西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学，鳥取
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発2013
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  2013年精密工学会春季大会、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] 高精度電鋳法による回転楕円X線集光ミラーの作製2013
- 著者名/発表者名
  久米健大、武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  第2回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円 X線集光ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの開発2013
- 著者名/発表者名
  武井良憲、久米健大、三村秀和
- 学会等名
  第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設計2013
- 著者名/発表者名
  4. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- 年月日
  2013-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発2013
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発2013
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  2013年精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円線集光ミラーの形状計測法の開発2013
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
- 学会等名
  第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転体X線ミラーのための高精度電鋳プロセスの開発2013
- 著者名/発表者名
  久米健大、武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  2013年精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転体型軟X線集光用高精度マンドレルの作製2012
- 著者名/発表者名
  武井良憲、斎藤貴宏、大森整、三村秀和
- 学会等名
  第5回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
- 発表場所
  鳥栖市民文化会館、鳥栖市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 超高精度 X 線ミラーの開発と硬 X 線ナノビーム形成2012
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  財団法人光産業技術振興協会平成 23 年度多元技術融合光プロセス研究会第5回研究プログラム「最先端計測・モニタリング技術の現状と将来展望」、産業技術総合研究所
- 発表場所
  臨海副都心センター別館
- 年月日
  2012-02-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測2012
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  オプトメカトロニクス協会、光部品生産技術部会
- 年月日
  2012-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討2012
- 著者名/発表者名
  齋藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測-光学設計と理論的検討-2012
- 著者名/発表者名
  齋藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会、2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] Control of Shape of Stationary Spot Profile in Nozzle-type Elastic Emission Machining2012
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, H. Mimura
- 学会等名
  5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と X 線ミラーへの展開2012
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第63回ELID研削研究会
- 年月日
  2012-07-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] ノズル型EEM(Elastic Emission Machining) における加工特性の向上2012
- 著者名/発表者名
  武井良憲、三村秀和
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] Feasibility study for measuring figure error profile of ellipsoidal mirror using phase retrieval with ptychography2012
- 著者名/発表者名
  T. Saito, H. Mimura
- 学会等名
  5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測　-光学設計と理論的検討-2012
- 著者名/発表者名
  齋藤貴宏、三村秀和
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  首都大東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] 回転楕円体型軟 X 線ミラーの光学設計と形状計測法の開発2012
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、武井良憲、J. R. Fienup, 三村秀和
- 学会等名
  第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
- 発表場所
  鳥栖市民文化会館、鳥栖市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] Improvement of Spatial Resolution of Figuring in Elastic Emission Machining2012
- 著者名/発表者名
  Y. Takei, H. Mimura
- 学会等名
  nanoMan2012 (The International State-of-the-art in nano Manufacturing)
- 発表場所
  Wako, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発2012
- 著者名/発表者名
  斎藤貴宏、武井良憲、J.R.Fienup,三村秀和
- 学会等名
  第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
- 発表場所
  鳥栖市民文化会館、鳥栖市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval2012
- 著者名/発表者名
  T. Saito, Y. Takei, H. Mimura
- 学会等名
  2012 Optics + Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval2012
- 著者名/発表者名
  T. Saito, Y. Takei, H. Mimura
- 学会等名
  2012 Optics + Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発2012
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  静岡大学「第27回GRL浜松セミナ-」
- 発表場所
  静岡大学、浜松市
- 年月日
  2012-05-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発2012
- 著者名/発表者名
  齋藤貴宏、武井良憲、J.R.Fienup、三村秀和
- 学会等名
  第25回放射光学会年会
- 発表場所
  鳥栖市文化会館
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656106
[学会発表] Micro- and Nano- Focusing System for Japanese XFEL2011
- 著者名/発表者名
  H. Mimura
- 学会等名
  SPIE Optics and Photonics Annual Conference　2011
- 発表場所
  サンディエゴ、アメリカ
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] Development of Focusing System for X-ray Free Electron Laser2011
- 著者名/発表者名
  H. Mimura
- 学会等名
  ASPEN2011
- 発表場所
  香港、中国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 多層膜ミラーによる硬X線Sub-10nm集光と顕微鏡への応用2011
- 著者名/発表者名
  三村秀和, 他
- 学会等名
  2011年精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京都文京区)
- 年月日
  2011-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] KBミラー集光X線を用いた高分解能走査型回折顕微法の開発2011
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第31回レーザー学会学術講演会
- 発表場所
  電気通信大学(東京都調布市)(Invited)
- 年月日
  2011-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] An adaptive optical system for sub-10nm hard x-ray focusing2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San-Diego (USA)
- 年月日
  2010-08-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] 多層膜ミラーによるSub-10nm硬X線集光システムの開発2010
- 著者名/発表者名
  三村秀和, 他
- 学会等名
  2010年精密工学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学(名古屋市)
- 年月日
  2010-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Hard X-ray sub-10nm focusing by adaptive optical system2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura
- 学会等名
  International workshop on Phase retrieval and Coherent Scattering (Coherence 2010)
- 発表場所
  Rostock-Warnemunde, (Germany)(Invited)
- 年月日
  2010-07-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Hard X-ray Nanofocusing with Adaptive Optical System2009
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 学会等名
  The 10th international conference on synchrotron radiation instrumentation
- 発表場所
  Melbourne, Australia
- 年月日
  2009-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Graded multilayer mirror for sub-10nm hard x-ray focusing2009
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 学会等名
  SPIE Optics Photonics 2009
- 発表場所
  San-Diego, USA
- 年月日
  2009-08-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] ミラー光学素子による硬X線集光システムの開発2009
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  日本放射光学会第1回若手研究会
- 発表場所
  大阪大学(大阪府吹田市)(Invited)
- 年月日
  2009-08-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Ray-tracing analysis of aberration of a depth-graded multilayer mirror2009
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, et al.
- 学会等名
  International workshop on X-ray mirror design, fabrication and metrology
- 発表場所
  大阪大学(大阪府吹田市)
- 年月日
  2009-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] KBミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発-400mmX光ミラーの作製と評価-2008
- 著者名/発表者名
  三村秀和他
- 学会等名
  第21回放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  立命巻大学びわこ・くさつキャンパズ
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] K. Bミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発-大型X集光ミラーの集光特性の評価-2008
- 著者名/発表者名
  三村秀和, 他
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集425-426
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Fabrication of 400mm long X-ray mirror by Electrolytic In-process Dressing Grinding and Elastic Emission Machining2008
- 著者名/発表者名
  H. Mimura
- 学会等名
  The 6^<th> CHINA-JAPAN, International Conference on Ultraprecision Machining, Extended Abstract 22-26
- 発表場所
  Hunan Univ., Changsha, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] 放射光およびX線自由電子レーザー施殻における集光光学系の開発2008
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  理研シンポジウム : 第壱回「先進ものづくり技術によるアナライザーキーコンポーネント開発基盤の構築状況
- 発表場所
  理化学研究所基幹研究所(埼玉和光市)
- 年月日
  2008-07-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Reflective optics for sub-10nm hard X-ray focusing2007
- 著者名/発表者名
  H., Mimura, et. al.
- 学会等名
  SPIE Optics + Photonics 2007
- 発表場所
  USA, San-Diego,
- 年月日
  2007-08-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] 超高精度X線ミラーの作製とその応用2007
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  2007年第62回物理学会秋季大会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2007-09-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Experimental determination of the wave field of X-ray nanobeam2007
- 著者名/発表者名
  H., Mimura, et. al.
- 学会等名
  Intemational 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
- 発表場所
  大阪大学
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[学会発表] Nanofocusing and single shot wavefront diagnosis of SACLA
- 著者名/発表者名
  K. Yamauchi, M. Yabashi, H. Mimura, H. Yumoto, T. Koyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Katayama, S. Matsuyama, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, W. Yashiro, T. Ohmori, S. Goto, H. Ohashi, A. Momose, and T. Ishikawa
- 学会等名
  SPIE Optics+Optelectronics
- 発表場所
  Clarion Congress Hotel, Prague, Czech
- 年月日
  2013-04-17 – 2013-04-18
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Single-shot wavefront measurement of XFEL nanobeam
- 著者名/発表者名
  R. Fukui, J. Kim, S. Matsuyama, H. Yumoto, Y. Inubushi, K. Tono, T. Koyama, T. Kimura, H. Mimura, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2013-10-18 – 2013-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] X線回折格子を用いたX線自由電子レーザーのシングルショット波面計測
- 著者名/発表者名
  福井亮介，松山智至，金章雨，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，百生敦，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演
- 発表場所
  大阪，関西大学
- 年月日
  2013-09-12 – 2013-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] チェス盤回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測
- 著者名/発表者名
  西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  大阪，中ノ島センター
- 年月日
  2014-01-11 – 2014-01-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  オプトメカトロニクス協会、光部品生産技術部会
- 発表場所
  機械振興会館、東京都
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 二次元位相回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測
- 著者名/発表者名
  西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東京大学
- 年月日
  2014-03-18 – 2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線ミラーへの展開
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第63回ELID研究会
- 発表場所
  理化学研究所基幹研究所、埼玉県
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  第27回GRL浜松セミナ－
- 発表場所
  静岡大学、静岡県
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017
[学会発表] 超高精度X線ミラーの開発と硬X線ナノビーム形成
- 著者名/発表者名
  三村秀和
- 学会等名
  平成23年度多元技術融合光プロセス研究会
- 発表場所
  臨界副都心センター，東京都
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686017

1. 佐野泰久 (40252598)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 16件
2. 山内和人 (10174575)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 21件
3. 山村和也 (60240074)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 3件
4. 稲垣耕司 (50273579)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 2件
5. 松山智至 (10423196)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 22件
6. 木村隆志 (50531472)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 19件
7. 高橋幸生 (00415217)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 國枝正典 (90178012)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 玉作賢治 (30300883)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 大橋治彦 (30443550)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
11. 湯本博勝 (20423197)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
12. 小山貴久 (20468276)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
13. 森勇藏 (00029125)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 中川桂一 (00737926)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 本山央人 (00822636)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
16. 志村まり (90226267)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
17. 三石郁之 (90725863)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
18. 江川悟 (90885469)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
19. 澤田桂

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
20. 北村光

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件
21. 米田仁紀

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件
22. 鈴木明大

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

三村 秀和 MIMURA HIDEKAZU

研究課題

研究成果

共同研究者

高精度大型ウォルターミラーの開発とX線望遠鏡・X線顕微鏡への展開研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

X線シングルショット顕微分光イメージングの実証

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高精度ウォルターミラー作製による超短パルスX線イメージング法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

X線1nm集光への挑戦研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高次高調波を利用した超精密形状計測法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

静電誘導給電法を用いた超短パルス電解加工の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

可干渉性X線による回転楕円面形状測定法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

補償光学系を駆使した多段光学系によるＸ線自由電子レーザーのナノメートル集光

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

In-situ軟X線集光ミラー形状修正システムの構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

X線自由電子レーザー用ビームスプリッターの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

硬Ｘ線Ｓｕｂ―１０ｎｍビーム形成と顕微鏡システムの構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高精度X線ミラー作製のためのナノ精度表面形状転写法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

三村秀和 MIMURA HIDEKAZU