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山口 十六夫  YAMAGUCHI Tomuo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40010938
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1995年度 – 2006年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 教授
1999年度: 静岡大学, 教授
1988年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
応用光学・量子光工学 / 応用光学・量子光工学
研究代表者以外
応用物性・結晶工学 / 応用物性 / 電子材料工学 / 無機材料・物性 / 無機材料・物性
キーワード
研究代表者
分光エリプソメトリ / scatterometry / アモルファスSi / SIMOX / 光学定数 / 誘電関数 / 硫黄不活性化層 / アモルファスSiC / サイズ効果 / 極端紫外光リソグラフィ … もっと見る / 超解像マスク / 単層ハーフトーン位相シフトマスク / a-SiNx / 堆積過程モニタリング / 基板温度監視 / RFスパッタリング / 経験的誘電率関数 / a-SiN_X / 位相反転マスク / Al_<1-X>Cr_XO_Y / DUV Lithography / Super resolution masks / Single tone phase shifting mask / a-SiNX / Spectroscopic ellipsometry / in-situ monitoring of film growth / substrate temperature monitoring / RF sputtering / empirical dielectric constants / スキャッタロメトリ / 周期的ナノ構造 / リソグラフィ / 光計測 / 矩形溝構造 / 周期的Taワイアー / 磁気光学 / spectroscopic ellipsometry / nanostructure / magneto optics / anisotropic nanostructures / ellipsometry / 光散乱分光 / 周期的幾何学構造 / 断面構造 / 磁気光学分光 / インコヒーレント / 周期的矩形溝構造 / spectroellipsometry / periodic nano-structure / lithography / optical mesurement / rectangular array / periodic wire / magneto-optics … もっと見る
研究代表者以外
SiC / エリプソメトリ / 化合物半導体 / ガリウムアンチモン / 数値解析 / カーボンナノチューブ / カーボン / ナノチューブ / 炭化ケイ素 / 表面 / carbon nanotube / carbon / nanotube / silicon carbide / surface / camphor / アモルファス半導体多層薄膜 / マグネトロンスパッタ法 / 超格子構造 / プラズマプロセス / 非晶質シリコン / 窒化シリコン / 炭化シリコン / 透明電極 / 4ゾーン測定 / 消光法 / 赤外光デバイス材料 / 結晶成長 / 四元化合物半導体 / InGaAsSb / Infrared Material / Compound Semiconductor / Crystal Growth / 微小動実験 / インジウムアンチモン / 重力偏析 / 固液界面形状 / 面方位依存性 / 微小重力実験 / インデイウムアンチモン / Microgravity / Compound semiconductor / Gallium Antimonide / Indium Antimonide / Gravitational segregation / Solid-liquid interface / Orientation dependence / Simulation / 微小重力環境 / ガリウム アンチモン / インディウム アンチモン / インディウム ガリウム アンチモン / 一方向凝固法 / 落下塔実験 / 航空機実験 / インディウムガリウムアンチモン / 重力変動 / microgravity / compound semiconductor / GaSb / InSb / InGaSb / uni-directional solidification / drop experiment / numerical simulation / 電界放出 / 気体吸蔵 / ellipsometry / cllipsometry 隠す
  • 研究課題

    (10件)
  • 研究成果

    (46件)
  • 共同研究者

    (14人)
  •  面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法研究代表者

    • 研究代表者
      山口 十六夫
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  高配向性カーボンナノチューブ膜の作製と高効率エミッターへの応用・実用化

    • 研究代表者
      松本 晃一
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      静岡大学
  •  高配向性カーボンナノチューブ膜の作製と高効率エミッターへの応用・実用化

    • 研究代表者
      松本 晃一
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      静岡大学
  •  宇宙などの微小重力環境に於けるInGaSb化合物半導体の溶解と結晶化に関する研究

    • 研究代表者
      熊川 征司
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  微小重力下でのInGaSb半導体の結晶成長の研究

    • 研究代表者
      熊川 征司
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  極端紫外光リソグラフィ用薄膜の最適設計と分光エリプソメトリによるその評価法の研究研究代表者

    • 研究代表者
      山口 十六夫
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  分光エリプソメトリ解析方法の開発と応用研究代表者

    • 研究代表者
      山口 十六夫
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  赤外光デバイス用InGaAsSb化合物半導体の結晶成長

    • 研究代表者
      熊川 征司
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      静岡大学
  •  多元スパッタ法による4配位系アモルファス半導体多層薄膜の作製

    • 研究代表者
      斎藤 順雄
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      静岡大学
  •  プラズマによる薄膜堆積初期過程の「その場」計測

    • 研究代表者
      畑中 義式
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      静岡大学

すべて 2007 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文

  • [雑誌論文] Evaluation of the quality of Permalloy gratings by diffracted magneto-optical spectroscopy2007

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.O.Demokritov, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Opt. Express 13

      ページ: 4651-4656

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopic scatterometry for analyzing patterned magnetic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, M.Veis, E.Liskova, S.Visnovsky, J.Pistora, B.Hillebrands, S.O.Demokritov, T.Kimura, Y.Otani
    • 雑誌名

      J. Magn. Soc. Jpn. 30,6-2

      ページ: 630-636

    • NAID

      110004857412

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Total reflection ellipsometry of lamellar gratings2006

    • 著者名/発表者名
      J.Pistora, J.Vlcek, K.Watanabe, K.Postava, S.Visnovsky, R.Antos, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      International Journal of Microwave and Optical Technology 1,2

      ページ: 910-913

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical polar Kerr effect spectroscopy on 2D-periodic subwavelength arrays of magnetic dots2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, S.Visnovsky, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      International J. of Microwave and Opt. Technol. 1・2

      ページ: 905-909

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optics of anisotropic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      K.Rokushima, R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Czech. J. Phys. 56・7

      ページ: 665-764

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Total reflection ellipsometry of lamellar gratings2006

    • 著者名/発表者名
      J.Pistora, J.Vlcek, K.Watanabe, K.Postava, S.Visnovsky, R.Antos, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Intern. J. of Microwave and Opt. Technol.(757)(11) 1・2

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optics of anisotropic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      K.Rokushima, R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Czech. J. Phys.(760)(9) 56・7

      ページ: 665-764

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Characterization of permalloy wires by optical and magneto-optical spectroscopy2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, M.Aoyama, T.Yamaguchi, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Trans. Magn. Soc. Japan 4

      ページ: 282-285

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical polar Kerr effect spectroscopy on 2D-periodic subwavelength arrays of magnetic dots2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, S.Visnovsky, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      International Journal of Microwave and Optical Technology 1,2

      ページ: 905-909

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopic scatterometry for analyzing patterned magnetic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, M.Veis, E.Liskova, S.Visnovsky, J.Pistora, B.Hillebrands, S.O.Demokritov, T.Kimura, Y.Otani
    • 雑誌名

      J. Magn. Soc. Japan 30・6-2

      ページ: 630-636

    • NAID

      110004857412

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry : its accuracy and potentiality2006

    • 著者名/発表者名
      J.Mistrik, T.Yamaguchi, R.Antos, Z.-T.Jiang, I.Ohlidal, M.Aoyama
    • 雑誌名

      International J. of Microwave and Opt. Technol. 1・2

      ページ: 523-527

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optics of anisotropic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      K.Rokushima, R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Czech. J. Phys 56,7

      ページ: 665-764

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Convergence properties of critical dimension measurementsby spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Yamaguchi., M.Horie, S.Visnovsky, Y.Otani
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.(754)(12) 100

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Yamaguchi, M.Horie, S.Visnovsky, Y.Otani
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 100

      ページ: 54906-54906

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopic scatterometry for analyzing patterned magnetic nanostructures2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, M.Veis, E.Liskova, S.Visnovsky, J.Pistora, B.Hillebrands, S.O.Demokritov, T.Kimura, Y.Otani
    • 雑誌名

      J. Magn. Soc. Japan(756)(13) 30・6-2

      ページ: 630-636

    • NAID

      110004857412

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical polar Kerr effect spectroscopy on 2D-periodic subwavelength arrays of magnetic dots2006

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, S.Visnovsky, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Intern. J. of Microwave and Opt. Technol.(759)(10) 1・2

      ページ: 905-909

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on sinusoidal surface-relief gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, D.Franta, P.Klapetek, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci. 244,1-244,4

      ページ: 221-224

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Generalized scatterometry of laterally patterned periodic nanostructures based on spectroscopic ellipsometry2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, M.Aoyama, S.Visnovsky, Yamaguchi
    • 雑誌名

      ISSN 0388-5070 (Reports of the Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University) 26

      ページ: 55-61

    • NAID

      40006997285

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optical metrology of binary arrays of holes in semiconductor media using microspot spectroscopic ellipsometry2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.Yamaguchi, M.Horie
    • 雑誌名

      Proc. SPIE (Jena, 12-16 Sept. 2005)(772)(3) 5965(国際会議プロシーディングス)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, I.Ohlidal, K.Postava, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, M.Horie
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.(640)(3) 97

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evidence of native oxides on the capping and substrate of Permalloy gratings by magneto-optical spectroscopy in the zeroth-and first-diffraction orders2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.O.Demokritov, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 86

      ページ: 231101-231101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on sinusoidal surface-relief gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.(646)(5) 244 (1-4)

      ページ: 221-224

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 film2005

    • 著者名/発表者名
      J.Mistrik, I.Ohlidal, R.Antos, M.Aoyama, T.Yamaguchi.
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. 244(1-4)

      ページ: 51-54

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evaluation of the quality of Permalloy gratings by diffracted magneto-optical spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      Roman Antos, Jan Mistrik, Tomuo Yamaguchi, Stefan Visnovsky, Sergej O.Demokritov, Burkard Hillebrands
    • 雑誌名

      Optics Express 13・12

      ページ: 4651-4656

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on lamellar diffraction gratings on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi, J.Pistora, M.Horie
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. 244(1-4)

      ページ: 225-229

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, I.Ohlidal, K.Postava, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, M.Horie
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics, 2005 97・53107(in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optical metrology of patterned magnetic structures : deep versus shallow gratings," presented at the 30th SPIE International Symposium on Microlithography-Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIX, February 27-March 4,2005, San Jose, California USA2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, M.Veis, E.Liskova, M.Aoyama, J.Hamrle, T.Kimura, P.Gustafik, M.Horie, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, N.Okamoto
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 5752

      ページ: 1050-1059

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evidence of native oxides on the capping and substrate of Permalloy gratings by magneto-optical spectroscopy in the zeroth- andf irst-diffraction orders2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.O.Demokritov, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.(724)(7) 86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evaluation of the quality of Permalloy gratings by diffracted magneto-optical spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.O.Demokritov, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Optics Express(729)(8) 13・12

      ページ: 4651-4656

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, I.Ohlidal, K.Postava, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, M.Horie
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 97

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Evidence of native oxides on the capping and substrate of Permalloy gratings by magneto-optical spectroscopy in the zeroth- and first-diffraction orders2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, S.O.Demokritov, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 86

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on sinusoidal gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. 244(1-4)

      ページ: 221-224

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Airy-like internal reflection series applied in scatterometry and simulations of gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, M.Horie, S.Visnovsky
    • 雑誌名

      Proc. SPIE (Munich, 12-16 June 2005)(773)(15) 5858(国際会議プロシーディングス)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, K.Murakami, T.Yamaguchi, J.Pistora, M.Horie, S.Visnovsky
    • 雑誌名

      Appl. Surf Sci 244,1-244,4

      ページ: 225-229

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Optical metrology of patterned magnetic structures : deep versus shallow gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, M.Veis, E.Liskova, M.Aoyama, J.Hamrle, T.Kimura, P.Gustafik, M.Horie, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, N.Okamoto
    • 雑誌名

      Proc. SPIE. (San Jose, Feb. 17-May 2005)(667)(14) 5752(国際会議プロシーディングス)

      ページ: 1050-1059

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal gratings2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings.2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi, J.Pistora, M.Horie
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci(647)(6) 244 (1-4)

      ページ: 225-229

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Pistora, I.Ohlidal, K.Postava, J.Mistrik, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, M.Horie
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 97

      ページ: 53107-53107

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Generalized scatterometry of laterally patterned periodic nanostructures based on spectroscopic ellipsometry2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, M.Aoyama, S.Visnovsky, T.Yamaguchi
    • 雑誌名

      Reports of the Graduate School of Electronic Science and Technology(Shizuoka University)(705)(4) 26

      ページ: 55-61

    • NAID

      40006997285

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Spectroscopic ellipsometry of lamellar diffraction gratings on a thick transparent plate2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, I.Ohlidal, J.Mistrik, T.Yamaguchi, J.Pistora, M.Horie
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Airy-like internal reflection series applied in scatterometry and simulations of gratings," presented at SPIE International Symposium on Optical Metrology-Micro-and Nano-Metrology the World of Photonics Congress 2005 (17th International Conference on Photonics in Europe Co-located with LASER 2005, World of Photonics); 12-16 June 2005, Munich, Germany2005

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, T.Yamaguchi, M.Horie, S.Visnovsky
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 5858

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Characterization of permalloy wires by optical and magneto-optical spectroscopy2004

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, M.Aoyama, T.Yamaguchi, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Trans. Magn. Soc. Japan(627)(2) 4 (4-2)

      ページ: 282-285

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopy on permalloy wires in 0th and 1st diffraction orders2004

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, M.Aoyama, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      J. Magn. Magn. Mater.(617)(1) 272-276

      ページ: 1670-1671

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopy on permalloy wires in 0th and 1st diffraction orders2004

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, M.Aoyama, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      J. Magn. Magn. Mater 272-276

      ページ: 1670-1671

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Characterization of permalloy wires by optical and magneto-optical spectroscopy2004

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, S.Visnovsky, M.Aoyama, T.Yamaguchi, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      Trans.Magn.Soc.Japan 4・4-2

      ページ: 282-285

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • [雑誌論文] Magneto-optical spectroscopy on permalloy wires in 0th and 1st diffraction orders2004

    • 著者名/発表者名
      R.Antos, J.Mistrik, M.Aoyama, T.Yamaguchi, S.Visnovsky, B.Hillebrands
    • 雑誌名

      J.Magn.Magn.Mater. 272-276

      ページ: 1670-1671

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560031
  • 1.  早川 康弘 (00115453)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  熊川 征司 (30022130)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  平田 彰 (00063610)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  松本 晃一 (10022138)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  村上 健司 (30182091)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  小澤 哲夫 (90247578)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  岡野 泰則 (90204007)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  斎藤 順雄 (40126777)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  畑中 義式 (60006278)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  DAO Le H.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  DOST Sadic
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  SADIC Dost
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  XIE Xie
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  ZHONG Xingru
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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